【課題】ＦＯＵＰ用Ｎ２パージシステムに関するもので、ＦＯＵＰ内をＮ２ガスに置換するときに、外部の塵またはケミカルガスの浸入を抑え、Ｎ２ガスに対する安全性を高めるとともに、Ｎ２ガスへの置換時間を短縮する。
【解決手段】ＦＯＵＰ１内へＮ２ガス２１を圧入し、もう一方のブレスフィルター部４よりＦＯＵＰ１内の残留ガス２５を強制的に吸引する方法で、ＦＯＵＰ１内部が外気に対して常に陽圧の状態に維持され、ＦＯＵＰ１のＮ２ガス置換中に外部からの塵およびケミカルガスのＦＯＵＰ１内への浸入を防ぐ。さらに、Ｎ２ガス置換中にＦＯＵＰ１内の圧力の上昇が一定に保たれ、隙間から漏洩するＮ２ガス流量も極少量に一定に保たれるため、Ｎ２ガス２１の供給量を増加させて、ＦＯＵＰ１内のＮ２ガス置換時間の短縮を図る。 （もっと読む）

【課題】本発明はガラス板、例えば液晶表示装置の表示パネルを形成するために使用されるディスプレイ用のガラス基板等の正方形状または長方形状の基板、自重により撓み易い金属薄板よりなる板状の被搬送物品を移送、運搬し、積み重ね可能にトレイ内にて支持し、厚みが薄く、トレイの薄形化に寄与し、多段の積み重ねが可能となり、製品の輸送効率化をはかる。
【解決手段】ガラス板２等撓みの大きい板状の被搬送物品Ｇを運搬する板材搬送用トレイＴの緩衝部材１が、横長の板状体で構成される本体部３と、本体部に複数個が突設された係止部４と、厚み方向Ｚの上部左右に突設された円弧状の第１係合部５と、小径の嵌入部６と、前記嵌入部の下部、前方に突設された第２係合部７とで形成され、フレーム枠９の二辺１０Ａ,１０Ｃ；１０Ｂ,１０Ｄの支持片１１Ａ,１１Ｂ、または桟材１２の内縁に略板面方向Ｙから抜き差し可能に取付けられる。 （もっと読む）

【課題】 複数の搬送トレイを積層した際に、スタック同士の過剰な嵌まり込みを防止する捻り形状スタックを提供する。
【解決手段】 矩形板状体２４を搬送するための多段に積層することが可能な搬送トレイ１０１に設けられる、有底孔状の捻り形状スタック１であって、搬送トレイの平面１０１’に設けた開口部３０と、開口部３０から下方に延在する側部３２と、側部３２の下端に設けた底部３１とを備え、開口部３０は、水平方向系外に突出する突出開口部３０aおよび水平方向系内に窪む切欠開口部３０bを有する一方、底部３１は、水平方向系外に突出する突出底部３１aおよび水平方向系内に窪む切欠底部３１bを有し、側部３２は、スタック１の軸線周りに捻り形状を形成している。 （もっと読む）

