【課題】主弁体が急激にリフトしてパイロット弁体に衝突することを確実に防止し、信頼性、耐久性の向上等を図る。
【解決手段】流入口１１０及び流出口１１１が設けられた弁本体１０２と、流出口を開閉するための主弁体２３と、該主弁体が摺動自在に嵌挿されるとともに、該主弁体によって主弁室２５と背圧室２６とに仕切られた嵌挿室２４とを備え、主弁体に背圧室の圧力を流出口へ逃がすためのパイロット通路２７が設けられるとともに、該パイロット通路を電動モータ１５０により昇降駆動されるパイロット弁体１２５で開閉するようにされ、パイロット弁体に、主弁室２５ないし流入口の圧力を背圧室に供給するための圧力供給通路の一部を構成する面取り切欠部６５が設けられるとともに、該パイロット弁体が主弁体に対して所定量以上リフトせしめられたときに前記圧力供給通路を絞るための絞り部３０ｔが設けられてなる。 （もっと読む）

【課題】弁体の無摺動動作によりパーティクルや粉塵の発生を抑えつつ開閉動作でき、大口径に設けた場合にも大型化を防ぎ、スループットを上げるために高速に開閉動作し、開閉動作後の弁体を確実にロックし、ウエハや基板等の大型化に対応し、エアシリンダの駆動源を用いたときに弁閉時にエアを排気しても弁閉止状態を確実に保持するゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁箱１に保持枠体２を介在させてピストンロッド１１を有する複動式エアシリンダ５を設け、ステム４にステムホルダ２１を設け、ステムホルダ２１の摺動部３１を揺動リンク３２のガイド部３３に沿って上下動自在に摺動させ、ピストンロッド１１とステムホルダ２１との間に傾動保持用スプリング１３を装着し、ローラカム１５と傾動用ローラ１４とを弁閉傾動動作開始位置で嵌合させ、これらの嵌合時に揺動リンク３２を揺動させてその揺動動作に伴って弁体３を弁座シール面７に揺動閉止させた。 （もっと読む）

【課題】ガス流路の入口路に調整弁と、遮断弁とを容易に組み付けることができると共に、調整弁の開き不良や遮断弁の閉鎖不良を防止することができるダイヤフラム式圧力調整器を提供する。
【解決手段】調整器本体１内に圧力調整室１１と、大気圧室５１とを区画形成するダイヤフラム６０が配設される。ダイヤフラム６０の中心部には、接続体７０が配設されると共に、接続体７０の下面には、離反用ばね７９の付勢力にして吸着する永久磁石７８を介して吊下体７５が上下方向へ接離可能に配設される。入口路１３には、調整弁３０と、遮断弁４０とがそれぞれ個別に配設される。調整弁４０は、吊下体７５の昇降動作に伴って作動される作動レバー８０に接続される。遮断弁４０は、戻しばね４６の付勢力によって開き位置に保持され、かつ調整弁４０が全開されたときの入口路１３に対するガスの流圧を受けて戻しばね４６の付勢力に抗して閉じる。 （もっと読む）

【課題】一つの流入口と二つの流出口とを有し、ステッピングモータ等の回転駆動源により二つの流出口を選択的に開閉することにより方向（流路）の切り換えを行うようにされるとともに、二つの流出口を共に全開にさせることのできる、流路切り換えの迅速化・省エネ化等を図ることのできる方向切換弁を提供する。
【解決手段】流入口１０と二つの流出口１１、１２との間に、パイロット式の弁形態をとる二つの制御弁２０Ａ、２０Ｂが配在され、この二つの制御弁２０Ａ、２０Ｂとステッピングモータとの間に、前記二つの制御弁２０Ａ、２０Ｂを相互に逆方向に開閉駆動する逆駆動機構としてのシーソー型揺動アーム５０が設けられ、該シーソー型揺動アーム５０を特定回動位置（水平位置）で停止させることにより、前記二つの制御弁２０Ａ、２０Ｂ（流出口１１、１２）を共に全開にできるようになる。 （もっと読む）

