【課題】本発明は、比較的簡素な構成で、微量の液漏れでも素早く検知が可能な石英ヒータ及びこれを用いた基板処理装置、石英ヒータの破損検出方法及びこれを用いた基板処理制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】発熱体２０を内蔵した石英管１１を液体４０内に載置して、該液体４０を加熱する石英ヒータ１０、１０ａ、１０ｂであって、
前記石英管１１に連結され、前記発熱体２０に電力を供給する電気配線２１を内蔵した冷却用チューブ１２を有し、
該冷却用チューブ１２内に、漏液センサ３０を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電極板における端子部に接続した接続端子と、押圧フレームとの電気的短絡を確実に防止することができる電気式ヒータを提供すること。
【解決手段】電気式ヒータ１は、発熱素子を埋設した保持具３と、電極板４と、フィン部材５とを複数積層してなる発熱体２を有している。発熱体２の積層方向Ｈにおける両端部に積層フレーム７をそれぞれ積層し、発熱体２の直交方向Ｗにおける両端部に配設した一対の押圧フレーム６によって、積層フレーム７を介して発熱体２の積層状態を押圧保持している。電極板４の端部には、流体通過方向Ｄに向けて、電気ケーブルにおける接続端子を接続するための端子部４２が形成してある。保持具３は、端子部４２と押圧フレーム６における支持本体部６１との間に、端子部４２に接続する接続端子が、支持本体部６１と接触することを防止するための絶縁用リブ３３を有している。 （もっと読む）

【課題】温度のばらつきが小さく、リード線同士の短絡の心配のない筒形発熱体を提供する。
【解決手段】筒形発熱体１１は、筒をなす絶縁基板２５の面３６上にヒータパターン２２が形成され、ヒータパターンに接続している一方のリード線１３及び他方のリード線１４が筒の一端２３から筒の軸線方向に延出されている。他方のリード線１４が、一方のリード線１３との間に軸線Ｃを挟んで、一方のリード線１３に対向して配置されている。帯状に展開した絶縁基板とした状態で、一方の分割端３２近傍に一方のリード線１３が配置され、一方の分割端３２と他方の分割端３３との間の中央部に他方のリード線１４が配置され、ヒータパターンは、一方の分割端から他方の分割端まで連ねて形成されているとともに、他方の分割端から他方のリード線までの間に形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な製法と品質管理で製造できる生産性と信頼性を高めた発熱体を提供する。
【解決手段】発熱体は、基材１２に形成した電極１３、１４と、この間に配置され熱可塑性樹脂に導電性付与材が混合された発熱可能の抵抗体１５と、電極１３、１４と抵抗体１５の全体を覆う有機材料の接着性材料１６と、その積層物のコート材１７を備えている。接着性材料１６は、主成分である低級のオレフィン系熱可塑性エラストマーと、低級カルボン酸もしくはそのエステルのエチレン系共重合体を含む混合組成物である。そして、低級カルボン酸もしくはそのエステルは、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、酢酸ビニルエステルのいずれか１種を少なくとも使用している。 （もっと読む）

【課題】電子写真方式による画像形成装置の定着装置のための発熱体として、耐熱性、熱伝導性および耐磨耗性に優れ、摩擦係数も低い保護層を設け、シームレスのシートを用いない簡略化された定着方式を構成できる新規な定着用ヒータを提供する。
【解決手段】基材と、該基材上に設けられ、アモルファス炭素と該アモルファス炭素中に均一に分散した導電性阻害物質としての金属または半金属化合物とを含む炭素系発熱体層と、該炭素系発熱体層を被覆する、耐熱樹脂体質材中に半金属化合物を混合した保護層とを設け発熱体を構成する。 （もっと読む）

【課題】絶縁耐圧を高めつつ、保護膜の表面を平滑とすることが可能なヒータを提供すること。
【解決手段】基板１と、基板１に形成された発熱抵抗体２と、発熱抵抗体２を覆う結晶化ガラス層３１Ａ、およびこの結晶化ガラス層３１Ａよりも基板１から離間した位置に形成された非晶質ガラス層３２Ｂを有する保護膜３と、を備えるヒータＡであって、保護膜３は、結晶化ガラス層３１Ａを覆う非晶質ガラス層３２Ａと、この非晶質ガラス層３２Ａと非晶質ガラス層３２Ｂとの間に介在する結晶化ガラス層３２Ｂと、をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】耐圧性を低下させることなく昇温効率が確実に向上される、加熱装置、定着装置、及び、画像形成装置を提供する。
【解決手段】幅方向に間隙をあけて配設された複数の発熱抵抗体４１と、複数の発熱抵抗体４１に電圧を印加するために複数の発熱抵抗体４１の厚さ方向両面にそれぞれ配設された１対の導電性部材４２、４３と、複数の発熱抵抗体４１から発せられた熱を被加熱体に伝熱する伝熱部材４３と、を備える。１対の導電性部材４２、４３は、互いの沿面距離Ｄ２及び空間距離Ｄ１が発熱抵抗体４１の厚さｔ以上になるように形成される。 （もっと読む）

