【課題】線塗布及び点塗布のどちらの塗布でも精度良く塗布を行う。
【解決手段】ペースト吐出装置４は、上端が開口する断面円形の液室１２ａ及びこの液室１２ａ内のペーストを吐出するノズルＮを有する本体１２と、液室１２ａに供給するペーストを貯留するシリンジ１１と、そのシリンジ１１内に加圧気体を供給する気体供給部１１ａとを備える。本体１２は、回転駆動によってペーストをノズルＮへと送るスクリュー１３を液室１２ａ内に着脱可能に構成されると共に、そのスクリュー１３を離脱させた状態において液室１２ａの開口を塞ぐ蓋部材を着脱可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】たとえばフラットパネルディスプレイに用いられる基板に発生した欠陥の修正など、塗布針と塗布対象物との間に強い電界を形成することなく、塗布針に供給された液体材料を当該塗布針より離脱させることにより、液体材料を塗布対象物上に塗布することができる、液体塗布装置、当該液体塗布装置を備えるパターン修正装置および微細パターン描画装置、ならびに液体塗布方法を提供する。
【解決手段】液体塗布装置５は、塗布針２０と、塗布針２０による液体材料の塗布に際して塗布針２０を振動させる超音波発生器２０ａとを備えている。 （もっと読む）

【課題】 基板の周辺領域にレジスト等の樹脂膜を効率良く形成することができ、半導体素子製造におけるスループット向上に寄与する。
【解決手段】 素子形成に供される基板１０上の周辺部に樹脂膜を塗布する塗布装置であって、基板１０が載置され、少なくとも１８０度回転可能な回転テーブル３２と、基板１０の中心を通る第１の方向（Ｘ方向）軸で２分割された第１の基板周辺領域及び第２の基板周辺領域の一方に相当する円弧に沿って樹脂を吐出するための複数のノズルを配置してなり、該ノズルが基板１０の周辺領域に対向するように設置される樹脂膜形成ヘッド部５０と、基板１０と樹脂膜形成ヘッド部５０を相対的に、第１の方向とは直交する第２の方向（Ｙ方向）に移動させる移動機構４５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】部品点数を減少させて材料コスト及び組み立てコストを低減することができると共に、液体漏れを抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ヘッド本体３０と流路部材２０との間に設けられて、ヘッド本体３０よりも大きな面積を有する回路基板４０と、ヘッド本体３０に液体噴射面の外側で周方向に亘って当接すると共に、流路部材２０に回路基板４０の外側で周方向に亘って当接して、流路部材２０及びヘッド本体３０との間に回路基板４０を密封する空間を画成する蓋部材５０と、を具備し、蓋部材５０と前記ヘッド本体３０との間を封止する内周シール部材５５が、蓋部材４０及びヘッド本体３０の何れか一方に２色成形によって形成され、蓋部材５０と流路部材２０との間を封止する外周シール部材５２が、蓋部材５０及び流路部材２０の何れか一方に２色成形によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】シリンジのネジ締結部の緩みを排除して、ペーストの漏れを防止することができるペースト塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】シリンジ１６の下端部に設けられたペースト送給口１６ｅがねじ締結部を介して着脱自在に接続される回転部材３２を軸線ＡＺ廻りに回転自在に保持し、この回転部材３２の下部に設けられた吐出ネジ部３２ｂが嵌合する吐出空間３１ｂが形成され、吐出ネジ部３２ｂを吐出空間３１ｂ内で軸線ＡＺ廻りに回転させることによりペーストを圧送するためのポンプ機構１８を形成するケーシング部３１と、回転部材３２をケーシング部３１に対して所定方向に相対回転させることによりポンプ機構１８を作動させてペーストを吐出口１７ａから吐出させる吐出用回転駆動機構とを備えた構成において、回転部材３２のペースト吐出時の回転方向をねじ締結部による締結時の回転方向と逆方向に設定する。 （もっと読む）

【課題】カバー部材の可撓性を周知の限界以下に低下させ、それにより印刷方向におけるノズル密度を増大しそしてプリントヘッドの印刷速度をも速めることを可能にする液滴射出装置の提供。
【解決手段】各流体チェンバーがチェンバー壁間隔で互いに分離された相対する一対のチェンバー壁によって画成されそしてそれからの液滴射出のためのノズルと流体連絡している複数の流体チェンバーからなる列；および該複数のチェンバー壁の端へ接合しそれにより該チェンバーの１つの側面をシールするカバー部材をもち、該カバー部材の厚さ対該チェンバー壁間隔の比が１以下対１である液滴射出装置。 （もっと読む）

