描画データ補正装置の描画データ補正方法、描画データ補正装置およびこれを備えた液滴吐出装置
【課題】ワークの製造上の精度誤差に対し、ワークに描画する描画データを正しく補正することのできる描画データ補正装置の描画データ補正方法等を提供する。
【解決手段】ワークＷに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド４４を相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、ワークＷ上に描画を行うための描画データＤ１を補正する描画データ補正装置８の描画データ補正方法であって、ワークＷの描画領域を複数の仮想分割領域に仮想分割する仮想分割工程Ｓ１１と、各仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を計測する位置測定工程Ｓ１３と、各仮想分割領域について、位置測定工程Ｓ１３において計測した測定点の位置座標と、設計上の位置座標と、から取得した位置ずれ量に基づいて、描画データＤ１を補正する補正工程Ｓ１４と、を備えた。
【解決手段】ワークＷに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド４４を相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、ワークＷ上に描画を行うための描画データＤ１を補正する描画データ補正装置８の描画データ補正方法であって、ワークＷの描画領域を複数の仮想分割領域に仮想分割する仮想分割工程Ｓ１１と、各仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を計測する位置測定工程Ｓ１３と、各仮想分割領域について、位置測定工程Ｓ１３において計測した測定点の位置座標と、設計上の位置座標と、から取得した位置ずれ量に基づいて、描画データＤ１を補正する補正工程Ｓ１４と、を備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行うための描画データを補正する描画データ補正装置の描画データ補正方法、描画データ補正装置およびこれを備えた液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出し、ワーク上に描画を行う液滴吐出装置において、マトリクス状に配置された分割領域および当該分割領域を区画すると共にリニアスケールが形成される非分割領域がマーキング（露光）されたワークと、当該リニアスケールおよびこれを検出するリニアセンサーを有するリニアエンコーダーと、を備え、リニアエンコーダーからのエンコーダー信号に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの移動位置情報を補正する描画データ補正方法が知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３３７７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した描画データ補正方法では、位置情報の基準となるリニアスケールが、ワークにマーキング（形成）されているため、高度な形成精度が要求されると共に、ワークに係るコストが上昇するという問題があった。特に、分割領域とリニアスケールとの形成位置にずれが生じている場合には、その位置ずれを補正することはできず、誤った描画データの補正を行うこととなる。上記の形成位置のずれとして、例えば、マトリクス状に画素領域を形成したパネルの大型マザー基板におけるフォトリソグラフィー技術による画素領域の形成の際に、マスク移動によるパネル単位の位置ずれ（設計値に対する位置ずれ）が考えられる。
【０００５】
本発明は、ワークの製造上の精度誤差に対し、ワークに描画する描画データを正しく補正することのできる描画データ補正装置の描画データ補正方法、描画データ補正装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の描画データ補正装置の描画データ補正方法は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行うための描画データを補正する描画データ補正装置の描画データ補正方法であって、ワークの描画領域を複数の仮想分割領域に仮想分割する仮想分割工程と、各仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を計測する位置測定工程と、各仮想分割領域について、位置測定工程において計測した測定点の位置座標と、設計上の位置座標と、から取得した位置ずれ量に基づいて、描画データを補正する補正工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この場合、機能液滴吐出ヘッドによる機能液滴の吐出は、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向および副走査方向に相対的に移動させながら、実施され、ワークは、矩形のパネル部が複数形成されたガラス基板で構成され、仮想分割工程では、パネル部単位で仮想分割され、位置測定工程では、測定点として各パネル部の少なくとも１つの角部の位置座標を計測することが好ましい。
【０００８】
これらの構成によれば、計測する測定点が、ワーク上の仮想分割領域が有する点であるため、各仮想分割領域の指標となるマークを別途ワークに形成することなく、各仮想分割領域の正確な位置座標を認識することができる。特に、パネル部の角部を認識することで、より正確な仮想分割領域の位置座標を認識することができる。これにより、設計上の位置座標からの位置ずれ量を正確に求めることができ、仮想分割領域単位で適切な描画データの補正を行うことができる。すなわち、仮想分割領域を適切に設定することにより、ワークに生ずる部分的な製造上の誤差に対し、描画データの補正を適切に行うことができる。
【０００９】
この場合、補正工程では、機能液滴吐出ヘッドからの機能液滴の吐出タイミングを補正することで主走査方向の位置ずれ量を補正し、機能液滴吐出ヘッドの副走査方向の位置を補正することで副走査方向の位置ずれ量を補正することが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、主走査方向および副走査方向それぞれの位置ずれ量に応じた補正を容易に行うことができる。これにより、適切な描画を行うための描画データの補正を正確に行うことができる。
【００１１】
また、この場合、機能液滴吐出ヘッドが、１の主走査において複数の仮想分割領域を跨いで描画を行なう場合、補正工程では、隣接する仮想分割領域の相互間の位置ずれ量を案分した量を補正することが好ましい。
【００１２】
ところで、１の機能液滴吐出ヘッドにおける複数の吐出ノズルは固定的に配置されているため、機能液滴吐出ヘッドが、１の主走査において複数の仮想分割領域を跨いで描画を行なう場合には、機能液滴吐出ヘッドの副走査方向への位置補正では対処できない。
上記の構成によれば、隣接する仮想分割領域の相互間の位置ずれ量が異なる場合でも、相互に位置ずれ量を最小限にすることができる。
【００１３】
他にも、各仮想分割領域内には、機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルから吐出された機能液滴が、各々着弾する複数の機能液着弾領域が形成され、補正工程では、１の吐出ノズルから吐出された機能液滴が、１の機能液着弾領域に着弾しないと判断されたときには、１の吐出ノズルからの機能液の吐出を停止し、１の吐出ノズルに代わって、他の吐出ノズルが１の機能液着弾領域に対し、機能液滴の吐出を行うことが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、吐出された機能液滴が非描画領域に着弾することがない。これにより、機能液滴が着弾すべき機能液着弾領域に対し、機能液滴が確実に着弾する。なお、他の吐出ノズルは、自らが吐出すべき量の機能液と、吐出を停止した吐出ノズルが吐出するはずだった量の機能液と、を合わせた量の機能液を吐出する。
【００１５】
この場合、仮想分割工程と位置測定工程との間に、任意の１の仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を計測するサンプル測定工程と、任意の１の仮想分割領域について、サンプル測定工程において計測した測定点の位置座標と、設計上の位置座標とを比較し、位置ずれの有無を判定するサンプル判定工程と、を更に備え、サンプル判定工程において、位置ずれ「有」と判定した場合に位置測定工程および補正工程を実施し、位置ずれ「無」と判定した場合に位置測定工程および補正工程の実施をキャンセルすることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、位置ずれ「無」との判定の場合には、複数の仮想分割領域について位置測定工程を行う必要がないと判断することで、ワークに対する描画処理を開始するまでの時間を短縮することができる。また、複数のワークに対する連続的な描画処理を行っている場合に、抜き打ち的にサンプル測定工程を行うことにより、一連の描画処理の途中で生じた位置ずれを修正することができる。これにより、描画不良を防止することができる。なお、言うまでもないが、ワークの種別により、位置ずれが生じ易い仮想分割領域を特定し、サンプル測定を行うことが好ましい。
【００１７】
本発明の描画データ補正装置は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行うための描画データを補正する描画データ補正装置であって、ワークをセットするテーブルと、ワークの描画領域を複数の仮想分割領域に仮想分割する仮想分割手段と、各仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を画像認識して計測する位置測定手段と、各仮想分割領域について、位置測定手段において計測した測定点の位置座標と、設計上の位置座標と、から取得した位置ずれ量に基づいて、描画データを補正する補正手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この場合、機能液滴吐出ヘッドによる機能液滴の吐出は、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向および副走査方向に相対的に移動させながら、実施され、ワークは、矩形のパネル部が複数形成されたガラス基板で構成され、仮想分割手段は、パネル部単位で仮想分割し、位置測定手段は、測定点として各パネル部の少なくとも１つの角部の位置座標を計測することが好ましい。
【００１９】
これらの構成によれば、テーブル上のワークの各仮想分割領域が有する測定点を計測するため、各仮想分割領域の正確な位置座標を認識することができる。特に、パネル部の角部を認識することで、より正確な仮想分割領域の位置座標を認識することができる。これにより、各仮想分割領域の指標となるマークを別途ワークに形成する必要がないため、ワークのコストアップを防止でき、また、設計上の位置座標からの位置ずれ量を基に適切な描画データの補正を行うことができる。すなわち、仮想分割領域を適切に設定することにより、ワークに生ずる部分的な製造上の誤差に対し、描画データの補正を適切に行うことができる。
