【課題】圧力調整弁の破損を防止しつつ、高精度な検査を行うことを可能とする圧力調整弁の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】一次側が機能液タンク２１に接続され、二次側が機能液滴吐出ヘッド３１に接続される圧力調整弁１について、機能液の流量変化に対する二次側の圧力の安定性を検査する圧力調整弁１の検査方法であって、圧力調整弁１の一次側から二次側に検査流体を流しながら、二次側の圧力を測定する工程を、少なくとも異なる２つの検査流量Ｄ１で実施する圧力測定工程Ｓ１と、２つの検査流量Ｄ１についてそれぞれ測定した圧力のバラツキが、安定性の基準となる規格圧力Ｄ２の範囲内であるか否かを判定する判定工程Ｓ２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】塗布層が塗布された支持体を巻き取る際に、効率的に同伴エアを排除でき、巻き取り形状を高い精度で安定させることができる塗布方法、塗布装置、支持体ロールの製造方法を提供する。
【解決手段】搬送される帯状の支持体に、塗布液を塗布する塗布方法であって、支持体表面に塗布される塗布液の、支持体の幅方向の厚み分布曲線が、最大厚みとなる部位から支持体の幅方向両側に向かうに伴って厚みが薄くなる形状で、かつ、最大厚みとなる部位の曲率半径を最小値とし、その幅方向の両端側に曲率半径が最大厚みとなる部位の曲率半径よりも大きくなる領域が設けられるように、塗布液を塗布する。 （もっと読む）

【課題】コーターによりウエブに塗布液を塗布する塗布方法及び装置において、ウエブの異物（塵埃）付着による塗布欠陥を抑制することができる塗布方法及び装置を提供する。
【解決手段】ウエブ１２に近接させたコーター１４の先端リップ１４Ａにビード１６Ａを形成し、ビード近傍を減圧チャンバー２６により減圧して、ウエブ１２に塗布液１６を塗布する方法において、減圧チャンバー２６内に設置された超音波発生手段３６により超音波を発生させ、ウエブ１２に付着していた塵埃を超音波の振動により振い落とすとともに、振い落とされた塵埃を減圧チャンバー２６で吸い取る。 （もっと読む）

【課題】塗布厚みに寄らず端部の塗布形状を制御することができ、耳立ちを抑えることができるエクストルージョン塗布装置を提供する。
【解決手段】スリット１６の両端部に塗布幅規制板２４が挿入され、塗布液をスリット１６の吐出口１６Ａから吐出するスリットダイ１０と、ウエブ走行方向上流側を減圧するチャンバー２６と、を有し、塗布幅規制板２４には、ウエブ下流側に曲げられた、ウエブに対向する突出部２４Ａが設けられており、塗布幅規制板２４の突出部２４Ａのウエブ対向面に塗布液をチャンバー２６の減圧により染み出させた状態で塗布液をウエブに塗布する。 （もっと読む）

【課題】一つの塗布装置で様々な塗布幅の製品を製造する際に、液漏れやスペーサーの位置ズレが起きることがなく、ダイの分解をせずに、塗布幅を変更することができるエクストルージョン塗布装置を提供する。
【解決手段】スリット１６の幅方向両端部には、塗布液Ｌの塗布幅を規制するスペーサー２４が設けられ、スペーサー２４は、スリット１６に固定された固定部材２４ａと、固定部材２４ａに嵌め込む嵌込部材２４ｂと、からなり、固定部材２４ａと嵌込部材２４ｂとには相互に噛み合う凹凸形状が形成されている。 （もっと読む）

【課題】定量吐出ポンプの吸引圧・吐出圧を変化させることなく異物を除去できる塗布方法を提供することを目的とする。
【解決手段】定量吐出ポンプ（１１）が塗布液を吸引する経路に設けられた第１，第２の切換弁（７，８）と、定量吐出ポンプ（１１）から送られた塗布液を塗布する吐出部（１３）と、異物を検出する第１〜第３の検出部（４，５，６）と、供給タンク（１）と第１の検出部（４）の間に介装された定流量ポンプ（３）と、第１の検出部（４）が異物を検出した場合に、定流量ポンプ（３）を運転すると共に第２の切換弁（８）を切り換えて塗布液（２）を塗布液供給タンク（１）に戻し、第２の検出部（５）が異物を検出して第３の検出部（６）で異物検出されるまでの時間から異物が第１，第２の切換弁（７，８）に到達する時間を計算し、第１の切換弁（７）に到達した異物が気泡であるかを判別して、第１の切換弁（７）を切り換えて気泡を含む塗布液を外部へ排出するよう運転する制御部（１６）を備えている。 （もっと読む）

