【課題】梱包容器に取り付けて合紙の突出部の向きを所定方向に強制する合紙倒れ防止治具、及び、合紙倒れ防止治具を取り付けた梱包容器に合紙を介して複数のガラス基板を収容したガラス基板梱包体を提供する。
【解決手段】本合紙倒れ防止治具は、合紙とガラス基板とが交互に積層され、前記ガラス基板の一端から前記合紙の一部が突出している積層体を、前記合紙の突出部が略上を向くように収容する梱包容器に取り付けられる合紙倒れ防止治具であって、前記合紙の突出部を側面側から押圧し、前記合紙の突出部の向きを所定方向に強制する押圧部を有する。 （もっと読む）

【課題】収納された光学部品をピックアップすることが容易であり、保管中や輸送中のキズや異物の付着から光学部品を保護できる光学部品収納トレイを提供することを目的としている。
【解決手段】レンズとレンズを保持する鏡筒と鏡筒の一方の端面に配置された鍔部とを有する光学部品を収納する光学部品収納トレイであって、鍔部を保持する天面と、天面に開口をもち鏡筒を収納する凹部と、凹部を閉塞する側壁及び底面と、を有し、底面は前記レンズと空隙を介して対向するように設けられているとともに、側壁は底面の面積より開口の面積のほうが大きい順テーパー形状に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガスケットのコーナ領域におけるシール性が悪化するのを防止し、基板が汚染したり、容器本体と蓋体が接触して発塵するおそれの少ない基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納可能な容器本体１と、容器本体１の開口した正面２に嵌合される蓋体２０と、容器本体１と蓋体２０の間に介在されるシール用のガスケット４０とを備え、容器本体１の正面内周にガスケット用のシール形成面７を形成し、蓋体２０に、ガスケット用の嵌合取付溝２５を形成した基板収納容器であり、ガスケット４０を、蓋体２０の嵌合取付溝２５に嵌合される枠体４１と、枠体４１から突出して容器本体１のシール形成面７に変形接触してシールするリップ片４７とから形成し、リップ片４７の変形量を枠体４１のコーナ領域と他領域とで相違させる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、剥離強度のバラツキを小さくすることができ、かつ、製造コストを低減させることができる包装体を提供することである。
【解決手段】本発明に係る包装体１００は、カバーテープ２００と、キャリアテープ３００とを備える。カバーテープ２００は、少なくとも延伸フィルムから構成される。キャリアテープ３００は、カバーテープ２００が接着される。延伸フィルムは、カバーテープ２００の長手方向に延伸して形成される。カバーテープ２００は、長手方向に沿って引き裂かれてキャリアテープ３００から剥離される。 （もっと読む）

【課題】 良好な耐ピンホール性、深絞り成形性を有すると共に、良好な耐熱水性を有し、包装体のフランジ部のカールを防止する複合フィルムを提供する。
【解決手段】 最外層がポリエチレン層またはエチレン−酢酸ビニル共重合体層からなり、内層がエチレン−酢酸ビニル共重合体層、ポリアミド樹脂層、およびエチレン−酢酸ビニル共重合体けん化物層の各層を含み、シール層が直鎖状低密度ポリエチレン層からなり、最外層／内層／シール層の順に積層された共押出積層フィルムであることを特徴とする深絞り包装用共押出複合フィルム、および当該深絞り包装用共押出複合フィルムを底材とすることを特徴とするセラミックコンデンサ用深絞り包装体。 （もっと読む）

【課題】 基板収納容器を自動で梱包可能であり、簡単な構造で、輸送時の振動や衝撃に対して確実にウェーハを保護できる基板収納容器の輸送箱を提供する。
【解決手段】 上部に開口部を有し基板収納容器を収納可能なコンテナと、該コンテナの開口部を閉鎖する上蓋とを有し、前記コンテナの内底部には、基板収納容器を載置する支承部材が設けられ、該支承部材の上面に、基板収納容器を所定の位置に誘導する位置決め機構と、輸送時の振動を吸収するための防振部材とが設けられ、前記開口部の上縁に第一の固定手段を有し、前記上蓋が、該第一の固定手段と係合する第二の固定手段と、基板収納容器を上部から固定する手段とを有していることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】パルプモールドよりなる卵パックにおいて、多数枚を積層した卵パックを一枚ずつ確実に分離させて取り出すことを可能にする。
【解決手段】パルプモールドからなる卵パック１ａは、積み重ねた際に空間ができるように積み重ね方向に凸状に突出したスタッキング部２０を有し、スタッキング部は２つの卵パック間で対称となり、長手方向に長いリブと側壁との間に設けられ、卵を仕切るための凸状部分である。また、卵パックは葦からなる。 （もっと読む）