【００２０】
本発明の液滴吐出装置は、描画データに基づいて、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行う液滴吐出装置であって、上記した描画データ補正装置を備えたことを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、実際に描画を行う間際のワークに応じて描画データを補正することができる。これにより、ワークの製造上の精度誤差に対し、ワークに描画する描画データを正しく補正することができる。また、温度変化によるワークの部分的な膨張または収縮にも対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】ワーク上に形成されたパネル部を模式的に示した平面図（ａ）、パネル部の一部拡大図（ｂ）およびワークおよびマスクの側面図（ｃ）である。
【図２】本実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に示した斜視図である。
【図３】本実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に示した平面図である。
【図４】本実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に示した側面図である。
【図５】キャリッジユニットを模式的に示した平面図である。
【図６】機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図７】制御装置のブロック図である。
【図８】本実施形態に係る描画データ補正方法のフローチャートである。
【図９】描画データ補正方法の位置測定工程の手順を説明する図である。
【図１０】描画データ補正方法の補正工程における位置ずれ量の案分を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る描画データ補正方法を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、有機ＥＬ装置の各画素となる発光層やカラーフィルターのフィルターエレメント等を形成するものである。
【００２４】
先ず、液滴吐出装置１の説明に先立ち、図１を参照して、ワークＷについて簡単に説明する。ワークＷは、例えば、大型液晶テレビ用のカラーフィルターパネルを複数枚取りする、いわゆるマザー基板であり、その表面には、カラーフィルターパネルとなるパネル部１００が、マトリクス状に複数作り込まれている（図１（ａ）参照）。各パネル部１００には、ブラックマトリクスとなる格子状のバンク部１０１により仕切られた多数の画素領域１０２がマトリクス状に形成されている（図１（ｂ）参照）。各画素領域１０２は、バンク部１０１に対し窪入形成されている。すなわち、ワークＷには、格子状の非描画部で区画するようにして、複数のパネル部１００が形成されており、各パネル部１００には、格子状のバンク部１０１で区画するようにして、複数の画素領域１０２が形成されている。一方、ワークＷの４隅には、非描画部に位置して、４つのアライメントマークＡＭが形成されている（図１（ａ）参照）。
【００２５】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１は、アライメントマークＡＭを基準に、ワークＷを位置決めセットし、全パネル部１００の複数の画素領域１０２に対し、Ｒ・Ｇ・Ｂの各色の機能液を所定の描画パターンに従って描画し、Ｒ・Ｇ・Ｂのフィルターエレメントを形成する。
【００２６】
マザー基板としてのワークＷは、フォトリソグラフィー法を主体とする半導体製造技術により製造されるものであり、半導体製造技術の分野では破格の大きさとなる。このため、本実施形態のワークＷでは、寸法精度を加味した大きさのマスクＭを用い、これを複数回移動（図１（ｃ）では、左右２回）して、ワークＷの全域に対し、フォトリソグラフィー法によるレジストの除去（画素領域１０２の形成）を実施している。
【００２７】
続いて、図２ないし図４を参照して、本実施形態に係る液滴吐出装置１について説明する。液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２１上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２と、複数本の支柱３３を介してＸ軸テーブル２を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース３１上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル３と、複数の機能液滴吐出ヘッド４４が搭載された１０個のキャリッジユニット４と、Ｘ軸テーブル２に給材されたワークＷの位置校正（アライメント）を行うアライメントユニット５と、ワークＷ上に描画を行うための描画データＤ１を補正する描画データ補正装置８と、を備えている。また、液滴吐出装置１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー（図示省略）と、チャンバーを貫通して各機能液滴吐出ヘッド４４に機能液を供給する機能液供給ユニット（図示省略）と、装置全体を統括制御する制御装置６と、を備えている。チャンバーの側壁の一部には、機能液供給ユニットの主要部を為す複数のメインタンクユニット（図示省略）が配設されている。
【００２８】
さらに、液滴吐出装置１には、フラッシングユニット７１、吸引ユニット７２、ワイピングユニット７３および吐出性能検査ユニット７４を有するメンテナンス装置７が設けられている。機能液滴吐出ヘッド４４は、メンテナンス装置７により、その機能維持・機能回復を図るようになっている。
【００２９】
この液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル２およびＹ軸テーブル３が交わる部分（描画エリアＡ１）において、Ｘ軸テーブル２とＹ軸テーブル３とを同期駆動して、機能液供給ユニットから供給された複数色の機能液を各機能液滴吐出ヘッド４４から吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。また、Ｙ軸テーブル３およびメンテナンス装置７（吸引ユニット７２、ワイピングユニット７３）が交わる部分にキャリッジユニット４を臨ませて、各機能液滴吐出ヘッド４４の機能維持・機能回復を行う。
【００３０】
Ｘ軸テーブル２は、ワークＷを吸着セットすると共に、θ軸方向に補正可能な機構を有するセットテーブル２２と、セットテーブル２２をＸ軸方向に移動自在に支持するＸ軸第１スライダー２３と、上記のフラッシングユニット７１および吐出性能検査ユニット７４をＸ軸方向に移動自在に支持するＸ軸第２スライダー２４と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダー２３およびＸ軸第２スライダー２４のＸ軸方向への移動をガイドする左右一対のガイドレール２５と、Ｘ軸第１スライダー２３およびＸ軸第２スライダー２４をＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。
【００３１】
Ｙ軸テーブル３は、各キャリッジユニット４を吊設した１０個のブリッジプレート３２と、各ブリッジプレート３２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダー（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース３１上に設置されたＹ軸ステーター（Ｙ軸リニアモーター（図示省略））と、を備えている。Ｙ軸テーブル３は、描画時に、各キャリッジユニット４（各機能液滴吐出ヘッド４４）を個別に副走査させる。また、メンテナンス装置７に臨ませる。
【００３２】
図４および図５に示すように、各キャリッジユニット４は、１２個の機能液滴吐出ヘッド４４を搭載したヘッドユニット４０と、ヘッドユニット４０をθ回転自在に支持するθ回転機構４１と、θ回転機構４１を介して、ヘッドユニット４０をＹ軸テーブル３に支持させる昇降機構付の吊設部材４２と、を備えている。各キャリッジユニット４を吊設した各ブリッジプレート３２上には、各メインタンクユニットに連なるサブタンクユニット（図示省略）が配設されている。サブタンクユニットは、自然水頭を利用して各機能液滴吐出ヘッド４４に機能液を供給するようになっている。
【００３３】
図５に示すように、ヘッドユニット４０は、略方形のキャリッジプレート４３に対し、機能液滴吐出ヘッド４４が、左右に６個ずつ二分して組み付けられている。左右１組（２個）の機能液滴吐出ヘッド４４は、同一種類の機能液を吐出し、上下に６組の機能液滴吐出ヘッド４４が相互に階段状に位置ずれして配設されている。なお、各組内の同色の２つの機能液滴吐出ヘッド４４は、そのノズル列ＮＬがＹ軸方向に連続して１の部分描画ラインを構成している。なお、キャリッジユニット４の個数およびキャリッジユニット４に搭載される機能液滴吐出ヘッド４４の数は任意である。
【００３４】
図６に示すように、機能液滴吐出ヘッド４４は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針４５ａを有する機能液導入部４５と、機能液導入部４５の側方に連なる２連のヘッド基板４６と、ヘッド基板４６の下方に連なる２連のポンプ部４７と、ポンプ部４７に連なるノズルプレート４８と、を備えている。各接続針４５ａには、上記したサブタンクユニットに連なる供給チューブ（図示省略）が接続されており、機能液滴吐出ヘッド４４には、この供給チューブを介して機能液が供給される。ノズルプレート４８のノズル面ＮＦには、２列のノズル列ＮＬが相互に平行に列設されており、各ノズル列ＮＬは、等ピッチで並べた複数の吐出ノズル４９で構成されている（図６（ｂ）参照）。ヘッド基板４６は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して上記した制御装置６が接続されており、制御装置６から出力された駆動波形が各ポンプ部４７（の圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル４９から機能液が吐出される。
【００３５】
図２ないし図４に示すように、アライメントユニット５は、図３において下側（給除材エリアＡ２）から、Ｘ軸テーブル２（のセットテーブル２２）上に給材されたワークＷのＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向の各々のずれを認識、修正するものであり、給除材エリアＡ２においてＸ軸テーブル２を跨ぐように設けられたブリッジフレーム５１と、ブリッジフレーム５１に支持された２台のアライメントカメラ５２と、を備えている。
【００３６】
ブリッジフレーム５１は、Ｘ軸支持ベース２１から立設した一対の橋脚部５３と、一対の橋脚部５３に水平に架け渡されたカメラ支持部５４と、を備えている。
