【課題】循環型液体又は超臨界二酸化炭素反応／処理装置を提供する。
【解決手段】加圧条件下で液体二酸化炭素を貯留する貯槽又は容器において、液体二酸化炭素の液面レベルを検知する手段として、差圧発信機を設置し、貯槽又は容器の下部から液体側接続配管が差圧発信機へ、上部から気体側接続配管が差圧発信機へそれぞれ個別に接続され、液体側接続配管は、差圧発信機の上部へ貫通流路を形成し、貫通後の配管は貯槽や容器の最大高さを超過する高さを有し、かつ気体側接続配管に連結されている、ことを特徴とする液面レベル検知装置、当該検知装置を設置した循環型液体又は超臨界二酸化炭素反応／処理装置。 （もっと読む）

【課題】窒化物半導体の製造装置から排出される排出ガスから、不純物の濃度を少なくとも５０ｐｐｂ以下に低減して、高純度のアンモニアを回収する、アンモニアの回収方法、アンモニアの再利用方法、アンモニアの回収装置、およびアンモニアの再利用装置を提供する。
【解決手段】アンモニアの回収方法によれば、窒化物半導体製造装置１１から排出されるアンモニアを含む排出ガスから、アンモニアと有機金属類との反応生成物および有機金属類を除去して混合ガスを得る工程と、混合ガスから粗アンモニアガスを分離する工程と、粗アンモニアガスを液化して液化粗アンモニアを得る工程と、液化粗アンモニアを蒸留することにより、液化粗アンモニアから不純物を除去して高純度のアンモニアを得る工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 窒化ガリウムをはじめとする半導体関連の処理工程からの排出ガスから高純度のアンモニアを回収できる方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 処理工程から導出された排出ガス中のアンモニアガスを水に溶解させる溶解工程と、アンモニアを溶解させたアンモニア水を蒸留して水とアンモニアガスとを分離する蒸留工程と、分離したアンモニアガスを液化する液化工程とを有するアンモニアガスの回収方法である。処理工程から導出された排出ガスから不純成分を吸着除去し、この不純成分を吸着除去した後の排出ガスを溶解工程に供給する。溶解工程では溶解ステップを反復させてアンモニア濃度を高め、所定濃度のアンモニア水をアンモニア水タンクに貯留する。蒸留工程から導出したアンモニアガスを除湿した後、液化する。 （もっと読む）

本発明は、半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置及びその制御方法に関し、特に、公知の副産物捕集装置を構成するにおいて、垂直軸の周囲に一定角度をおいて固定設置された状態でサーボモータの駆動方向に応じて上プレート及び下プレート間で左右に回動し、いずれか一個が副産物を捕集して残りは反復的に清掃を行う数個のトラップユニットと、中央部は前記トラップユニットが固定された垂直軸が貫通する形態で軸支されて、前記上蓋体及び下蓋体と一定間隔を維持する形態で設置され前記ケースの上部及び下部からトラップユニット等の上開口部及び下開口部に接触され各々のトラップユニットに副産物流入口及び副産物排出口と洗浄水供給口及び洗浄水排出口、乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口を選択的に連結させる上プレート及び下プレートと、平常時には伸長により前記上プレート及び下プレートとユニット等との間で気密を維持させて、トラップユニット等の交替のために一定方向に回動させる際には、垂直になりトラップユニット等を円滑に回動させるトラップとプレート連結及び分離手段と、前記垂直軸の低端部に軸が連結された状態で下プレートの底面に固定設置され制御部の出力信号に応じて正、逆方向に回動し前記トラップユニット等を一定角度範囲内で回転させるサーボモータと、制御プログラムを通じて前記サーボモータとトラップとプレートの連結及び分離手段及び各種バルブの駆動を制御する制御部とから構成される。
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複数の蒸留カラムを使用して、誘導溶液から、誘導溶液の溶質と生成した溶媒とを分離するための方法および装置。一実施形態では、誘導溶液を、順浸透（ＦＯ）水脱塩工程において使用する。この実施形態では、誘導溶液は、複数の蒸留カラムに平行に導き、一方、エネルギーのストリーム（熱）は、複数の蒸留カラムに順次に導き、それによって、熱利用の効率を改善し、したがって、熱のコストを低減する。 （もっと読む）