【課題】チャンバー内の雰囲気の変動を抑えつつワークを搬送可能であって構成が簡素な搬送ボックスおよび搬送システムを提供すること。
【解決手段】ワークＷに対して処理を行う複数の処理システム２００における第１処理システム２２０から第２処理システム２３０へワークＷを搬送するために使用される搬送ボックス１であって、ワークＷを内部に収容する収容室４と、収容室４の容積を変化させる容積調整機構と、収容室４を開閉可能且つ気密に封止する封止手段１１と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板等の薄型・多段積層可能な搬送トレイである枠内部にフィルム状部材を配置した基板搬送用トレイに適応した基板移載装置、並びに基板の取り出し方法および基板の収納方法を提供する。
【解決手段】基板より一回り大きい矩形状の枠部と、枠部内側の全面に面積が枠部内側の面積よりも大きいフィルム状部材からなる基板保持部材とからなる基板搬送トレイから、基板を取り出す、または、基板搬送トレイに基板を収納する基板移載装置であって、少なくとも、基板搬送トレイを枠部で担持するトレイ設置台と、トレイ設置台内側の基板よりも一回り小さい面内に立設された昇降可能な複数の支持ピンと、トレイ設置台に枠部を加えた高さより上部で枠部の外側に設置され基板端部より内側に前進して基板端部を保持する支持部材とを有し、且つ、支持ピンが少なくとも２つ以上の区画を別々に昇降できる駆動機構を有している。 （もっと読む）

【課題】簡易な設備を用いて低コストで生産することができるウェーハフレームカセットを提供すること。
【解決手段】半導体ウェーハがマウントされた複数のフレーム１００を内部に収納可能なウェーハフレームカセット１であって、複数の棚締結孔１３が一定の間隔を空けて形成されているとともに互いに平行に並べて設けられた一対の壁部材１１と、複数の棚締結孔１３に固定され、複数のフレーム１００のうちの１つのフレーム１００の周縁部が載置される載置面１６ａが形成された複数の棚部材１５と、一対の壁部材１１を互いに連結する枠体２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 容器本体の各支持部に規制板を支持させ、この規制板によって薄肉厚基板の撓みを回避させるものであり、該規制板の回転を防止できるとともに、該規制板と支持部との擦れを低減させ、また、基板の取り出しも容易にした基板収納容器を提供する。
【解決手段】 正面に開口部を有する容器本体と、容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部材とを備える。各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成される。一対の支持部の高さが同じ支持板によって規制板を載置させるともに、規制板を載置する支持板よりも一段上にある他の支持板に基板を載置させる。規制板は、平面的に観た場合、収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、規制板を支持する前記支持板に対して位置規制される簡易な構成の位置規制手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を二重に挿入防止することでガラス基板の外周端部にキズや欠けなどの欠陥を生じさせないガラス基板装填治具及びガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板装填治具１０は、収納容器本体２０の上端に装着され、二重挿入防止機構３０を有する。二重挿入防止機構３０は、ガラス基板が挿入部より一の収納部４０に挿入される過程でガラス基板の外周縁部に接触すると共に、当該挿入部５０の一部を塞ぐ位置に変位する複数の変位部材９０を有する。変位部材９０は、下端側の第１の端部９２が第２のガイド溝７２より中心側に突出し、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２の外側に退避した待機位置にある。また、ガラス基板Ｗが挿入部５０を通過する過程で下端側の第１の端部９２がガラス基板Ｗの外周縁部に押圧されて回動することで、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２より中心側に突出する挿入防止位置に変位する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、密閉型容器内部の雰囲気に起因する反応物の生成を抑制することを目的とする。
【解決手段】半導体製造装置１は、被処理物であるウエーハ１０、ウエーハ１０を収納する密閉型容器のＦＯＵＰ２０、半導体処理装置であるエッチング装置３０及びＦＯＵＰ２０とエッチング装置３０との間を密閉状態でウエーハ１０の搬送を行うＥＦＥＭ４０を有する。ＦＯＵＰ２０は、前面扉２０ａ、内側に温度と湿度とガス濃度との少なくとも一つを検知するセンサ部２１及びこのセンサ部が検知した情報を送信する送信装置２５を有する。受信装置３１は、送信装置２５からの情報を受信し、その情報をパージ部４３に供給する。パージ部４３は、ＦＯＵＰ２０内の温度などが予め定めた基準値を満足するまでパージを行う。 （もっと読む）