【００３７】
２台のアライメントカメラ５２は、カメラ支持部５４のＹ軸方向両端において描画エリアＡ１方向（図３において上側）に向けた状態で、ワークＷを撮像可能に支持されている。つまり、２台のアライメントカメラ５２は、セットテーブル２２上のワークＷに形成されたブリッジフレーム５１側の２つのアライメントマークＡＭに対応するように配設されており、各アライメントマークＡＭを撮像することができるように位置調整（アライメント）されている。
【００３８】
ワークＷのアライメントを行うには、ワークＷがセットテーブル２２上に吸着固定された状態で、２台のアライメントカメラ５２を用いて２つのアライメントマークＡＭを画像認識する。そして、制御装置６は、その認識結果のずれ量に応じて、Ｘ軸テーブル２、Ｙ軸テーブル３およびセットテーブル２２を各々駆動してＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向の各々のずれを修正する。なお、セットテーブル２２には、給材されたワークＷをプリアライメントするための一対の位置規制突起（図示省略）が配設されている。
【００３９】
また、他のアライメントの方法（手段）として、上記した２台のアライメントカメラ５２と、後述するＹ軸支持ベース３１に支持された５台のサンプル撮像カメラ８３のうち、Ｙ軸方向両端のサンプル撮像カメラ８３（２台）と、を用いて、ワークＷに形成された４つのアライメントマークＡＭを同時に画像認識するようにしてもよい。そして、制御装置６は、４箇所の認識結果を用いてセットテーブル２２上のワークＷをアライメントする。
また、他のプリアライメントの方法（手段）として、視野角の広いプリアライメントカメラ（図示省略）を、ブリッジフレーム５１またはＹ軸支時ベース３１等に配設し、このカメラでの画像認識結果を用いてプリアライメントを実施してもよい。
【００４０】
図７に示すように、制御装置６は、各ユニット等を駆動制御する各種ドライバーを有する駆動部６１と、駆動部６１に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部６２と、を備えている。
【００４１】
制御部６２には、駆動部６１に接続するためのインターフェース６３と、制御処理の作業領域であるＲＡＭ６４と、制御プログラムやデータ等を記憶するＲＯＭ６５と、描画データＤ１等の処理プログラム等を記憶するＨＤＤ６６と、ＲＯＭ６５やＨＤＤ６６に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ６７と、これらを互いに接続するバス６８と、が備えられている。そして、制御部６２は、各手段からの各種データを、インターフェース６３を介して入力すると共に、ＨＤＤ６６に記憶されたプログラムに従ってＣＰＵ６７に演算処理させ、その処理結果を、駆動部６１を介して各ユニット等に出力する。これにより、液滴吐出装置１の各種処理が行われる。
【００４２】
また、ＨＤＤ６６には、ワークＷに描画する描画データＤ１と、後述するパネル部１００において４つの角部Ｃの設計上における位置座標である複数の基準位置座標Ｄ２と、後述する位置ずれ量に基づく補正値を対応付けた補正テーブルＤ３と、が記憶されている。ＨＤＤ６６に記憶された各種データは、ＲＡＭ６４上に展開されて、ＣＰＵ６７による各種演算処理に供される。なお、位置座標（基準位置座標Ｄ２）とは、Ｘ座標およびＹ座標の直交座標を指すものであり、各座標の値は、１つのアライメントマークＡＭからのＸ軸方向およびＹ軸方向の差をいうものとする。本実施形態では図２または図３において左上のアライメントマークＡＭを基準としている。
【００４３】
ところで、ワークＷは、近年の液晶テレビの大型化に伴い大型化が進んでいる。上述したように、このような大型化したワークＷでは、その全面をマスクＭで覆うことは困難であるため、マスクＭを移動させながら複数回に分けて露光を行うことで、ワークＷ全体にパネル部１００を形成している（図１（ｃ）では、左右２回）。このため、設計値に対し、マスクＭの移動によるパネル部１００単位（正確にはマスクＭ単位）の位置ずれ（設計値に対する位置ずれ）が生じる虞がある。この場合、所定の描画データＤ１に基づくワークＷへの描画は、描画不良となる。
【００４４】
そこで、本実施形態に係る液滴吐出装置１では、描画データ補正装置８を用いて、ワークＷの製造過程におけるパネル部１００（画素領域１０２）間の誤差に対し、ワークＷに描画する描画データＤ１の補正を行っている。
【００４５】
図２ないし図４に示すように、描画データ補正装置８は、ワークＷ上の各パネル部１００単位で仮想分割する仮想分割手段（図示省略）と、任意の１のパネル部１００の１つの角部Ｃの位置座標を計測するサンプル測定手段８１と、各パネル部１００の複数の角部Ｃ（測定点）の位置座標を画像認識して計測する位置測定手段８２と、各パネル部１００について、位置測定手段８２において計測した各角部Ｃの位置座標と、設計上の位置座標（基準位置座標Ｄ２）と、から取得した位置ずれ量に基づいて描画データＤ１を補正する補正手段（図示省略）と、を備えている。なお、各角部Ｃとは、各パネル部１００の４隅に形成された画素領域１０２を指す（図１（ａ）および（ｂ）参照）。
【００４６】
仮想分割手段は、制御装置６が備える機能の一部であり、ワークＷのサイズやパネル部１００のサイズによって異なる各基準位置座標Ｄ２を取得し、ワークＷのサイズ等に応じた適切なパネル部１００単位に分割する。なお、ＨＤＤ６６には、ワークＷのサイズやパネル部１００のサイズに応じた複数種類の各基準位置座標Ｄ２（設計値）が予め記憶されている。
【００４７】
サンプル測定手段８１は、図３において下側のＹ軸支持ベース３１に支持された５台のサンプル撮像カメラ８３を有している。５台のサンプル撮像カメラ８３は、Ｙ軸方向に等間隔に並んで配設されている。５台のサンプル撮像カメラ８３のうちいずれか１台は、描画エリアＡ１に臨んだワークＷ上に形成されたパネル部１００の１つの角部Ｃを撮像する。この撮像結果により、位置ずれの有無を抜き打ち的に判定する（詳細は後述する。）。なお、上述したように、ワークＷのサイズ等によって各パネル部１００（基準位置座標Ｄ２）の位置が異なるため、５台全てのサンプル撮像カメラ８３が、任意のパネル部１００に臨むわけではないため、５台のうちいずれか１台のサンプル撮像カメラ８３を用いたが、可能であれば複数台のサンプル撮像カメラ８３で複数のパネル部１００（基準位置座標Ｄ２）を撮像してもよい。また、サンプル撮像カメラ８３の台数は任意であり、任意の１つのパネル部１００の少なくとも１つの角部Ｃを撮像できればよい。また、１台（または複数台）のサンプル撮像カメラ８３をＹ軸方向に移動可能に設けてもよい。なお、説明は省略するが、サンプル測定手段８１は、描画結果を撮像し、描画処理が適切に行われているかを検査する際にも用いられる。
【００４８】
位置測定手段８２は、パネル部１００の角部Ｃを撮像する一対の測定カメラ８４と、一対の測定カメラ８４をＹ軸方向に移動させるカメラ移動手段８５と、を備えている。
【００４９】
一対の測定カメラ８４は、図３において上側のＹ軸支持ベース３１において、Ｙ軸方向に並んで配設されている。各測定カメラ８４は、Ｘ軸テーブル２の駆動により、Ｘ軸方向に移動してきたワークＷ上に形成されたパネル部１００のＸ軸方向に並んだ複数の角部Ｃを各々撮像する。本実施形態では、計測する角部Ｃ（測定点）が、ワークＷ上のパネル部１００が有する点であるため、各パネル部１００の指標となるマークを別途ワークＷに形成することなく、各パネル部１００の正確な位置座標を認識することができる。なお、測定カメラ８４の台数は任意である（少なくとも１台）。
【００５０】
カメラ移動手段８５は、一対の測定カメラ８４を支持搭載するカメラスライダー（図示省略）と、カメラスライダーを介して一対の測定カメラ８４をＹ軸方向に移動させるカメラステーター（カメラリニアモーター（図示省略））と、を備えている。カメラ移動手段８５は、Ｘ軸方向に一列に並んだ複数のパネル部１００の各角部Ｃを撮像した後に、一対の測定カメラ８４をＹ軸方向に移動させる。そして、一対の測定カメラ８４は、他の列に並んだ複数のパネル部１００を撮像する。これを繰り返すことにより、ワークＷ上に形成された全てのパネル部１００の、全ての角部Ｃを撮像することができる。これにより、少ない測定カメラ８４の台数で、効率良くパネル部１００（角部Ｃ）の撮像を行うことができる。
【００５１】
補正手段は、制御装置６が備える機能の一部であり、各パネル部１００について、位置測定手段８２が計測（撮像）した各角部Ｃの位置座標と、仮想分割手段が取得した各基準位置座標Ｄ２と、から取得した相互の位置ずれ量に基づいて、描画データＤ１を補正する。
【００５２】
続いて、図８および図９を参照して、描画データ補正装置８を用いた描画データ補正方法について説明する。図８に示すように、描画データ補正方法は、仮想分割手段によりワークＷのサイズ等に応じて適切なパネル部１００単位に分割すると共に、各パネル部１００の各角部Ｃの基準位置座標Ｄ２を取得する仮想分割工程Ｓ１１と、サンプル測定手段８１による撮像結果から位置ずれの有無を判定するサンプル測定工程Ｓ１２と、位置測定手段８２により各角部Ｃの位置座標を測定する位置測定工程Ｓ１３と、補正手段により描画データＤ１を補正する補正工程Ｓ１４と、を備えている。
【００５３】
サンプル測定工程Ｓ１２では、ワークＷのアライメントが終了したその位置において、サンプル測定手段８１による単一の角部Ｃの撮像結果を制御装置６に送る。制御装置６は、撮像された角部Ｃの位置座標と、仮想分割工程Ｓ１１において取得した当該角部Ｃに対応する基準位置座標Ｄ２と、を比較して位置ずれ（差）が生じているか否かを判定する。ここで、位置ずれが生じていた場合（位置ずれ「有」）には、次の位置測定工程Ｓ１３に移行する。他方、位置ずれが生じていないと判定された場合（位置ずれ「無」）には、以降の工程を実行せずに、ワークＷに対する描画処理が開始される。これにより、ワークＷに対する描画処理を開始するまでの時間を短縮することができる。また、複数のワークＷに対する連続的な描画処理を行っている場合に、抜き打ち的にサンプル測定工程Ｓ１２を行うことにより、一連の描画処理の途中で生じた位置ずれを修正することができる。これにより、描画不良を防止することができる。なお、ワークＷの種別により、位置ずれが生じ易いパネル部１００を特定し、サンプル測定工程Ｓ１２を行うことが好ましい。
【００５４】
位置測定工程Ｓ１３は、一対の測定カメラ８４およびワークＷを各々移動させながら、一対の測定カメラ８４により、ワークＷ上に形成された全てのパネル部１００における全ての角部Ｃを撮像する。以下、図９を参照して、その手順を詳細に説明する。図９において、各パネル部１００を「Ａ」〜「Ｈ」、各角部Ｃを「１」〜「３２」として説明する。
【００５５】
先ず、制御装置６は、カメラ移動手段８５を駆動して、仮想分割工程Ｓ１１において取得したパネル部１００に対応する位置に一対の測定カメラ８４を移動させる（この例では、左上の「Ａ」）。そして、一対の測定カメラ８４により「１」および「５」を各々撮像する。その後、Ｘ軸テーブル２を駆動し、ワークＷをＸ軸方向に移動（往動）させ、一対の測定カメラ８４により「２」および「６」を各々撮像する。同様に、ワークＷをＸ軸方向に移動（往動）させ、一対の測定カメラ８４により「３」および「７」、続いて「４」および「８」を各々撮像する。
