【課題】簡単な構造で、スリット状吐出口の厚み方向での噴霧分布の均等性を向上できる噴射ノズルおよびそれを用いた噴霧方法を提供する。
【解決手段】噴射ノズルは、ノズル本体１の先端に並列に形成された２つのスリット状吐出口２ａ，２ｂと、吐出口の上流側に形成された第１の流路３と、流路幅が狭まった第２の流路４と、この第２の流路よりも流路幅が大きな第３の流路５とを備えている。第３の流路５の下流端から第２の流路２の途中部まで、連通流路７を形成する切り欠き凹溝６が軸方向に延びており、切り欠き凹溝６の下流端は、上流からの流体が衝突可能な衝突壁８を形成している。切り欠き凹溝６は第２の流路の対向壁に対向して形成されている。さらに、２つの吐出口２ａ，２ｂは、前記切り欠き凹溝６の対向する方向に対して並列に形成されている。 （もっと読む）

【課題】内部形状が微小な寸法精度と複雑な形状とを必要とする場合にも、部品点数が少なく短時間に製作可能なエアロゾル吐出ノズルおよび該ノズルを用いた被膜形成装置を提供する。
【解決手段】微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材表面に向けて吐出し衝突させて被膜を形成するためのエアロゾル吐出ノズル２であって、該エアロゾル吐出ノズル２は、光硬化性樹脂を用いて光造形法により成形され、エアロゾルを導入するための導入開口２ｄａとエアロゾルを吐出する吐出開口２ｄｂとを有し、導入開口２ｄａの断面が円形であり、吐出開口２ｄｂの断面がアスペクト比 5 以上の矩形である。 （もっと読む）

【課題】金属粒子の混入による絶縁被膜の絶縁特性低下を抑制する。
【解決手段】本実施形態の絶縁被膜形成方法で使用するノズル１は、絶縁被膜を形成する絶縁材料と同質の物質（アルミナ）で形成された２枚の板状部材２，３を貼り合わせて構成されている。高速で通過する絶縁材料の微粒子によってエアロゾルが通過するノズル１の第２の流路表面が削り取られ、削り取られた粒子の一部が絶縁材料の微粒子とともに対象物表面に噴射されて被膜を形成する。しかしながら、ノズル１が絶縁材料と同質の材料たるアルミナで構成されているから、対象物表面に形成される絶縁被膜に絶縁特性を低下させるような不純物（例えば、金属粒子）が混じることがなく、金属製のノズルを用いる従来例とは違い、金属粒子の混入による絶縁被膜の絶縁特性低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物と絶縁材料の熱膨張係数の違いに起因した熱応力による絶縁被膜の密着性低下を防ぐ。
【解決手段】ノズル１内に形成される第２の流路表面には対象物の主成分である金属と同一の金属からなる金属被膜６が形成されている。高速で通過する絶縁材料の微粒子によって金属被膜６から削り取られた金属粒子が絶縁材料の微粒子とともに対象物の表面に成膜される。絶縁被膜における金属の混入量は界面近傍が最も多く、界面から離れるにつれて減少して界面から所定距離以上離れると金属が混入しなくなる。故に絶縁被膜と対象物との界面近傍における熱膨張係数が非常に近くなって両者の密着性を高めることができ、しかも、絶縁被膜の表面近傍には金属が混入しないことから絶縁被膜の絶縁特性（絶縁耐圧）の低下も抑制できる。 （もっと読む）

【課題】実質的に低減されたエア消費量で作動するように適応された、連続金属鋳造システムで液体冷却材を噴射するのに特定の効用を有する、エアアシスト噴射ノズルアッセンブリを提供する。
【解決手段】ノズル本体は、比較的小さいサイズの加圧エア入口を有する予備噴霧化ユニットと、液体の分解を強化しかつエア入口からの加圧エア流と混合するために独自に構成された衝突面を持つ衝突柱３８と、液体の効率的な予備噴霧化を損じる渦流を低減するように構成された膨張チャンバ２５とを含む。噴射ノズルはさらに、着脱自在の噴射先端を適切に受容し支持するためにその長手軸に対して予め定められた回転方向に予備噴霧化ヘッドに開放自在に装着するように適応された細長い噴射先端支持胴を含む。 （もっと読む）

