【課題】液状材料を安定して噴霧供給し得る造粒・コーティング方法および装置を提供する。
【解決手段】容器内に投入された粉体に衝突させるように、空気流を供給することにより該粉体を流動化させ、この流動化した粉体に対し、二流体式スプレーノズル方式によりスプレーガスを用いて溶媒、溶液、分散液またはスラリーからなるスプレー液のミストを噴霧する造粒・コーティング方法において、前記スプレー液に二相流を形成するためのスプレーガスをあらかじめ混合し、この混合物からスプレーノズル内流路中で二相流を形成させて流速を加速した後、さらに該二相流とスプレーガスとを衝突させることにより該二相流をミスト化して噴霧することを特徴とする造粒・コーティング方法。 （もっと読む）

【課題】液体や気液混合流体の流れを阻害せずに、溶解物質や懸濁固形物が気体送入管内に付着し難く、一様な気液混合流体を気泡塔内に吹き込み易いノズルを提供する。
【解決手段】溶解物質又は固形物が含まれている或いは生成される液体が送入される液体送入管１３を、上流側大径管部１５と下流側小径管部１６とレデューサー１７で構成し、気体送入管１４を、内径を小径管部の内径よりも小径に形成するとともに、先端側を下流側に斜めに向けて管軸芯Ｙが大径管部の管軸芯Ｘ１に鋭角θで略交差する姿勢で大径管部内に入り込ませて、液体送入管の途中箇所に接続し、大径管部の管内断面積から、大径管部内の気体送入管部分１８の大径管軸芯Ｘ１方向での投影面積を差し引いた差し引き面積Ｓが、小径管部の管内断面積以上になるように、大径管部の内径を設定して、液体Ａ中に気体Ｂを混入してある気液混合流体Ｃを気泡塔内に吹き込み可能に構成してある。 （もっと読む）

【課題】溶剤の供給量を容易に制御することができる２流体ノズルおよび洗浄装置を提供する。
【解決手段】２流体ノズル１は、気体供給管４を介して蒸気供給装置１１に接続され、蒸気供給装置１１は１００℃以上に加熱した水蒸気を２流体ノズル１の気体流路８に供給する。また、気体流路８には、液体供給管５および液体供給路先端部管２を介してエタノール等の溶剤が供給される。液体供給路先端部管２の内径は、液体供給管５の内径よりも小さい。液体供給路先端部管２を支持する支持部３は、液体供給路先端部管２が気体流路内に気体流路の内径の１／３〜２／３張り出すように、気体流路８の側面よりも奥まった部分に配置される。溶剤を吐出する液体供給路先端部管２の開口部は、気体流路内の水蒸気の進行方向側に向けて設けられる。 （もっと読む）

【課題】混合処理液による処理効率を向上させることができる二流体ノズル、ならびにそれを用いた基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】二流体ノズル３は、外筒２３および内筒２４を含む。内筒２４の下端には、硫酸を吐出する半円状の第１処理液吐出口３０と、過酸化水素水を吐出する半円状の第２処理液吐出口３４とが形成されている。外筒２３の下端と内筒２４の下端との間は、第１および第２処理液吐出口３０，３４を取り囲み、窒素ガスを吐出する円環状の環状気体吐出口３１となっている。第１および第２処理液吐出口３０，３４から吐出された硫酸および過酸化水素水は、環状気体吐出口３１から吐出された窒素ガスと混合されて液滴状態となり、ウエハＷの上空またはウエハＷの表面上で混合されて、活性の高いＳＰＭとしてウエハＷの表面に供給される。 （もっと読む）

