【課題】基板上の膜形成領域外への配向膜の広がり量を抑制すること。
【解決手段】基板に設けられた膜形成領域に配向膜形成液を塗布するにあたり、膜形成領域が当該膜形成領域以外の表面に対して高い親液性とされた基板がステージに載置されたときには、設定された配置パターンで配向膜形成液の液滴が膜形成領域に対して塗布されるように塗布ヘッドのノズルから配向膜形成液の液滴を吐出させるべく、塗布ヘッドとステージとを相対移動させる移動装置と塗布ヘッドを制御する。 （もっと読む）

【課題】均一な浮上量で基板を浮上させること。
【解決手段】所定領域に液状体を吐出するノズルを有する塗布部と、前記所定領域を通過するように基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、少なくとも前記所定領域において前記基板のうち基板搬送方向に直交する方向の端部の浮上量を調整する調整部とを備える。 （もっと読む）

【課題】コイルの表面を覆った塗料をムラ無く均一に加熱することが可能なコイル製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の塗料固化方法によれば、電磁コイルＷに交流電流を通電するとインピーダンスによって電磁コイルＷが自己発熱するので、電磁コイルＷを覆った塗料をムラ無く均一に加熱することができる。これにより、電気特性の安定した電磁コイルＷを製造することができる。また、塗料を内側から加熱することで、塗料の水分や溶剤を未固化状態の塗料の外面から揮散させ、その後、塗料を外側から加熱するので、絶縁被膜の表面に気泡状の膨らみやクレーター状の凹みが残ることを防止することができる。また、電磁コイルＷの自己発熱だけで固化させる場合に比べて、塗料の完全固化までに要する時間を短縮することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】ノズルの液体分配室に混入したエアーを効率的に除去する。
【解決手段】ノズル３の内部には、液体分配室であるマニホールド３ｂと、マニホールド３ｂから吐出口３ａに通じる液体流路３ｃとが形成されている。ノズル３は、互いに対向して配置され、液体流路３ｃ及び吐出口３ａを形成する一対の駒部３１，３２を有している。また、ノズル３は、一対の駒部３１，３２を互いに接近又は離間させる方向に相対的に移動させ、吐出口３ａの開口幅を調整する移動機構を有している。ノズル３には、マニホールド３ｂに接続され、マニホールド３ｂに塗布液を供給する液体供給流路３ｄが形成されている。また、ノズル３には、マニホールド３ｂに接続され、移動機構により吐出口３ａを閉塞させた際に、液体供給流路３ｄを通じてマニホールド３ｂに供給された塗布液によりマニホールド３ｂから余剰分の塗布液と共にエアーを排出する排出流路３ｅが形成されている。 （もっと読む）

【課題】塗布針を用いて液体材料を塗布する際に、従来よりも長い距離の塗布を可能にする。
【解決手段】塗布機構２５において、液体材料１０を収納する液体容器１１の底部１３には貫通孔１４が形成されている。塗布針１の先端には平坦面３が形成され、塗布針１の先端部には、先端に向かって細くなるテーパ部２が形成されている。塗布針１には、さらに、先端から上方に向かって、テーパ部２の少なくとも一部および平坦面３の各々を分割するように１または複数のスリット溝５が形成されている。塗布対象物２６に液体材料１０を塗布するときに液体材料１０を平坦面３に導くために、塗布針１は、液体容器１１の貫通孔１４を貫通するとともに１または複数のスリット溝５の上端が液体容器１１の底部１３よりも上方に位置するように液体容器１１に対して配置される。 （もっと読む）

【課題】パネル装飾フレーム薄膜図案層の製造方法の提供。
【解決手段】パネル装飾フレーム薄膜図案層の製造方法は、平面型の高光透過率基板１００を提供し、毛細管塗布装置３００により、フォトレジスト液３１３を、毛細管３２０から噴出し、基板１００上に塗布し、毛細管塗布装置３００と基板１００との間は、順番に所定の移動軌跡に基づき相対運動を行い、これにより基板１００上には所定のフォトレジスト図案を形成し、フォトレジストを固化し、基板１００上にフォトレジスト図案薄膜層を形成し、毛細管塗布装置３００は、フォトレジスト液３１３を充填する塗布液ポンプ３１０を備え、中空管状の毛細管３２０を下方へと延伸して設置し、フォトレジスト液３１３を毛細管３２０中の液出口３２５から、基板１００表面へと連続して送り出し、フォトレジスト液３１３は、粘度値が２〜１０ｃｐｓである黒色ネガティブ型フォトレジストで、移動軌跡は螺旋状移動軌跡である。 （もっと読む）