多成分液体噴霧システムは、物品または基板、例えば広いウェブのコーティングを含む様々な用途で有用である。幾つかの用途において、噴霧として、すなわち、多くの分散型の滴下状に動く材料として多成分液体を送出することは望ましい。例えば、成分の早すぎた相互作用、成分の誤った比率、必要物の除去、および送出された組成物の不均一性を含む様々な要因は、噴霧として多成分組成物を送出する際に生産性を制限し得る。幾つかの多成分液体噴霧システムにおいて、様々な成分は、システムから送出される前に混合される。
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【課題】処理液の液滴が基板上において所定の処理空間よりも外側に飛散することを防止する。
【解決手段】基板処理装置１は、処理液の液滴をキャリアガスと共に基板９に向けて噴出する液滴噴出ノズル２、基板９の移動方向の両側において液滴噴出ノズル２の液滴噴出口２１に平行に伸びる遮蔽ガス噴出口４１を有する遮蔽ガス噴出ノズル４、および、遮蔽ガス噴出ノズル４の液滴噴出ノズル２側に配置されて処理液の液滴を吸引する処理液吸引ノズル３を備える。基板処理装置１では、液滴噴出ノズル２からの処理液の液滴噴射領域が、基板９上において遮蔽ガス噴出ノズル４からの遮蔽ガスの噴流により囲まれているため、液滴噴出ノズル２から噴出された処理液の液滴が、基板９上において、遮蔽ガスの噴流に囲まれる処理空間よりも外側の領域に飛散することを防止することができる。また、使用済みの処理液を効率良く回収することができる。 （もっと読む）

【課題】処理液の液滴の飛散を抑制するとともに処理液を効率良く回収する。
【解決手段】基板処理装置１は、処理液の液滴をキャリアガスと共に基板９に向けて噴出する液滴噴出ノズル２、基板９の移動方向に関して液滴噴出ノズル２の両側に配置されるとともに液滴噴出ノズル２から基板９に噴射された処理液の液滴を周囲のガスと共に吸引する２つの処理液吸引ノズル３、および、液滴噴出ノズル２の下端部に形成された液滴噴出口２１よりも基板９側において基板９に沿って液滴噴出ノズル２の周囲に広がる平板状の遮蔽板４を備える。基板処理装置１では、液滴噴出ノズル２から噴出された処理液の液滴が、遮蔽板４と基板９との間の処理空間から外側に飛散することが抑制されるとともに処理液吸引ノズル３により、処理空間内の処理液の液滴を効率良く吸引して回収することができる。 （もっと読む）

【課題】機械的な裁断や研磨処理などを行った後のガラス基板の端面などに付着した異物を効果的に除去する。
【解決手段】液体と気体とをスプレーノズルに供給し、上記スプレーノズルで上記液体と上記気体とを混合した流体を基板に噴射することにより上記基板を洗浄する基板洗浄装置において、スプレーノズルに供給する液体を加熱して上記液体の温度を制御する液体加熱手段を有し、上記スプレーノズル入口における上記液体の温度を４０〜１００℃に制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】 支持体上に塗布液をスプレー塗布装置にて塗設する際、塗布中に液滴の落下を防止し長時間の塗布が安心して行うことが可能なスプレー塗布装置及びスプレー塗布方法を提供することである。
【解決手段】 連続搬送する支持体上に形成されたインク吸収層の幅方向の全幅上に、塗布液をスプレー塗布し表面層を形成するスプレー塗布装置において、乾燥工程の外部に配設され、スプレーコータと、塗布液飛散防止手段とを有し、前記塗布液飛散防止手段は、前記スプレーコータ側に開口部を有する本体と、吸引手段と、回収手段と、支持体と前記本体の下面との間隙に気体を供給する気体供給手段とを有し、前記本体の天板の内側に、前記支持体の搬送方向と同一方向に溝が設けられていることを特徴とするスプレー塗布装置。 （もっと読む）