【課題】本発明は検査用搬送トレイに関し、ガラス板、例えば液晶表示装置の表示パネルを形成するために使用されるディスプレイ用ガラス基板の正方形状または長方形状の板状の被搬送物品を目視によるゴミ、汚れが付着されているかの検査のために移送、運搬に使用する。
【解決手段】全体形状が平面視正方形または長方形にアルミニウム枠３Ａ,３Ｂ,３Ｃ,３Ｄが組み付けられたフレーム枠１と、フレーム枠の対向する二辺の前記アルミニウム枠３Ｂ,３Ｄ間に固着手段５を介して両端６ａ,６ｂが取付けられた複数本の桟材６とで構成される検査用トレイＡにおいて、フレーム枠および桟材の表面が無光沢塗料によって塗装が施されている。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルプリント配線板に損傷を与えることなく取り出すことができる、フレキシブルプリント配線板用収納用トレイを提供する。
【解決手段】フレキシブルプリント配線板用収納トレイ１であって、上記フレキシブルプリント配線板の収納空間５を備える本体２と、この本体の上部開口を覆うようにして上記収納空間を密閉できる蓋体３とを備え、上記本体と上記蓋体の一方又は双方に、上記フレキシブルプリント配線板を取り出す際に上記収納空間に連通する通気孔１１ａ，１１ｂを形成できる通気孔形成手段１０ａ，１０ｂを設けて構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、溶接による熱歪の影響を受けない寸法精度の高いガラス板梱包体を提供する。
【解決手段】実施の形態のガラス板梱包体１０によれば、底板受け部材２６とフレーム受け部材２８とが一体的に構成された略Ｌ字状のブラケット３０を備え、このブラケット３０の底部３２を、台座１８の搭載面１６にボルト３４、３４…によって固定する。このガラス板梱包体１０は、ブラケット３０を台座１８にボルト３４、３４…によって固定するだけなので、溶接による熱歪の影響を受けない寸法精度の高いガラス板梱包体１０を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】搬送中に薄板状の固体電解質体を保護する梱包体を提供する。
【解決手段】薄板状の固体電解質体を搬送する際の梱包体であって、前記固体電解質体の主要面の基準長さの１５％以下の幅で外周辺から内側に設ける把持部を前記固体電解質体の周縁に備え、前記把持部を把持する支持部材と、前記主要面への異物の飛来を防ぐように前記主要面を非接触で包む覆いと、前記支持部材及び前記覆いを結合する結合部材と、を含み、前記覆いは、合成樹脂又は合成樹脂に微小な酸化物が分散された材料からなる。このため、搬送時の衝撃を吸収でき、静電気が帯電し難いので、固体電解質の優れた電気的特性を維持できる。 （もっと読む）

【課題】収納部がより密集した状態で数多く配置され、一度に多くの被収納物を効率良く収納すること。
【解決手段】複数の被収納物を収納するトレーであって、薄板１０と、薄板の上面側が開口となるように薄板に凹み形成され、被収納物を内部に収納する複数の有底状の収納部１１と、を備え、複数の収納部が、少なくとも隣り合う他の１つの収納部に対して近接するように配置され、共通の連通溝１２を介して互いの凹みが部分的に繋がっている収納トレー１を提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の歩留りの向上を図る。
【解決手段】トレイ７には、それぞれにウェハレベルＣＳＰ５を収容可能な複数のポケット７ａが設けられており、かつそれぞれのポケット７ａには、ウェハレベルＣＳＰ５の複数の半田バンプ３を支持する台座部７ｂと、台座部７ｂの周囲に形成された側壁７ｃとが設けられており、ウェハレベルＣＳＰ５の製造の後工程における工程間の搬送などで、このトレイ７のポケット７ａでウェハレベルＣＳＰ５を収容した際に、半導体チップの主面の有機膜を支持するのではなく複数の半田バンプ３を台座部７ｂによって支持することにより、前記有機膜に傷が形成されたり、前記有機膜が剥離して異物となって製品に付着したりすることを防止でき、その結果、製品であるウェハレベルＣＳＰ５（半導体装置）の歩留りや品質の向上を図る。 （もっと読む）