【課題】基板上に液状体をムラ無く塗布すること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を先端部分から吐出するノズルを有する塗布部と、当該先端部分が基板上を通過するように基板と前記ノズルとを相対移動させる相対駆動部とを備え、ノズルのうち少なくとも先端部分には、液状体との間の親和性が液状体同士の親和性よりも弱くなるように形成された親和性調整部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板Ｗ表面に形成された複数のパターンＦを跨いでライン状に塗布される塗布液Ａ3を各パターンＦ間に十分に流動させて、この塗布液Ａ3で構成されるパターンＣの断線を抑制可能とする。
【解決手段】パターンＣを構成する塗布液Ａ3は、パターンＦを構成する塗布液Ａ1よりも粘性が低く、換言すれば高い流動性を有する。そのため、この塗布液Ａ3を各パターンＦの間Ｉfに十分に流動させて塗布することができる。その結果、塗布液Ａ3で構成されるパターンＣを各パターンＦの間Ｉfで基板Ｗ表面に密接させて、パターンＣの断線を抑制することが可能となっている。 （もっと読む）

【課題】ワークの姿勢を良好にアライメントできるアライメント装置、基板処理装置、およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】注目マーク９４ａが初期位置Ｐ０から第１計測位置Ｐ１へ第１距離Ｄ１だけ移動した後、位置演算部は、対応撮像部にて撮像された第１撮像画像に基づいて、第１撮像画像の座標系における注目マーク９４ａの第１計測位置Ｐ１を演算する。また、位置演算部は、注目マーク９４ａが第１計測位置Ｐ１から第２計測位置Ｐ２に移動した後、対応撮像部により撮像された第２撮像画像に基づいて、第２撮像画像の座標系における第２計測位置Ｐ２を演算する。続いて、演算された第１および第２計測位置Ｐ１、Ｐ２と、第１角度θ１と、に基づいて、回転軸３５ａから見た注目マーク９４ａのマーク位置を演算する。そして、求められた各アライメントマークのマーク位置を通る直線を求めることによって、主走査方向に対する基板の傾きを求める。 （もっと読む）

【課題】基板表面に対して相対移動するノズルからパターン形成材料を含む塗布液を塗布して、基板上に所定のパターンを形成するパターン形成技術において、パターン幅および端部位置の安定したパターンを形成する。
【解決手段】基板上に塗布液を塗布してライン状パターンを形成するのに際して、本来の始端位置Ｘ1よりも内側の位置Ｘ0から、しかもノズルと基板とのギャップ量をパターン高さよりも小さな値Ｇ0にして塗布液の吐出を開始する。その後、ノズルを基板から離間させながら基板外側に向けて移動させ、パターン始端位置Ｘ1で移動方向を反転させる。終端近傍においても、塗布液の吐出量を低下させながらノズルを基板に近接させてゆき、パターン終端位置Ｘ3においてノズルを離間させるとともに移動方向を反転させる。 （もっと読む）

【課題】塗膜終端部の液だれを抑制できる塗工用前処理物および方法を提供すること。
【解決手段】基材への間欠塗工において、基材に、基材の搬送方向下流側に純水に対する表面接触角が異なる値をとる表面処理域Ａ５、Ｂ６、Ｃ７を順に設け、それら以外の表面処理域（それらの両端側域を含め）を表面処理域Ｄ８として設け、かつ表面処理域Ａ〜Ｄの純水に対する接触角ａ、ｂ、ｃ、ｄをａ＜ｃ、ｂ＜ｃ、ｃ≒ｄとし、さらに純水に対する表面接触角が異なる表面処理域Ａ５、Ｂ６、Ｃ７のそれぞれの面積を、Ａ＞Ｃ＞Ｂとして設けることで、塗膜終端部の液だれを抑制、低減させることを特徴とする塗工用前処理物及び塗工方法。 （もっと読む）

【課題】 塗布ヘッドの各ノズルからの液滴の吐出量の差に起因する塗布膜のむらを簡易に解消すること。
【解決手段】 塗布装置１０において、塗布ヘッド２０の各ノズルから大きさの異なる複数種類の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させたときの各ノズルからの液滴の平均吐出量と前記基本吐出パターンで前記ノズルから吐出されるべき液滴の理論平均吐出量とを比較し、前記平均吐出量と前記理論平均吐出量とが異なっているノズルがある場合、そのノズルからの前記平均吐出量が前記理論平均吐出量になるように基本吐出パターンを変更するもの。 （もっと読む）

【課題】基板上に処理液を供給する複数のノズルのうちの処理に供される選択された１つのノズル先端部の処理液の状態を安定して画像処理する液処理装置及び液処理方法を提供すること。
【解決手段】基板に液処理を行う液処理装置において、基板を保持するスピンチャック４１と、スピンチャックに保持された基板に処理液を供給する複数のノズル１０と、複数のノズルを搬送するノズル搬送機構１０Ａと、ノズルの先端を撮像するカメラ１７と、カメラを複数のノズルの１つに対して移動させる移動機構と、ノズルの処理液供給部、ノズル搬送機構及びカメラの移動機構の処理動作を制御すると共に、複数のノズルの中から１つのノズルを選択する処理プログラムを備える制御部９と、を備える。これにより、ノズル先端部の液だれまたは滴下の発生状況に応じて所定の対処動作を実行する。 （もっと読む）