【課題】 ガラス容器の口部にコーティングを行う際に、コーティング液が容器内部に付着しにくく、また、口部以外の不要部分にもコーティング液が付着しにくいスプレーノズル及びスプレー装置を開発する。
【解決手段】 先端のノズルチップの側面に、水平方向に形成された横長スリット状の吐出口を形成する。ミストがほぼ水平方向に噴射されるので、コーティング液が容器内面に付着しにくく、縦方向のミスト広がり角度が小さいので、口部以外の無用なコーティング液の付着を防止でき、横方向のミスト広がり角度が大きいので、口部外周及び天面にまんべんなくコーティングを行うことができる。吐出口に対向して吸引部を設けると、ガラス容器の口部に付着しなかった余剰のミストが吸引され、更にコーティング液が容器内面に付着しにくくなる。 （もっと読む）

【課題】 ノズルで蒸気を噴射した場合、ノズルを出た蒸気が周囲の空気を巻き込み、急激に温度が低下し、流速が小さくなるという問題があった。また、一部のノズルで、平らにしたものは、ノズル入口部で絞り、ノズル内で膨張させるため、噴出口での速度が小さくなるなどの欠点があった。また、温水や洗浄剤をノズル前で混合しているため、均等に分散しないなどの問題があった。
【解決手段】 ノズルを上下分割構造にし、噴出口のスリットすきまを小さくし、幅との積が噴出口流路面積となるが、供給口、供給通路、凹みなどの流路面積を噴出口の流路面積より十分大きくし、噴出口で絞るようにする。また、助剤は、ノズルの中に複数の助剤管を設け、噴出口前近くに供給するようにし、均等に分散するようにする。 （もっと読む）

【課題】揮発性の低い洗浄薬液を用いて強打力で洗浄を行った際でも乾燥性が非常に高く、洗浄薬液残りに起因する縦筋ムラを無くすことができ、且つ毎回一動作の洗浄でスリットノズルの先端部に乾燥固着する異物を完全に除去することで歩留まりを向上させ、タクトタイムを短縮する事が可能な洗浄装置付塗布装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置は、スリットノズル先端部８の外側に洗浄薬液と不活性ガスを混合した２流体を噴出する２流体ノズル１０と、２流体ノズル１０の逆進行方向側に不活性ガスを噴出する液切りノズル１８とをスリットノズル１の長手方向に配列してなる２組が、スリットノズル先端部８の外側を挟みこむようにスリットノズル１の長手方向に平行に近設されている洗浄部と、この洗浄部の下部に位置して、発生したミスト状廃液を強制排気する排気部とで構成される洗浄ヘッド２３を具備する。 （もっと読む）

【課題】 長尺な基板に対して長尺方向に均一に処理することができる二流体ノズルおよび該二流体ノズルを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】 第２流体吐出管３８から吐出された純水は対向面３７１に衝突することによって粉砕され、該純水の液滴群が生成される。そして、生成された液滴群は対向面３７１に沿ってＹ方向に扇形状に広がりながら、Ｙ方向に延設された混合室３２に送り込まれる。このため、液体の液滴群はＹ方向に広がった状態で第１流体吐出路３３から吐出された圧縮空気と混合され、Ｙ方向において均一にミスト状の純水が生成される。したがって、Ｙ方向に均一に生成されたミスト状の純水をＹ方向に延びる開口３１から基板Ｗに向けて噴射することによって、長尺な基板Ｗに対しても長尺方向（Ｙ方向）に均一に処理することができる。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルの噴霧圧力の設定可能範囲を拡げると共に、噴霧異常が発生しないようにする。
【解決手段】横長なボデイの長さ方向の一端面に沿ってスリット状噴射孔２３を設けると共に、該ボデイ内に長さ方向に沿って液体流路２０と気体流路１６を設け、これら液体流路２０と気体流路１６とをスリット状噴射孔２３側で４５°〜９０°の角度の交差角度θ２で合流させて気液衝突混合部２１を設け、気液衝突混合部２１とスリット状噴射孔２３とを小径流路２２で連通し、スリット状噴射孔２３のスリット幅は小径流路２２の幅以下に設定している。
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【課題】 超臨界晶析法によって微細な粒度分布も狭い粒子を効率良く得ることのできる微細粒子の生成装置を提供すること。
【解決手段】 流体を噴出させるノズルと、超臨界流体とを用いた超臨界晶析法による微細粒子の生成装置において、前記ノズル３１の開口７を、略一定幅の長尺な開口とした。 （もっと読む）