ここで、制御装置６は、「２」のＸ座標と「３」のＸ座標との差を求めると共に、「２」のＹ座標と「２」に対応する基準位置座標Ｄ２のＹ座標との差、および「３」のＹ座標と「３」に対応する基準位置座標Ｄ２のＹ座標との差を求める。同様に、制御装置６は、「６」と「７」とのＸ座標の差を求めると共に、「６」および「７」の各Ｙ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＹ座標との差を求める。これにより、「Ａ」に対する「Ｂ」のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置ずれ量を取得できる。
【００５６】
次に、再び、カメラ移動手段８５を駆動して、「Ｄ」に対応する位置に一対の測定カメラ８４を移動させる。そして、一対の測定カメラ８４により「１２」および「１６」を各々撮像し、Ｘ軸テーブル２を駆動してワークＷをＸ軸方向に復動させ、一対の測定カメラ８４により「１１」および「１５」、「１０」および「１４」、「９」および「１３」を各々撮像する。
ここで、制御装置６は、「５」および「９」の各Ｘ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＸ座標との差、「６」および「１０」の各Ｘ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＸ座標との差、「７」および「１１」の各Ｘ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＸ座標との差、「８」および「１２」の各Ｘ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＸ座標との差、を各々求める。また、「５」と「９」とのＸ座標の差、「６」と「１０」とのＸ座標の差、「７」と「１１」とのＸ座標の差、「８」と「１２」とのＸ座標の差、を各々求める。さらに、「１０」および「１１」の各Ｙ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＹ座標との差、「１４」および「１５」の各Ｙ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＹ座標との差、を各々求める。これにより、「Ａ」に対する「Ｃ」のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置ずれ量を取得でき、「Ｃ」に対する「Ｄ」のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置ずれ量を取得できる。なお、一対の測定カメラ８４による撮像は、Ｘ軸テーブル２の往動時と復動時との両走査時に行っているが、往動時または復動時のどちらか一方のみで行ってもよい。
【００５７】
以降、この手順で「Ｅ」〜「Ｈ」まで撮像および各座標の差の算出を行うことで、「Ａ」を基準とする「Ｂ」〜「Ｈ」の設計値（各基準位置座標Ｄ２）からの位置ずれ量が求まる。なお、各パネル部１００間の位置ずれ量は平均した値を用いる。例えば、「Ａ」と「Ｂ」とのＹ座標の位置ずれ量は、「２」・「３」と「６」・「７」との差の平均値とする。
【００５８】
補正工程Ｓ１４では、位置測定工程Ｓ１３において取得した位置ずれ量に基づいて描画データＤ１を補正する。すなわち、制御装置６は、ＨＤＤ６６に記憶されている補正テーブルＤ３を参照して、位置ずれ量に対応する補正値をＲＡＭ６４上に展開する。そして、この補正値を用いて描画データＤ１（ビットマップデータ）を補正（膨張または伸縮）する。具体的な描画データＤ１の補正方法としては、各機能液滴吐出ヘッド４４からの機能液滴の吐出タイミングを補正することでＸ軸方向（主走査方向）の位置ずれ量を補正している。また、各キャリッジユニット４（機能液滴吐出ヘッド４４）のＹ軸方向（副走査方向）の位置を移動することでＹ軸方向の位置ずれ量を補正している。これにより、Ｘ軸方向（主走査方向）およびＹ軸方向（副走査方向）それぞれの位置ずれ量に応じて、適切な描画を行うための描画データＤ１の補正を正確に行うことができる。
【００５９】
ところで、１の機能液滴吐出ヘッド４４における複数の吐出ノズル４９は固定的に配置されているため、機能液滴吐出ヘッド４４が、１の主走査において複数のパネル部１００を跨いで描画を行なう場合には、機能液滴吐出ヘッド４４のＹ軸方向（副走査方向）への位置補正では対処できない。
そこで、本実施形態では、１つの機能液滴吐出ヘッド４４が、１の主走査において複数のパネル部１００を跨いで描画を行なう場合、補正工程Ｓ１４において、隣接するパネル部１００の相互間の位置ずれ量を案分した量を補正する。例えば、図１０に示すように、パネル部１００「Ｃ」と「Ｅ」とが位置ずれしている場合、当該位置ずれ量の平均値を用いて描画データＤ１の補正を行う。このような補正を行うことで、相互の位置ずれ量を最小限にすることができる。これにより、吐出した機能液滴は、ワークＷ上の各画素領域１０２に確実に着弾するため、各画素領域１０２において機能液滴の混色を防止することができる。
【００６０】
また、ある特定の吐出ノズル４９から吐出した機能液滴が、１の画素領域１０２からはみ出し、バンク部１０１に乗り上げてしまう虞がある場合には、その吐出ノズル４９から機能液の吐出を停止し、乗り上げの虞のない他の吐出ノズル４９により補完する。すなわち、他の吐出ノズル４９は、自らが吐出すべき量の機能液と、吐出を停止した吐出ノズル４９が吐出するはずだった量の機能液と、を合わせた量の機能液を吐出する。これにより、吐出された機能液滴が非描画部やバンク部１０１に着弾してしまうことがなく（機能液の乗り上げ防止）、機能液滴は、所定の画素領域１０２に対し、確実に着弾する。
【００６１】
以上の構成によれば、パネル部１００の角部Ｃを認識することで、より正確なパネル部１００の位置座標を認識することができる。これにより、設計上の位置座標からの位置ずれ量を正確に求めることができ、パネル部１００単位で適切な描画データＤ１の補正を行うことができる。また、温度変化によるワークＷの部分的な膨張または収縮にも対応することができる。
【符号の説明】
【００６２】
１：液滴吐出装置、８：描画データ補正装置、４４：機能液滴吐出ヘッド、８１：サンプル測定手段、８２：位置測定手段、１００：パネル部、Ｃ：角部、Ｄ１：描画データ、Ｗ：ワーク
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行うための描画データを補正する描画データ補正装置の描画データ補正方法、描画データ補正装置およびこれを備えた液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出し、ワーク上に描画を行う液滴吐出装置において、マトリクス状に配置された分割領域および当該分割領域を区画すると共にリニアスケールが形成される非分割領域がマーキング（露光）されたワークと、当該リニアスケールおよびこれを検出するリニアセンサーを有するリニアエンコーダーと、を備え、リニアエンコーダーからのエンコーダー信号に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの移動位置情報を補正する描画データ補正方法が知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３３７７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した描画データ補正方法では、位置情報の基準となるリニアスケールが、ワークにマーキング（形成）されているため、高度な形成精度が要求されると共に、ワークに係るコストが上昇するという問題があった。特に、分割領域とリニアスケールとの形成位置にずれが生じている場合には、その位置ずれを補正することはできず、誤った描画データの補正を行うこととなる。上記の形成位置のずれとして、例えば、マトリクス状に画素領域を形成したパネルの大型マザー基板におけるフォトリソグラフィー技術による画素領域の形成の際に、マスク移動によるパネル単位の位置ずれ（設計値に対する位置ずれ）が考えられる。
【０００５】
本発明は、ワークの製造上の精度誤差に対し、ワークに描画する描画データを正しく補正することのできる描画データ補正装置の描画データ補正方法、描画データ補正装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の描画データ補正装置の描画データ補正方法は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行うための描画データを補正する描画データ補正装置の描画データ補正方法であって、ワークの描画領域を複数の仮想分割領域に仮想分割する仮想分割工程と、各仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を計測する位置測定工程と、各仮想分割領域について、位置測定工程において計測した測定点の位置座標と、設計上の位置座標と、から取得した位置ずれ量に基づいて、描画データを補正する補正工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この場合、機能液滴吐出ヘッドによる機能液滴の吐出は、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向および副走査方向に相対的に移動させながら、実施され、ワークは、矩形のパネル部が複数形成されたガラス基板で構成され、仮想分割工程では、パネル部単位で仮想分割され、位置測定工程では、測定点として各パネル部の少なくとも１つの角部の位置座標を計測することが好ましい。
【０００８】
これらの構成によれば、計測する測定点が、ワーク上の仮想分割領域が有する点であるため、各仮想分割領域の指標となるマークを別途ワークに形成することなく、各仮想分割領域の正確な位置座標を認識することができる。特に、パネル部の角部を認識することで、より正確な仮想分割領域の位置座標を認識することができる。これにより、設計上の位置座標からの位置ずれ量を正確に求めることができ、仮想分割領域単位で適切な描画データの補正を行うことができる。すなわち、仮想分割領域を適切に設定することにより、ワークに生ずる部分的な製造上の誤差に対し、描画データの補正を適切に行うことができる。
【０００９】
この場合、補正工程では、機能液滴吐出ヘッドからの機能液滴の吐出タイミングを補正することで主走査方向の位置ずれ量を補正し、機能液滴吐出ヘッドの副走査方向の位置を補正することで副走査方向の位置ずれ量を補正することが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、主走査方向および副走査方向それぞれの位置ずれ量に応じた補正を容易に行うことができる。これにより、適切な描画を行うための描画データの補正を正確に行うことができる。
【００１１】