【課題】余剰水槽内の処理水を曝気して強制的に蒸発させ大気に放散することでメンテナンスを軽減する。
【解決手段】循環式トイレ１００は、便器１の下方に複数の生物処理槽（３〜７）と余剰水槽１６とからなる汚水処理槽２を配設し、この汚水処理槽２によって汚水を浄化して該浄化後の処理水を循環させ、洗浄水として便器１に供給するものであり、複数の生物処理槽（３〜７）の下流側に、複数の生物処理槽（３〜７）から溢れた処理水を貯留する余剰水槽１６を配置している。そして、余剰水槽１６の処理水を曝気して蒸発させるべく、この余剰水槽１６に浮かして配置された曝気蒸発手段２５と、この曝気蒸発手段２５に空気を送り込むブロワ２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ＰＣＢを含む土壌を、水、親水性溶剤、疎水性溶剤の混合溶剤を用いて安価に洗浄する。
【解決手段】溶剤抽出方法は、水、水より沸点が低い親水性溶剤、水より沸点が高い疎水性溶剤及びＰＣＢを含む混合液から蒸留によって親水性溶剤を抽出する抽出ステップと、抽出ステップにおいて残留した濃縮液に含まれる水と疎水性溶剤とを比重差に基づいて分離する分離ステップと、分離ステップにおいて分離されたＰＣＢ含有の疎水性溶剤を蒸留することにより疎水性溶剤を精製するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】グリシジルエーテル類中の有機塩素化合物含有率を効率的に低減させるグリシジルエーテル類の精製および高純度グリシジルエーテル類の製造方法を提供する。
【解決手段】合成時の原料残渣、副生物である有機塩素化合物を含有するグリシジルエーテル類に塩基性を示すアルカリ金属化合物を作用させた後、該グリシジルエーテル類を蒸留する。 （もっと読む）

【課題】水素化分解法を用いてポリスチレンやプラスチックから側鎖のないベンゼン類あるいは側鎖の短いベンゼン類を収率良く製造する方法を提供する。
【解決手段】ポリスチレンと溶剤を加熱，混合してポリスチレン溶液を得る溶解工程と、溶解工程で得たポリスチレン溶液と水素とを触媒の存在下で反応させて水素化分解反応を行なう水素化分解工程と、水素化分解工程で生成した水素化分解反応生成物を蒸留してベンゼン類を得る蒸留工程とを有するベンゼン類の製造方法において、蒸留工程で得られた沸点が130〜140℃の軽質留分の少なくとも一部を溶解工程へ返送する。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィー工程において用いられるフッ素系溶剤の大気への放出を抑制し、環境汚染の防止に寄与するフッ素系溶剤の回収方法及び回収システムを提供すること。
【解決手段】リソグラフィー工程において用いられるフッ素系溶剤を回収する回収方法であって、揮発した前記フッ素系溶剤を誘導路２０により、回収槽３０内のフッ素系捕捉溶剤３１内に移送する移送工程と、揮発した前記フッ素系溶剤を前記フッ素系捕捉溶剤３１に通過させ、前記フッ素系溶剤を回収する回収工程と、を含むフッ素系溶剤の回収方法である。 （もっと読む）