【課題】 表面層をスプレー塗布装置にて形成し記録用紙を製造する際、スプレー状態の確認が容易で、支持体及び塗布液のロスが少なく、塗布故障を防止しした記録用紙の表面層のスプレー塗布方法、表面層塗布用のスプレー塗布装置、記録用紙の提供。
【解決手段】 バックアップロールに支持され連続搬送する支持体上のインク吸収層上に、スプレー塗布装置により、塗布液をスプレー塗布し表面層を形成する、インクジェット記録用紙の表面層のスプレー塗布方法において、該スプレー塗布装置は、スプレーコータと、監視手段と、塗布液飛散防止手段とを有し、該塗布液飛散防止手段の開口部を前記スプレーコータの幅方向の壁面に接触させ、前記開口部の面積が噴霧面積に対して１００〜７００％で、気体吸引量が前記スプレーコータの気体供給量に対して１００〜３００％であることを特徴とするスプレー塗布方法。 （もっと読む）

【課題】
塗布液を粒子状にして、基板上に塗布する際、大面積基板になればなるほど、ミスト供給部の開口部面積が大きくなる為、キャリアガスの流量を多くしなければミスト供給部へ供給される吐出の流速が速くならず、吐出量が不安定であった。
【解決手段】
２流体ノズルを備えたミスト発生室と、ミスト発生室で生成したミストを基板上に塗布するミスト供給部と、ミスト供給部のスリット開口に対向して所定間隔を開けて基板を保持して水平方向に移動する移動機構を備えた駆動ステージと、ミスト発生室の底部に溜まった塗布液を回収し、再利用する塗布液を送液及び回収する送液・回収機構を備え、ミスト供給部とミスト発生室の間の減圧弁を設け、ミスト発生室内の圧力を所定値に保持するための補助圧力気体供給部とを設けた構成とした。 （もっと読む）

【課題】原料、エネルギー等の消費量が非常に少なく、多数の無機材料を短時間で効率よく合成することが可能な無機材料の製造方法であって、新規な機能性材料の探索のために多数の無機材料を製造する際に、組成の異なる試料を同時に製造する方法として適した方法を提供する。
【解決手段】下記の工程を含む無機材料の製造方法：
（ｉ）それぞれ異なる種類の金属成分を含有する複数の原料溶液を用い、試料容器毎に定めた量となるように各原料溶液を２個以上の試料容器中に注入して、組成の異なる２種以上の試料溶液を調製する工程、
（ii）上記（ｉ）工程で調製された試料溶液を採取し、試料溶液の種類ごとに、基板上の異なる位置に噴霧又は噴射する工程、
（iii）複数の試料溶液が噴霧又は噴射された基板を加熱して、該基板上で複数の無機材
料を形成する工程。 （もっと読む）

【課題】 連続鋳造装置の二次冷却帯において、ノズル先端部への塵芥の付着及び堆積を防止し、長期に亘り安定な噴霧パターンが得られる噴霧ノズルを提供する。
【解決手段】 連続鋳造装置の二次冷却帯で鋳片を冷却するため、横方向に向けてノズル噴射口から気液混合ミストを噴霧するためのノズル３は、ノズル３の先端の上面にノズル噴射口４よりも前方に突出する角状の突出部６と、ノズル噴射口４の下部に形成され、後方へいくにつれて湾曲して半径方向に拡がる切欠部７を備えている。噴霧ノズル３の噴霧パターンはフラットパターンである。 （もっと読む）