【課題】基材の表面にバルジを誘導するためのパターンを形成せずに組成物の液滴を付与して線状パターンを形成する場合に比べ、線状パターンに生じるバルジの方向が制御されるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】基材の表面に組成物の液滴を線状に付与して線状パターン１２Ａ，１２Ｂを形成する線状パターン形成工程と、線状パターンを形成すると共に又は線状パターンを形成する前に、液滴を付与して、前記線状のパターンの幅方向における片側の縁で接触するバルジ誘導用パターン１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを形成するバルジ誘導用パターン形成工程と、を含む。バルジ誘導用パターンを形成した後、線状パターンを形成することが望ましく、予めパターン形成領域外に組成物の液滴を付与してバルジ発生位置を確認するためのバルジ確認用パターンを形成する工程をさらに含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】塗布液例えばレジスト液の供給量が少ない場合でも、基板の表面に均一に塗布膜を形成することができる技術を提供する。
【解決手段】塗布方法は、基板（Ｗ）の中心にプリウエット液を供給するとともに基板を回転させてプリウエット液を第１の基板の表面全体に拡散させるプリウエット工程と、プリウエット液が供給された基板に塗布液（例えばレジスト液）を供給し、これを乾燥させることにより前記第１の基板の表面に塗布膜を形成する塗布膜形成工程とを備える。プリウエット液として、塗布膜成分（例えばレジスト成分）を溶解しうる溶剤と、この溶剤よりも表面張力が高い高表面張力液体とを混合することにより得た塗布液よりも表面張力が高い混合液体を用いる。溶剤と高表面張力液体とを別個に用意し、プリウエット液を供給する際に溶剤と高表面張力液体とを混合する。 （もっと読む）

【課題】外観品質に優れた自動車の開閉可能な窓ガラスが得られ、しかも繰り返し開閉してもガラス面に設けた被膜に傷が形成されることを抑制できる被膜付き自動車用窓ガラスの製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】窓ガラス１０を上辺１３を上にして保持し、ノズル２０を、凹面１０ａの側辺１１に沿って上方に非塗布領域Ａの下縁ａまで相対移動させ、非塗布領域Ａの下縁ａに沿って側辺１１から側辺１２まで相対移動させ、側辺１２に沿って非塗布領域Ａの下縁ａから下方に相対移動させて、凹面１０ａに塗布液を塗布する工程と、塗布した塗布液を乾燥して被膜を形成する乾燥工程と、を有する被膜付き自動車用窓ガラスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】機能液を補充する頻度を少なくする描画方法を提供する。
【解決手段】基材２上に複数種類の機能液を液滴にして吐出する液滴吐出装置を用いてパターンを描画する描画方法にかかわる。パターンを描画するときに各種類の機能液を消費する量の比率である消費量比率を演算する消費量比率演算工程と、各種類の機能液の量の比率を消費量比率と同じ比率にして機能液を液滴吐出装置９に設置する機能液設置工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】塗布剤塗布方法において、時間経過によって粘度が変化する塗布剤の塗布量のムラを抑制するとともに作業効率を向上することができるようにする。
【解決手段】塗布剤塗布方法であって、圧力を塗布剤の硬化開始時からの経過時間に応じて変化させる圧力制御データを決定する圧力決定工程（ステップＳ５、Ｓ９）と、圧力制御データに基づいて予め設定された試し塗布速度で塗布剤を試し塗布する試し塗布工程（ステップＳ６）と、試し塗布量を測定する試し塗布量測定工程（ステップＳ７）と、単位塗布長さ当たりの塗布量が予め設定された目標塗布量となる塗布速度の大きさを算出する塗布速度算出工程（ステップＳ８）と、算出された塗布速度によって被塗布体と吐出口とを相対移動させて、被塗布体に塗布剤を塗布する本塗布工程（ステップＳ１０）とを、備える方法とする。 （もっと読む）

【課題】サイクルタイムに影響を及ぼすことなく、ワークギャップを調整することができる液滴吐出装置のワークギャップ調整方法を提供することである。
【解決手段】ワークテーブル４１に給材されたワークＷに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド７を吐出駆動して描画を行う液滴吐出装置１のワークギャップ調整方法であって、ワークテーブル４１に給材したワークＷを、機能液滴吐出ヘッド７に対しアライメントするアライメント工程と、アライメント工程に並行し、ワークテーブル４１上のワークＷの厚みを測定する厚み測定工程と、厚み測定工程の測定結果に基づいて、ワークＷの表面と機能液滴吐出ヘッド７のノズル面３７とのワークギャップを所定の値に調整するギャップ調整工程と、を備えたこ方法である。 （もっと読む）