【課題】基板へのペーストの塗布工程に要する時間を短縮化して実装基板の生産性を向上させることができるようにしたペースト塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ペーストＰｓｔを吐出する４つの吐出ノズル４２を部品装着部位２ａの四隅に設定した４つの代表点（頂点Ｐ）の近傍位置（点Ｑ１）に配置した後、その４つの吐出ノズル４２を水平面内方向に移動させながら各吐出ノズル４２よりペーストＰｓｔを吐出させることにより、基板２上に部品装着部位２ａの四隅に設定した４つの代表点（頂点Ｐ）を通って延びる４つのペースト吐出体Ｗを形成する。 （もっと読む）

【課題】基板幅方向に長いスリット状の吐出口を有するノズルを備えた塗布装置において、ノズル内に侵入した異物や気泡等を効果的に排出させること。
【解決手段】塗布装置１の一部には、メンテナンスステージ２５が備えられている。このメンテナンスステージ２５には、ノズル１０のスリット状吐出口に当接して当該吐出口を封止することができる長尺状して柔軟性を有する素材により形成された封止部材２５ｃが配置されている。前記ノズル１０をメンテナンスステージ２５に移動させて、前記ノズル１０の吐出口を前記封止部材２５ｃに当接させた状態にすると共に、前記ノズルに備えられた薬液導入部および薬液導出部をそれぞれ利用して、ノズル内に薬液を流す動作が実行される。 （もっと読む）

【課題】 ドット部のマーキング対象物との密着力が向上する識別コードの提供及び、識別コードを構成するドット部とマーキング対象物との接触面積が大きく、密着力を向上させ、識別コードを構成するドット部の欠けや脱落、倒れを防ぎ、識別コードの判別性を向上させる手段を提供する。
【解決手段】 マーキング対象物の上に、複数のドット部の集合体で構成される識別コードにおいて、各々のドット部を、マーキング材料が複数のドットを積層して形成し、上層のドットの中心位置を、下層のドットの中心位置に対してずらして形成する。 （もっと読む）

【課題】 製品品質の低下を極力防止し、良好なペーストの塗布を行なうこと。
【解決手段】 ステージ４を跨いで設けられた門形フレーム５の梁状部材５ａにガイド装置８を介して塗布ヘッド６を水平移動自在に支持する。ガイド装置８は、梁状部材５ａに固定されたガイドレール８ａ１とこのガイドレール８ａ１に摺動自在に設けられ塗布ヘッド６側に固定された可動台８ａ２とを有する。また、梁状部材５ａには、ガイドレール８ａ１に沿って複数の真空吸引孔５ｂが所定の間隔で設けられ、各真空吸引孔５ｂは、電磁弁を有する配管を介して真空源に接続される。 （もっと読む）

【課題】塗布液（例えばレジスト液）の供給量を少なくして薄い塗布膜を形成する場合でも、基板面内の塗布膜厚さのばらつきを抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】塗布液を基板の中心部に供給するとともに基板を回転させ、基板の表面の全体を塗布液で覆う塗布液塗布工程と、塗布液塗布工程の後に、塗布液の供給を停止した状態で基板を回転させ、塗布液を乾燥させる乾燥工程と、を備えた塗布方法において、乾燥工程において、基板の裏面側から基板の半径方向の特定の範囲の温度を局所的に調節する。この調整は、例えば、温調ノズルによって基板の裏面の半径方向の特定の範囲に温調流体を吹き付けることによって、あるいは熱線を基板の裏面の半径方向の特定の範囲に照射することにより行うことができる。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式による基板への機能性液の打滴が最適化され、好ましい微細パターンを形成し得る液体塗布装置及び方法並びにナノインプリントシステムを提供する。
【解決手段】基板(102)上に機能性液を打滴する複数のノズル(120)、及び少なくとも一部が圧電素子(123)で構成された側壁（121）によって区画され、各ノズルのそれぞれに連通される液室を具備し、圧電素子をせん断変形させて液滴を打滴する液体吐出ヘッド(110)と、基板と液体吐出ヘッドとを相対的に移動させる搬送部(108)と、を具備し、液体吐出ヘッドに具備される複数のノズルについて、両隣のノズルが異なるグループに属するように複数のノズルを３つ以上のグループにグループ化するとともに、同一の打滴タイミングにおいて同一のグループに属するノズルのみから打滴を行い、液体を前記基板上に離散的に着弾させるように圧電素子の動作が制御される。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式による基板への機能性液の打滴が最適化され、好ましい微細パターンを形成し得る液体塗布装置及び液体塗布方法並びにナノインプリントシステムを提供する。
【解決手段】基板(102)上に光硬化性樹脂を含有する液体を打滴するための複数のノズル(120)が所定の方向に沿って一列に並べられた構造を有し、複数のノズルのそれぞれに連通される複数の液室(122)、及び複数の液室に対応して配設される液室内の液体を加圧するための圧電素子を具備する液体吐出ヘッド(110)を備え、基板と液体吐出ヘッドとを相対的に移動させて、液体を基板上に離散的に着弾させるように圧電素子を動作させるとともに、前記液体吐出ヘッドの構造に対応して前記複数のノズルがグループ化され、該グループごとに圧電素子の動作が制御される。 （もっと読む）