【課題】 液状材料が膜パターン形成領域から流出したり、領域外に濡れ広がることを抑制して、所定のパターン形状及び厚さの膜パターンを形成することができる、膜パターン形成方法、膜パターン、レジスト膜、及び絶縁膜、並びに回路基板、半導体装置、表面弾性波デバイス、表面弾性波発振装置、電気光学装置、及び電子機器を実現する。
【解決手段】 基板１の面を撥液化処理し、液状材料の液滴４を、レジスト膜９を形成する領域２の周縁部に配置し、周縁帯膜７ａを形成する。次に、基板１の面を親液化処理し、周縁帯膜７ａに囲まれた領域内に液状材料を充填して中央膜８を形成し、周縁帯膜７ａと中央膜８とで、レジスト膜９を形成する。絶縁膜も同様に形成する。回路基板、半導体装置、表面弾性波デバイスは、上記方法で形成された膜を備え、電気光学装置は当該半導体装置を備え、電子機器は上記電気光学装置、回路基板、表面弾性波発振装置を備える。 （もっと読む）

【課題】 液状材料が膜パターン形成領域から流出したり、膜パターン形成領域外に濡れ広がったりすることを抑制して、所定のパターン形状及び厚さの膜パターンを形成することができる、膜パターン形成方法、膜パターン、レジスト膜、及び絶縁膜、並びに回路基板、半導体装置、表面弾性波デバイス、表面弾性波発振装置、電気光学装置、及び電子機器を実現する。
【解決手段】 液状材料の液滴４を吐出して、基板１の面上に着弾させ、レジスト膜９を形成する領域２の周縁部に配置し、固化させた周縁帯膜７ａに囲まれた領域内に液状材料を充填する。充填された液状材料を固化して中央膜８を形成し、周縁帯膜７ａと中央膜８とで、レジスト膜９を形成する。絶縁膜も同様にして形成され、回路基板、半導体装置、表面弾性波デバイスは、上記膜を備え、電気光学装置は当該半導体装置を備え、電子機器は上記電気光学装置、回路基板、表面弾性波発振装置を備える。 （もっと読む）

本明細書には材料中のボイド修復法が記載されている。該方法は、ａ）複数の反応性シラノール基を有する材料を用意し；ｂ）少なくとも一つの反応性表面改質剤を用意し；そしてｃ）前記複数の反応性シラノール基の少なくとも一部を前記少なくとも一つの反応性表面改質剤で化学的にキャッピングすることを含む。材料中の炭素回復法も記載されている。該方法は、ａ）複数の反応性シラノール基を有する炭素欠乏材料を用意し；ｂ）少なくとも一つの反応性表面改質剤を用意し；そしてｃ）前記複数の反応性シラノール基の少なくとも一部を前記少なくとも一つの反応性表面改質剤で化学的にキャッピングすることを含む。さらに、本明細書には膜及び／又は炭素欠乏膜の縮合削減法も記載されている。該方法は、ａ）複数の反応性シラノール基を有する膜を用意し；ｂ）前記膜をプラズマチャンバに置き；ｃ）複数の反応性有機部分含有シランを前記チャンバに導入し；そしてｄ）前記シランを前記反応性シラノール基の少なくとも一部と反応させることを含む。本明細書には誘電体材料及びｌｏｗ−ｋ誘電体材料も記載されている。該誘電体材料は、ａ）複数のケイ素原子を有する無機材料；及びｂ）複数の有機部分含有シラン化合物を含み、前記シラン化合物は、少なくとも一部のケイ素原子を通じて前記無機材料に結合されている。 （もっと読む）

【課題】 ＡＤ法を用いて、高温プロセスを経ることなく結晶性の良い膜を作製できるセラミックス膜の製造方法等を提供する。
【解決手段】 この製造方法は、エアロゾルを利用したセラミックス膜の製造方法であって、非結晶性の成分を含有するセラミックス原料粉をガスに分散させることによってエアロゾルを生成する工程（ａ）と、工程（ａ）において生成されたエアロゾルを基板が配置されたチャンバ内に供給して、上記セラミックス原料粉を基板に堆積させることにより膜を形成する工程（ｂ）とを含む。 （もっと読む）

【課題】導電性ローラ基体部の表面への塗料の塗装後に塗膜層からの液だれを生じることがないトラバース塗装工程時の塗膜硬化方法を提供することを目的とする。
【解決手段】回転するパイプ型ローラ２等の基体部５の表面に塗料を塗布するトラバース塗装工程時の塗膜硬化方法において、塗装工程の直後に連続してランプ１８’等にて前記ローラ１の塗膜層４をトラバース照射して硬化させ、次いで、別工程にて紫外線照射手段あるいは電子線照射手段１８”により前記ローラ１の塗膜層４を硬化・架橋することにより、トラバース塗装の利点を活かして、塗装直後の塗膜層４をその場でランプ１８’等にて硬化させることができるので、塗膜層４の液だれを懸念することなく、パイプ型ローラ２等を次工程である紫外線照射手段あるいは電子線照射手段１８”を用いた硬化・架橋工程に持ち込むことができる。 （もっと読む）