【課題】 光学デバイスの発塵を抑制するとともに、光学デバイスの取り出し作業性を向上させた光学デバイス用キャリアテープを提供することを目的とする。
【解決手段】 光学デバイス用キャリアテープ１０は、光学ローパスフィルタ６を収納する貫通孔４を複数備えたスペーサー１と、スペーサー上面１２に貼り合わされる上部カバーテープ２と、スペーサー下面１１に貼り合わされる下部カバーテープ３とからなる。下部カバーテープ３のスペーサー１との貼り合せ面側は低粘着性の粘着面であり、貫通孔下部に露出した前記粘着面に光学ローパスフィルタ６が剥離可能に粘着保持されている。そして、スペーサー１には貫通孔４を該スペーサーの幅方向に横断する溝８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】一部に突起を有する平板部材を高い積載効率で、かつ安定した状態で収容できるようにした発泡樹脂製の搬送容器を提供する。
【解決手段】底板２１と４周の側壁２４からなり、底板上面には、１つの突起４を中心部以外の箇所に有する平板部材１を水平姿勢で収容することのできる収容凹部２３が形成されてなる発泡樹脂製の搬送容器２０において、前記収容凹部４に対応する領域には、平板部材１を突起４下向きにして水平姿勢で収容したときに突起４が位置することとなる場所と同形状の平板部材１を突起４を上向きにして水平姿勢で収容したときに突起４が位置することとなる場所の２箇所に、突起４が入り込むことのできる大きさの２つの貫通孔２４ａ，２４ｂが形成されている。この搬送容器２０を用いることにより、突起４を有する２枚の平板部材１ａ，１ｂを安定して収容しかつ搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】基板収容容器を、確実に精度良く、載置台上に載置可能な基板収容容器およびその位置決め構造を提供するものである。
【解決手段】本発明に係る基板収容容器１０は、載置台２００上に水平に載置、位置決めされ、その内部に基板Ｗが収容され、基板収容容器１０の、載置台２００の載置面２０１に載置される載置部１５に、先端が載置面２０１と平行な平坦面３１１に形成された突起部３１を少なくとも３つ設けると共に、漏斗状の凹部３２を少なくとも２つ設け、各突起部３１の平坦面３１１を載置面２０１に当接させ、平面同士を面接触させるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】柔軟な発泡樹脂シートからなる緩衝用容器と保形性のある発泡樹脂シートからなる支持容器とよりなる果実包装用容器として、収納凹部の弾力性を抑制しないようにして果実の保護を良好になすことができるようにする。
【解決手段】支持容器２０は、緩衝用容器２０の周縁部１３を受ける側壁部２３を有するとともに、内方部の複数個所に緩衝用容器１０の収納凹部１１の列間における非凹設部分１２の一部個所を受ける錐体状の突出支持部２２を有するものとし、緩衝用容器１０を受支した状態において、収納凹部１１の弾性変形を許容できるようにする。 （もっと読む）

【課題】果物又は野菜が、容器との接触及び互いの接触を回避しつつ搬送、陳列することのできる果物・野菜の保持部材を提供する。
【解決手段】果物・野菜、例えばイチゴＳの茎ｓｔを保持して果物又は野菜を吊り下げる保持部材１であって、隣接して配置され、各々が弾性体から構成される第１の挟持片２１と第２の挟持片２１を備え、第１の挟持片２１と第２の挟持片２１とで茎ｓｔを挟持して、イチゴＳを吊り下げる。イチゴＳが吊り下げられる側を下側とすると、第１の挟持片２１及び第２の挟持片２１の下側に支持片３１を設置し、第１の挟持片２１及び第２の挟持片２１は、上側への撓みは許容するが、下側への撓みが支持片３１により規制される。 （もっと読む）

【課題】小寸法の固体撮像素子用カバーガラスなどの板状物が、静電気によって帯電して容器に付着し難く、搬送時にダストが発生し難く、開封時に作業性を低下させない板状物収納積層梱包体と、それに用いる板状物収納トレイを提供する。
【解決手段】板状物収納積層梱包体１０は、上面に板状物３０を水平に整列収納したトレイ２０を複数枚積層された構成を有するもので、トレイ２０が帯電防止材により構成され、トレイ２０の上面側及び下面側に互いに独立した少なくとも３種以上の板状物移動規制手段２１〜２３を有し、積層されたトレイ２０全体が有機フィルム材４０により一体的に被覆包装されてなる。本発明の板状物収納トレイ２０は、上記の板状物収納積層梱包体１０の内部に、板状物３０を載せた状態で積層されるものである。 （もっと読む）