【課題】トリエチルアミン及び他の有機化合物を含むトリエチルアミン含有水溶液から、上記有機化合物を安定した運転で分離することにより、水中のトリエチルアミンを効率良く回収する方法を提供すること。
【解決手段】第１蒸留塔において、トリエチルアミンと他の有機化合物を含む水溶液から水を分離し、その塔底から該水を排出すると共に、その塔頂からトリエチルアミンと有機化合物と水との混合物を得る第１蒸留工程と、該混合物を第２蒸留塔に導入し、上記混合物を、有機化合物と、トリエチルアミンと水との混合物に分離し、第２蒸留塔の塔底液中のトリエチルアミン濃度を、トリエチルアミンと水とが２液相を形成する濃度に制御しながら、その塔頂部から上記有機化合物を主成分とする塔頂液を抜き出すと共に、その塔底部からトリエチルアミンと水との混合物を得る第２蒸留工程を含む水中のトリエチルアミンの回収方法である。 （もっと読む）

【課題】簡単な蒸留操作で且つ低コストで、酢酸−硝酸−リン酸系混酸廃液から硝酸を高効率で回収する方法を提供する。
【解決手段】この発明に係る酢酸−硝酸−リン酸系混酸廃液から硝酸を回収する方法は、酢酸、硝酸及びリン酸を含む廃液を蒸留することによって、酢酸及び硝酸を含む混酸液を留出させる第１蒸留工程と、前記留出液に、硝酸セシウム及びフッ化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の金属塩を溶解せしめて蒸留を行って、酢酸を留出させることによって、硝酸組成比の増大した混酸液を蒸留残液として得る第２蒸留工程とを包含することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 クメン法によるフェノール製造プロセスから回収される粗α−メチルスチレンから、高純度の精製α−メチルスチレンを取得する、経済的に有利な精製方法を提供する。
【解決手段】 クメン法フェノール製造プロセスで回収される粗α−メチルスチレンから少なくとも第１蒸留塔及び第２蒸留塔での蒸留を経て精製α−メチルスチレンを得るα−メチルスチレンの精製方法であって、以下の１）〜３）を充たす精製方法。
１）粗α−メチルスチレンのα−メチルスチレン含有量は８８〜９８重量％であること、
２）粗α−メチルスチレンを第１蒸留塔で蒸留し、塔頂から軽沸物を分離し、塔底成分を第２蒸留塔に供給すること、
３）第２蒸留塔の該塔底成分の供給部位よりも上方の部位より側流又は塔頂留分として精製α−メチルスチレンを得ること （もっと読む）

【課題】年産１０万トン以上の規模で製造でき、かつ経済的であるという優れた特徴を有するメタクリル酸メチルの製造方法を提供する。
【解決手段】下記の工程を用いる。
熱分解工程：炭素数３以上の炭化水素を熱分解し、プロピンとプロパジエンの合計含有量が２重量％以上である分解ガスを得る
分離工程：分解ガスから、プロピン及びプロパジエンに富む混合液を分離する
プロピン精製工程：混合液を抽出蒸留に付し、精プロピン、及びプロパジエンを主成分とする粗プロパジエンに分離する
異性化工程：粗プロパジエンを異性化触媒の存在下に異性化反応させ、プロピンを主成分とする粗プロピンを得る
カルボニル化工程：第８族金属触媒系の存在下、精プロピンを、一酸化炭素及びメタノールと反応させることによりメタクリル酸メチルを製造する （もっと読む）

【課題】焼酎粕を濃縮処理する際の前処理段階である固液分離処理において、固液分離条件を適切に設定することにより、分離液を濃縮処理することにより製造される濃縮液の流動性に優れる焼酎粕濃縮液の製造方法を提供すること。
【解決手段】焼酎粕を固液分離手段を用いて固液分離した後、加熱による水分蒸発により濃縮して濃縮液を製造する方法において、焼酎粕を目幅０．５〜２．０ｍｍのロータリースクリーン２１によって固液分離した後、その固形分をスクリュープレス２２によって更に固液分離し、前記ロータリースクリーン２１及び前記スクリュープレス２２によってそれぞれ分離された分離液を濃縮することを特徴とする焼酎粕濃縮液の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 シアン化水素含有原料ガスの精製に関する従来技術の諸問題点を解消することのできる汎用プロセスを提供する。
【解決手段】 少なくとも２段階の連続的洗浄工程のうちの少なくとも最初の洗浄工程において精製すべきガス混合物（１）から１種以上のガス成分の大部分を選択的に除去するガス物理洗浄（Ｔ１）における使用済洗浄剤（５，７）を再生するための方法及び該方法を実施するための装置。最初の洗浄工程から取り出した使用済洗浄剤（７）を残余の使用済洗浄剤（５）とは別に再生工程（Ｔ２ａ）へ導いて最初の洗浄工程で原料ガスから除去されたガス成分（１１）の分離処理に付す。 （もっと読む）