本発明は、絶縁性を有する基板、例えばガラス基板上に撥液性の薄膜、例えば半導体膜に選択的にプラズマを発生する手段１０２によって親液性にし、前記親液性表面に、液滴吐出手段１０３により液滴組成物を吐出して、パターンを作製する工程を含むことを特徴とする。選択的に形成した親液性領域を撥液性で挟むことで、着弾後の液滴は着弾位置から移動せず形成することができる。
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【課題】特殊なポリウレタン系樹脂を必要とせずに、ポリウレタン系樹脂コーティング剤の性能を改善して、携帯電話などのキーパッドなどにおけるシリコーンゴム成形表面との付着性を充分に向上させ、併せて、指触への柔軟性や耐摩耗性或いは耐候性や強靭性などをもバランス良く高める事を提供する。
【解決手段】（Ａ）高分子ポリオールが（Ａ１）と（Ａ２）の成分を含有し、（Ｂ）有機ジイソシアネート及び必要により（Ｃ）鎖延長剤を成分とするポリウレタン樹脂コーティング剤。 （Ａ１）数平均分子量５００〜５，０００のポリカーボネートポリオール （Ａ２）数平均分子量５，０００〜３０，０００で、１分子中に１〜２個の水酸基を含有するアクリルポリオール （もっと読む）

層を浸漬コーティングする工程を含む有機電子デバイスの製造方法およびそれによって製造されたデバイスが開示される。
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【課題】 各種光学部材などの被処理基材の表面を前処理を行うことによって、耐防汚性、耐擦傷性、耐溶剤性等に優れた防汚層を短時間に形成することが叫ばれており、この課題の解決を目的とする。
【解決手段】 被処理基材上の少なくとも片面に、防汚剤を用いて防汚層を形成する方法であって、前記防汚層を形成する前に、前記被処理基材上の少なくとも片面を前処理し、この前処理した表面に防汚層を成膜する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 電気的絶縁性物質を成膜する場合にも対応でき、対象とする基材上に充分安定的に成膜することができ、且つ、連続的に成膜ができ、安定的に、成膜された基材を得ることができる、圧力勾配型イオンプレーティング方法を用いた真空成膜装置、真空成膜方法を提供する。特には、ロールから巻き出し、ロールに巻き取ることができるフィルムのような基材に対して、電気的絶縁性物質からなる薄膜を、連続的に、安定的、且つ効率的に成膜することができる真空成膜装置、真空成膜方法を提供する。
【解決手段】 蒸着材料が移動するハースから基材の間の位置に、およびまたは、前記位置の近傍に、前記移動する蒸着材料の除電を行うための、アースレベルに設定された、蒸着材料除電部を備えている。 （もっと読む）

本発明は、無機又は有機基材上への強接着性コーティングの製造方法であって、第一の工程ａ）において、低温プラズマ、コロナ放電、又は火炎を、無機又は有機基材上に作用させ、第二の工程ｂ）において、１種以上の定義された光開始剤、又は定義された光開始剤と少なくとも１個のエチレン性不飽和基を含有するモノマーとの混合物、あるいは前述の物質の溶液、懸濁液、又はエマルションを、好ましくは常圧で、無機又は有機基材に塗布し、第三の工程ｃ）において、適切な方法を用いて、これら前述の物質を乾燥するか、かつ／又は電磁波を照射し、そして場合により、第四の工程ｄ）において、そのように前処理した基材上に更なるコーティングを塗布する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 液滴吐出装置を用いて、ムラのない均一な厚さの導電層をもつ電気配線を形成すること。
【解決手段】 電気配線の形成方法が、基板表面が溝の底部になるように、前記溝を規定する隔壁を形成する工程Ａと、前記底部上に、第１の機能液に対する前記隔壁の親液性よりも、前記第１の機能液に対して高い親液性を有する親液層を形成する工程Ｂと、前記親液層上に、液滴吐出装置を用いて金属を含有する前記第１の機能液を付与する工程Ｃと、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 硬化手段を塗装工程の内部に取り込んで、塗膜層に液だれを生じさせることなく、要スペースも少なく工程時間も短縮できるトラバース塗装工程における連続硬化方法を提供する。
【解決手段】 回転する導電性ローラ１（またはエンドレスベルト）の基体部５の表面に塗料を塗布するトラバース塗装方法において、塗装工程の直後に紫外線あるいは電子線を前記ローラ１の塗膜層４にトラバース照射し、前記照射手段１８とローラ１とを軸方向に相対移動させて前記塗装と硬化を連続して行うことにより、トラバース塗装方法の利点を活かして、塗装コーター１０と紫外線照射手段１８等とを併設し、塗装された塗膜層４の表面が、その後の紫外線等の照射により、即座に均一かつ効果的に硬化されて、液だれを生じることなく、要スペースも少なく工程時間も短縮できて品質が向上する。 （もっと読む）

