【課題】基板表面に光硬化性材料を含む塗布液を塗布して光照射することで基板上にパターンを形成するパターン形成技術において、ノズル周辺での塗布液の固着を防止し、しかも、塗布された塗布液に確実に光を照射して硬化させることのできる技術を提供する。
【解決手段】基板Ｗの表面Ｗｆに沿って走査移動方向Ｄｓに移動するノズルＮから、光硬化性材料を含む塗布液を吐出させるとともに、ノズルＮに追随するように移動させた光出射部Ｅから光（例えばＵＶ光）を塗布液に照射する。塗布終了位置に到達するとノズルＮからの塗布液の吐出を停止するとともにノズルＮを基板表面Ｗｆから離間する方向に退避させる。一方、光照射部Ｅについては走査移動方向Ｄｓへの移動を継続することにより、塗布液の終端部にまで確実に光照射を行う。 （もっと読む）

【課題】ダイコータによる塗布の直前に吐出口を複数の清掃部材で拭取るのは、安定した塗布膜を得るために効果的な方法であるが、ノズルを交換する毎に、清掃部材を取り替えて、個々に吐出口にフィットするように調整するのは、時間がかかっていた。
【解決手段】塗布装置は、支持部材上に支持された清掃部材による清掃ユニットと、前記清掃ユニットを前記拭取り方向に複数個載置可能で、上面に垂直な回転軸を有するθステージと、前記θステージを支持する台座を含む拭取りユニットを有し、前記清掃ユニットの前記支持部材と前記θステージには、高さ調節部材を挟持するための高さ調節面が形成されている清掃手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２つのノズルを用いることによって基板の塗布処理にかかるタクトタイムを向上し、且つ、かかるコストを抑制する。
【解決手段】基板搬送方向に沿って前後に配された第１のノズル１６と第２のノズル１７とを保持するノズル保持手段１２と、前記ノズル保持手段を基板搬送方向に沿って移動させるノズル移動手段１１と、前記第１のノズル及び前記第２のノズルの駆動制御と前記ノズル移動手段の駆動制御とを行う制御手段４０とを備え、前記制御手段は、前記第１のノズルと前記第２のノズルが基板搬送路上の同一の塗布位置に配置されるよう前記ノズル移動手段を制御し、該ノズル移動手段により前記ノズル保持手段を移動させ、前記同一の塗布位置に配置された前記第１のノズルと第２のノズルのいずれか一のノズルにより前記基板に処理液を吐出させるよう制御する。 （もっと読む）

