【課題】コストアップを抑えつつ、回転体が過熱判定温度を超えたことを検知することができる磁気浮上式真空ポンプの提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプでは、ロータ３０とロータシャフト３３とが一体化された回転体はモータ３６により回転駆動され、その回転体はラジアル磁気軸受３７およびスラスト磁気軸受３８を備える磁気軸受装置によって所定位置に磁気浮上している。そして、真空ポンプは、回転体を構成するロータシャフト３３に熱的に接触するように設けられ、回転体を構成するロータ３０の過熱判定温度に対応したキュリー温度Ｔcを有する磁性体４１と、磁性体４１を吸引して回転体に対して軸方向の力を作用する永久磁石４０と、スラスト磁気軸受３８の励磁電流を検出する電流センサと、電流センサで検出される励磁電流Ｉの変化から、回転体を構成するロータ３０の温度が過熱判定温度を超えたか否かを判定する判定回路と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】線形性を向上させ、かつ製造コストを減少させた回転機械の回転シャフトの軸方向位置の検出装置を提供する。
【解決手段】回転シャフト１０の端部１１に設置された強磁性材料のターゲット１２と、エアギャップ６０を残しつつ回転機械の構造に固定され、ターゲットと対向配置された固定磁気回路３２に接続された誘導コイル３１と、誘導コイルに給電するための給電回路とを含む装置であり、給電回路が、誘導コイルの第１端部と基準電圧（０Ｖ）に位置する領域との間に接続されたＡＣ電源と、誘導コイルの第１端部と第２端部との間に接続された少なくとも１つのコンデンサと、第２端部と基準電圧に位置する領域との間に挿入された検出器デバイスとを、第２端部と基準電圧に位置する領域との間を流れる電流の大きさについての情報をライン上に供給するために有し、情報は、所定の公称値ｅ０を有するエアギャップの幅の変更値ｘを表す装置である。 （もっと読む）

【課題】電磁石の浮上制御電流には主にセンシングキャリア周波数より低い周波数の成分が含まれているので、電磁石電流からセンシングキャリア成分のみを抽出して増幅したとしても、位置検出用信号のＳＮ比を上げることは困難であった。
【解決手段】電磁石ＭＧの駆動信号中に混入されているセンシングキャリア成分を検出することにより被支持体１２と電磁石ＭＧとの距離ｘを検出するに際し、電磁石駆動回路６の電源端子間に接続されているバイパスコンデンサＣに流れるセンシングキャリア成分を検出する。このことにより、位置検出信号のＳＮ比を上げることができる。これは、高い周波数を持つセンシングキャリア成分は主にバイパスコンデンサＣから供給されるという点に着目したものである。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることができるラジアル磁気軸受装置の提供。
【解決手段】ラジアル磁気軸受装置は、ロータに固定されたシャフト３を磁気的に非接触支持するラジアル電磁石と、変位センサと、ラジアル電磁石の電流を制御する磁気軸受駆動制御部と、を備えている。そして、ラジアル電磁石は、ロータのシャフト３を挟むように対向配置された一対のＮ極用凸部５２ｘｐ、５２ｘｍおよびシャフト３を挟むように対向配置された一対のＳ極用凸部５２ｙｐ、５２ｙｍが形成された環状のコア５０と、一対のＮ極用凸部５２ｘｐ、５２ｘｍおよび一対のＳ極用凸部５２ｙｐ、５２ｙｍの各々に巻き回された４つの電磁石コイル５３と、を有している。磁気軸受駆動制御部は、変位センサの検出値に基づいて、一対のＮ極用凸部５２ｘｐ、５２ｘｍから出た磁束線が一対のＳ極用凸部５２ｙｐ、５２ｙｍへと入るように４つの電磁石コイル５３に流れる電流を制御する。 （もっと読む）