【課題】デバイスの品質の低下を抑制できる液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】基板上の隔壁によって規定される凹部の開口と液滴吐出口とが対向する第１状態で、凹部に、液滴吐出口より複数の液滴を供給する第１動作と、第１動作後、開口と液滴吐出口とが対向しない第２状態に変化させる第２動作と、第２動作後、第１状態に変化させて、液滴が供給された凹部に、液滴吐出口より複数の液滴を供給する第３動作と、を含み、第３動作における液滴供給位置が、第１動作における液滴供給位置より、開口のエッジから離れるように、第３動作における複数の液滴の間隔を第１動作における複数の液滴の間隔よりも狭くするための液滴供給位置の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物の表面及び裏面に相対位置精度良くパターンを形成する。
【解決手段】塗布装置１は、塗布対象物Ｗの表面Ｗａ及び裏面Ｗｂに液を塗布してパターンを形成する塗布装置であって、液をノズルから吐出する塗布ヘッド４と、塗布対象物Ｗを撮像可能な撮像部６と、塗布ヘッド４のノズルから吐出された液によって塗布対象物Ｗの表面Ｗａに形成されたパターンを撮像部６により撮像した撮像画像に基づいて、塗布対象物Ｗの表面Ｗａに形成されたパターンの位置を検出し、その検出した位置に基づいて塗布ヘッド４による塗布対象物Ｗの裏面Ｗｂに対する液の塗布位置を調整する制御装置９とを備える。 （もっと読む）

【課題】種々の流体材料特性に適合する高い性能を備えた改良型射出弁を提供する。
【解決手段】改良型空気圧射出弁（10）は、空気圧ピストン（80）が納められている第１及び第２のチャンバを備えたハウジングを有する。第１及び第２の電磁弁（82，84）が空気圧力をこれらチャンバにそれぞれ供給したりこれらを排気したりするよう構成されている。コントローラ（104 ）がチャンバの加圧及び空気抜きを調整するよう動作可能である。コントローラは両チャンバを加圧するオーバーラップ時間を制御するよう第１及び第２の電磁弁のための制御信号のタイミングを制御する。オーバーラップ時間の制御によってコントローラは射出弁の駆動ピンの速度及び射出弁が材料液滴を射出するために閉じる速度を制御する。これにより射出されるべき材料の粘度に最も適した弁速度を選択することができる。 （もっと読む）

【課題】曲面などの特殊形状の物品に対しても、精度良く印刷することができる印刷装置及び印刷システムを提供する。
【解決手段】印刷ヘッド４０と、ゲート３１とを備える印刷装置３０において、ゲート３１に細長のシャフト３４を、一端を上方、他端を下方に向けて取り付け、印刷対象物（ロールベールラップサイロ５）がゲート３１を通過する際に、印刷ヘッド４０が印刷対象物５に接触して押し上げられ、シャフト３４に沿って移動するようにする。また、この印刷装置１０を、運搬装置１０における印刷対象物を運搬する運搬ラインの途中に設け、印刷対象物（ロールベールラップサイロ５）が印刷装置１０の印刷ヘッド４０の下方を通過するようにして印刷システム１とする。 （もっと読む）

【課題】隣接するノズルを誤吐出させてしまうノズルを検出する吐出状態検査モードを有する塗布装置および吐出状態検査方法を提供する。
【解決手段】複数のノズル１１を有し、一部もしくは全部の隣接するノズル１１同士は、その間に駆動隔壁１４を共有し、駆動隔壁１４を伸縮させることによりノズル１１から液滴を吐出する吐出ユニット１３を備え、各ノズル１１から検査面３１へ液滴を吐出し、液滴の吐出状態を検査する吐出状態検査モードを有する塗布装置１であって、吐出状態検査モードでは、吐出ユニット１３の各ノズル１１を、液滴の吐出を行う吐出ノズルと、液滴の吐出を行わない不吐出ノズルとに分けて設定し、吐出ノズルから液滴を吐出して検査面３１への着弾パターンの形成を行い、次に、着弾パターンから液滴の位置を確認し、不吐出ノズルから誤って吐出された液滴が存在するか否かを検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度な吐出量制御が可能で、装置信頼性が高いインクジェット装置を提供すること。
【解決手段】インクを吐出するノズル、ノズルに連通する圧力室、圧力室に圧力を加える圧電素子、圧電素子に電圧を印可して駆動する駆動回路を有するインクジェット装置において、前記駆動回路は、同一の圧電素子に少なくとも二つの駆動回路が接続されており、さらにそれぞれの駆動回路の駆動電圧が異なり、駆動電圧の低い駆動回路の信号が先に印可されるよう構成する。 （もっと読む）