また、この場合、機能液滴吐出ヘッドが、１の主走査において複数の仮想分割領域を跨いで描画を行なう場合、補正工程では、隣接する仮想分割領域の相互間の位置ずれ量を案分した量を補正することが好ましい。
【００１２】
ところで、１の機能液滴吐出ヘッドにおける複数の吐出ノズルは固定的に配置されているため、機能液滴吐出ヘッドが、１の主走査において複数の仮想分割領域を跨いで描画を行なう場合には、機能液滴吐出ヘッドの副走査方向への位置補正では対処できない。
上記の構成によれば、隣接する仮想分割領域の相互間の位置ずれ量が異なる場合でも、相互に位置ずれ量を最小限にすることができる。
【００１３】
他にも、各仮想分割領域内には、機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルから吐出された機能液滴が、各々着弾する複数の機能液着弾領域が形成され、補正工程では、１の吐出ノズルから吐出された機能液滴が、１の機能液着弾領域に着弾しないと判断されたときには、１の吐出ノズルからの機能液の吐出を停止し、１の吐出ノズルに代わって、他の吐出ノズルが１の機能液着弾領域に対し、機能液滴の吐出を行うことが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、吐出された機能液滴が非描画領域に着弾することがない。これにより、機能液滴が着弾すべき機能液着弾領域に対し、機能液滴が確実に着弾する。なお、他の吐出ノズルは、自らが吐出すべき量の機能液と、吐出を停止した吐出ノズルが吐出するはずだった量の機能液と、を合わせた量の機能液を吐出する。
【００１５】
この場合、仮想分割工程と位置測定工程との間に、任意の１の仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を計測するサンプル測定工程と、任意の１の仮想分割領域について、サンプル測定工程において計測した測定点の位置座標と、設計上の位置座標とを比較し、位置ずれの有無を判定するサンプル判定工程と、を更に備え、サンプル判定工程において、位置ずれ「有」と判定した場合に位置測定工程および補正工程を実施し、位置ずれ「無」と判定した場合に位置測定工程および補正工程の実施をキャンセルすることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、位置ずれ「無」との判定の場合には、複数の仮想分割領域について位置測定工程を行う必要がないと判断することで、ワークに対する描画処理を開始するまでの時間を短縮することができる。また、複数のワークに対する連続的な描画処理を行っている場合に、抜き打ち的にサンプル測定工程を行うことにより、一連の描画処理の途中で生じた位置ずれを修正することができる。これにより、描画不良を防止することができる。なお、言うまでもないが、ワークの種別により、位置ずれが生じ易い仮想分割領域を特定し、サンプル測定を行うことが好ましい。
【００１７】
本発明の描画データ補正装置は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行うための描画データを補正する描画データ補正装置であって、ワークをセットするテーブルと、ワークの描画領域を複数の仮想分割領域に仮想分割する仮想分割手段と、各仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を画像認識して計測する位置測定手段と、各仮想分割領域について、位置測定手段において計測した測定点の位置座標と、設計上の位置座標と、から取得した位置ずれ量に基づいて、描画データを補正する補正手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この場合、機能液滴吐出ヘッドによる機能液滴の吐出は、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向および副走査方向に相対的に移動させながら、実施され、ワークは、矩形のパネル部が複数形成されたガラス基板で構成され、仮想分割手段は、パネル部単位で仮想分割し、位置測定手段は、測定点として各パネル部の少なくとも１つの角部の位置座標を計測することが好ましい。
【００１９】
これらの構成によれば、テーブル上のワークの各仮想分割領域が有する測定点を計測するため、各仮想分割領域の正確な位置座標を認識することができる。特に、パネル部の角部を認識することで、より正確な仮想分割領域の位置座標を認識することができる。これにより、各仮想分割領域の指標となるマークを別途ワークに形成する必要がないため、ワークのコストアップを防止でき、また、設計上の位置座標からの位置ずれ量を基に適切な描画データの補正を行うことができる。すなわち、仮想分割領域を適切に設定することにより、ワークに生ずる部分的な製造上の誤差に対し、描画データの補正を適切に行うことができる。
【００２０】
本発明の液滴吐出装置は、描画データに基づいて、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行う液滴吐出装置であって、上記した描画データ補正装置を備えたことを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、実際に描画を行う間際のワークに応じて描画データを補正することができる。これにより、ワークの製造上の精度誤差に対し、ワークに描画する描画データを正しく補正することができる。また、温度変化によるワークの部分的な膨張または収縮にも対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】ワーク上に形成されたパネル部を模式的に示した平面図（ａ）、パネル部の一部拡大図（ｂ）およびワークおよびマスクの側面図（ｃ）である。
【図２】本実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に示した斜視図である。
【図３】本実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に示した平面図である。
【図４】本実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に示した側面図である。
【図５】キャリッジユニットを模式的に示した平面図である。
【図６】機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図７】制御装置のブロック図である。
【図８】本実施形態に係る描画データ補正方法のフローチャートである。
【図９】描画データ補正方法の位置測定工程の手順を説明する図である。
【図１０】描画データ補正方法の補正工程における位置ずれ量の案分を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る描画データ補正方法を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、有機ＥＬ装置の各画素となる発光層やカラーフィルターのフィルターエレメント等を形成するものである。
【００２４】
先ず、液滴吐出装置１の説明に先立ち、図１を参照して、ワークＷについて簡単に説明する。ワークＷは、例えば、大型液晶テレビ用のカラーフィルターパネルを複数枚取りする、いわゆるマザー基板であり、その表面には、カラーフィルターパネルとなるパネル部１００が、マトリクス状に複数作り込まれている（図１（ａ）参照）。各パネル部１００には、ブラックマトリクスとなる格子状のバンク部１０１により仕切られた多数の画素領域１０２がマトリクス状に形成されている（図１（ｂ）参照）。各画素領域１０２は、バンク部１０１に対し窪入形成されている。すなわち、ワークＷには、格子状の非描画部で区画するようにして、複数のパネル部１００が形成されており、各パネル部１００には、格子状のバンク部１０１で区画するようにして、複数の画素領域１０２が形成されている。一方、ワークＷの４隅には、非描画部に位置して、４つのアライメントマークＡＭが形成されている（図１（ａ）参照）。
【００２５】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１は、アライメントマークＡＭを基準に、ワークＷを位置決めセットし、全パネル部１００の複数の画素領域１０２に対し、Ｒ・Ｇ・Ｂの各色の機能液を所定の描画パターンに従って描画し、Ｒ・Ｇ・Ｂのフィルターエレメントを形成する。
【００２６】
マザー基板としてのワークＷは、フォトリソグラフィー法を主体とする半導体製造技術により製造されるものであり、半導体製造技術の分野では破格の大きさとなる。このため、本実施形態のワークＷでは、寸法精度を加味した大きさのマスクＭを用い、これを複数回移動（図１（ｃ）では、左右２回）して、ワークＷの全域に対し、フォトリソグラフィー法によるレジストの除去（画素領域１０２の形成）を実施している。
【００２７】
続いて、図２ないし図４を参照して、本実施形態に係る液滴吐出装置１について説明する。液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２１上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２と、複数本の支柱３３を介してＸ軸テーブル２を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース３１上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル３と、複数の機能液滴吐出ヘッド４４が搭載された１０個のキャリッジユニット４と、Ｘ軸テーブル２に給材されたワークＷの位置校正（アライメント）を行うアライメントユニット５と、ワークＷ上に描画を行うための描画データＤ１を補正する描画データ補正装置８と、を備えている。また、液滴吐出装置１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー（図示省略）と、チャンバーを貫通して各機能液滴吐出ヘッド４４に機能液を供給する機能液供給ユニット（図示省略）と、装置全体を統括制御する制御装置６と、を備えている。チャンバーの側壁の一部には、機能液供給ユニットの主要部を為す複数のメインタンクユニット（図示省略）が配設されている。
【００２８】
さらに、液滴吐出装置１には、フラッシングユニット７１、吸引ユニット７２、ワイピングユニット７３および吐出性能検査ユニット７４を有するメンテナンス装置７が設けられている。機能液滴吐出ヘッド４４は、メンテナンス装置７により、その機能維持・機能回復を図るようになっている。
【００２９】
この液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル２およびＹ軸テーブル３が交わる部分（描画エリアＡ１）において、Ｘ軸テーブル２とＹ軸テーブル３とを同期駆動して、機能液供給ユニットから供給された複数色の機能液を各機能液滴吐出ヘッド４４から吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。また、Ｙ軸テーブル３およびメンテナンス装置７（吸引ユニット７２、ワイピングユニット７３）が交わる部分にキャリッジユニット４を臨ませて、各機能液滴吐出ヘッド４４の機能維持・機能回復を行う。