【課題】従来の陶器製の端子カバーと同様の耐熱性と絶縁性を具備し、且つ従来の端子カバーには無い耐落下強度をも具備することにより、長期に亘り使用することができるヒータ用端子カバーを提供する。
【解決手段】芳香族系ポリイミド樹脂で構成されたヒータ用端子カバー。 （もっと読む）

【課題】 電気ヒータ内の微小な液体浸漬でも漏電検知を可能とし、漏電事故、感電事故、火災事故を防止する。
【解決手段】 電気ヒータ１は、絶縁体からなる絶縁体筐体３の内部に、絶縁体からなるヒータ線巻付け部５と、このヒータ線巻付け部５に巻かれたヒータ線７と、このヒータ線７に電源を供給する電力供給電線９と、この電力供給電線９を前記ヒータ線７に接続する接続部１１と、漏電を検出する接地線電極１３と、この接地線電極１３に接続する接地線１５とを気密的に設けると共に、前記接地線電極１３から接地線１５に流れる漏電を検知して電力供給電線９への電力供給を遮断する漏電遮断器を設けている。前記接地線電極１３を、前記ヒータ線７や接続部１１などの充電露出部より低い位置に配置すると共に前記ヒータ線７や接続部１１などの充電露出部から絶縁物で絶縁した構成である。 （もっと読む）

【課題】 ヒータ装置において、水分による絶縁低下に対する対策手法としてマグネシア粉末にシリコーン樹脂を混合する方法があるが、マグネシア自体の吸湿による絶縁低下は防止できても、マグネシア粉末間に侵入した水分はそのまま残り、残った水分の量が増えると絶縁低下を招くといった問題点を解決することを目的とする。
【解決手段】 シース内に無機絶縁粉体を充填して発熱線を収容し、シースの両端にスリーブを連結し、前記発熱線の端部をシースの両端に位置させ、発熱線の端部に非発熱線を接続して非発熱線の他端はスリーブ外に位置させたヒータ装置において、スリーブ内に吸湿絶縁粉体を収容したヒータ装置とした。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、リード線が接合された端子部も含む発熱体回路が多層ポリイミドフィルムで熱融着によって被覆されており、端子部がその周辺に空間を残さないように充填され且つ接着性が良好な極めて耐熱性が優れたフレキシブルヒーター及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】 少なくとも、１〜１０μｍ厚の熱融着性ポリイミド表面層を有する多層ポリイミドフィルム（Ａ）及び（Ｂ）、リード線が接合された端子部を有する発熱体回路（Ｃ）、及びガラス転移温度が２００〜３００℃の熱可塑性ポリイミド樹脂（Ｄ）からなり、端子部を含む発熱体回路（Ｃ）が多層ポリイミドフィルム（Ａ）及び（Ｂ）の間に挟まれて熱融着されており、更に発熱体回路（Ｂ）のリード線が接合された端子部の周辺の空隙が熱可塑性ポリイミド樹脂（Ｄ）によって充填され且つ熱融着されていることを特徴とするフレキシブルヒーターに関する。 （もっと読む）

【課題】導線保持部付近への液の浸透だけでなく、発熱体付近への液の浸透も確実に検知して、電源を遮断する。
【解決手段】本発明は、耐熱性絶縁体のボビンとその上に捲回される発熱線によって構成される発熱体と、該発熱体を収納する外管と、外管内部へ導かれる導線を保持する断熱材からなる導線保持部とを備える。外管は、非金属製の材質により構成される。ボビンは、中央貫通孔を有する全体的には筒状体形状を有して、この中央貫通孔内に金属線を配置して固定する。金属線全体が漏洩電流を検知するセンサーとして機能する構成にして、外管内部に液が浸入したときに金属線に流れる漏洩電流を検知して電源を遮断する。 （もっと読む）

【課題】既設路面を全壊することなく、既設路面を利用した融雪路面とすることで、工事期間が短く、設置費用が安価で、融雪効率も高い既設路面の融雪構造と、これに使用する線状発熱体を提供する。
【解決手段】既設路面に溝を掘削し、該溝内に、内部に抵抗線が挿入されるとともに耐熱絶縁体が充填されたシース材の外周を、ニッケルメッキ軟銅線を編組して被覆した線状発熱体を蛇行状に収容し、溝内と既設路面上に遠赤外線発生物質が混入されたモルタル又はコンクリートの融雪路床を形成する。 （もっと読む）