【課題】１つのシリンジで塗布する場合には、塗布面積が大きい場合には時間がかかる。また、複数のシリンジで塗布する場合には、それぞれのシリンジの違い（圧力さ、ペースト量、等）により、流動性材料を同一の塗布量にすることが難しく、塗布むらや断線が発生し易い。本発明の目的は、上記のような問題に鑑み、複数のシリンジで塗布作業を短時間とし、かつ、塗布形状が安定した半導体製造方法を提供する
【解決手段】Ｘ軸およびＹ軸方向に任意の距離を相対的に水平移動する基板に流動性材料で所定のパターンを描画塗布して形成するペースト塗布方法であって、複数のシリンジそれぞれが異なるサブパターンを描画塗布して１つのパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】ダイコータで、ガラス基板とダイ間のクリアランスを全幅に渡って略均一に非常に小さくすることで、ガラス基板に非常に薄い塗布膜を形成できる塗布装置および塗布方法、並びにディスプレイ用部材の製造方法を提供する
【解決手段】スリット状の吐出口を有する塗布器から、塗布液を被塗布部材上に吐出して塗布膜を形成する塗布方法で、被塗布部材表面が高さＨだけエアー浮上されて保持されている被塗布部材に、塗布器の吐出口面がＨ−６０μｍ〜Ｈ＋５０μｍの高さに位置するよう塗布器を近接させ、吐出口より塗布液を吐出しながら、塗布器および被塗布部材の少なくとも一方を相対的に移動させて、被塗布部材上に塗布膜の形成を行う塗布方法。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に形成されるムラの発生を抑えるとともに、タクトタイムを短縮できる塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】基板１０上に吐出装置３aから塗布液を吐出し、塗布後に塗布基板を乾燥装置５に浮上搬送機構６により搬送する塗布装置１であって、前記浮上搬送機構は振動浮上機構４２を有し、搬送工程において基板上に塗布された塗布膜を前記振動浮上搬送機構により基板に生じる振動により引き起こされるレベリング効果より塗布膜に生じる塗布ムラを解消する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルターを製造する方法として、液状体を複数のノズルから液滴として被吐出体に吐出することで液状体を着弾／塗布する方法が知られている。カラーフィルターを構成する１回の吐出で形成されたピクセルの特性は、２回の吐出を受けて形成されたピクセルと特性が異なる。１回目の吐出を受けた後、液滴は乾燥を始める。その状態で２回目の吐出を受けると、ピクセル内の均一性が悪くなり、むらが発生するという課題があった。
【解決手段】１軸方向に沿って並び、液状体を吐出する複数のノズルＮと、前記１軸方向に沿って配置された予備ノズルＮＫが備えられ、前記複数のノズルＮを副走査方向に移動させるときに、副走査前の前記複数のノズルＮにおける吐出パターンと、副走査後の前記複数のノズルＮにおける吐出パターンとが少なくとも１回の副走査において同一となるように、副走査前後で前記予備ノズルＮＫによる吐出を制御する。 （もっと読む）

【課題】吐出幅の変更が容易でありながら、塗布した塗布液による塗膜の幅方向寸法の変動を抑える。
【解決手段】幅方向に長いスリット１６からなる吐出口１１が形成され塗布液を吐出口１１から基板Ｗに対して吐出して塗布するスリットノズル１０と、このスリットノズル１０に対して基板Ｗを前後方向に移動させる駆動部４と、スリット１１内を幅方向に移動することにより吐出口１１の幅方向寸法を変更する吐出幅変更部材１７と、吐出口１１から吐出された塗布液の幅方向両外側の領域に対してエアを吹き付けるエアノズル２２を有し吐出口１１の幅方向寸法の変更に応じてエアノズル２２によるエアの吹き付け位置の調整が可能であるエア供給ユニット２１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】口金近くに設置された基板上の異物を検知する異物検知装置が気流等の外乱で検知精度が低下することを防止する。
【解決手段】シート状基板と相対的に移動することにより基板を走査し、基板表面に塗布液を吐出する塗布装置において、塗布液の吐出装置の走査方向上流側に配置され、基板上の異物を検知する検知装置を少なくとも有し、前記検知装置はレーザー光を基板表面と平行に照射する投光装置と、前記投光されたレーザー光を受光する受光装置と、少なくとも前記投光領域直下の空気流れを遮蔽する装置を設ける。 （もっと読む）

【課題】スプレッダに滞留する木片等の異物を適確に排除することができ、而も、単板に塗布した接着剤の接着性能を劣化させる虞のない清掃方法を提供する。
【解決手段】送りロール４の上方に、塗布ロール１とドクターロール２とを備え、前記両ロール１・２の間に貯留した接着剤１３の適量を、単板８の上面へ塗布するスプレッダに於て、ドクターロール２を正逆回転可能に備えると共に、ドクターロール２と同等幅の先端部９ａを有する清掃部材９を、単板８の通過を阻害しない位置であって、而も、先端部９ａが、ドクターロール２の周面の適宜部分に、随時当接及び離隔し得るように備え、所望時に限り、ドクターロール２を逆回転させて、貯留部に残留する接着剤１３と一緒に、異物１４を貯留部から排出し、且つ、清掃部材の先端部９ａを、ドクターロール２の周面に当接させて、貯留部から排出された接着剤１３と異物１４を掻き取るように排除する． （もっと読む）