【課題】 簡素な方法により、導電性ローラ等の基体部の表面への塗料の塗りむらや厚みの不均一を解消できるトラバース塗装工程の前処理方法を提供する。
【解決手段】 導電性ローラ１等の基体部の表面に塗料を塗布するトラバース塗装方法において、塗装工程の直前に前記ローラ１を回転させるとともに、プラズマ照射手段１７によりプラズマを前記ローラ１の基体部表面に照射し、これらプラズマ照射手段１７とローラ１とを軸方向に相対移動させて前記基体部の表面を改質することにより、比較的容易に作りだすことができるプラズマ状態の雰囲気中で、導電性ローラ１等の基体部表面が改質されて塗料の濡れ性が高まり、塗りむらや厚みの不均一性が解消される。その結果、塗料の密着性が向上する。 （もっと読む）

【課題】 簡素な方法により、導電性ローラまたは導電性エンドレスベルト基体部の表面への塗料の塗りむらや厚みの不均一を解消できるリングコーター塗装工程の前処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 導電性ローラ１の基体部の表面に塗料を塗布するリングコーター塗装方法において、塗装工程の直前にプラズマ照射手段１７によりプラズマを前記ローラ１の基体部表面に照射し、これらプラズマ照射手段１７とローラ１とを軸方向に相対移動させて前記基体部の表面を改質することにより、比較的容易に作りだすことができるプラズマ状態の雰囲気中で、導電性ローラ１の基体部表面が改質されて塗料の濡れ性が高まり、塗りむらや厚みの不均一性が解消される。その結果、塗料の密着性が向上し、長期運転時の塗膜層の剥離等の不具合が解消される。 （もっと読む）

【課題】 ワイピングを伴う回復処理の回数を減らし長時間に渡って安定的な吐出が可能な液滴吐出ヘッドおよびこの液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 ノズル２１から機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドのノズル基板のノズル面２２ａには、ノズル２１の開口部２１ａを含む周辺域に開口部２１ａに近づくほど撥液性が上昇するように撥液処理を施した。そして撥液処理された領域の外側には下地処理として親液処理を施した。 （もっと読む）

【課題】 余分な構造化材料を塗布する必要をなくすこと。
【解決手段】 機能性材料、特に、電気的機能性材料（８）から構造体を製造するための方法および装置を提供するために、第一の工程において、最初に、基板（１）の表面張力を、基板の通常の状態と比べてより高い均一な表面張力となし、次に、第一あるいは第二の領域（３，５）において、基板の表面張力をより低い値に低下させる。第一の領域は、製造すべき構造体の形状に構成される。第二の工程において、機能性材料を基板に塗布し、この機能性材料は、第一の領域のみに堆積しその結果機能性材料から所望の構造が形成されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 ナノ材料である微粒子の機能を損ねることなく各種ナノ材料を適度に分散した状態で基板上に固定する汎用的な方法とそれを実現する装置を提供する。
【解決手段】 成膜物質に含まれる元素を成分とする化合物を含む溶媒に微粒子を溶解または分散させた原料溶液をエアロゾル化し、生成したエアロゾルを真空の容器内に導入してプラズマ化し、プラズマ化学的気相蒸着（ＣＶＤ）法により堆積させることによって、微粒子１３が分散した状態で混入した、堆積物元素を含む薄膜１２を被処理物表面１０に形成して複合薄膜を得る。 （もっと読む）

表示装置を製造工程において使用する原材料の使用量および真空処理工程に係る手間を低減し、表示装置製造の低コスト化を実現するために、本発明では、複数の液滴噴射孔を配置した液滴噴射ヘッドを有する第１の液滴噴射装置を用いて、被処理膜上に導電性粒子を含有する液滴を噴射し、導電性膜を形成した後、複数の液滴噴射孔を配置した液滴噴射ヘッドを有する第２の液滴噴射装置を用いて前記導電性膜の上に局所的にレジストパターンを形成し、前記レジストパターンをマスクとして前記導電性膜をエッチングし、配線を形成することを特徴とする。
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基材および少なくとも１つのニードルを有するマイクロニードルアレイを提供する工程と；マスキング層によって基材が少なくとも部分的に被覆され、そして少なくとも１つのニードルが少なくとも部分的に暴露されたまま残るように、マイクロニードルアレイ上に取り外し可能なマスキング層を提供する工程と；マイクロニードルアレイの暴露部分の少なくとも一部にコーティング材料を適用する工程とを含んでなるマイクロニードルアレイのコーティング方法。
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