【課題】塗布工程のタクト時間を短縮し、且つ、現状より長時間をフォトレジスト供給２に費やし、より微小な異物を捕捉するフォトレジストの塗布方法及びスリットコータを提供する。
【解決手段】奇数枚目の基板への塗布には、第１フォトレジスト供給系４０ＡのディスペンスポンプＤＰ−Ａからスリットノズル２３へのフォトレジストの供給と、フォトレジスト貯蔵容器４３から１次ポンプ１Ｐ−Ａへの供給、及び第２フォトレジスト供給系４０Ｂの１次ポンプ１Ｐ−ＢからディスペンスポンプＤＰ−Ｂへの供給を行い、偶数枚目の基板への塗布には、第２フォトレジスト供給系のディスペンスポンプからスリットノズルへのフォトレジストの供給と、フォトレジスト貯蔵容器から１次ポンプへの供給、及び第１フォトレジスト供給系の１次ポンプからディスペンスポンプへの供給を行うこと。 （もっと読む）

【課題】二本のレールに沿って基板を移動する基板移動部の水平面上での回転方向の傾きを検出し補正できるように構成された吐出装置及び吐出方法を提供する。
【解決手段】本発明の吐出装置１０は、第一、第二の主干渉装置６２ａ、６２ｂと、第一、第二の主鏡装置６１ａ、６１ｂを有し、基板移動部２０の水平面上での回転方向の傾きを測定可能に構成されている。基板移動部２０の移動中、その測定結果から二本のレール上の移動量をそれぞれ制御して、前記傾きを移動開始前と同じにする。吐出装置１０は、第一、第二の副干渉装置６２ｃ、６２ｄと、副鏡装置６１ｃを有し、基板移動部２０のｘ軸方向の位置を測定可能に構成されている。基板移動部２０の移動中、その測定結果からヘッド３２の移動を制御して、ヘッド３２と基板移動部２０とのｘ軸方向の相対位置関係を、移動開始前と同じにすることにより、吐出口３５から吐出する吐出液を基板５０上の各着弾位置に着弾させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板をヘッド保持部の下を通過させる間に一様にインクを吐出できる吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明の吐出装置は、ヘッド保持部３０とｙ軸方向に移動可能な基板移動部２０を有する。ヘッド保持部３０では、複数のヘッド３２がヘッド組を構成し、複数のヘッド組がヘッドグループを構成している。一のヘッド組中のヘッド３２は、複数の吐出口３５がｘ軸上に正投影された位置の間隔が等しくなるように配置され、一のヘッドグループ中では、ｘ軸上に正投影された吐出口の位置関係において、一のヘッド組中の隣接する２個の吐出口３５の間に、他のヘッド組の吐出口３５が位置し、複数のヘッド組中の吐出口が等間隔に配置されている。被吐出範囲の幅が一のヘッドグループ中に含まれる吐出口３５の列のｘ軸方向の幅以下である基板５０を、基板移動部２０上で位置合わせしたのち、ヘッド保持部３０の下に通過させながらインクを吐出することで、一様に吐出できる。 （もっと読む）