【課題】腐食環境下でも良好な磁気軸受を提供する。
【解決手段】本発明は、封入磁石アセンブリを提供し、このアセンブリは、少なくとも１つの壁１６４を含み且つ少なくとも１つのアパーチャを画定するハウジング内に設けられた磁石１５８と、ハウジングカバーとを含む。ハウジングカバーは、磁性材料からなる第１部分１５４と非磁性材料からなる第２部分１５２を含み且つアパーチャを密閉するように構成されており、第１部分が第２部分に固定して取り付けられ、ここで取り付け部分が熱処理されている。ハウジングの壁１６４は、非磁性材料で形成され、ハウジングカバーの第２部分に固定して取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】質量の大きな物体の非接触支持が可能な磁気浮上制御装置を提供する。
【解決手段】浮上体３０に対向する磁極から浮上体を磁気浮上させる磁束を発生する支持力発生用永久磁石２１と、支持力発生用永久磁石２１の浮上体３０に対向する側で、前記磁極と同一の磁極が互いに向き合い、反対の磁極が向き合わないように配置された複数の磁力制御用永久磁石１３、１４と、磁力制御用永久磁石１３、１４の向き合う磁極の間隔を、浮上体に作用する磁力を強めるときには狭くし、弱めるときには拡げるように磁力制御用永久磁石を動かすアクチュエータ１５、１６とを備える。磁力制御用永久磁石の間隔を狭くすると、浮上体に達する支持力発生用永久磁石の磁束が集中し、浮上体に作用する磁力が強くなる。逆に、磁力制御用永久磁石の間隔を広くすると、磁束の集中が緩和され、浮上体に作用する磁力が弱くなる。 （もっと読む）

【課題】流体膜軸受と組み合わせた磁気軸受を用いて流体膜軸受の不安定性を制御する方法の提供。
【解決手段】流体膜軸受１８が主耐荷軸受として作用し、磁気軸受アッセンブリ１２がこの流体膜軸受の不安定性を制御する。この効果的な組み合わせによって、安定性の問題も信頼性の問題もなく高速で使用できる軸受が提供される。流体膜軸受の不安定性を制御する代替の方法は、軸方向におけるフローを妨害することである。例えば、スリーブ（ジャーナル）軸受は、軸受軸をシャフト軸に対して傾けて製造することができ、あるいは、可変ジオメトリの軸受は、軸受の角度ミスアラインメントを作るように製造することができる。 （もっと読む）

【課題】曲げ振動モードの固有周波数を安定化できる磁気軸受装置と、このスラスト磁気軸受を備えた回転機械を提供する。
【解決手段】シャフト５と一体に回転するスラストディスク２７と、磁力によりスラストディスク２７のスラスト力を支持するスラスト磁気軸受２５と、スラストディスク２７の傾きを検出する第１ラジアルセンサ２３ａおよび第２ラジアルセンサ２３ｂ（傾斜検出手段）と、第１ラジアルセンサ２３ａおよび第２ラジアルセンサ２３ｂに検出された傾きに起因する所定周期の振動によって、スラスト磁気軸受２５の磁力を制御するコントローラ２１（制御部）と、から構成され、スラスト磁気軸受２５は、周方向に複数に分割された第１電磁石２６ａおよび第２電磁石２６ｂ（磁力発生部）を有し、コントローラ２１は、第１電磁石２６ａおよび第２電磁石２６ｂを各々制御することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】駆動軸と円筒部材とのクリアランスを確保しつつ、磁気軸受の起動時に、駆動軸を磁気軸受の中心軸方向へ移動させる際に必要な最大電磁力を低減する。
【解決手段】水平方向に延びるように配置される駆動軸（13）を、通電時に非接触状態で回転自在に支持する磁気軸受（14）と、駆動軸（13）を囲む円筒状に形成され、磁気軸受（14）の非通電時に駆動軸（13）を内周下部で支持する円筒部材（19）と、磁気軸受（14）の通電開始時に円筒部材（19）の内周下部に支持される駆動軸（13）が、円筒部材（19）の内周面に沿って上方へ移動する旋回動作と、該旋回動作後の駆動軸（13）が磁気軸受（14）の中心軸方向へ移動する軸移動動作と、を行うように、磁気軸受（14）の電磁力を制御する制御部（20）と、を備える軸受機構を構成する。 （もっと読む）