【課題】輻射ヒータの発熱量を確保できるととともに、配線作業が容易な加熱システムを提供する。
【解決手段】概略矩形状をなす支持板の一方の面に互いに間隔をあけて立設されている一対の接続端子の間に帯状ヒータエレメントが前記一方の面を覆うように配置された輻射ヒータ２０が複数配列され、これら輻射ヒータ２０に通電する供給電源と輻射ヒータ２０との間にはトランス２が配備され、トランス２によって前記一対の接続端子間の電圧Ｅが２５Ｖ≦Ｅ≦３５Ｖの範囲内に調整されており、前記帯状ヒータエレメントの幅Ｗが８．５ｍｍ≦Ｗ≦１１．７ｍｍ、厚さｔが０．０５ｍｍ≦ｔ≦０．０８ｍｍの範囲内に設定され、輻射ヒータ２０は、トランス２と３相４線方式で結線されていて、一方の接続端子にはニュートラルライン６が接続され、他方の接続端子にはトランス２の２次側のＵ相７、Ｖ相８、Ｗ相９のいずれかが接続されているていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】火花放電の発生を避け、機器の破損を防止する。
【解決手段】背面電子衝撃加熱装置は、加熱容器１の天板となっている加熱プレート２の背後に設けられたフィラメント９と、このフィラメント９を加熱する加熱電源１２と、このフィラメント９に加速電圧を印加する加速電源７と、前記加熱プレート２の温度を測定する温度測定手段とを有する。そして、前記加熱電源１２からフィラメント９に通電して加熱プレート２を加熱するに当たり、温度測定手段により測定される前記加熱プレート２の温度が或る設定された温度に達するまでフィラメント９から加速電源７を切り離してフィラメント９の加熱電源１２からの通電のみにより加熱プレート２を加熱し、前記温度測定手段により測定される前記加熱プレート２の温度が前記設定温度を超えたとき加速電源７によりフィラメント９に加速電圧を印加するよう切り替えるスイッチング回路を備える。 （もっと読む）

【課題】パネル状ヒータの用途を広げ、様々な環境で利用可能にする。
【解決手段】パネル状ヒータ１において、炭を含有して通電により発熱する炭シート１０を、繊維強化樹脂によって構成される保護ボード１２、１３によって挟みこむようにし、更にこの炭シート１０の端縁に沿って電極１４を配置するようにした。 （もっと読む）

【課題】透明基板の両面に良好な状態で電極を形成した電極基板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる電極基板１３は、透明基板３７と、透明基板３７の視認側の面に設けられた第１電極３１と、反視認側の面に設けられた第２電極３２とを有し、透明基板３７と第１電極３１との間には絶縁層３８が形成されている。また、第２電極３２は透明基板３７上に直接設けられており、透明基板３７の反視認側の面には絶縁層３８は形成されていない。 （もっと読む）

【課題】 高温下でも絶縁性に優れており、かつ、他の諸特性にも優れている絶縁シートを提供する。
【解決手段】 アルコキシド縮合脱水物からなるバインダーと、酸化チタン、アルミナ及びジルコニアの少なくとも一つを含む顔料と、溶媒とからなる塗料が、シート形状又は非シート形状の基材または発熱体の表面に設けられて膜を形成している絶縁構造体であって、アルコキシド縮合脱水物が、トリメチルメトキシシラン又はトリメチルエトキシシランと、テトラメトキシシラン又はテトラエトキシシランとを５対２以下の割合で含む。 （もっと読む）

【課題】耐電圧を向上させた加熱体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る加熱体Ａは、ＡｌＮ基板１と、ＡｌＮ基板１上に帯状に形成された発熱抵抗体３と、発熱抵抗体３を覆うように形成された保護膜４とを有する加熱体Ａであって、保護膜４は、発熱抵抗体３を覆う第１保護膜４１と、この第１保護膜４１を覆う第２保護膜４２とを有しており、第１保護膜４１は、結晶化温度がガラス軟化点よりも５０℃以上高い結晶化ガラスまたは半結晶化ガラスを上記ガラス軟化点よりも高温でかつその差が７０℃以内である焼成温度で焼成されており、第２保護膜４２は、非晶質ガラスで形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い強度および良好な耐熱衝撃性と、良好な絶縁性とを兼ね備えた絶縁セラミックと、前記絶縁セラミックを用いたセラミックヒータと、前記セラミックヒータを組み込んだ、酸素センサ等のヒータ一体型素子とを提供する。
【解決手段】絶縁セラミックは、平均粒径Ｄ_AL＝２．７〜５．９μｍのＡｌ₂Ｏ₃の結晶粒子５８．８〜９６質量％と、平均粒径Ｄ_ZR＝０．２５〜０．４８μｍのＺｒＯ₂の結晶粒子３．８〜４０質量％とを含有している。セラミックヒータ１は、前記絶縁セラミックからなる絶縁層２中に、金属発熱体３を埋設した。ヒータ一体型素子は、前記セラミックヒータを組み込んだ。 （もっと読む）