【課題】微細な加工精度の違いによって、個々の調圧弁の調圧性能にばらつきが生ずることを回避することが可能な調圧弁を提供する。
【解決手段】流体が流れる管路１１内に弁体１２を配してなる弁本体１と、流体圧を利用して前記弁体１２を開閉方向に駆動するための開側、閉側アクチュエータ２、３と、前記弁本体１と前記閉側アクチュエータ３との間に前記閉側アクチュエータ３が利用する流体圧を伝達し得るフィードバック経路４とを具備してなる調圧弁Ｖに圧力調整機構Ａを具備することとした。 （もっと読む）

【課題】液体用減圧弁の二次側圧力の変動幅を抑制する。
【解決手段】弁体２３を接離方向に駆動する駆動軸２６と、駆動軸を作動桿の動きに応じて駆動するレバー機構を備え、レバー機構は、Ｌ字状に形成されたレバー３１と、該レバーをレバー面内で遥動可能に曲り部を支持するレバーピン３２と、前記レバーの一端が前記作動桿に摺動自由に係合する第１の係合部（３２）とを有し、作動桿の軸方向運動を当該レバーの遥動運動に変換する第１のリンク機構と、レバーの他端が長手方向に摺動自由に駆動軸に係合する第２の係合部（３６，３７）を有し、当該レバーの遥動運動を駆動軸の軸方向運動に変換する第２のリンク機構とを有してなり、レバーピンと係合ピンとの間のアーム寸法Ａとレバーピンと作動桿の軸との間のアーム寸法Ｂとのレバー比Ｋ＝Ａ／Ｂが１未満である。 （もっと読む）

【課題】軸体と弁体との組み付けが容易なバルブ機構を提供する。
【解決手段】流体の通路３１が形成されるケーシング３０に回動可能に支持される軸体２０と、通路３１に配置され、軸体２０に固定されるかしめ部１１を有した弁体１０と、でバルブ機構１を構成する。 （もっと読む）

【課題】増締め操作領域を確保しつつバルブとの取付け部分をコンパクトに形成してバルブ取付け後の全体高さを低くでき、しかも、部品点数を少なくしてバルブ取付け時の作業工数を小さくできるバルブ駆動用アクチュエータを提供する。
【解決手段】往復動するピストンロッド７の直線運動を回転運動に変換する回転変換機構６を内蔵したハウジング１の少なくとも一方側にシリンダユニット２を設けたバルブ駆動用アクチュエータである。このバルブ駆動用アクチュエータは、ハウジング１の下部とシリンダユニット２の内方端面２ａで形成される空間領域Ｓにおいて、バルブ取付面１３と増締め操作領域Ｔを有するブラケット１２とがハウジング下面１ａに一体に垂下形成されている。 （もっと読む）

【課題】湯沸器において、止水弁４の止水不能になる前段階を的確に検出して、止水弁４が止水不能になる前の適切な時期で湯沸器を使用禁止できるようにする。
【解決手段】電動モータ７はモータ制御部２０１により通電されてレバー８３のカム８２を回転する。レバー８３は、カム８２の回転に伴い揺動し、係合部８３３を弁棒４９２に当接させつつ、弁棒４９２をパイロット弁４９の開弁方向へ連行し、パイロット弁４９を強制的に開弁させ、止水弁４を開弁状態にする。通電量検出部２０４は電動モータ７の通電量を検出する。開弁禁止部２０６は、電動モータ７の通電量が所定の閾値以上になると、次に止水弁４が閉弁位置になりしだい、以降は、モータ制御部２０１による電動モータ７の駆動を禁止して、止水弁４が開弁位置にならないようにする。 （もっと読む）