【課題】複数のユニットを有するモータ制御装置において、大きな負担を必要とせずに、モータ軸の振れ回りを抑制する。
【解決手段】軸変位検出値α１，β１，α２，β２から、軸変位検出値の並進運動成分αｐ，βｐと回転運動成分αｒ，βｒとを求め、前記並進運動成分αｐ，βｐと回転運動成分αｒ，βｒのそれぞれについて、ローパスフィルタＬＰＦ１によって、軸の回転周波数に同期した直流成分の信号のみを抽出し、周期外乱オブザーバ５０ａ，５０ｂによって前記直流成分の信号に基づいて外乱を推定し、前記推定した外乱を抑制する軸変位指令値の並進運動成分αｐ^*，βｐ^*と回転運動成分αｒ^*，βｒ^*を演算する。そして、軸支持制御部２０において、軸変位指令値の並進運動成分αｐ^*，βｐ^*と回転運動成分αｒ^*，βｒ^*に基づいて、各モータの軸変位指令値を算出する。 （もっと読む）

【課題】制御遅延や電流応答遅延が発生しても遠心力低減効果が低下せず、適切な軸位置指令値を求めるのに大きな負担を必要としないモータ制御装置を提供する。
【解決手段】振れ回り抑制制御部３０において、ローパスフィルタＬＰＦによって軸変位検出値ｄｑから軸の回転周波数に同期した直流成分の信号のみを抽出し、周期外乱オブザーバ５０によって前記直流成分の信号に基づいて外乱を推定し、前記推定した外乱を抑制する軸変位指令値α^*，β^*を演算する。そして、前記振れ回り抑制制御部３０で演算された軸変位指令値α^*，β^*を軸支持制御部２０に入力する。 （もっと読む）

【課題】腐食環境下での良好な磁気軸受の封入磁石アセンブリを形成する方法を提供する。
【解決手段】非磁性材料で形成されたハウジングカバーの第２部分１５２を磁性材料で形成されたハウジングカバーの第１部分１５４に溶接して溶接ハウジングカバーを提供し、続いて、溶接ハウジングカバーを、溶接応力を緩和するのに有用な温度で熱処理する工程と、非磁性材料で形成された少なくとも１つの壁１６４を含みかつ少なくとも１つのアパーチャを画定するハウジング内に磁石１５８を設ける工程と、ハウジングカバーの第２部分がハウジングの壁に固定して取り付けられてアパーチャが密閉されるように、熱処理された溶接ハウジングカバーをハウジングに溶接する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】反発力と吸引力で、電磁石を用いて強磁性体の磁気浮上を可能とする。
【解決手段】２個以上の電磁石３を、サークル状に極を同じに揃えて配置し、位置センサー２と各電磁石の磁力を制御装置４でコントロールする事で、強磁性体１の磁気浮上を可能とした。 （もっと読む）