【課題】液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドに供給される液状体におけるゲル状異物を含む異物の数を抑制することができる液滴吐出装置、液状体供給方法、及び液状体供給装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、液状体を液滴として吐出し、液滴を描画対象物上に着弾させることによって描画対象物上に液状体を配置する液滴吐出装置であって、液滴を吐出する吐出ヘッドと、吐出ヘッドを保持するヘッド保持手段と、ヘッド保持手段と描画対象物とを相対移動させる相対移動手段と、吐出ヘッドに液状体を供給する液状体供給手段と、を備え、液状体供給手段は、吐出ヘッドに向けて液状体を流動させる供給路の途中に、ヘッド保持手段と一体に移動可能に配設された濾過フィルターを備える液状体濾過手段を備える。 （もっと読む）

【課題】
複数の塗布液の吐出口を有してストライプ状塗布膜を形成するノズルで、いかなる特性の塗布液や塗布条件であっても、きわめて微細な幅のストライプ状塗布膜を形成できるノズルや塗布装置および塗布方法を実現させるとともに、低コストで高品質のディスプレイ用部材を製造できるディスプレイ用部材の製造方法を提供する
【解決手段】
吐出口から吐出される塗布液を塗布液吐出方向に案内する一対の対向平面を備え、この一対の対向平面はノズル長手方向と略直交する方向に平行となるように形成されているノズル。 （もっと読む）

【課題】塗工域の始端縁及び終端縁について大きく湾曲させることなく直線状に近づけることができる間欠塗工方法及び間欠塗工装置。
【解決手段】塗工操作における塗工ロール６の外周面上の塗工液に対する基材Ｗの塗工面Ｗａの接触を始めさせる時の前後に設定した設定時間Ｔ１、及び非塗工操作おける塗工ロール６の外周面上の塗工液に対する基材Ｗの塗工面Ｗａの離反を始めさせる時の前後に設定した設定時間Ｔ２の各時間内おける基材Ｗの張力値が、これら設定時間以外における張力値よりも増大するように、塗工切替用ロール３の進退移動に追従して張力調整用ロール４の進退位置を制御すること。 （もっと読む）

【課題】塗装装置の変更を必要とせず、パネルの塗装ムラを抑制する。
【解決手段】塗装されるパネル１２の搬送方向の前方に塗装治具１０が設けられ、搬送ライン２８、２９をパネル１２と一体となり搬送される。塗装治具１０は側面視が三角形状とされ、塗装治具１０の高さは搬送面からパネル１２の塗装面までの高さ、長さは塗装治具１０の先端部と液状塗料１６の衝突により、上方からカーテン状に流下された液状塗料１６の乱れが消滅した時点で、パネル１２が液状塗料１６を通過する長さとされている。斜面１０Ｃは、塗装面１２Ｕから搬送方向前方に向けて下り勾配とされている。搬送ライン２８、２９の接合部に設けられた塗装装置４０を通過するときに、カーテンフローコーター１４から、カーテン状に直下に流下された液状塗料１６でパネル１２の上面１２Ｕ（塗装面）が塗装される。 （もっと読む）

【課題】ウエハ（基板）に対して疎水化処理が正常に行われたか否かを確実に判定することのできる液処理装置を提供する。
【解決手段】疎水化処理を行った集積回路形成用のウエハにレジスト吐出ノズル６７からレジスト（処理液）を供給して塗布膜を形成するレジスト塗布ユニット（液処理装置）は、ウエハを水平に保持する、回転自在な基板保持部と、この基板保持部に保持されたウエハを囲むカップ（囲み部材）と、ウエハの表面に純水（検査液）を供給する純水供給部６０と、ウエハに供給された純水を撮像するカメラ（撮像部）７と、撮像した純水の画像に基づいてウエハが正常に疎水化処理されたものか否かを判定する判定プログラム（判定部）９５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】前処理や後処理を生産性良く行う描画方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１を中継場所９ｃに移動する給材工程と、半導体基板１を中継場所９ｃから処理場所９ｄに移動し、半導体基板１に紫外線を照射して半導体基板１の表面状態を改質する前処理を行い、処理場所９ｄから中継場所９ｃに移動する前処理工程と、中継場所９ｃから半導体基板１を移動する除材工程と、を有し、給材工程と除材工程とのうち少なくとも一方の工程の少なくとも一部と前処理工程とを並行して行う。 （もっと読む）

