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Fターム[4F042BA22]の内容

塗布装置−一般、その他 (33,298) | 制御 (5,159) | 制御変量 (5,140) | 光学的量、放射線量 (219)

Fターム[4F042BA22]に分類される特許

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【課題】飛行中の液滴にレーザ光を照射して飛行中の液滴を乾燥させるパターン形成装置において、飛行中の液滴の乾燥効率を向上させるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源32から出射された基本レーザ光Leを第1レーザ光Le1と第2レーザ光Le2とに分割するハーフミラー34を設けて、第1及び第2レーザ光Le1,Le2の光路上に強度分布をガウシアン分布からトップハット型分布に変換するDOE42a,42bを配置する。そして、飛行中の液滴に対して両側からトップハット型分布の第1レーザ光Le1と第2レーザ光Le2とを相対向するように照射する。 (もっと読む)


【解決手段】本発明は、基板(6,16)の表面上に、パターン形成されたレジスト(2a,12a)のコーティングを塗布する方法に関する。前記方法は、流動性を有するレジスト(2,12)がスタンプの表面に構築されたレジストコーティング(2,12)を与えるために、前記スタンプ(1,11)の構築された表面と支持物(3,13)との間で押印される、少なくとも1つの印ステップと、それぞれに、前記構築されたレジストコーティングの第1の部分(2a,12a)を備える前記スタンプと、前記レジストコーティングの第2の部分(2b,12b)を備える前記支持物と、が互いから分離される次に続く分離ステップと、前記構築されたレジストコーティング(2a,12a)を前記基板(6,16)の表面上に転写するために、前記スタンプ(1,11)の表面上の、前記パターン形成されたレジストコーティングの前記第1の部分(2a,12a)が、前記基板(6,16)の表面に押圧される、次に続く転写ステップと、前記構築されたレジストコーティング(2a,12a)の前記第1の部分(2a,12a)が硬化される、硬化ステップと、前記スタンプ(1,11)が前記構築されたレジストコーティングの前記第1の部分(2a,12a)から分離される、離型ステップと、を備える。 (もっと読む)


【課題】 検査用基板の各領域間で塗布液との接触角にばらつきがあっても、各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の着弾面積に基づいて、各ノズルの個体差に起因する各ノズルの吐出量を均等化すること。
【解決手段】 塗布ヘッド5に設けた複数のノズルNから塗布液を液滴として吐出させて基板Kに塗布する液滴塗布方法において、検査用基板K0の各領域間での接触角のばらつきを求める工程と、各ノズルからの液滴の吐出量が均等化されたときの、各ノズルから検査用基板K0の各領域に着弾するはずの液滴の狙いの着弾面積を、各領域間での接触角のばらつきにより補正して求める工程と、各ノズルからの吐出量を当該ノズルの狙いの着弾面積に基づいて制御する工程とを有してなるもの。 (もっと読む)


【課題】媒体上に着弾した液体の厚みを均一化させる。
【解決手段】列をなして並ぶ複数のノズルと、紫外線を照射する照射部と、媒体を前記複数のノズルに対して搬送方向へ搬送させる搬送動作と、前記複数のノズルから媒体に向けて液体を噴射することにより前記搬送方向に沿うドット群を該媒体に形成するドット群形成動作と、を交互に繰り返し実行して前記ドット群を前記搬送方向に沿って複数形成するとともに、前記ドット群形成動作を実行する都度、前記照射部に紫外線を前記ドット群に向けて照射させて該ドット群を硬化させる照射動作を実行する制御部と、を有する液体噴射装置であって、前記照射動作の際、前記照射部は、前記搬送方向における前記ドット群の中央部に向けて紫外線を照射する時期よりも遅い時期に、前記搬送方向における前記ドット群の両端部のうち、少なくとも一方の端部に向けて紫外線を照射する液体噴射装置。 (もっと読む)


【課題】スプレーガンから吐出される微流量の塗料を容易に精度良く計測してスプレーガンによる塗布量を精度良く制御できるようにする。
【解決手段】塗料供給タンク1に圧力を調整した圧送用エア3を供給することにより塗料aをスプレーガン5に供給して吐出させると共に、スプレーガン5に霧化用エア14を供給して塗料を噴射させ、スプレーガン5から吐出されない塗料a'は戻り管7により回収するようにしている塗装装置の噴射量の制御において、霧化用エア14の供給を停止した状態で塗料供給タンク1に圧送用エア3を供給してスプレーガン5に塗料を供給し、スプレーガン5から吐出されて滴下する液滴Xの滴下間隔を計測し、液滴Xの滴下間隔が設定範囲内になるように圧送用エア3の圧力を調節して、スプレーガン5から噴射される塗料の噴射量を制御する。 (もっと読む)