【課題】処理対象に応じた処理を施すことができる二流体ノズルユニットおよびそれをそなえた基板処理装置を提供する。
【解決手段】二流体ノズルユニット３は、ＤＩＷと窒素ガスとを混合させてＤＩＷの液滴を形成する第１二流体ノズル９および第２二流体ノズル１０と、これら第１および第２二流体ノズル９，１０を一体保持するノズル保持部材１１とを有している。第１二流体ノズル９からは小流量で窒素ガスが吐出されるようになっており、パターンへのダメージを抑制した処理をウエハＷに施すことができる。また、第２二流体ノズルからは大流量で窒素ガスが吐出されるようになっており、パーティクル除去率の高い処理をウエハＷに施すことができる。第１および第２二流体ノズル９，１０から選択的にＤＩＷの液滴を吐出させることにより、ウエハＷの表面状態に応じた適切な処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】気体の吐出流量を変更して処理対象に応じた処理を施すことができる二流体ノズルおよびそれをそなえた基板処理装置を提供する。
【解決手段】ＤＩＷの液滴をウエハＷに供給するための二流体ノズル３には、ＤＩＷを吐出する円状の処理液吐出口２８と、処理液吐出口２８を取り囲む第１気体吐出口２９と、第１気体吐出口２９を取り囲む第２気体吐出口３１とが形成されている。第１気体吐出口２９からは小流量で窒素ガスが吐出されるようになっており、第２気体吐出口３１からは大流量で窒素ガスが吐出されるようになっている。第１および第２気体吐出口２９，３１への窒素ガスの供給を制御装置によって制御することにより、一つの二流体ノズル３で、大流量での窒素ガスの吐出と、小流量での窒素ガスの吐出とを行うことができる。これにより、表面状態に応じた処理をウエハＷに施すことができる。 （もっと読む）

【課題】コスト上昇を抑え且つ作業性を向上させることが可能な、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】高温の洗浄水等の液体が貯蔵された高温水タンク１１と、溶剤（塗装用皮膜化成剤）等が貯蔵された溶剤タンク１６と、高温水タンク１１から洗浄水等を液体圧送ポンプ１２により所定の圧力まで昇圧し液体噴射弁ノズル１３へ送流する第１送流通路と、第１送流通路に連結されて溶剤タンク１６から溶剤等を第１送流通路へ送流する第２送流通路とを備えた液体噴射装置であって、第１送流通路の流速を可変とすることで、第１送流通路と第２送流通路との連結部の負圧をコントロールし、溶剤等の液体噴射弁ノズル１３への送流を制御することで、簡単な構成で噴射液体を変更する。 （もっと読む）

衛生分野において、特にシャワーまたは流しにおいて水を給送するための洗浄装置（１０）は、より低いスループット率で流体を噴霧するための放出口（１）と、噴霧前に流圧を増加させるための配給装置（６）とを備える。本発明の好ましい実施例では、洗浄装置（１０）が、水を加熱するための加熱装置（５）を備える。本発明の好ましい実施例では、高い相対速度で障害物（２１；３４）を打つ流体ジェット（２１）によって霧化が達成される。そのため、障害物は、移動されるかもしくは定置の固体（３４）であるか、または少なくとも１つのさらなる流体ジェット（２１）であり得る。好ましくは、噴霧は、衝突する流体ジェット（２１）を生成するため、および流体を霧化させるための、少なくとも２つのノズル（３）を有する少なくとも１つのノズルセット（２）を備える放出口（１）によって達成される。ノズルセット（２）はたとえば２つ、３つ、４つまたはそれ以上のノズル（３）を備え、これらのジェットが少なくともほぼ一点で互いに衝突する。
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【課題】ＡＤ法によって成膜を行う成膜装置において、エアロゾルの流れを安定化して均一な膜形成を行なうことのできる成膜装置を提供することにある。
【解決手段】成膜装置１には、噴出口２５の長手方向の側方に設けられてこの噴出口２５から噴射されたエアロゾルの噴射流Ｅ１の側方を覆う遮蔽板２６が備えられている。これにより、排気流Ｆによって噴射流Ｅ１が乱れることを抑制し、均一な膜を形成できる。特に、噴射流が大きく流れる噴出口２４の長手方向の側方で流れを遮るように遮蔽板２６を設置することで効果的に噴射流Ｅ１の乱れを抑制できる。また、遮蔽板２６が、成膜チャンバ２０内部での排気口２１に向かう排気流Ｆに対して交差方向に配されている。また、遮蔽板２６は一対が噴射流Ｅ１を挟んで互いに対向して設けられている。また、遮蔽板２６は噴射流Ｅ１に相対する内側面が凹面２６Ａとされている。 （もっと読む）