【００３０】
Ｘ軸テーブル２は、ワークＷを吸着セットすると共に、θ軸方向に補正可能な機構を有するセットテーブル２２と、セットテーブル２２をＸ軸方向に移動自在に支持するＸ軸第１スライダー２３と、上記のフラッシングユニット７１および吐出性能検査ユニット７４をＸ軸方向に移動自在に支持するＸ軸第２スライダー２４と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダー２３およびＸ軸第２スライダー２４のＸ軸方向への移動をガイドする左右一対のガイドレール２５と、Ｘ軸第１スライダー２３およびＸ軸第２スライダー２４をＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。
【００３１】
Ｙ軸テーブル３は、各キャリッジユニット４を吊設した１０個のブリッジプレート３２と、各ブリッジプレート３２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダー（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース３１上に設置されたＹ軸ステーター（Ｙ軸リニアモーター（図示省略））と、を備えている。Ｙ軸テーブル３は、描画時に、各キャリッジユニット４（各機能液滴吐出ヘッド４４）を個別に副走査させる。また、メンテナンス装置７に臨ませる。
【００３２】
図４および図５に示すように、各キャリッジユニット４は、１２個の機能液滴吐出ヘッド４４を搭載したヘッドユニット４０と、ヘッドユニット４０をθ回転自在に支持するθ回転機構４１と、θ回転機構４１を介して、ヘッドユニット４０をＹ軸テーブル３に支持させる昇降機構付の吊設部材４２と、を備えている。各キャリッジユニット４を吊設した各ブリッジプレート３２上には、各メインタンクユニットに連なるサブタンクユニット（図示省略）が配設されている。サブタンクユニットは、自然水頭を利用して各機能液滴吐出ヘッド４４に機能液を供給するようになっている。
【００３３】
図５に示すように、ヘッドユニット４０は、略方形のキャリッジプレート４３に対し、機能液滴吐出ヘッド４４が、左右に６個ずつ二分して組み付けられている。左右１組（２個）の機能液滴吐出ヘッド４４は、同一種類の機能液を吐出し、上下に６組の機能液滴吐出ヘッド４４が相互に階段状に位置ずれして配設されている。なお、各組内の同色の２つの機能液滴吐出ヘッド４４は、そのノズル列ＮＬがＹ軸方向に連続して１の部分描画ラインを構成している。なお、キャリッジユニット４の個数およびキャリッジユニット４に搭載される機能液滴吐出ヘッド４４の数は任意である。
【００３４】
図６に示すように、機能液滴吐出ヘッド４４は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針４５ａを有する機能液導入部４５と、機能液導入部４５の側方に連なる２連のヘッド基板４６と、ヘッド基板４６の下方に連なる２連のポンプ部４７と、ポンプ部４７に連なるノズルプレート４８と、を備えている。各接続針４５ａには、上記したサブタンクユニットに連なる供給チューブ（図示省略）が接続されており、機能液滴吐出ヘッド４４には、この供給チューブを介して機能液が供給される。ノズルプレート４８のノズル面ＮＦには、２列のノズル列ＮＬが相互に平行に列設されており、各ノズル列ＮＬは、等ピッチで並べた複数の吐出ノズル４９で構成されている（図６（ｂ）参照）。ヘッド基板４６は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して上記した制御装置６が接続されており、制御装置６から出力された駆動波形が各ポンプ部４７（の圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル４９から機能液が吐出される。
【００３５】
図２ないし図４に示すように、アライメントユニット５は、図３において下側（給除材エリアＡ２）から、Ｘ軸テーブル２（のセットテーブル２２）上に給材されたワークＷのＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向の各々のずれを認識、修正するものであり、給除材エリアＡ２においてＸ軸テーブル２を跨ぐように設けられたブリッジフレーム５１と、ブリッジフレーム５１に支持された２台のアライメントカメラ５２と、を備えている。
【００３６】
ブリッジフレーム５１は、Ｘ軸支持ベース２１から立設した一対の橋脚部５３と、一対の橋脚部５３に水平に架け渡されたカメラ支持部５４と、を備えている。
【００３７】
２台のアライメントカメラ５２は、カメラ支持部５４のＹ軸方向両端において描画エリアＡ１方向（図３において上側）に向けた状態で、ワークＷを撮像可能に支持されている。つまり、２台のアライメントカメラ５２は、セットテーブル２２上のワークＷに形成されたブリッジフレーム５１側の２つのアライメントマークＡＭに対応するように配設されており、各アライメントマークＡＭを撮像することができるように位置調整（アライメント）されている。
【００３８】
ワークＷのアライメントを行うには、ワークＷがセットテーブル２２上に吸着固定された状態で、２台のアライメントカメラ５２を用いて２つのアライメントマークＡＭを画像認識する。そして、制御装置６は、その認識結果のずれ量に応じて、Ｘ軸テーブル２、Ｙ軸テーブル３およびセットテーブル２２を各々駆動してＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向の各々のずれを修正する。なお、セットテーブル２２には、給材されたワークＷをプリアライメントするための一対の位置規制突起（図示省略）が配設されている。
【００３９】
また、他のアライメントの方法（手段）として、上記した２台のアライメントカメラ５２と、後述するＹ軸支持ベース３１に支持された５台のサンプル撮像カメラ８３のうち、Ｙ軸方向両端のサンプル撮像カメラ８３（２台）と、を用いて、ワークＷに形成された４つのアライメントマークＡＭを同時に画像認識するようにしてもよい。そして、制御装置６は、４箇所の認識結果を用いてセットテーブル２２上のワークＷをアライメントする。
また、他のプリアライメントの方法（手段）として、視野角の広いプリアライメントカメラ（図示省略）を、ブリッジフレーム５１またはＹ軸支時ベース３１等に配設し、このカメラでの画像認識結果を用いてプリアライメントを実施してもよい。
【００４０】
図７に示すように、制御装置６は、各ユニット等を駆動制御する各種ドライバーを有する駆動部６１と、駆動部６１に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部６２と、を備えている。
【００４１】
制御部６２には、駆動部６１に接続するためのインターフェース６３と、制御処理の作業領域であるＲＡＭ６４と、制御プログラムやデータ等を記憶するＲＯＭ６５と、描画データＤ１等の処理プログラム等を記憶するＨＤＤ６６と、ＲＯＭ６５やＨＤＤ６６に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ６７と、これらを互いに接続するバス６８と、が備えられている。そして、制御部６２は、各手段からの各種データを、インターフェース６３を介して入力すると共に、ＨＤＤ６６に記憶されたプログラムに従ってＣＰＵ６７に演算処理させ、その処理結果を、駆動部６１を介して各ユニット等に出力する。これにより、液滴吐出装置１の各種処理が行われる。
【００４２】
また、ＨＤＤ６６には、ワークＷに描画する描画データＤ１と、後述するパネル部１００において４つの角部Ｃの設計上における位置座標である複数の基準位置座標Ｄ２と、後述する位置ずれ量に基づく補正値を対応付けた補正テーブルＤ３と、が記憶されている。ＨＤＤ６６に記憶された各種データは、ＲＡＭ６４上に展開されて、ＣＰＵ６７による各種演算処理に供される。なお、位置座標（基準位置座標Ｄ２）とは、Ｘ座標およびＹ座標の直交座標を指すものであり、各座標の値は、１つのアライメントマークＡＭからのＸ軸方向およびＹ軸方向の差をいうものとする。本実施形態では図２または図３において左上のアライメントマークＡＭを基準としている。
【００４３】
ところで、ワークＷは、近年の液晶テレビの大型化に伴い大型化が進んでいる。上述したように、このような大型化したワークＷでは、その全面をマスクＭで覆うことは困難であるため、マスクＭを移動させながら複数回に分けて露光を行うことで、ワークＷ全体にパネル部１００を形成している（図１（ｃ）では、左右２回）。このため、設計値に対し、マスクＭの移動によるパネル部１００単位（正確にはマスクＭ単位）の位置ずれ（設計値に対する位置ずれ）が生じる虞がある。この場合、所定の描画データＤ１に基づくワークＷへの描画は、描画不良となる。
【００４４】
そこで、本実施形態に係る液滴吐出装置１では、描画データ補正装置８を用いて、ワークＷの製造過程におけるパネル部１００（画素領域１０２）間の誤差に対し、ワークＷに描画する描画データＤ１の補正を行っている。
【００４５】
図２ないし図４に示すように、描画データ補正装置８は、ワークＷ上の各パネル部１００単位で仮想分割する仮想分割手段（図示省略）と、任意の１のパネル部１００の１つの角部Ｃの位置座標を計測するサンプル測定手段８１と、各パネル部１００の複数の角部Ｃ（測定点）の位置座標を画像認識して計測する位置測定手段８２と、各パネル部１００について、位置測定手段８２において計測した各角部Ｃの位置座標と、設計上の位置座標（基準位置座標Ｄ２）と、から取得した位置ずれ量に基づいて描画データＤ１を補正する補正手段（図示省略）と、を備えている。なお、各角部Ｃとは、各パネル部１００の４隅に形成された画素領域１０２を指す（図１（ａ）および（ｂ）参照）。
【００４６】
仮想分割手段は、制御装置６が備える機能の一部であり、ワークＷのサイズやパネル部１００のサイズによって異なる各基準位置座標Ｄ２を取得し、ワークＷのサイズ等に応じた適切なパネル部１００単位に分割する。なお、ＨＤＤ６６には、ワークＷのサイズやパネル部１００のサイズに応じた複数種類の各基準位置座標Ｄ２（設計値）が予め記憶されている。
【００４７】
サンプル測定手段８１は、図３において下側のＹ軸支持ベース３１に支持された５台のサンプル撮像カメラ８３を有している。５台のサンプル撮像カメラ８３は、Ｙ軸方向に等間隔に並んで配設されている。５台のサンプル撮像カメラ８３のうちいずれか１台は、描画エリアＡ１に臨んだワークＷ上に形成されたパネル部１００の１つの角部Ｃを撮像する。この撮像結果により、位置ずれの有無を抜き打ち的に判定する（詳細は後述する。）。なお、上述したように、ワークＷのサイズ等によって各パネル部１００（基準位置座標Ｄ２）の位置が異なるため、５台全てのサンプル撮像カメラ８３が、任意のパネル部１００に臨むわけではないため、５台のうちいずれか１台のサンプル撮像カメラ８３を用いたが、可能であれば複数台のサンプル撮像カメラ８３で複数のパネル部１００（基準位置座標Ｄ２）を撮像してもよい。また、サンプル撮像カメラ８３の台数は任意であり、任意の１つのパネル部１００の少なくとも１つの角部Ｃを撮像できればよい。また、１台（または複数台）のサンプル撮像カメラ８３をＹ軸方向に移動可能に設けてもよい。なお、説明は省略するが、サンプル測定手段８１は、描画結果を撮像し、描画処理が適切に行われているかを検査する際にも用いられる。