【課題】液体の経時変化や周辺環境による変化に拘わらず、ノズルから滲み出た液体が隣接するノズルから滲み出た液体と接触して凝集することなくノズル面に広く液体を滲み出させ、清掃性を向上させる。
【解決手段】複数のノズル14bを備えた液滴吐出ヘッド14に供給するインクが収容され該複数のノズル14bに連通するサブタンク16の内部の圧力をポンプ18により加圧し、液滴吐出ヘッド14内を加圧する。加圧開始後、撮像装置24によりノズル面を撮影して、液滴吐出ヘッド14の少なくとも1つのノズルからノズル面上に滲み出たインクの境界の位置を検出する。この検出結果に基づいて、隣接するノズルからノズル面上に滲み出た各々のインクの境界が接触する直前で液滴吐出ヘッド14内に対する加圧が停止されるようにポンプ18を制御する。 (もっと読む)


【課題】回転台を手動で回転させても、正確な接着剤の塗布、硬化作業が行なえる接着剤塗布硬化装置を提供する。
【解決手段】被作業物を保持する複数の保持具を等角度ごとに備えた回転台に被作業物を順次供給、回収して、回転台が一回転する間に作業機により接着剤の塗布、硬化を行なう装置であって、回転台を手動で回転して、等角度ごとに設定された回転停止位置で、回転台停止手段により回転台の回転を停止し、回転台が回転停止位置まで回転すると、回転台固定手段により回転台を固定し、保持具に保持された被作業物に接着剤塗布手段により接着剤を塗布するとともにともに、接着剤硬化手段により塗布された接着剤を硬化する。そして、接着剤の塗布作業が完了してから所定時間が経過した後、回転台固定手段による固定を解除する。 (もっと読む)


【課題】 装備する長尺管型紫外線ランプの発光管中央部がランプ点灯時に重力により垂れ下がる熱変形が起こるのを抑制する手段が、性能への影響を極力小さくする構成で備えられた空冷式紫外線照射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 ランプ発光管の管軸に垂直な面への投影図上で紫外線照射方向に直交し該発光管を介して対向する位置関係で配置される一対の発光管支持体によって該発光管中央部外表面を挟持する構成とした。該発光管支持体は、発光管外側面との接触面が凹面であり高耐熱性透光性材料から構成される発光管支持片と、該発光管支持片を穿貫してこれを固定し、自らは、通気孔を備え光源部と通気筒部とを隔てる隔壁に嵌挿され保持される、高耐熱性高熱伝導性金属材料から成る固定杭と、から構成される。 (もっと読む)


【課題】物質を迅速に硬化させるのに充分なエネルギー密度を供給するエネルギー源を提供する。
【解決手段】本発明は、物質硬化装置に関するものである。該装置は、物質を硬化させるように選択された周波数で電磁エネルギーを放出するためのダイオードと、ダイオードによって放出された電磁エネルギーの少なくとも一部を受けるように位置決めされた集光器とを備える。集光器は、受けたエネルギーを集束して強度を上げ、エネルギーを物質のエリアに向けるように選択される。該エリアは、長さと、該長さより小さい幅を有する。 (もっと読む)


【課題】保持器及び転動体における潤滑剤の塗布状態の検査を行う際の撮像処理回数を低減させること。
【解決手段】パレット上のベアリングに対して上方から紫外光を照射し、下方から赤色の可視光を照射した状態で、上方からベアリングのカラー画像を撮像する。ボール上の潤滑剤は紫外光を受けて蛍光を発する。そこでボールにおける潤滑剤の付着状態を、撮像画像における、ボール上の潤滑剤付着領域と非付着領域とを色の違いに基づいて判断する。保持器における潤滑剤が塗布されていない領域は、紫外光による励起光と、赤色の可視光との混色により紫色に映し出される。保持器における潤滑剤の塗布されている領域は、赤色の可視光を透過せず、紫外光を受けて蛍光を発するため青色に映し出される。そこで保持器における潤滑剤の塗布状態を、保持器上の潤滑剤付着領域と非付着領域との色の違いに基づいて判断する。 (もっと読む)