【課題】電子部品の変形や破壊を抑制すると共に電子部品を良好に取り出すことを目的とする。
【解決手段】凹部１３の両端部の近傍に傾斜部２０を形成し、半導体装置１２が凹部１３からはみ出して収納された場合でも半導体装置１２が傾斜部２０をすべり落ちて凹部１３の中に収納されることで、電子部品の変形や破壊を抑制すると共に電子部品を良好に取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】光学材料に対する粘着特性、経時粘着安定性、透明性、巻き戻し性および耐熱性に優れた表面保護フィルムを提供する。
【課題を解決するための手段】表面層（Ａ）および粘着層（Ｘ）の少なくとも２層からなる表面保護フィルムであり、表面層（Ａ）がポリオレフィン樹脂からなり、粘着層（Ｘ）が、メタロセン触媒を用いて得られる炭素数３以上のα−オレフィンを主成分とする低結晶性α−オレフィン（共）重合体（Ｘ−１）５〜９５重量％、および融点が５０〜１３０℃の範囲にあり、メタロセン触媒を用いて得られるプロピレン（共）重合体（Ｘ−２）９５〜５重量％（（Ｘ−１）および（Ｘ−２）の合計で１００重量％とする）からなる組成物から形成されること特徴とする表面保護フィルム。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、高圧蒸気滅菌後のシール性の低下および容器体の変形等が生じる可能性が極めて少ない高圧蒸気滅菌可能もしくは高圧蒸気滅菌されたプレフィルドシリンジ用外筒包装体を提供する。
【解決手段】複数のプレフィルドシリンジ用外筒を収納した高圧蒸気滅菌可能もしくは高圧蒸気滅菌されたプレフィルドシリンジ用外筒包装体１は、容器体２と、容器体内に収納された複数のプレフィルドシリンジ用外筒６を保持した外筒保持部材４と、容器体の上面開口を封止する剥離可能なシート状蓋部材３とを備える。容器体は、底部に設けられた開口部２２と、開口部を封止する通気性封止部材５を備える。通気性封止部材は、菌不透過性かつ水蒸気流通性を有し、容器体内は、通気性封止部材を介して外部と連通している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基材の搬送方向に対してパンチが相対移動する方向の先頭に位置する櫛刃が破損しにくい櫛形のパンチを備えるキャリアテープ製造装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るキャリアテープ製造装置は、基材の表面に、電子部品を収納するための複数の凹部を形成するパンチ２１を有する上型と、基材を載置し、上型と嵌合して基材を圧縮成形する下型とを備えている。パンチ２１は、一列に並んだ複数の櫛刃２６を有し、矢印Ａの方向の先頭に位置する櫛刃２６ａは、他の櫛刃２６より、少なくとも櫛刃２６の根元の断面積を大きくしてある。 （もっと読む）

【課題】 複数のチップを収容し易い収容トレイを提供することである。
【解決手段】 分割予定ラインに沿って基板を分割して形成された複数のチップを収容するための収容トレイであって、該基板を収容可能な大きさの凹部からなるチップ収容部と、該チップ収容部を囲繞する側壁と、該チップ収容部内に配設された複数のチップが接着される接着面を有する粘着材と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】収納される果実により生じる結露水が収納凹部の底部に溜まることがあっても、収納された果実が水に接触した状態になるのを防ぎ、果実の保護を良好になし得る果実用トレーを提供する。
【解決手段】合成樹脂発泡シートから成形され、仕切り部２を残して凹設された複数の果実Ｆの収納凹部３を有する果実用トレーＡであって、各収納凹部３の周壁内面には、周壁３０の上端の開口端部３３から底部３２に到る複数本の凹溝５が底部３２で連続するように、特には平面Ｘ状又は横倒Ｘ状に交差するように形成する。 （もっと読む）

【課題】膜の品質を低下させることなく、ウエハを保持しつつ、非接触搬送装置を用いて好適に搬送できるウエハホルダを提供する。
【解決手段】ウエハホルダ１Ａは、ウエハＷを保持し、主面５には、凹状のポケット部１０Ａが形成され、ポケット部１０Ａは、ウエハＷが載置される底部２０と、主面５及び底部２０に連なる側壁部３０とによって構成され、主面５から底部２０までの深さＤは、ウエハ厚みＨの５０％よりも深く、側壁部３０は、主面５に連なる側壁上部３２と、側壁上部３２及び底部２０に連なる側壁下部３４とを有し、底部２０の中心Ｏを通り主面５に垂直な断面において、側壁上部３２と側壁下部３４との接点である側壁接点Ｋは、底部２０からウエハ厚みＨの５０％より高く、底部２０と反対側のウエハ表面２００より低い範囲にあり、前記断面において、主面接点Ｐが側壁接点Ｋよりも中心軸Ｃから離れるように、側壁上部３２は、傾斜する。 （もっと読む）