【課題】インクの温度をより正確かつ追従性良く検出する。
【解決手段】液体を吐出するためのノズルと、温度を検出するためのダイオードと、を有するノズルプレートを備えた液体吐出装置において、前記ノズルプレートは半導体で形成され、前記ダイオードは前記ノズルプレートに所定物質を添加することにより生成されたＰ型半導体およびＮ型半導体で形成される構成とした。また、上記ダイオードにおける電圧降下に応じて温度を検出する温度検出部と、温度検出部により検出された温度に基づいて上記液体の吐出を制御する吐出制御部とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】液滴の微小化を図る。
【解決手段】本発明は、チャンバー内の圧力を変動させるための第１素子と、前記チャンバー内の液体を吐出するノズルの流路の断面積を変動させるための第２素子とを備えたヘッドと、前記第１素子及び前記第２素子の駆動を制御するコントローラーとを備えた液体吐出装置である。前記コントローラーは、前記ノズルの流路の前記液体に外向きのエネルギーを与えるように前記第１素子を駆動した後に、前記ノズルの流路の断面積を収縮させるように前記第２素子を駆動することによって、前記ノズルから液滴を吐出させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高分子を含有する液体を噴射するに際し噴射される液体を微小化すること。
【解決手段】電圧を液体噴射ヘッドに印加して、高分子を含有する液体を噴射させる液体噴射ヘッドの駆動方法であって、該電圧を第１電圧から第２電圧に上昇させることと、該電圧を該第１電圧から該第２電圧に上昇させたときよりも大きな傾きで該第２電圧から第３電圧に上昇させ、該第３電圧に保持することと、該電圧を該第３電圧から第４電圧に降下させ、該第４電圧に保持することと、該電圧を該第４電圧から第５電圧に上昇させ、該第５電圧に保持することと、該電圧を該第５電圧から第６電圧に降下させ、該第６電圧に保持することと、該電圧を該第６電圧から第７電圧に上昇させることと、を含み、該電圧を該第４電圧から第５電圧に上昇させたときの傾きは、該電圧を該第２電圧から該第３電圧に上昇させたときの傾きよりも緩やかである液体噴射ヘッドの駆動方法。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドが有するインク室構成部材において、製造時の作業性に優れ、かつひずみの少ないインク室構成部材を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドにおいてインクを収容するインク室となる穴を有するインク室構成部材を、プレート１１３Ａ〜１１３Ｃの積層体の熱拡散接合によって接合して形成するにあたり、前記プレートの短手方向に細長く開口する第一の長穴２１０と、長手方向の両端部において長手方向に細長く開口する第二の長穴２２１、２２２とを前記プレートに形成し、これらの長穴に位置決めピンを挿通されている前記プレートの積層体を形成し、位置決めされている状態で前記プレートを熱拡散接合によって接合してインク室構成部材を形成する。 （もっと読む）

【課題】ケーブル、ホースやパイプなどの長いものに連続して印字する場合、帯電タイミングを検出し、印字乱れの発生を防止する。
【解決手段】加圧インクをノズルより噴出し、粒子化するインク粒子作成手段と、粒子化されたインク粒子のうち印字されるドットに対応するインク粒子に電荷を帯電させる帯電手段と、該電荷が帯びたインク粒子を偏向電界中で偏向する偏向手段と、印字されないドットに対応するインク粒子をガターで回収する回収手段と、被印字物上にドットマトリクス状に文字を形成する文字形成手段とを備えたインクジェット記録装置であって、ドットマトリクス文字を形成する際、印字に使用しないインク粒子に位相検出用帯電信号を与え、ドットマトリクス文字を形成する過程において最適な帯電タイミングを検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高分子を含有する液体を噴射するに際し噴射される液体を微小化すること。
【解決手段】電圧を液体噴射ヘッドに印加して、高分子を含有する液体を噴射させる液体噴射ヘッドの駆動方法であって、前記電圧を第１電圧から第２電圧に上昇させることと、前記電圧を前記第１電圧から前記第２電圧に上昇させたときよりも大きな傾きで前記第２電圧から第３電圧に上昇させ、該第３電圧に保持することと、前記電圧を前記第３電圧から第４電圧に降下させ、該第４電圧に保持することと、前記電圧を前記第４電圧から第５電圧に上昇させ、該第５電圧に保持することと、前記電圧を前記第５電圧から第６電圧に降下させ、該第６電圧に保持することと、前記電圧を前記第６電圧から第７電圧に上昇させることと、を含み、前記第５電圧は前記第３電圧よりも高い液体噴射ヘッドの駆動方法。 （もっと読む）

【課題】 高効率で液滴吐出の良否を検査する。
【解決手段】 基板を保持し水平面内方向に移動させることのできるステージと、絶縁材を吐出しうる複数のノズルを備え、ステージに対向配置される吐出ヘッドと、ノズルから吐出された絶縁材の着弾跡を検出するセンサと、ステージ、吐出ヘッド、センサを制御する制御装置とを備え、ステージは基板を少なくとも一軸方向に移動させることができ、吐出ヘッドの複数のノズルは、水平面内で一軸方向と直交する方向に沿って配置され、センサはステージに対して、水平面内で一軸方向と直交する方向に相対的に移動可能に、ステージに対向配置され、制御装置はステージと吐出ヘッドを制御して、基板に絶縁材を吐出させて描画を行う機能と、ステージとセンサを制御して、吐出された絶縁材の着弾跡を検出する機能とを備え、制御装置は、吐出された絶縁材の着弾跡の検出時に、センサをステージに対して、水平面内で一軸方向と直交する方向に相対的に移動させる液滴吐出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】キャリッジ駆動モータのホールド制御によって消費電流が多くなる。
【解決手段】キャリッジ３の位置ずれが生じる温度を設定し、キャリッジ３の周辺温度を検出し、検出した温度（検出温度）が設定温度以上であるか否かを判別し、検出温度が設定温度以上でなければ、ホールド期間では主走査モータ５にホールド電流又は電圧を供給するホールド制御し、検出温度が設定温度以上であれば、ホールド期間では主走査モータ５にホールド電流又は電圧を供給していない状態にする。 （もっと読む）