【課題】 バルブボディ１の流路孔側から軸受装置側への異物の侵入に伴うシャフト４の動作不良やバルブロックを防止することを課題とする。
【解決手段】 バルブボディ１の収容孔２１や軸受ホルダー１０の軸受孔２４内においてシャフトバルブ（バルブ５を一体成形したシャフト４）を回転可能に支持する軸受装置として、シャフト４の回転軸方向に連続して配置される２連ボールベアリング１１、１２、およびこの２連ボールベアリング１１、１２よりも流路孔側に配置されるオイルシール１３を備えたことにより、バルブボディ１の流路孔側から挿通孔２６を通って軸受装置側（２連ボールベアリング側）への、ＥＧＲガス中に含まれる微粒子や溶接スパッタ等の異物の侵入をオイルシール１３のガスケット機能によって防止することができる。これにより、シャフトバルブの動作不良やバルブロックを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】弁体の周縁にシールリングが装着されている弁装置において、閉弁時のシールリングと通路の壁との衝突による磨耗の進行、および、衝突後のシールリングと通路の壁との摺動摩擦による磨耗の進行を抑制する。
【解決手段】弁装置の制御手段は、閉弁モードにおける回転角の全範囲において、弁体の回転数が開弁モードにおける回転数よりも小さくなるように電動機への通電を制御する。これにより、閉弁モードにおいて、シールリングが壁に衝突する際の回転数が開弁モードにおける回転数よりも小さくなる。このため、衝突による衝撃を緩和することができる。また、衝突後も回転数が小さいので、シールリングは、弁体の周縁において緩やかに縮まりながら弾性変形することができる。このため、衝突後の摺動摩擦を緩和することができる。 （もっと読む）

【課題】高い耐腐食性を呈し得ると共に、シリコンを製造する際の反応副生成物や反応用の原料を固体のシリコンとは相状態の全く異なる気体状態に維持しながら機械的に分離することができる簡便な構成の高温用バルブ装置を提供する。
【解決手段】シリコンを生成する反応器１０の下方に配置自在な高温用バルブ装置４０、１４０であって、反応器の内部空間に連通して、反応器において生成されたシリコンを導入自在な第１の管状部材と、第１の管状部材内に配置されたバルブと、反応器からバルブに至る第１の管状部材の一部及びバルブを含む加熱領域を、反応器におけるシリコンの生成に関連する関連物質の沸点以上に加熱自在な加熱器１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガス流出孔の下流側の端部に水や油が入って溜まることを防止する。
【解決手段】ガス流出孔４ｂの下流側の開口部に、嵌合孔部４ｉを形成する。ガス流出孔４ｂ内には、栓部材１５をガス流出孔４ｂの長手方向へ移動可能に設ける。栓部材１５は、嵌合孔部４ｉに嵌合した嵌合位置と、この嵌合位置からガス流出孔４ｂの上流側へ移動して副弁体１３及び主弁体８を開位置まで移動させる開放位置との間を移動可能にする。栓部材１５が嵌合位置に位置しているとき、栓部材１５の端面１５ｄがプラグ部４Ａの先端面より上方へ突出させるとともに、閉位置に位置している副弁体１３に対し栓部材１５をガス流出孔４ｂの下流側へ離間させる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造でありながらも噛み込みに起因する動作不良や損傷を防止し得るとともに、定量的な排出を行い得る粉粒体材料の排出装置、及びこれを備えた粉粒体材料の輸送システムを提供する。
【解決手段】排出装置１０は、粉粒体材料を貯留する貯留部３０の下端３３に連設されるとともに、末端に排出口１２ａを有した材料排出路１１，１２と、この材料排出路の排出口を開閉する弁体１５と、この弁体を前記排出口の周囲の弁座１３面に対して略直交する方向に沿って移動させる弁体駆動部１６とを備え、前記弁体は、閉位置では、当該弁体と前記弁座面との間に粉粒体材料を通過させない程度の所定の隙間Ｇを前記排出口の周方向に亘って形成するように保持される構造とされている。 （もっと読む）