【課題】設定時の作動テストにより、システムの構成部品等の故障を的確に診断、予知できる遮断弁制御システムを提供すること。
【解決手段】エアーシリンダー（３）のシリンダー（３１）にエア供給源（１１）からのエアーの供給を行った場合に圧力センサー（６）で実測したシリンダー内圧の圧力特性に基づいてシステムの正常／異常を判定する判定手段（７）と、システムの初期の正常作動時のシリンダー内圧の圧力特性と故障予知境界の圧力特性を予め記憶する記憶手段（７）とを備え、判定手段（７）は、実測の圧力特性が前記正常作動時の圧力特性と故障予知境界の圧力特性の間の範囲内にある場合は正常と判定し、正常作動時の圧力特性及び故障予知境界の圧力特性の間の範囲外にある場合は、異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】全体の小型化と部品点数の削減とを図りつつバルブを作動させる推力を高めてシール性を向上させ、高圧流体用のバルブにも適用でき、可動時にかかる荷重を分散させて耐久性を向上させ、内部構造を単純化して部品点数を削減し、バルブへの組付けや調整も容易なバルブ用アクチュエータを提供する。
【解決手段】エアー駆動のアクチュエータでピストン２５の推力を拡大して弁３５を締め切る推力拡大機構３０を内蔵するバルブ用アクチュエータである。推力拡大機構３０は、弁駆動用出力軸部２６の上部のディスク面３８上に複数のボール２８が配置され、ボール２８は、シャフト４３下端の固定ディスク面５０と、円錐形状のテーパ面状部３１を有するテーパ面状部面４８との間に挟持される。ピストン２５の作動により、ボール２８がディスク面３８と固定ディスク面５０との間を移動して、ピストン２５の推力が出力軸部２６に拡大して出力される。 （もっと読む）

【課題】空気呼吸器の着用者に対して速やかに空気を供給することができる供給弁。
【解決手段】供給弁１０が中圧空気の流入口２７と、中圧空気の供給口２５と、ダイアフラム１１とを有する。供給弁１０はまた、円筒状のハウジング２１と、ハウジング２１の内周面を軸方向へ往復摺動運動可能な摺動子２２とを含む。ハウジング２１は、軸方向の一端部における外側にパイロット弁５５に向かって付勢されたパイロット弁座４０と、軸方向の反対端部における内側にメイン弁座３５とを有し、一端部と反対端部との間に流入口２７が形成される。面体２の着用者が非吸気状態にあるときには、供給弁１０におけるダイアフラム１１が作動して、パイロット弁座４０がパイロット弁５５から離間することによりパイロット弁５５が開放状態になるとともに、中圧空気が摺動子２２を摺動させてメイン弁６５をメイン弁座３５から離間させ、中圧空気の面体２への流入が可能になる。 （もっと読む）

【課題】工場での組付時や設置現場でのメンテナンス作業時にクリーニングピンが主弁から外れ紛失してしまうのを防止することのできる給水弁装置を提供する。
【解決手段】主弁６２と、背圧室８２と、導入小孔８４と、パイロット水路８６と、パイロット弁８８とを備えた給水弁５８及び導入小孔８４に挿通され、主弁６２の進退移動時に導入小孔８４内を摺動運動してクリーニング作用するクリーニングピン９７を有して成る給水弁装置１００において、クリーニングピン９７の、主弁６２を突き抜けた先端側の部分に、導入小孔８４内を摺動運動するストレート形状部１０２に対して曲り形状をなし、主弁６２に対してクリーニングピン９７の抜け方向に掛止する掛止部１０４を設けておく。 （もっと読む）

流体調整デバイスは、入口、出口、弁口を有する弁本体と、弁本体内でシフト可能な制御要素とを含む。制御アセンブリは、制御要素に連結されるアクチュエータを含み、ダイヤフラムチャンバに隣接して配置されるダイヤフラムを含む。検知管は、第１の端部、第２の端部、および中間部分を有し、第１の端部は、ダイヤフラムチャンバと連通するように位置付けられ、第２の端部は、出口に隣接して配置され、中間部分は、出口の中間部分に隣接して配置される。検知管は、肩部および広がり部分を含み、広がり部分は、第２の端部に隣接して配置される。 （もっと読む）

係止メカニズムを有するアクチュエータステム（２０４）およびロッドエンドベアリング（２１０）が記載される。制御バルブアクチュエータとともに使用する例示的な装置は、ベアリング保持部およびベアリング保持部から伸びるシャフト部分を持つロッドエンドベアリングを有する。この装置は、制御バルブアクチュエータのダイヤフラムプレート（１０８）に作動可能に連結される第１の端部と、ロッドエンドベアリングに連結される第２の端部とを有するアクチュエータステムも含む。アクチュエータステムまたはロッドエンドベアリングに連結された係止メカニズムは、アクチュエータステムがダイヤフラムプレートに連結、または分離されたとき、アクチュエータステムとロッドエンドベアリングの分離を防ぐ。 （もっと読む）