【課題】画質を過度に劣化させることなく、ドット記録のための色材使用量を削減することのできる技術を提供する。
【解決手段】連続した主走査パスのパス番号Ｍに相当するＭ行と各行のドット数Ｎを対応付けたＭ行Ｎ列の連続したドットが占めるドット記録領域ＤＴを処理単位とする。ドット記録領域ＤＴにおけるＭｘＮ個のドットのドット記録順序を、ドット記録領域ＤＴにおいてドット記録順序が副走査方向の一列に亘って連続しないように、ドット記録領域ＤＴでの主走査パスの最先のパス番号からパス番号順に設定する。その上で、ドット記録領域ＤＴにおけるＭｘＮ個のドットの１以上のドットについて、ドット記録順序に相当するパス番号の順に間引き処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】複数の液滴を同一の塗布領域内に位置をずらして塗布する際に、吐出性が低下すると、塗布領域の大きさや位置だけでは液滴の吐出性の低下による塗布異常を検出することが困難であり、吐出性の低下の種類に応じた適切な保全処理を行なうことが難しい。
【解決手段】
被塗布面の同一の塗布領域内の位置の異なる場所に時間差を設けて複数の液滴を吐出する塗布装置における液滴の塗布状態の判定装置であって、塗布後の塗布領域を計測する塗布領域計測手段と、所望の塗布領域と前記塗布領域計測手段により計測した塗布領域との差異を認識する塗布領域認識手段と、前記塗布領域計測手段及び塗布領域認識手段により、各々の液滴の吐出状態を判断する塗布状態判定手段とインクジェットヘッドのメンテナンスを行なう保全部を有し、塗布状態判定手段の判定結果を元に、インクジェットヘッドのメンテナンスの種類を選択して保全動作を行なう。 （もっと読む）

【課題】巻き上がるダストを低減するとともに、製造時間の短縮を可能とする。
【解決手段】基台１上には、夫々塗布機能が異なるガントリ２ａ〜２ｃとガラス基板１７が載置されたワークテーブル６とが、Ｘ（Ｔ）軸方向に移動可能に設けられており、ワークテーブル６がＡ位置にあるとき、ガントリ２ａでの塗布ヘッド８でガラス基板１７上に第１の塗布動作が行なわれ、ワークテーブル６がＢ位置にあるとき、ガントリ２ｂでの塗布ヘッド８でガラス基板１７上に第２の塗布動作が行なわれ、ワークテーブル６がＣ位置にあるとき、ガントリ２ｃでの塗布ヘッド８でガラス基板１７上に第３の塗布動作が行なわれる。塗布処理するガラス基板１７は、基板搬入側ａで搬入側搬送コンベア１８ａからワークテーブル６上に同じ高さを保ちながら搬送され、処理済みのガラス基板１７は、基板搬出側ｂでワークテーブル６から搬出側搬送コンベア１８ｂ上に同じ高さを保ちながら搬送される。 （もっと読む）

【課題】着弾位置のずれに一定の傾向があることに着目して為されたものであり、組立装置におけるアライメントカメラの取付け誤差やアライメントマスクの取付け誤差を許容しつつ、機能液滴吐出ヘッドをキャリッジプレートに精度良く組付けることができる、機能液滴吐出ヘッドのキャリッジプレートへの組付け方法および機能液滴吐出ヘッドの組付け・検査システムを提供する。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド３から検査シートＳ上に機能液滴を吐出着弾させ、複数の着弾ドットを位置認識する着弾位置認識工程と、異なる機能液滴吐出ヘッド３による複数回の着弾位置認識工程の位置認識結果に基づいて、キャリッジプレート４に対する機能液滴吐出ヘッド３の位置ずれ傾向を取得する位置ずれ傾向取得工程と、取得した位置ずれ傾向に基づいて、キャリッジプレート４に組み付ける機能液滴吐出ヘッド３の基準位置に対し位置補正を行うヘッド位置補正工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ノズルから塗料を吐出して塗布する塗布装置を含む製造ラインにおいて、塗布装置の前処理工程で遅延が生じた場合にも、その基板の投入間隔を制御して、ノズル先端で塗料が乾燥硬化して異物を発生することを防止する。
【解決手段】前処理に遅延が生じたか否かを検知してその遅延が許容範囲内か否かを判定すると共に、許容範囲外の場合、塗布装置への基板供給が止まるまでの時間が許容範囲内か否かを判定し、前記供給可能時間が許容範囲外の場合に、前記塗布装置に基板を投入する時間間隔を、正常運転時より遅らせるように制御する。時間間隔を遅らせることで、塗布装置の停止時間を平均化させ、異物の発生を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 塗布膜と塗布面との間に気泡が形成されることなく、しかも略均一な膜厚の塗布膜を形成することができるノズルを提供すること。
【解決手段】 複数の吐出口１４、・・・から塗布材を吐出しながら、複数の吐出口１４、・・・を塗布面に対して相対的に所定方向に移動させることによって、塗布面上に帯状の塗布膜を形成することができるノズル１１において、複数のそれぞれの吐出口１４、・・・は、第１吐出領域４０と第２吐出領域４１とを有し、第１吐出領域４０は、塗布膜における塗布面に接触する側の内側表面を形成する塗布材が通る領域であり、第２吐出領域４１は、塗布膜の外側表面を形成する塗布材が通る領域であり、各吐出口１４、・・・は、第１吐出領域４０から第２吐出領域４１に向かうに従って、塗布膜の横幅と同方向の横幅が狭くなる台形孔に形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部の塗布状態を良好にすることが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】基板を立てた状態で回転させつつ前記基板の表面及び裏面にそれぞれ液状体を吐出するノズルを有する塗布機構と、前記基板の外周部における前記液状体の塗布状態を調整する調整機構とを備え、前記調整機構は、前記基板を回転させながら前記基板の外周部を溶解液に漬け込んで溶解させるディップ部と、前記溶解液に漬け込んだ後の前記基板の外周部近傍を吸引する吸引部とを有する。 （もっと読む）