【課題】海水などの淡水化で用いられる淡水化装置は、蒸発凝縮方式では、海水から水分を蒸発させるために多くのエネルギーを消費してしまう課題がある。本発明は消費エネルギーの少ない、純度の高い淡水化装置を提供する事を目的とする。
【解決手段】海水などの原水１を望ましくは１０μｍ以下のサイズで噴霧できるノズル２に導入し、霧化室３内に噴霧し、霧化した原水４が吸着材５に吸着されるよう、吸着材５の後段に設けたファン６により吸い込む。霧化室３と吸着材５の間には、孔径が１μｍ程度の濾過フィルター７を設け、不純物や原水の粒子を除去し、濾過フィルター７を通過した水分を吸着材が吸着し、この吸着材を再生装置１９によって再生することで、高湿度の水分を得、これを凝縮することで淡水を得る。 （もっと読む）

【課題】着氷を生じさせずに効率よく冷水を生成できる冷水機、及び、この冷水機を備える冷水式除湿装置、並びにこの除湿装置による除湿空気を所定温度に加熱して乾燥庫に戻して効率よく乾燥処理できる乾燥機を提供する。
【解決手段】冷水機２００は、筒状外壁２０１と筒状内壁２０２との間の間隙２０３に冷媒用の配管２０４を螺旋状に巻回配置し、この配管２０４に冷媒を供給するとともに、間隙２０３に水を流通させることにより冷水を生成するものとし、この冷水機２００を備える冷水式除湿塔は、冷水機２００から冷水の一部を除湿塔１００に送り空気を除湿するものとし、乾燥機は、乾燥庫９００から送られる空気を除湿塔１００で除湿した後、空気加熱装置４００により所定温度に加熱してから乾燥庫９００に戻すように構成する。 （もっと読む）

【課題】いろいろな特化されたアミン化合物を含む剥離液を使用する剥離工程といろいろな種類のレジストと剥離液が使用される場合に発生したレジスト剥離廃液を経済性良く再生するに特に適したレジスト剥離廃液再生方法および再生装置を提供する。
【解決手段】本発明は、水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含むレジスト剥離廃液を再生する方法であって、（ａ）レジスト剥離廃液のアミン化合物と反応して剥離廃液からアミン化合物をアミン−酸化合物として析出させる酸を添加する工程；（ｂ）前記（ａ）工程で析出されたアミン−酸化合物を剥離廃液からフィルタリングする工程；および（ｃ）前記（ｂ）工程のアミンが除去された剥離廃液を分別蒸留させて有機溶媒のみを収得する工程を含むことを特徴とするレジスト剥離廃液の再生方法及びこれに適した再生装置に関する。 （もっと読む）

【課題】海水などの淡水化で用いられる淡水化装置は、蒸発凝縮法では、海水から水分を蒸発させるために多くのエネルギーを消費してしまう課題がある。本発明は消費エネルギーの少ない淡水化装置を提供する事を目的とする。
【解決手段】海水などの原水１を１０μｍ以下のサイズで噴霧できるノズル２に導入し、霧化室５内で噴霧し、霧化した原水６を吸着材７に吸着させ、この吸着材７を再生手段１４によって再生することで、高湿度の水分を得、これを凝縮することで、低エネルギー、省エネルギーにて淡水を得ることとなる。 （もっと読む）