【解決手段】 弁装置１は、入力室６と主弁開閉室１０とを連通する第１分岐通路１５と、上記出力室８に外部気体を流入させる第２分岐通路１６と、上記出力室８と上記主弁開閉室１０とを連通する第３分岐通路１７とを備え、上記第１、第２分岐通路１６にはそれぞれ電磁石２１によって開閉する第１、第２補助弁２２、２３が設けられている。
上記電磁石２１を非作動状態から作動状態にすると、連動手段２５によって連動した補助力発生手段１４が補助力を発生させ、上記第１分岐通路１５より主弁開閉室１０に流入した負圧と上記補助力とが、上記入力室６の負圧を越えることで、主弁体１３が主弁座９より離座するようになっている。
【効果】 容易に弁装置の作動特性を調整することができる。 （もっと読む）

【課題】設備の稼働に支障を来さない状態で、弁体の作動確認が簡易な構造で速やかに行えるようにするとともに、コストの低減化を図る。
【解決手段】第１、第２シリンダ６、７内にピストンロッド１１により連結した第１、第２ピストン９、１０を設け、第２ピストンを、環状体からなるストッパピストン１２と、環状溝１３に軸線方向に摺動自在に内嵌したバルブ開度規制ピストン１４とで構成し、弁体２の全開状態で、環状溝の溝幅を規制する一方の内壁１３ａとバルブ開度規制ピストンとの間に間隙ａを形成し、弁体の作動確認時に、第１ピストンを、圧縮スプリング８のばね力でもって弁体の全開状態の位置から閉弁方向に駆動させたとき、バルブ開度規制ピストンを環状溝の一方の内壁に当接させて、バルブ開度規制ピストンの駆動範囲を間隙の軸線方向の幅によって規制し、弁体を、予め定めた所望の中間開度に維持させる。 （もっと読む）

【課題】ダンパー、弁類等を開閉するためのシリンダー駆動による回転駆動装置を提供する。
【解決手段】ケーシング内部に回転軸１を有し、ケーシング外部に該回転軸１の駆動機構を設けた軸回転により開閉させるダンパー等の駆動において、回転軸１を支える軸受部４と連結したシリンダー支持板１２を設け、かつ、シリンダーの駆動アーム５への作用点とシリンダー反力受け部を、シリンダー支持板１２と同一平面上に構成し、かつ、シリンダー支持点も該シリンダー支持板面と同一平面上になるようにしたことを特徴とするシリンダー駆動による回転駆動装置。 （もっと読む）

【課題】設備の稼働に支障を来さない状態で、弁体の作動確認が簡易な構造でもって速やかに行うことができるとともに、故障を少なくし、コストの低減化を図ることができるようにした緊急遮断弁装置を提供する。
【解決手段】第１シリンダ６内のピストン８に連結したピストンロッド９を、第２シリンダ７内に設けたストッパピストン１２と対峙しうるように、第２シリンダ７内に臨ませる。弁体の全開状態において、ピストンロッド９とストッパピストン１２との間に間隙ａが形成されるようにする。弁体の作動確認時に、ピストン８を、弁体２の全開状態の位置から閉弁方向に駆動させたとき、ピストンロッド９をストッパピストン１２に当接させて、弁体を、予め定めた所望の中間開度に維持しうるようにする。 （もっと読む）

【課題】圧力を正確に制御できる減圧レギュレータを提供する。
【解決手段】フランジが複数の耳形状の突出部のあるハウジングを備え、これらの突出部の各々は、第一の締結部材と第二の締結部材との間の円周方向の間隔が第二の締結部材と第三の締結部材部との間の円周方向の間隔よりも小さくなるように、締結手段を受け入れるように構成されている少なくとも一つの開口部を備える。上述の流体レギュレータは、弁座２０４と、弁体２０６と、この弁体に接続される弁棒２０８と、この弁棒を保持する弁ガイド２１０とを有する弁を備え、弁棒に接続された第一の端部２２２と、ダイアフラム２２６に接続された第二の端部２２４とを有するレバー２１６は、弁ガイドに対して弁棒を摩擦係合させるために、弁棒の長手方向の軸に非平行な方向に向かって力を弁棒に加え、弁棒は、弁座の方向に向かう弁棒および弁体の移動を制限するストッパ２２８を備える。 （もっと読む）