【課題】媒体の接着面同士が貼り合わされる場合において、適切な接着力を確保しつつ接着剤の塗布量を抑える。
【解決手段】ドット群が島状に配置される奇数用の糊形成パターンと、奇数用の糊形成パターンの各ドット群と対称的な位置にドット群が島状に配置される偶数用の糊形成パターンＡとを設定し、設定した奇数用の糊形成パターンが奇数枚目の用紙の接着面に形成されるよう糊吐出ヘッドを制御し、設定した偶数用の糊形成パターンＡが偶数枚目の用紙の接着面に形成されるよう糊吐出ヘッドを制御する。これにより、両接着面の全面に均一に糊を塗布するものに比して糊の塗布量を抑えることができ、また、両接着面の塗布領域を重ねることができるから、適切な接着力を確保しつつ糊の塗布量を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】ノズルの乾燥を防止した吐出装置を提供する。
【解決手段】 ターゲット３１に液滴９を吐出する複数のノズル１１を備えた吐出ヘッド１０を含むヘッドユニット５０と、ターゲット３１を載せたテーブル３０を移動させるテーブル移動ユニット６０と、ヘッドユニット５０およびテーブル移動ユニット６０を制御する制御ユニット９０とを有する吐出装置１である。制御ユニット９０は、隙間調整ユニット１５により隙間５を広げた後、キャッピングユニット２５によりキャップ２０を隙間５に入れて複数のノズル１１をキャッピングするキャッピング制御機能９２と、吐出位置またはその近傍でキャッピングユニット２５によりキャップ２０を隙間５から出した後、隙間調整ユニット１５により隙間５を狭めてターゲット３１に液滴９を吐出する吐出制御機能９１とを含む。 （もっと読む）

【課題】複数の不良ノズルが存在する場合でも、容易に制御可能で、かつ、確実に描画可能なインクジェット記録装置およびその描画方法を提供する。
【解決手段】本発明の描画方法は、不良ノズルの検出情報を取得する不良情報取得工程と、副走査における記録媒体のホーム位置からの、相対的な逆移動の移動規制量情報を取得する規制量取得工程と、取得した不良ノズルを外して、描画ラインを短くした短描画ラインを設定する短ライン設定工程と、記録媒体を相対的に逆移動させる逆移動量が、移動規制量以内である否かを判定する判定工程と、移動規制量以内であると判定された場合に、描画ラインを構成する主走査吐出データを、短縮描画ラインに合せて副走査方向に位置ずらしするように各ノズルに割り当てるデータずらし工程と、移動規制量以内であると判定された場合に、副走査改行データを変更するデータ変更工程と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の膜厚制御、特に塗布膜の周縁部の膜厚均一化を容易に行うこと。
【解決手段】この面状塗布ユニット（ＡＣＴ）４０では、ステージ８０の上に基板Ｇを載置して、レジスト液供給機構８６およびノズル移動機構８８を動作させると、長尺ノズル８２の塗布走査により基板Ｇ上に基板の一端から他端に向ってレジスト液の面状塗布膜１００が形成されていく。その際、面状レジスト塗布膜１００が基板Ｇの外側へ向って広がる過程でライン状レジスト塗布膜７６と接触ないし一体化し、ライン状レジスト塗布膜７６によって面状レジスト塗布膜１００の外縁の位置が規定されると同時に膜厚も制御される。 （もっと読む）