【課題】ノズルの液溜まりを簡便に除去することができる塗布装置、及び液溜まり除去方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る塗布装置は、ペースト状物質を吐出するノズル２４と、ノズル２４からのペースト状物質２２を加熱する加熱ブロック２１と、加熱ブロック２１によって加熱されたペースト状物質２２を受ける受け部材２３と、を備えるものである。この構成を備えることによって、ノズルの液溜まりを簡便に除去することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】吐出確認に使用する吐出液の量を減らすことができ、安価な機構を実現する吐出装置及び吐出装置の着弾位置形成方法、着弾位置撮像方法、吐出確認方法を提供する。
【解決手段】
吐出装置は吐出液に含有される溶剤に可溶な樹脂膜１９が成膜されたフィルム１６を有している。複数のインクヘッド１１をフィルム１６の真上に移動して静止させた状態で各吐出口１８から吐出液を吐出させると、樹脂膜１９上に着弾し、樹脂膜１９は吐出液に部分的に溶解して、着弾位置に段差痕が形成される。フィルム１６を巻き取りながら、撮像装置１２で樹脂膜１９の着弾位置を撮像し、撮像結果から各吐出口１８毎に吐出の有無を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ユニットとメンテナンスユニットとを位置決め精度よく、かつ効率よく本体に装着することができる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るインクジェットプリンタ１は、液体を吐出するインクジェットヘッド１４を有するインクジェットユニット１５と、インクジェットヘッド１４をメンテナンスするメンテナンスユニット１８と、液体吐出対象物を搭載する本体１０と、を備え、メンテナンスユニット１８は、メンテナンス機構、及び、インクジェットユニット１５に互いの位置が固定された状態で接続されるための接続部３２０を備え、インクジェットユニット１５及びメンテナンスユニット１８は、本体１０に着脱されるものである。 （もっと読む）

【課題】塗装装置の変更を必要とせず、パネルの塗装ムラを抑制する。
【解決手段】塗装されるパネル１２の搬送方向の前方に塗装治具１０が設けられ、搬送ライン２８、２９をパネル１２と一体となり搬送される。塗装治具１０は側面視が三角形状とされ、塗装治具１０の高さは搬送面からパネル１２の塗装面までの高さ、長さは塗装治具１０の先端部と液状塗料１６の衝突により、上方からカーテン状に流下された液状塗料１６の乱れが消滅した時点で、パネル１２が液状塗料１６を通過する長さとされている。斜面１０Ｃは、塗装面１２Ｕから搬送方向前方に向けて下り勾配とされている。搬送ライン２８、２９の接合部に設けられた塗装装置４０を通過するときに、カーテンフローコーター１４から、カーテン状に直下に流下された液状塗料１６でパネル１２の上面１２Ｕ（塗装面）が塗装される。 （もっと読む）

【課題】浮きを入れずにシリンジ内部の液体材料の液面を検出することが可能な、液体材料吐出方法及び装置提供する。
【解決手段】光学センサ７はシリンジ５０１の側方で上下方向に移動自在に支持される。シリンジ５０１の内部に液体材料が無い場合にセンサ光が発光部７０１から反射部材５１４の光反射面に至るまでの第１経路と、同場合に前記センサ光が前記光反射面から受光部７０２に至るまでの第２経路との双方が水平であり、かつシリンジ５０１の内部を通過する。第１経路７１１及び第２経路７１２のうちシリンジ５０１の内部を通過する通過部分に液体材料が無いときはセンサ光が受光部７０２に到達して受光部７０２で受光される一方、当該通過部分に液体材料があるときはセンサ光が受光部７０２に到達しない。光学センサ７を上下方向に駆動することで液面検出が可能である。 （もっと読む）

【課題】フィルム表面の塗布すべき目標位置を直接計測して補正し、インクジェット塗布ヘッドのノズル孔から正しい位置に液滴を射出することにより、フィルムの塗布品質が向上する。
【解決手段】巻出側フィルムロール２から巻き出されたフィルム１は、その塗布対象エリアが塗布部１７で吸着テーブル１０上に位置するように搬送される。インクジェット塗布ヘッドに隣接して撮像カメラを設置し、該塗布ヘッド１５と該撮像カメラ１９は設置位置が一体となって塗布ヘッドユニット部を形成し、塗布ヘッドユニットは吸着テーブルの上方において３次元的に移動可能なＸＹＺ軸方向駆動手段によって移動し、塗布ヘッドによる塗布動作中に撮像カメラで次に塗布する位置を予め撮像し、撮像カメラによる撮像結果を画像処理手段で処理することによって当初設定された塗布位置とのずれ量を補正して、次に塗布する位置への塗布ヘッドを移動させる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ（基板）に対して疎水化処理が正常に行われたか否かを確実に判定することのできる液処理装置を提供する。
【解決手段】疎水化処理を行った集積回路形成用のウエハにレジスト吐出ノズル６７からレジスト（処理液）を供給して塗布膜を形成するレジスト塗布ユニット（液処理装置）は、ウエハを水平に保持する、回転自在な基板保持部と、この基板保持部に保持されたウエハを囲むカップ（囲み部材）と、ウエハの表面に純水（検査液）を供給する純水供給部６０と、ウエハに供給された純水を撮像するカメラ（撮像部）７と、撮像した純水の画像に基づいてウエハが正常に疎水化処理されたものか否かを判定する判定プログラム（判定部）９５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ロール状に巻き取られたプラスチックフィルムの平面性の問題を解消し、塗布膜を均一に精度良く形成することができる塗布フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】ロール状に巻かれたプラスチックフィルムを巻き出して走行させ、前記プラスチックフィルムの変形が無くなるようヒートローラに巻き付けながら搬送し、その後、該プラスチックフィルム上に塗布液を塗布する塗布フィルムの製造方法であって、前記ヒートローラは、フィルム両端部が該ヒートローラ表面に接しない構造である。 （もっと読む）