【００４８】
位置測定手段８２は、パネル部１００の角部Ｃを撮像する一対の測定カメラ８４と、一対の測定カメラ８４をＹ軸方向に移動させるカメラ移動手段８５と、を備えている。
【００４９】
一対の測定カメラ８４は、図３において上側のＹ軸支持ベース３１において、Ｙ軸方向に並んで配設されている。各測定カメラ８４は、Ｘ軸テーブル２の駆動により、Ｘ軸方向に移動してきたワークＷ上に形成されたパネル部１００のＸ軸方向に並んだ複数の角部Ｃを各々撮像する。本実施形態では、計測する角部Ｃ（測定点）が、ワークＷ上のパネル部１００が有する点であるため、各パネル部１００の指標となるマークを別途ワークＷに形成することなく、各パネル部１００の正確な位置座標を認識することができる。なお、測定カメラ８４の台数は任意である（少なくとも１台）。
【００５０】
カメラ移動手段８５は、一対の測定カメラ８４を支持搭載するカメラスライダー（図示省略）と、カメラスライダーを介して一対の測定カメラ８４をＹ軸方向に移動させるカメラステーター（カメラリニアモーター（図示省略））と、を備えている。カメラ移動手段８５は、Ｘ軸方向に一列に並んだ複数のパネル部１００の各角部Ｃを撮像した後に、一対の測定カメラ８４をＹ軸方向に移動させる。そして、一対の測定カメラ８４は、他の列に並んだ複数のパネル部１００を撮像する。これを繰り返すことにより、ワークＷ上に形成された全てのパネル部１００の、全ての角部Ｃを撮像することができる。これにより、少ない測定カメラ８４の台数で、効率良くパネル部１００（角部Ｃ）の撮像を行うことができる。
【００５１】
補正手段は、制御装置６が備える機能の一部であり、各パネル部１００について、位置測定手段８２が計測（撮像）した各角部Ｃの位置座標と、仮想分割手段が取得した各基準位置座標Ｄ２と、から取得した相互の位置ずれ量に基づいて、描画データＤ１を補正する。
【００５２】
続いて、図８および図９を参照して、描画データ補正装置８を用いた描画データ補正方法について説明する。図８に示すように、描画データ補正方法は、仮想分割手段によりワークＷのサイズ等に応じて適切なパネル部１００単位に分割すると共に、各パネル部１００の各角部Ｃの基準位置座標Ｄ２を取得する仮想分割工程Ｓ１１と、サンプル測定手段８１による撮像結果から位置ずれの有無を判定するサンプル測定工程Ｓ１２と、位置測定手段８２により各角部Ｃの位置座標を測定する位置測定工程Ｓ１３と、補正手段により描画データＤ１を補正する補正工程Ｓ１４と、を備えている。
【００５３】
サンプル測定工程Ｓ１２では、ワークＷのアライメントが終了したその位置において、サンプル測定手段８１による単一の角部Ｃの撮像結果を制御装置６に送る。制御装置６は、撮像された角部Ｃの位置座標と、仮想分割工程Ｓ１１において取得した当該角部Ｃに対応する基準位置座標Ｄ２と、を比較して位置ずれ（差）が生じているか否かを判定する。ここで、位置ずれが生じていた場合（位置ずれ「有」）には、次の位置測定工程Ｓ１３に移行する。他方、位置ずれが生じていないと判定された場合（位置ずれ「無」）には、以降の工程を実行せずに、ワークＷに対する描画処理が開始される。これにより、ワークＷに対する描画処理を開始するまでの時間を短縮することができる。また、複数のワークＷに対する連続的な描画処理を行っている場合に、抜き打ち的にサンプル測定工程Ｓ１２を行うことにより、一連の描画処理の途中で生じた位置ずれを修正することができる。これにより、描画不良を防止することができる。なお、ワークＷの種別により、位置ずれが生じ易いパネル部１００を特定し、サンプル測定工程Ｓ１２を行うことが好ましい。
【００５４】
位置測定工程Ｓ１３は、一対の測定カメラ８４およびワークＷを各々移動させながら、一対の測定カメラ８４により、ワークＷ上に形成された全てのパネル部１００における全ての角部Ｃを撮像する。以下、図９を参照して、その手順を詳細に説明する。図９において、各パネル部１００を「Ａ」〜「Ｈ」、各角部Ｃを「１」〜「３２」として説明する。
【００５５】
先ず、制御装置６は、カメラ移動手段８５を駆動して、仮想分割工程Ｓ１１において取得したパネル部１００に対応する位置に一対の測定カメラ８４を移動させる（この例では、左上の「Ａ」）。そして、一対の測定カメラ８４により「１」および「５」を各々撮像する。その後、Ｘ軸テーブル２を駆動し、ワークＷをＸ軸方向に移動（往動）させ、一対の測定カメラ８４により「２」および「６」を各々撮像する。同様に、ワークＷをＸ軸方向に移動（往動）させ、一対の測定カメラ８４により「３」および「７」、続いて「４」および「８」を各々撮像する。
ここで、制御装置６は、「２」のＸ座標と「３」のＸ座標との差を求めると共に、「２」のＹ座標と「２」に対応する基準位置座標Ｄ２のＹ座標との差、および「３」のＹ座標と「３」に対応する基準位置座標Ｄ２のＹ座標との差を求める。同様に、制御装置６は、「６」と「７」とのＸ座標の差を求めると共に、「６」および「７」の各Ｙ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＹ座標との差を求める。これにより、「Ａ」に対する「Ｂ」のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置ずれ量を取得できる。
【００５６】
次に、再び、カメラ移動手段８５を駆動して、「Ｄ」に対応する位置に一対の測定カメラ８４を移動させる。そして、一対の測定カメラ８４により「１２」および「１６」を各々撮像し、Ｘ軸テーブル２を駆動してワークＷをＸ軸方向に復動させ、一対の測定カメラ８４により「１１」および「１５」、「１０」および「１４」、「９」および「１３」を各々撮像する。
ここで、制御装置６は、「５」および「９」の各Ｘ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＸ座標との差、「６」および「１０」の各Ｘ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＸ座標との差、「７」および「１１」の各Ｘ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＸ座標との差、「８」および「１２」の各Ｘ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＸ座標との差、を各々求める。また、「５」と「９」とのＸ座標の差、「６」と「１０」とのＸ座標の差、「７」と「１１」とのＸ座標の差、「８」と「１２」とのＸ座標の差、を各々求める。さらに、「１０」および「１１」の各Ｙ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＹ座標との差、「１４」および「１５」の各Ｙ座標とこれらに対応する基準位置座標Ｄ２のＹ座標との差、を各々求める。これにより、「Ａ」に対する「Ｃ」のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置ずれ量を取得でき、「Ｃ」に対する「Ｄ」のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置ずれ量を取得できる。なお、一対の測定カメラ８４による撮像は、Ｘ軸テーブル２の往動時と復動時との両走査時に行っているが、往動時または復動時のどちらか一方のみで行ってもよい。
【００５７】
以降、この手順で「Ｅ」〜「Ｈ」まで撮像および各座標の差の算出を行うことで、「Ａ」を基準とする「Ｂ」〜「Ｈ」の設計値（各基準位置座標Ｄ２）からの位置ずれ量が求まる。なお、各パネル部１００間の位置ずれ量は平均した値を用いる。例えば、「Ａ」と「Ｂ」とのＹ座標の位置ずれ量は、「２」・「３」と「６」・「７」との差の平均値とする。
【００５８】
補正工程Ｓ１４では、位置測定工程Ｓ１３において取得した位置ずれ量に基づいて描画データＤ１を補正する。すなわち、制御装置６は、ＨＤＤ６６に記憶されている補正テーブルＤ３を参照して、位置ずれ量に対応する補正値をＲＡＭ６４上に展開する。そして、この補正値を用いて描画データＤ１（ビットマップデータ）を補正（膨張または伸縮）する。具体的な描画データＤ１の補正方法としては、各機能液滴吐出ヘッド４４からの機能液滴の吐出タイミングを補正することでＸ軸方向（主走査方向）の位置ずれ量を補正している。また、各キャリッジユニット４（機能液滴吐出ヘッド４４）のＹ軸方向（副走査方向）の位置を移動することでＹ軸方向の位置ずれ量を補正している。これにより、Ｘ軸方向（主走査方向）およびＹ軸方向（副走査方向）それぞれの位置ずれ量に応じて、適切な描画を行うための描画データＤ１の補正を正確に行うことができる。
【００５９】
ところで、１の機能液滴吐出ヘッド４４における複数の吐出ノズル４９は固定的に配置されているため、機能液滴吐出ヘッド４４が、１の主走査において複数のパネル部１００を跨いで描画を行なう場合には、機能液滴吐出ヘッド４４のＹ軸方向（副走査方向）への位置補正では対処できない。
そこで、本実施形態では、１つの機能液滴吐出ヘッド４４が、１の主走査において複数のパネル部１００を跨いで描画を行なう場合、補正工程Ｓ１４において、隣接するパネル部１００の相互間の位置ずれ量を案分した量を補正する。例えば、図１０に示すように、パネル部１００「Ｃ」と「Ｅ」とが位置ずれしている場合、当該位置ずれ量の平均値を用いて描画データＤ１の補正を行う。このような補正を行うことで、相互の位置ずれ量を最小限にすることができる。これにより、吐出した機能液滴は、ワークＷ上の各画素領域１０２に確実に着弾するため、各画素領域１０２において機能液滴の混色を防止することができる。
【００６０】
また、ある特定の吐出ノズル４９から吐出した機能液滴が、１の画素領域１０２からはみ出し、バンク部１０１に乗り上げてしまう虞がある場合には、その吐出ノズル４９から機能液の吐出を停止し、乗り上げの虞のない他の吐出ノズル４９により補完する。すなわち、他の吐出ノズル４９は、自らが吐出すべき量の機能液と、吐出を停止した吐出ノズル４９が吐出するはずだった量の機能液と、を合わせた量の機能液を吐出する。これにより、吐出された機能液滴が非描画部やバンク部１０１に着弾してしまうことがなく（機能液の乗り上げ防止）、機能液滴は、所定の画素領域１０２に対し、確実に着弾する。
【００６１】
以上の構成によれば、パネル部１００の角部Ｃを認識することで、より正確なパネル部１００の位置座標を認識することができる。これにより、設計上の位置座標からの位置ずれ量を正確に求めることができ、パネル部１００単位で適切な描画データＤ１の補正を行うことができる。また、温度変化によるワークＷの部分的な膨張または収縮にも対応することができる。
【符号の説明】
【００６２】
１：液滴吐出装置、８：描画データ補正装置、４４：機能液滴吐出ヘッド、８１：サンプル測定手段、８２：位置測定手段、１００：パネル部、Ｃ：角部、Ｄ１：描画データ、Ｗ：ワーク