【課題】 低コストで汚染物質を除去でき、しかも、洗浄対象物を損傷しない洗浄ノズル及びそれを用いた洗浄方法を提供する。
【解決手段】 断面円形のスロート部１１の下流側に流れ方向に拡径するダイバージェント部１３を備えたノズル本体１８と、ノズル本体１８に供給される圧縮空気１５の流れと同方向に洗浄液２０を吐出する洗浄液供給管２１とを有する洗浄ノズル１０であって、洗浄液供給管２１の吐出口２２が、ノズル本体１８の内側壁面２３から離れたスロート部１１の近傍に配置され、しかも、圧縮気体１５がスロート部１１で音速となっている。 （もっと読む）

【課題】 半導体素子や粉体などの静電気を除去して、供給装置や搬送装置へ付着したり、塊状にならないようにした静電気除去装置において、静電気を効果的に除去する。
【解決手段】 気体用ノズル３と液体用ノズル４とを２重筒構造とし、それらの軌道の交点の下流側に拡散板６を設ける。気体が供給され、さらに真空ポンプのような吸出し効果によって同心の液体用ノズル４から液体１０が吸い出され拡散板６に衝突して微細な混合気体が発生し、筐体２内に充満する。このとき、細かい粒子程、筐体２の上部に漂い、大きく重い粒子程、下部に漂う。これによって重い粒子は下降して再び液体１０となり、ティッシュを垂らしても湿めらない程度に小さな粒子は、前記気体の排出によって、上方の排出口７からダクトへ排出され、静電気を除去する。 （もっと読む）

スプレーガン又はノズルの制御のためのシステム及び方法であって、移動する対象物体又は移動する対象物の一部の寸法に対応するようにスプレーガン液体放出パターンが動的に変えられるシステム及び方法。スプレーガンは、ファンエア、霧化エア、液体及びシリンダエアのための入力を含んでいる。例えばコンベアベルト上で近づいてくる対象物体の検出時に、対象物体又は対象物体の一部の形状に対応するスプレーパターンを与えるための所定の或いは同時形成された曲線にしたがってファンエア圧力、霧化エア圧力、液体圧力、シリンダエア圧力が変えられ、それにより、過剰噴射に起因する無駄及び非効率さが最小限に抑えられる。 （もっと読む）

【課題】 有機溶剤ミストの粒径を均一にし、供給量及び濃度を広範囲に制御でき、種々のデバイスに適用できる乾燥処理システムを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】 有機溶剤供給源及び不活性ガス供給源１６にそれぞれ接続されこれらの供給源から供給される有機溶剤と不活性ガスとを混合する混合器２１と、混合器２１で混合された混合ガスにより被処理基板Ｗを乾燥処理する基板処理槽２とを備えた基板処理装置１において、混合器２１と基板処理槽２との間にミスト生成器２２を結合し、このミスト生成器２２にミスト整流板２６、３０を設け、このミスト整流板２６、３０により混合器２１から供給される有機溶剤の液滴を均一粒径のミストを含む気体にして基板処理槽２に供給する。 （もっと読む）

(a)第1のフローチャンバーを画定する第1のフローダクトを含んでいて、第1の排出開口を有する第1のノズルチップを有する第1のノズル;および(b)第2のフローチャンバーを画定する第2のフローダクトを含んでいて、第2の排出開口を有する第2のノズルチップを有する第2のノズル;を含み、このとき前記第1のフローダクトと前記第2のフローダクトが互いに螺旋状に包まれている、少なくとも第1と第2の流体を混合するための装置。本発明はさらに、流体を混合するための方法、特にイソシアネートの製造に適合した、流体を混合するための方法を提供し、この方法は本発明の装置において行うのが特に適切である。 （もっと読む）