【課題】 ゼロパワー制御により電磁石への励磁電流を常にゼロに収束させる方式において、定常的な外力に起因する浮上体の位置変動を抑制することができ、且つ動的な外力が作用した場合でも良好な追従性を得る。
【解決手段】 浮上体１０と、浮上体１０に永久磁石及び電磁石による磁気回路を形成する磁石ユニット２３と、磁石ユニット２３を固定する可動枠２２と、可動枠２２を支持する固定枠２１と、固定枠２１に対して可動枠２２を支持すると共に固定枠２１と可動枠２２との距離を調整可能な可動枠支持機構２７と、浮上体１０と磁石ユニット２３との相対変位を測定する第１のセンサ２４と、固定枠２１と可動枠２２との相対変位を測定する第２のセンサ２５と、第１及び第２のセンサ２４，２５の各出力に応じて電磁石の電流を制御することにより浮上体１０を安定的に非接触支持する制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でありながら、ラジアル磁気軸受とスラスト磁気軸受の機能を併せ持たせることができる永久磁石磁気軸受を提供する。
【解決手段】 永久磁石磁気軸受は、インナー磁石１０とアウター磁石２０とを有し、インナー磁石１０の外周には、軸線から垂直なラジアル方向に略三角形に突出した突出部１２を形成すると共に、中心側と外周側が互いに異なる磁極に着磁される。また、アウター磁石２０は、突出部１２に対向する内周面を有し、突出部１２の頂部に対応する平面で二分割され、中心側と外周側が互いに異なる磁極に着磁される。そして、インナー磁石１０の突出部１２と、この突出部１２に対応するアウター磁石２０の内周面とは同極の磁極を有して、所定間隔で対向配置する。インナー磁石１０の略三角形の突出部１２と、アウター磁石２０の内周面とが同極のため、磁気的な反発力によってインナー磁石１０がアウター磁石２０の内周面に非接触で保持される。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得ると共に、部品点数を削減し得、組み立て工数を減少し得、しかも、ラジアル方向の磁気による吸着力が不均一となってラジアル方向の負荷容量が低下する虞をなくし得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関してロール体２を静圧気体によって支持すべくロール体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７及び８と、スラスト方向に関してロール体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】フライホイールエネルギー貯蔵装置の回転損失を低減させ、フライホイールエネルギー貯蔵装置のエネルギーの貯蔵時間や貯蔵量を増大させること。
【解決手段】本発明では、フライホイール（５）を接続した回転軸（３）を超伝導スラスト軸受（４）で回動自在に支持したフライホイールエネルギー貯蔵装置（１）において、回転軸（３）の中途部にフライホイール（５）を接続し、フライホイール（５）の前後で回転軸（３）を超伝導スラスト軸受（４、４）で回動自在に支持するとともに、フライホイール（５）を超伝導スラスト軸受（６）で回動自在に支持することにした。 （もっと読む）

【課題】磁性流体シールを使用する必要がない磁気浮上型を採用し、しかも装置としてのアキシャル方向の長さを極力短くすることができるようにする。
【解決手段】回転動力を出力する回転子１２を備え、回転子１２は、回転子１２のラジアル方向に配置されて該回転子１２のラジアル方向変位を非接触で制御する２組以上のラジアル磁気軸受４０と、回転子１２の周囲に３組以上に分割配置されて該回転子１２のアキシャル方向変位を非接触で制御するアキシャル磁気軸受５０によって、所定の位置に非接触で回転支承され、ラジアル磁気軸受４０のラジアル電磁石４４とアキシャル磁気軸受５０のアキシャル電磁石５４は、略同一平面上に配置されてケーシング部１４に固定されている。 （もっと読む）

【課題】磁気ベアリングは、取り付けの間に、多大な注意を要し、特に、磁気ベアリングの種々の構成部品を、構造体に対して非常に精度良く配置することが、しばしば必要である。
【解決手段】環状の本体２０は、クランプ手段に関連して設けられている少なくとも１つの径方向のスロットを有し、且つステータ構造体１０に面している面にセットバック部分２１を有する。前記ステータ構造体１０に面している前記環状の本体２０の面は、シース１３の表面部分１４と共動する摺動面２３を有しており、前記環状の本体２０の前記セットバック部分２１は、前記本体２０に面している前記シース１３の面に形成されている環状の溝１５に係合される調整リング３０のねじ部分３２と共動するねじ部分２２を形成している。前記調整リング２０は、前記環状の溝１５に軸方向に移動しないように防がれる。 （もっと読む）