【課題】微少量の液体でも安定して塗布可能な液体塗布方法および装置を提供する。
【解決手段】液体供給用のニードル１先端とニードル外壁面３のクリーニングを実施後に、被塗布物４の塗布位置までニードル１を移動し、ニードル１先端と被塗布物４塗布面との塗布間隔５を認識画面にて確認、調整する。塗布実施前のニードル内部状態を安定化させるためにディスペンサコントローラの予備塗布の設定値にて液体の予備突出を行う。この予備突出液体６の突出量を認識カメラにて確認し、所定の量となるまで調整して達したことを確認する。突出量を調整した後に、ディスペンサコントローラの本塗布条件によって液体７の供給を行い、被塗布物４に塗布する。この方法により空圧式のディスペンサユニットにおいても微少量の液体塗布を安定して行うことができる。 （もっと読む）

少なくとも部分的に円筒形状を有する物体上に印刷するためのインクジェットプリンタが、移動ラインの上方に配置された１つ以上の印刷用ヘッドと、少なくとも部分的に円筒形状を有する物体を、その軸が移動ラインに揃うように保持し、該物体を上記印刷用ヘッドに対して相対的に配置し、該物体を上記１つ以上の印刷用ヘッドに対して相対的に回転させるように構成される移送台アッセンブリーとを備えている。このプリンタは、移動ラインにそって配置され、噴射された流体を硬化させるために適したエネルギーを放出するように構成される硬化装置をさらに備えている。
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【課題】カラーフィルタの各領域へのインクの吐出量のバラツキを抑制したカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ及びこれを備える表示装置を提供すること。
【解決手段】描画領域１４Ａ〜１４Ｅが、主走査方向及び副走査方向に沿ってマトリクス状に配列されると共に、吐出工程において液状体が吐出される吐出領域１５Ａ〜１５Ｆを有し、吐出領域１５Ａ〜１５ＦのＹ方向におけるピッチＰ２が、ノズルの副走査方向におけるピッチの整数倍であり、吐出工程では、液滴吐出ヘッドを副走査方向で相対移動させる前後で、同一のノズルから液状体を吐出させる。 （もっと読む）