【課題】機能液を正確な塗布量を先端部に高密度で、より位置精度良く塗布する方法を提供することを課題とする。
【解決手段】少なくとも基材と、この基材の片面上に配置された複数の突起と、前記複数の突起上に被膜された機能液層を備えた微細突起アレイの製造方法であって、
複数のノズルを備えたインクジェットヘッドを前記突起に対して相対的に走査し、前記基材の前記複数の突起が設けられた面に対し、機能液を吐出して供給し、機能液層を形成する工程、を含むことを特徴とする微細突起アレイの製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】例えば、配向膜をガラス基板に平坦性よく塗布することができ、かつ、額縁領域をできるだけ狭くすることができる印刷塗布方法を提供する。
【解決手段】チャンバ内を減圧下に維持した状態で、ステージ上に配置されているガラス基板ＧＳの外周部にだけインクＩＮＫを塗布する。続いて、チャンバ内の圧力を大気圧（常圧）に回復した後、チャンバ内を大気圧下に維持した状態で、ステージ上に配置されているガラス基板ＧＳの外周部よりも内側領域である内周部にインクＩＮＫを塗布する。 （もっと読む）

【課題】基板表面に塗布液を塗布しこれを光硬化させることにより所定のパターンを形成するパターン形成技術において、品質の良好なパターンを効率よく形成する。
【解決手段】吐出ノズル先端の吐出口５２１から基板Ｗに向けて塗布液を吐出するとともに、基板Ｗに塗布された直後の塗布液Ｐに対して第１の照射光源５５１，５５２から波長３６５ｎｍのＵＶ光Ｌ1を照射する。これにより塗布液の表面が硬化する。続いて、第２の照射光源５６１，５６２から、より長波長（例えば３８５ｎｍまたは３９５ｎｍ）のＵＶ光Ｌ2を、先のＵＶ光Ｌ1の照射を受けた塗布液に照射する。長波長の光Ｌ2はより塗布液の内部まで浸透するので、内部の硬化が促進される。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出される液滴の状態を変化させることができ、高精度に、受容物上に液状材料からなる膜を形成することのできる液滴吐出方法および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】導電性を有するノズルプレート２６に形成されたノズル２６１から帯電性を有する液状材料１０を液滴Ｄとして吐出する液滴吐出ヘッド２と、液滴吐出ヘッド２と液状材料１０の吐出方向に対向配置された電極３１との間に、基材Ｓを配置し、ノズルプレート２６と電極３１との間に電位差を生じさせた状態でノズル２６１から液状材料１０を液滴として吐出することにより、液滴を該液滴よりも小さな複数の微小液滴に分裂した霧状にして基材Ｓに供給する第１吐出方法と、ノズルプレート２６１と電極３１との間の電位差を第１吐出方法よりも小さな状態としノズル２６１から吐出した液状材料１０の液滴を基材Ｓに供給する第２吐出方法とを選択する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の膜厚のバラつきを抑えること。
【解決手段】第一浮上量で基板を浮上させる第一浮上部、及び、第一浮上量よりも小さい第二浮上量で基板を浮上させる第二浮上部、を有し、第一浮上部と第二浮上部との間で基板を連続的に搬送する基板搬送部と、第二浮上部において第二浮上量で浮上する基板に液状体を塗布する塗布部と、第一浮上部と第二浮上部との間を移動する基板の浮上量を調整する浮上量調整部とを備える。浮上量緩和領域ＲＣは、塗布浮上領域ＴＣの上流側に設けられた上流側緩和領域（上流側調整部）ＲＡと、塗布浮上領域ＴＣの下流側に設けられた下流側緩和領域ＲＢとを有している。浮上量緩和領域ＲＣは、第一浮上部である基板搬入領域と第二浮上部である塗布浮上領域ＴＣとの間、及び、第二浮上部である塗布浮上領域ＴＣと第一浮上部である基板搬出領域との間、でそれぞれ基板の浮上量が急激に変化するのを緩和する部分である。 （もっと読む）

【課題】ノズルのメンテナンス性を向上させること。
【解決手段】基板を保持する基板保持部と、前記基板との間で相対的に移動可能に設けられ、前記基板に対して先端部から液状体を吐出するノズルを有する塗布部と、前記ノズルの前記先端部の画像を取得する画像取得部とを備える。 （もっと読む）