【課題】ワークの温度変化による膨張・収縮を正確に認識し、ワークに描画する描画データを正しく補正する描画データ補正方法等を提供する。
【解決手段】ワークＷの温度を測定する温度測定工程Ｓ１１と、ワークＷ上の離間した２点間の距離を測定する距離測定工程Ｓ１２と、温度測定工程Ｓ１１で測定した測定温度と、予め記憶されている描画時の基準温度Ｄ２とを比較し、ワークＷが高温状態にあるか低温状態にあるかを判定する温度判定工程Ｓ１３と、距離測定工程Ｓ１２で測定した測定距離と、予め記憶されている２点間の設計上の基準距離とを比較し、ワークＷが膨張状態にあるか収縮状態にあるかを判定する距離判定工程Ｓ１４と、温度判定工程Ｓ１３での判定結果および距離判定工程Ｓ１４での判定結果が、高温状態且つ膨張状態にある場合および低温状態且つ収縮状態にある場合にのみ、描画データＤ１を補正するデータ補正工程Ｓ１５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】広範囲の部分に薬液を均一に塗布すると共に薬液の塗布時間を短縮する。
【解決手段】上面１ａに基板５を載置して水平面内を移動可能にされたステージ１と、ステージ１の上方に配設され、該ステージ１に載置された基板５の上面に圧着して該基板５上に滴下された薬液を所定厚みに押し広げる圧着ヘッド２と、圧着ヘッド２を間にして左右に配設された一対のリール８間に圧着ヘッド２の圧着面２ａ側を経由して掛け渡されたテープ３と、ステージ１と圧着ヘッド２とを相対的に上下動させて基板５と圧着ヘッド２とを、間にテープ３を介在させた状態で互いに圧着可能とする移動手段４と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】複雑な機構や制御を要せずに液垂れを防止し得る液体滴下装置及び液体滴下装置における液垂れ防止方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液体滴下装置１０は、滴下対象の液体の流路を内部に有する可撓性のチューブ１１と、チューブ１１の一端１１ａに接続され、下端に液体の滴下口１２ａを有するノズル１２と、チューブ１１を介してノズル１２に液体を送液する送液手段２１Ａ，２１Ｂとを備えている。液体滴下装置１０は、滴下口１２ａの下方に位置する被加工物３０に滴下口１２ａから液体を滴下する。滴下口１２ａは、平面視において多数の流路に区画されている。ノズル１２は、チューブ１１が接続された状態で移動可能に配置されており、ノズル１２の移動により、チューブ１１が屈曲してその内部の流路が閉塞するようになされている。 （もっと読む）

【課題】グラビア塗工において、インキパンに塗工液を給液する方法として、従来から供給管数本による給液方法が用いられている。しかし高チキソ性を有する塗工液を用いた場合、インキパンの中で幅方向に液が広がらないという問題がある。この問題は、広幅のインキパンを用いる場合、特に顕著となる。
【解決手段】本発明は、塗工液供給装置のチャンバーの幅方向にある各孔からスリットに塗工液を供給することで、スリット内での塗工液を幅方向に押し広げることによって、スリットからインキパンへ幅方向均一に塗工液を広げることができる。コーテイング幅の広幅化の対応が可能となる。また多種多様の塗工液にも対応可能で、取扱いも容易、かつ設備費用が安価な供給装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】複数の着弾領域への各着弾量を精度良く均一化することができる。
【解決手段】ワークＷ上に画成された複数の着弾領域の各着弾領域に対し、１以上の吐出ノズル２１により液滴を吐出着弾させると共に、各吐出ノズル２１に対し、複数種の適正駆動電圧のうちの任意の１の適正駆動電圧を設定して、複数の着弾領域に吐出着弾する複数の吐出ノズル２１を適正駆動電圧毎にグループ化する液滴吐出ヘッド１の駆動電圧設定方法であって、グループ毎の前記適正駆動電圧を設定する適正電圧設定工程と、着弾領域毎に吐出着弾した液滴の着弾量が、前記複数の着弾領域の相互間で均一になるように、複数の吐出ノズル２１を複数のグループに割り付けるノズル割付工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】低コストでインクジェットヘッドを簡単且つ精度良くアライメントすることができるヘッドプレートおよびインクジェットヘッドのアライメント方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド（ヘッド本体７）１が位置決めされた状態で搭載されるヘッドプレート１０であって、高精度の直線性を有し位置決めの主基準となる第１エッジ部３１と、第１エッジ部３１に直交し、位置決めを補填する第２エッジ部３２と、を備えた。 （もっと読む）