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、前記ワーク上に描画を行うための描画データを補正する描画データ補正装置の描画データ補正方法であって、
前記ワークの描画領域を複数の仮想分割領域に仮想分割する仮想分割工程と、
前記各仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を計測する位置測定工程と、
前記各仮想分割領域について、前記位置測定工程において計測した前記測定点の位置座標と、設計上の前記位置座標と、から取得した位置ずれ量に基づいて、前記描画データを補正する補正工程と、を備えたことを特徴とする描画データ補正装置の描画データ補正方法。
【請求項２】
前記機能液滴吐出ヘッドによる機能液滴の吐出は、前記ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向および副走査方向に相対的に移動させながら、実施され、
前記ワークは、矩形のパネル部が複数形成されたガラス基板で構成され、
前記仮想分割工程では、前記パネル部単位で仮想分割され、
前記位置測定工程では、前記測定点として前記各パネル部の少なくとも１つの角部の位置座標を計測することを特徴とする請求項１に記載の描画データ補正装置の描画データ補正方法。
【請求項３】
前記補正工程では、
前記機能液滴吐出ヘッドからの機能液滴の吐出タイミングを補正することで前記主走査方向の前記位置ずれ量を補正し、
前記機能液滴吐出ヘッドの前記副走査方向の位置を補正することで前記副走査方向の前記位置ずれ量を補正することを特徴とする請求項２に記載の描画データ補正装置の描画データ補正方法。
【請求項４】
前記機能液滴吐出ヘッドが、１の主走査において前記複数の仮想分割領域を跨いで描画を行なう場合、
前記補正工程では、隣接する前記仮想分割領域の相互間の前記位置ずれ量を案分した量を補正することを特徴とする請求項２または３に記載の描画データ補正装置の描画データ補正方法。
【請求項５】
前記各仮想分割領域内には、前記機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルから吐出された機能液滴が、各々着弾する複数の機能液着弾領域が形成され、
前記補正工程では、
前記１の吐出ノズルから吐出された機能液滴が、前記１の機能液着弾領域に着弾しないと判断されたときには、前記１の吐出ノズルからの機能液の吐出を停止し、前記１の吐出ノズルに代わって、前記他の吐出ノズルが前記１の機能液着弾領域に対し、機能液滴の吐出を行うことを特徴とする請求項２または３に記載の描画データ補正装置の描画データ補正方法。
【請求項６】
前記仮想分割工程と前記位置測定工程との間に、
任意の１の前記仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を計測するサンプル測定工程と、
前記任意の１の仮想分割領域について、前記サンプル測定工程において計測した前記測定点の位置座標と、設計上の前記位置座標とを比較し、位置ずれの有無を判定するサンプル判定工程と、を更に備え、
前記サンプル判定工程において、位置ずれ「有」と判定した場合に前記位置測定工程および前記補正工程を実施し、位置ずれ「無」と判定した場合に前記位置測定工程および前記補正工程の実施をキャンセルすることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の描画データ補正装置の描画データ補正方法。
【請求項７】
ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、前記ワーク上に描画を行うための描画データを補正する描画データ補正装置であって、
前記ワークをセットするテーブルと、
前記ワークの描画領域を複数の仮想分割領域に仮想分割する仮想分割手段と、
前記各仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を画像認識して計測する位置測定手段と、
前記各仮想分割領域について、前記位置測定手段において計測した前記測定点の位置座標と、設計上の前記位置座標と、から取得した位置ずれ量に基づいて、前記描画データを補正する補正手段と、を備えたことを特徴とする描画データ補正装置。
【請求項８】
前記機能液滴吐出ヘッドによる機能液滴の吐出は、前記ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向および副走査方向に相対的に移動させながら、実施され、
前記ワークは、矩形のパネル部が複数形成されたガラス基板で構成され、
前記仮想分割手段は、前記パネル部単位で仮想分割し、
前記位置測定手段は、前記測定点として前記各パネル部の少なくとも１つの角部の位置座標を計測することを特徴とする請求項７に記載の描画データ補正装置。
【請求項９】
描画データに基づいて、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行う液滴吐出装置であって、
請求項７または８に記載の描画データ補正装置を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１】
ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、前記ワーク上に描画を行うための描画データを補正する描画データ補正装置の描画データ補正方法であって、
前記ワークの描画領域を複数の仮想分割領域に仮想分割する仮想分割工程と、
前記各仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を計測する位置測定工程と、
前記各仮想分割領域について、前記位置測定工程において計測した前記測定点の位置座標と、設計上の前記位置座標と、から取得した位置ずれ量に基づいて、前記描画データを補正する補正工程と、を備えたことを特徴とする描画データ補正装置の描画データ補正方法。
【請求項２】
前記機能液滴吐出ヘッドによる機能液滴の吐出は、前記ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向および副走査方向に相対的に移動させながら、実施され、
前記ワークは、矩形のパネル部が複数形成されたガラス基板で構成され、
前記仮想分割工程では、前記パネル部単位で仮想分割され、
前記位置測定工程では、前記測定点として前記各パネル部の少なくとも１つの角部の位置座標を計測することを特徴とする請求項１に記載の描画データ補正装置の描画データ補正方法。
【請求項３】
前記補正工程では、
前記機能液滴吐出ヘッドからの機能液滴の吐出タイミングを補正することで前記主走査方向の前記位置ずれ量を補正し、
前記機能液滴吐出ヘッドの前記副走査方向の位置を補正することで前記副走査方向の前記位置ずれ量を補正することを特徴とする請求項２に記載の描画データ補正装置の描画データ補正方法。
【請求項４】
前記機能液滴吐出ヘッドが、１の主走査において前記複数の仮想分割領域を跨いで描画を行なう場合、
前記補正工程では、隣接する前記仮想分割領域の相互間の前記位置ずれ量を案分した量を補正することを特徴とする請求項２または３に記載の描画データ補正装置の描画データ補正方法。
【請求項５】
前記各仮想分割領域内には、前記機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルから吐出された機能液滴が、各々着弾する複数の機能液着弾領域が形成され、
前記補正工程では、
前記１の吐出ノズルから吐出された機能液滴が、前記１の機能液着弾領域に着弾しないと判断されたときには、前記１の吐出ノズルからの機能液の吐出を停止し、前記１の吐出ノズルに代わって、前記他の吐出ノズルが前記１の機能液着弾領域に対し、機能液滴の吐出を行うことを特徴とする請求項２または３に記載の描画データ補正装置の描画データ補正方法。
【請求項６】
前記仮想分割工程と前記位置測定工程との間に、
任意の１の前記仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を計測するサンプル測定工程と、
前記任意の１の仮想分割領域について、前記サンプル測定工程において計測した前記測定点の位置座標と、設計上の前記位置座標とを比較し、位置ずれの有無を判定するサンプル判定工程と、を更に備え、
前記サンプル判定工程において、位置ずれ「有」と判定した場合に前記位置測定工程および前記補正工程を実施し、位置ずれ「無」と判定した場合に前記位置測定工程および前記補正工程の実施をキャンセルすることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の描画データ補正装置の描画データ補正方法。
【請求項７】
ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、前記ワーク上に描画を行うための描画データを補正する描画データ補正装置であって、
前記ワークをセットするテーブルと、
前記ワークの描画領域を複数の仮想分割領域に仮想分割する仮想分割手段と、
前記各仮想分割領域の少なくとも１つの測定点の位置座標を画像認識して計測する位置測定手段と、
前記各仮想分割領域について、前記位置測定手段において計測した前記測定点の位置座標と、設計上の前記位置座標と、から取得した位置ずれ量に基づいて、前記描画データを補正する補正手段と、を備えたことを特徴とする描画データ補正装置。
【請求項８】
前記機能液滴吐出ヘッドによる機能液滴の吐出は、前記ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向および副走査方向に相対的に移動させながら、実施され、
前記ワークは、矩形のパネル部が複数形成されたガラス基板で構成され、
前記仮想分割手段は、前記パネル部単位で仮想分割し、
前記位置測定手段は、前記測定点として前記各パネル部の少なくとも１つの角部の位置座標を計測することを特徴とする請求項７に記載の描画データ補正装置。
【請求項９】
描画データに基づいて、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して、ワーク上に描画を行う液滴吐出装置であって、
請求項７または８に記載の描画データ補正装置を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２０１１−１３１１５６（Ｐ２０１１−１３１１５６Ａ）
【公開日】平成２３年７月７日（２０１１．７．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２９２６６５（Ｐ２００９−２９２６６５）
【出願日】平成２１年１２月２４日（２００９．１２．２４）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年７月７日（２０１１．７．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１２月２４日（２００９．１２．２４）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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