【課題】ワークの製造上の精度誤差に対し、ワークに描画する描画データを正しく補正することのできる描画データ補正装置の描画データ補正方法等を提供する。
【解決手段】ワークＷに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド４４を相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、ワークＷ上に描画を行うための描画データＤ１を補正する描画データ補正装置８の描画データ補正方法であって、ワークＷの描画領域を複数の仮想分割領域に仮想分割する仮想分割工程Ｓ１１と、各仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を計測する位置測定工程Ｓ１３と、各仮想分割領域について、位置測定工程Ｓ１３において計測した測定点の位置座標と、設計上の位置座標と、から取得した位置ずれ量に基づいて、描画データＤ１を補正する補正工程Ｓ１４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】
本発明は塗布装置及び塗布方法に関し、ペーストパターン形成時に安定したペーストパターンを形成する装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の実施形態は、基板を準備するステップと、前記基板にペーストを塗布するステップと、を含み、ペースト塗布速度が加速又は減速される区間を持ち、前記加速又は減速される区間での塗布圧力変化がＮ個の段階で段階毎に行われる。前記ペーストを塗布するステップは、ペースト塗布の加速又は減速される区間での塗布圧力変化を段階化する段階化個数Ｎを算出するステップと、前記加速又は減速される区間でのペースト塗布加速度を算出するステップと、前記加速又は減速される区間での塗布圧力を前記Ｎ個の段階毎に変化させながら、前記算出された塗布加速度でペーストを塗布するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】複数の着弾領域への各着弾量を精度良く均一化することができる。
【解決手段】ワークＷ上に画成された複数の着弾領域の各着弾領域に対し、１以上の吐出ノズル２１により液滴を吐出着弾させると共に、各吐出ノズル２１に対し、複数種の適正駆動電圧のうちの任意の１の適正駆動電圧を設定して、複数の着弾領域に吐出着弾する複数の吐出ノズル２１を適正駆動電圧毎にグループ化する液滴吐出ヘッド１の駆動電圧設定方法であって、グループ毎の前記適正駆動電圧を設定する適正電圧設定工程と、着弾領域毎に吐出着弾した液滴の着弾量が、前記複数の着弾領域の相互間で均一になるように、複数の吐出ノズル２１を複数のグループに割り付けるノズル割付工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板に対し、機能液滴が各画素領域に正確に着弾しなくても、異色の機能液滴が混色することを防止することができる液滴吐出装置の描画方法を提供する。
【解決手段】ワークＷと機能液滴吐出ヘッド７１とを相対的に走査し、ワークＷに機能液を吐出して描画を行なう液滴吐出装置の描画方法であって、走査方向に沿った複数の領域を描画する第１の走査と、第１の走査で描画した複数の領域の間の領域を描画する第２の走査と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減すること。
【解決手段】スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に対して平行に対向させ、スリットノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させ、そのまま所定時間放置する。次に、プライミングローラ１４の回転を開始して、プライミングローラ１４の外周面上にレジスト液Ｒを巻き取る。次いで、プライミングローラ１４の回転速度を一気に上げて、スリットノズル７２側とプライミングローラ１４側とに分かれるようにレジスト液Ｒの液膜を切り離し、切り離した後もプライミングローラ１４の回転をそのまま継続させて、プライミングローラ１４上のレジスト液膜ＲＭ₁を所定の待機用回転角位置へ着かせる。 （もっと読む）

【課題】高速で連続的に又は両面に画像形成する場合において、スタッカーブロッキングの発生が防止された画像形成方法を提供する。
【解決手段】塗工層を有し、面積が１２５０ｃｍ^２以上の記録媒体上に処理液を付与する処理液付与工程と、少なくとも顔料と沸点の異なる二種の有機溶剤とを含み、前記有機溶剤の少なくとも一種は沸点が２００℃以下であるインク組成物を、２００ｍｍ／ｓ以上の搬送速度で搬送される前記処理液付与工程後の記録媒体に付与するインク付与工程と、付与された前記処理液及び前記インク組成物を加熱乾燥する乾燥工程と、加熱乾燥後の前記記録媒体の温度を３５℃以下に冷却する冷却工程と、冷却後の前記記録媒体を集積部に集積する集積工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】基板上に複数のパターンを形成する工程中でディスペンサを複数回にわたって上昇・下降させて前記基板とノズルとの間のギャップを調節する過程を繰り返さないで、全体の工程時間を短縮する、塗布装置の制御方法を提供する。
【解決手段】原料物質を貯留するシリンジと、基板上に前記原料物質を吐出するノズルと、シリンジとノズルとの間の連通を制御するバルブとを有し、基板上に複数のパターンを離隔させて形成するディスペンサを備える塗布装置の制御方法であって、ディスペンサを水平移動させて原料物質を基板上に吐出して複数のパターンを形成し、基板上に原料物質を吐出する時の基板とノズルとの間のギャップと、基板上に原料物質を吐出しない時の基板とノズルとの間のギャップとを同一にすることで、前記ディスペンサを水平移動させる塗布装置の制御方法。 （もっと読む）

【課題】画像の絵柄と画像の凹凸パターンとが対応し、且つ高画質な印刷物を容易に得る画像記録方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出法を用いて形成材料を溶解または分散させた液状体を塗布することにより、支持体上に画像と該画像に対応した凹凸形状とを記録する画像記録方法であって、画像の画像データの一部を用いて、支持体上に選択的に設けられる下地層の画像データである下地層データを生成する工程S3と、下地層データに基づいて、描画領域の輪郭が下地層データを構成する複数の画素間の境界と重ならないように縮小したビットマップデータを作成する工程S4と、ビットマップデータに基づいて、支持体上に選択的に液状体を塗布することにより下地層を形成する工程S5と、画像データに基づいて、下地層および支持体の上に液状体を塗布することにより下地層及び支持体の表面に接する画像層を形成する工程S6と、を有する。 （もっと読む）