【課題】限られたスペース内で必要な透過面積を有して十分なフィルタ性能を得られるとともに、圧力損失の低減を図ることを可能とし、燃料通路内で液化している液化ガス燃料が気化するのを防止できる流体調整装置を提供する。
【解決手段】フィルタ室６に、このフィルタ室６内部を二つに隔離するようにフィルタ５が配置されている。フィルタ室６のフィルタ５を境として一方の側に吸入側接続路３が連通させられる吸入側連通口３１が設けられている。フィルタ室６のフィルタ５を境として他方の側に吐出側接続路４が連通させられる吐出側連通口４１が設けられている。フィルタ室６のフィルタ５に沿った断面の断面積に対して、吐出側接続路４における流体の流れ方向に直交する断面の断面積と、吸入側接続路３における流体の流れ方向に直交する断面の断面積とが狭くされている。 （もっと読む）

【課題】エアクリーナからインテークマニホールドに至る間の吸気通路内で再循環ガスを吸気に戻して燃焼温度を下げようとすると、再循環ガス中のカーボン（煤）がＥＧＲバルブやバルブに対する弁座に付着し、ＥＧＲバルブの作動性が低下するという課題があった。
【解決手段】エンジン回転数の高い場合等、比較的車両の発生音が大きい時に、ＥＧＲバルブのバルブ部材をバルブ開閉方向で開口部と重なる位置（パーシャルの位置）に保持し、脈動する再循環ガスがバルブと弁座の隙間を流れる際に、バルブが弁座と接触し、振動させ、バルブに付着した煤を払い落とす。 （もっと読む）

【課題】減圧室の圧力に応じて作動する圧力受動部材に弁軸の一端部が連結され、減圧室に通じる弁孔を中央部に開口させた弁座に着座し得るシート面を有する弁体が、弁室に収容されるようにして弁軸の軸方向中間部に固定される減圧弁において、合成樹脂から成る弁体の加工コストを低減する。
【解決手段】弁体２６には同軸の中央孔３０が設けられ、弁軸２５Ａは、挿入軸３３を同軸に有する第１軸部材３１と、挿入軸３３を圧入もしくは螺合せしめる有底の挿入孔３４を同軸に有する第２軸部材３２とが、それらの軸部材３１，３２の少なくとも一方を中央孔３０に挿通せしめつつ同軸に結合されて成り、弁体２６が、中央孔３０よりも大径の外周を有しつつ半径方向外方に突出するようにして第１および第２軸部材３１，３２にそれぞれ設けられる第１および第２係止突部３５，３６で軸方向両側から挟まれて弁軸２５Ａに固定される。 （もっと読む）

【課題】ヒータの発熱によりバルブ内への生成物の付着を防ぎ、バルブのボデーを分解することなく弁体部分等のメンテナンスを実施できるバタフライ式圧力制御バルブを提供する。
【解決手段】流路を有するボデー８１とこの流路を弁軸８９により開閉可能な弁体８３とを有し、真空チェンバと真空ポンプとの間に接続されるバタフライ式圧力制御バルブである。弁軸８９に弁体８３を着脱自在に取付けると共にこの弁軸８９にヒータを取付け、このヒータに接続した配線９２を介して外部より電流を流すことでヒータを発熱させ、この熱を弁軸８９から８３弁体に伝導した。 （もっと読む）

【課題】パッキン押えが降下してもパッキン押えの上面とヨークスリーブの下面の間に隙間を生じないようにする。
【解決手段】弁箱の軸装部８に弁軸１２が上下動自在に軸装され、弁箱の軸装部８と弁軸１２の間にパッキン１９が介装され、パッキン１９の上方にパッキン１９を押圧するパッキン押え２１が配設され、パッキン押え２１の上方に弁箱のヨーク部２５に挿入され弁軸１２にねじ込まれたヨークスリーブ２６が設けられ、ヨークスリーブ２６に嵌め込まれたハンドル２７を回転させて弁軸１２を上下動させることにより弁軸１２の下端に設けられた弁体１１で弁箱２内の弁座４を開閉する。弁軸１２の周囲のパッキン押え２１とヨークスリーブ２６の間にパッキン押え２１と一体に形成した保護筒２１ａを設ける。保護筒２１ａの上端内周が当接するガイド凸部２６ｂをヨークスリーブ２６の下面に設ける。 （もっと読む）