【課題】耐圧強度に優れた包装を、簡単かつ低コストで行なうことのできる緩衝機能付き包装箱を提供する。
【解決手段】各一対の側板１，２から角筒状の周壁を形成し、内フラップ４，６及び外フラップ５，７を閉じて封緘する包装箱において、前記一対の側板１から延びる上方の内フラップ４に、その基端寄りから先端寄りへ向かう一対の切目線８を入れ、切目線８の外側に支柱部１０を、内側に押圧部１１を形成し、側板１と直角をなす他の一対の側板２から延出した下方の内フラップ６を巻き込むように折り曲げて、この内フラップ６で物品を支持し、押圧部１１を山折線１１ａ沿いに折り曲げ、支柱部１０を山折線１０ａ及び谷折線１０ｂ沿いに折り曲げて、折返線１０ｃ沿いに折り返し、下方へ突出した支柱部１０を、収納する物品と側板２との間に差し込んで、押圧部１１で物品を上方から押さえ込む。 （もっと読む）

【課題】密着保持層に保持された物品の取り外しに支障を来たすことが少なく、密着保持層５の損傷を抑制することのできる保持治具を提供する。
【解決手段】支持基板１に凹み形成される区画空間２と、区画空間２に間隔をおいて配列される複数の支持突起４と、区画空間２を被覆して複数の支持突起４に支持される可撓性の密着保持層５と、区画空間２の空気を外部に排気して密着保持層５を凹凸に変形させる排気孔６とを備える。複数の支持突起４の隣接する３本の支持突起４に平面視で正三角形を描かせ、密着保持層５に微小な複数の電子部品１０を着脱自在に保持させる。隣接する支持突起４と支持突起４との距離が常時同等となるので、密着保持層５の伸びが均一化し、密着保持層５に保持された複数の電子部品１０の剥離に支障を来たすことがない。 （もっと読む）

【課題】支持フレームのフレームから保持層が剥がれ落ちるのを抑制し、ウェーハの効率的な収納が期待できるウェーハの輸送容器を提供する。
【解決手段】フレーム２の中空４にテストウェーハＷを保持層５を介し収容した支持フレーム１用の収納容器本体１０と、収納容器本体１０に嵌合されて支持フレーム１を被覆する蓋体２０とを備え、収納容器本体１０を、支持フレーム１のフレーム２と保持層５の周縁部を搭載する搭載板１１と、搭載板１１に形成されて保持層５に空隙を介して対向する中空のすり鉢部１２と、搭載板１１に形成されてフレーム２を囲む複数の規制壁１３とから形成する。また、蓋体２０を、搭載板１１に嵌合される嵌合板２１と、嵌合板２１に形成されてテストウェーハＷに空隙を介して対向する中空の山部２２と、嵌合板２１と山部２２の間に介在されて支持フレーム１と収納容器本体１０の規制壁１３を被覆する被覆カバー２３とから形成する。 （もっと読む）

【課題】低発塵性に優れるウェーハ搬送容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハを収容する箱形の容器本体１１と、半導体ウェーハを間隔をおいて保持するラック１２と、上記容器本体１１に形成された開口部１１ａに着脱自在に装着可能な蓋体１３とを備える。容器本体１１を処理装置の搬送台に載置したときに載置台のガイドピンに当接して容器本体１１を位置決めするスライダ２０を、上記容器本体１１の底面１１ｄに備える。このスライダ２０は、上記容器本体１１とは別体でＰＴＦＥまたはＰＢＴで構成した。 （もっと読む）

【課題】収納効率に優れ、しかも、搬送時の振動等でウェーハの周縁部等が損傷するおそれを排除することのできる保持治具の搬送容器を提供する。
【解決手段】テストウェーハＷ用の保持治具１を支持する容器本体１０の表面に蓋体２０を着脱自在に嵌合する保持治具１の搬送容器であって、容器本体１０を、断面略溝形の本体部１１と、本体部１１に凹み形成されて周壁上端部に保持治具１の周縁部を支持する中空の錐台部１３と、本体部１１と錐台部１３の周壁端部との間に形成されて保持治具１の周縁部を規制する複数のストッパ部１８とから形成する。また、蓋体２０を、容器本体１０の本体部１１表面に重なる断面略溝形の本体蓋部２１と、この本体蓋部２１に凹み形成されて容器本体１０の錐台部１３とストッパ部１８とを覆う中空の錐台ドーム部２３とから形成する。 （もっと読む）