【課題】エクストルージョン型ノズルを用いて枚葉状の基板の表面に塗布液を塗布する方法において、塗布始端部で塗布液をはみ出すことなく高精度な塗布範囲を実現する塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布液３に圧力をかけてスリット６から吐出し基板２上に塗膜を形成する方法であって、塗布始端部においてスリット６先端と基板２の間に充填する塗布液３をスリット幅６ａと実塗布幅の間の２点間で濡れ広がり度合を検知し、濡れ広がり速度から実塗布幅到達時間を算出し、塗布開始のタイミングとノズル１移動速度を制御することで、塗布始端部で塗布液をはみ出すことなく、且つ欠けることなく高精度な塗布範囲を実現する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の形成の際に塗布中の固形分濃度の変化による塗布ムラ抑制することを目的とする。
【解決手段】塗布液の濃度や粒度を濃度計１０３で計測し、その計測結果を用いて塗布厚みや粒子の分散状態をコントロールすることにより、塗布液の固形分濃度や粒度の経時的な変化に由来する塗布ムラを発生させないで安定的な塗布膜形成を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】装置の輸送時には、装置を小型化することができて、装置の輸送を円滑に行なうことができるようにする。
【解決手段】架台１の上面には、基板が載置される基板保持機構８が設けられ、その両側にＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂが設けられ、その磁石板７とガイドレール７ａ，７ｂに沿って移動する架台側支持部材５ａ，５ｂとしてのスライダ３０ａ，３０ｂが夫々設けられている。また、ガントリ２ｂの横梁３ｂの夫々の先端部には、横梁側支持部材４ａ，４ｂが設けられ、これらの先端部のＬ字型金具３１ａ，３１ｂが夫々スライダ３０ａ，３０ｂの上面に載置されて締結ボルトによって固定され、これにより、ガントリ２ｂが架台１に移動可能に取り付けられる。そして、かかる締結ボルトを取り外すことにより、ガントリ２ｂを架台１から分離することができる。他方のガントリ２ａについても、同様である。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドから吐出される機能液の吐出量を安定化させて、製品品質の低下を防止する。
【解決手段】機能液を吐出するノズルを有する液滴吐出ヘッド５を備える液滴吐出装置であって、上記機能液の吐出を停止した待機状態である場合と上記機能液を吐出可能な吐出状態である場合とにおいて上記液滴吐出ヘッド５に供給する温調ガスの温度を切替可能な温調ガス供給手段１２を備える。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドの耐久性を向上させた上で、ノズル内に形成された固化物を除去することができる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルＮが配列されたノズル面２１ａに当接可能なキャップ本体６７を、複数のノズルＮを覆った状態でノズル面２１ａに当接させるキャッピング工程と、ノズル面２１ａとキャップ本体６７との間に形成される内側空間Ｓ内に連通する吸引ポンプ５０によって、内側空間Ｓ内を負圧吸引するクリーニング工程とを有し、クリーニング工程では、内側空間Ｓ内を負圧吸引しつつ、液滴吐出ヘッド５内の機能液Ｌに対して間欠的に振動を印加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドに複数配置されたノズルどうしの吐出量のバラツキを正確に評価できる液体吐出ヘッドの評価方法を提供する。
【解決手段】まず、描画する画素のサイズに応じて、移動平均の算出に使用するデータ数ｎを決定する。次に、前記データ数ｎを用いて、各ノズルの吐出量を移動平均により算出し、各ノズルの吐出量に基づき、それぞれの液体吐出ヘッドにおける一方向に配列された複数のノズル間での吐出量の変動を求める。 （もっと読む）

【課題】矩形の基板がステージ上で傾いて載置されても、当該基板を位置決めし直すことのできる矩形基板の載置位置矯正方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗの左辺Ｌに二点で接触可能な一対の第一部材１１及び第二部材１２を前後方向基準線Ｘ０に平行な直線Ｘ１上に位置させ、基板Ｗの前辺Ｆに一点で接触可能な第三部材１３、及び、基板Ｗの後辺Ｂに一点で接触可能な第七部材１７を、基板Ｗの前後方向寸法ｂよりも広い間隔でかつ左右方向基準線を中心として位置させる。左側の前記二点及び右側の第五部材１５と第六部材１６とで基板Ｗを左右方向に挟むと共に、この左右方向に挟む動作の間に、基板Ｗを第四部材１４及び第八部材１８で、左右方向基準線Ｙ０を中心として前後方向に挟む。 （もっと読む）