バタフライ弁は、弁開口部（１４）を含む本体（１２）と、弁開口部に対して可動であるように回転軸（２２）を中心として回転可能に取り付けられたフラッパ（１６）とを備える。フラッパは、少なくとも１つの全開位置、全開位置から９０°離れた少なくとも１つの全閉位置、およびもう一方の同じ位置から１８０°離れた、全開位置または全閉位置のどちらかの第３の位置まで可動であるように、回転軸を中心として少なくとも１８０°回転可能である。一実施形態では、フラッパは、１８０°離れた２つの開位置のそれぞれまで、および互いに１８０°離れかつ全開位置のそれぞれから９０°および２７０°離れた２つの閉位置まで可動であるように、回転軸を中心として少なくとも３６０°回転可能である。本弁は、容易に較正および制御することができ、また洗浄と次の洗浄との間の耐用期間を延長させるために洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】サニタリー仕様の輸送配管に好適なベローズバルブとして、ベローズの収縮状態において液溜まりを生じず、スチーム滅菌における液溜まりに起因した滅菌不良や、送液稼働中の液溜まりの残留液による品質低下や衛生不良を確実に防止でき、ベローズによる圧損が少なく、合成樹脂製のベローズでも優れた耐久性が得られるものを提供する。
【解決手段】垂直方向に沿う弁作動軸２の昇降によって開閉する弁部を有し、弁ケース１における弁作動軸２の軸通部１１が弁開閉に伴って上下に伸縮するベローズ３によって封止されている。ベローズ３は、合成樹脂製で略円錐状をなし、小径端３ａ側で弁作動軸２の外周に嵌着し、大径端３ｂ側で弁ケース１側に嵌着し、収縮状態における環状凹凸部３０の縦断面がくの字形の反復屈曲によるジグザグ状に形成され、上方に臨む各環状外周面３０ａが外側へ下り勾配の傾斜面をなす。 （もっと読む）

【課題】フィルタの交換を簡単に行えるようにする。
【解決手段】ハウジング８の肉厚内に形成されたスイッチ収容部９内に進退操作可能に収容される動作モード切替スイッチ１００の弁体１００ａの先端部に、ハウジング８の外部からの供給空気の流入口１００ａ１と流出口１００ａ２と連通路１００ａ３とを形成し、連通路１００ａ３内の流入口１００ａ１側に固定絞り１８を設け、固定絞り１８の供給空気の流入側にフィルタ１０を着脱可能に設ける。 （もっと読む）

【課題】 バルブ本体とバルブ支持手段との間隙に固着要因物質が侵入することを抑制した内燃機関のバルブ装置を提供する。
【解決手段】 バルブシャフト１４は、その軸心に高圧気体供給孔１４ａを有するとともに、隣接するバルブ本体１３（シャンク１３ｂ）間に高圧気体供給孔１４ａに連通する高圧気体導入孔１４ｂが１８０°の角度間隔をもって一対ずつ穿設されている。バルブシャフト１４の高圧気体供給孔１４ａに導入された吸入空気は、高圧気体導入孔１４ｂからバルブホルダ１１の軸受１１ａとバルブ本体１３のシャンク１３ｂとの間隙に導入された後、バルブボディ３のボア９内に噴出する。これにより、油滴や固着要因物質は、噴出する吸入空気に妨げられて軸受１１ａとシャンク１３ｂとの間隙に侵入しにくくなる。 （もっと読む）