【課題】 従来の洗浄装置では、ノズルから噴出される洗浄液は大きな粒子を含むため、汚染物質と被洗浄物の間の隙間に浸透し難く、付着した汚染物質を剥離することは非常に困難である。
【解決手段】 ハウジング６の上部に流水型超音波霧化器７が装着され、流水型超音波霧化器７は上部に超音波振動子８が装着され、超音波振動子８に対向する下面にノズル７ａが形成され、流水型超音波霧化器７に液体供給装置９から液体１０が超音波振動子８に充満するように供給され、超音波振動子８に発振器１１から発振出力が印加され、ハウジング６の側面に気体供給口１２ａを設けた気体供給装置１２が接続され、気体供給口１２ａの対向位置のハウジング６の上部に気体を排出する排出口１３が形成され、排出口１３に吹き出し管１５が形成され、吹き出し管１５の吹き出し口１５ａに対向してワーク１６が載置又は移動可能に載置されている。 （もっと読む）

【課題】 超臨界晶析法によって微細な粒度分布も狭い粒子を効率良く得ることのできる微細粒子の生成装置を提供すること。
【解決手段】 流体を噴出させるノズルと、超臨界流体とを用いた超臨界晶析法による微細粒子の生成装置において、前記ノズル３１の開口７を、略一定幅の長尺な開口とした。 （もっと読む）

【課題】ノズル先端部における付着物の付着を軽減し、ノズルの噴霧の乱れや粗大液滴の生成を防止し、連続運転におけるトラブルの軽減に寄与するノズルへの付着物防止方法及びノズルを提供する。
【解決手段】液体供給口１５と気体供給口１８が各々１以上設置され、液体流路１５は、気体流路１６と平滑面１７との接点に対して開口されるとともに気液流路２１を構成し、各々の平滑面１７から伸ばした延長線どうしが交叉するように、気液流路２１が配置されたノズルを用いる。ノズルのノズル先端部１４の外縁に、液体流路１５、気液流路２１及び気体流路１６が、円環状に形成されており、且つノズル先端部１４の中央からその周囲にかけて少なくとも１つ以上の気体噴出口４２から気体を噴出する。 （もっと読む）

電気動力式の流体噴霧器は、入口ポートと、出口ポートと、ポンプ・チャンバと、圧電要素に掛けられた電気信号により変形および変位することでポンプ・チャンバの容積を変化させる圧電要素と、を含む圧電式流体ポンプを採用する。かかる変位によれば、入口ポート内へ且つポンプ・チャンバ内へと流体が圧送されると共に、ポンプ・チャンバからの流体は出口ポートから送出される。入口ポートは流体貯蔵器と流通する。圧電式流体噴霧器は、（例えば液体および空気などの）異なる流体を圧送する二重チャンバ式圧電ポンプを含む。二重チャンバ式ポンプから送出される流体は、マニフォルド内で混合されて噴射ノズルの下流へと供給される。 （もっと読む）

【課題】 混合する２つの液剤の洗浄液が互いに異なり、しかも一方の洗浄液が他方の液剤と接触するとその液剤が変質を来たすような二液塗料を混合するための二液混合装置に好適な洗浄方法を提供する。
【解決手段】 主剤流路２５（第１流路）内を洗浄している間、硬化剤流路２３（第２流路）内を加圧しているので、硬化剤流路２３内において硬化剤Ｌｂ（第２液剤）と主剤流路２５内の水Ｗａ（第１洗浄液）とが接触することがなく、硬化剤流路２３内で硬化剤Ｌｂが変質することに起因する不具合を回避することができる。硬化剤流路２３内の硬化剤Ｌｂや溶剤Ｗｂ（第２洗浄液）が連通孔２６を通って主剤流路２５に進入しても、主剤流路２５内では水Ｗａが流動しているで、硬化剤Ｌｂや溶剤Ｗｂはその水Ｗａの流れに乗じて二液混合装置Ｍの外へ排出される。 （もっと読む）