【課題】一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置にも適用でき、排気速度が速くパーティクルの舞い上がりを抑制できる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる減圧排気弁１０は、一端が真空チャンバ２に連通し、他端が真空ポンプ３に連通する排気路５中に取付けられる減圧排気弁１０において、前記減圧排気弁１０が、前記排気路５に接続される管部１１と、前記管部内に収容された、前記排気路５を開閉する開閉弁１２と、前記開閉弁１２に設けられた、通気孔を有する多孔質体部１３と、前記開閉弁１２の上流側または下流側の排気路中に設けられ、排気路５の遮蔽面積が可変となされた遮蔽量調整部１０Ｂとを備える （もっと読む）

【課題】被処理体に付着する異物粒子数を低減させた半導体製造装置を提供する。
【解決手段】本発明では、被処理体を処理するための処理室と、該処理室にガスを供給するガス供給手段と、被処理体を戴置するための戴置電極と、前記処理室を減圧するターボ分子ポンプと、前記処理室の圧力を調整するために前記ターボ分子ポンプと前記処理室の間に設置されたバタフライバルブとを有する半導体製造装置において、前記バタフライバルブのフラッパーに異物粒子落下防止用のストッパーを設置した。 （もっと読む）

【課題】 円錐状弁体に付着した異物が弁口のテーパー加工孔に付着した異物に引っ掛かることのない温度応動弁を提供する。
【解決手段】 図２（ａ）に示すように弁口８のテーパー加工孔８ｃと円錐状弁体１３との間に形成される断面略三角形部に付着堆積する異物Ａ，Ｂは円錐状弁体１３がＲ加工孔８ａを開けたときに、図２（ｂ）に示すようにテーパー加工孔８ｃに異物Ａ１が付着し円錐状弁体１３に異物Ａ２が付着し、テーパー加工孔８ｃに異物Ｂ１が付着し円錐状弁体１３に異物Ｂ２が付着する。そのため、図２（ｂ）或いは図２（ｃ）に示すように弁軸１２の回転停止位置に拘らず、弁軸１２が軸方向に変位して円錐状弁体１３がＲ加工孔８ａを閉じるときに円錐状弁体１３に付着した異物Ａ２，Ｂ２がテーパー加工孔８ｃに付着した異物Ａ１，Ｂ１に引っ掛かることがない。 （もっと読む）

【課題】一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置にも適用でき、排気速度が速くパーティクルの舞い上がりを抑制できる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる減圧排気弁１０は、一端が前記真空チャンバに連通し、他端が真空ポンプに連通する排気路中に取付けられる減圧排気弁１０において、前記減圧排気弁１０が、前記排気路に接続される管部１１と、前記管部内に収容された、前記排気路５を開閉する開閉弁１２と、前記開閉弁１２に設けられた、通気孔を有する多孔質体部１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】弁軸と軸受孔との間に異物が付着または堆積しにくいバタフライバルブ装置を提供する。
【解決手段】弁軸３の保持部３ａと弁軸３の摺動部３ｂの間に、保持部３ａから摺動部３ｂに向かって弁軸３の外径が小さくなるテーパ部３ｃが設けられている。 （もっと読む）

【課題】フィルタがボディの凹部に挿入された状態でボディに固定されるボディへのフィルタ取付け構造において、コストの低減およびボディの小型化を可能としつつ、異物を確実に捕捉する。
【解決手段】通路１１０の上流側で凹部１１１Ａの一部を構成するとともに凹部１１１Ａの軸線と直交する平面に沿って平坦な環状の突き当て面１１６が軸方向外方に臨んでボディ１５Ａに形成され、金属製のフィルタ２０Ａが、凹部１１１Ａへの挿入時に内端となる軸方向一端を開放端とした有底円筒状に形成され、突き当て面１１６に当接する環状の当接面１１７がフィルタ２０Ａの一端に形成され、凹部１１１Ａに圧入される圧入面１１８がフィルタ２０Ａの少なくとも軸方向一端側外周に設けられ、当接面１１７の外周および圧入面１１８間を結ぶようにしてフィルタ２０Ａの一端部外周に環状の面取り部１１９が形成される。 （もっと読む）