【課題】液膜を乾燥させて形成する膜の膜厚制御性を向上させる成膜方法及び成膜装置を提供する。
【解決手段】光源からの測定光Bmを液膜F0に照射して液膜F0からの反射光Brを検出することにより液膜F0の厚みに関する液膜データを生成する。そして、液膜データと光の光波情報とを関連付ける膜厚強度変換データに基づいて光源からの乾燥光Bdを液膜データに応じて変調し、変調した乾燥光Bdを液膜F0に照射して液膜F0を乾燥する。 (もっと読む)


【課題】ノズルのつまりが生じにくくし、長期にわたってインクを安定して吐出できるようにし、さらに、記録ヘッドのノズルの頻繁なクリーニングを不要とすること。
【解決手段】インクジェットプリンタの光照射器6、7を、ショートアーク型の放電ランプ10と、ランプ10からの光を線状に集光させる光学素子(楕円集光鏡20とロッドレンズ30)から構成し、ランプから放射される光を基材5上に線状に集光させる。また、ランプからの直射光が記録ヘッド4のノズルの近くの基材5にまで届くことがないように、カバー8の底板60にスリット状の光出射口40を設け、底板60の基材5に対向する面に反射防止材70を設け、光照射器から出射し基材5により反射された光を光反射防止材70により吸収する。 (もっと読む)


【課題】機能性液状体の乾燥状態の均一性を向上させることによりパターンの加工精度を向上させたパターン形成方法、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板Sにインクを吐出し、レーザから出射されるレーザ光Bをインクに照射することにより基板Sにパターンを形成するとき、レーザ光Bの光軸Aの上にあるインクの厚みをL、インクのレーザ光Bの吸収係数をαとするとき、0.1≦α・L≦0.7を満たすようにインクの厚みと吸収係数αとを設定する。 (もっと読む)


【課題】紫外線硬化型の表層を有する電子写真感光体を製造する紫外線照射部を備えた感光体製造装置において、紫外線を効率よく照射する。
【解決手段】紫外線を照射して重合性のモノマーまたはオリゴマーを反応させて得られた重合物よりなる紫外線硬化型の表層を有する感光体2を製造する感光体製造装置の紫外線照射部として、紫外線光源としての紫外線ランプ1と、紫外線ランプ1より照射された紫外線を反射して感光体2に照射する照射用反射部材としての紫外線照射部筺体7備え、反射面となる紫外線照射部筺体7内壁にフォトニック結晶3を用いる。 (もっと読む)


【課題】液滴の濡れ広がりを抑えることによって液滴からなるパターンの加工精度を向上させた液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】液滴吐出ヘッド20は、+Y方向から見てノズルNを挟んで両側に、それぞれ+Y方向に沿って配列されるガイド群を有する。吐出位置Pを通り+Y方向に延びる経路として吐出経路Rが規定されるとき、各ガイド群RL1,…,RLiは、それぞれ対応する吐出経路Rを挟んで両側に、該吐出経路Rに沿ってガイド光を照射する。 (もっと読む)


【課題】オゾンの発生による誘電率の上昇を防ぎながら、常圧下でシリカ系被膜を形成することができる被膜形成方法及び被膜形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の被膜形成方法及び被膜形成装置は、シリカ系被膜形成用組成物に対し、加熱しながら、200nm以下の波長の光の少なくとも一部を遮断する遮断部材を通して紫外光を照射する手段を有することを特徴とする。この手段を有することで、オゾンの発生による誘電率の上昇を防ぎながら、常圧下でシリカ系被膜を形成することができる。 (もっと読む)


ポリマー基材の上に電子デバイスを製作するための装置及び方法は、ポリマー基材をプラテンの上に位置的に拘束すること、及び拘束されたポリマー基材を、ポリマー基材の少なくともガラス転移温度まで加熱することを提供する。拘束されたポリマー基材に熱加工可能なインクを塗布して、そのポリマー基材の上に電子デバイスの層の少なくとも一部を形成する。
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【課題】光透過部材にインクミストが付着しても、照射光の照度低下を抑制することができる液体噴射装置および光照射装置を提供する。
【解決手段】光透過部材2には、光照射装置1と対向する面に、光照射装置1から照射される光を集光し、集光された光が撥液処理が施された領域内を通過するように集光部2Lが形成されている。撥液処理が施された領域においては、インクミスト38aが付着していないか、あるいは付着したインクミスト38aが照射光によって硬化していてもインクミスト38aは粒状化状態であるので、照射光に対する投影面積が小さく、従って照射光を遮蔽する面積は小さくなる。この結果、照度低下が少ない領域内に照射光を集光させて透過させるので、光照射装置1からの照射光について、照度低下を抑制することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】ペーストパターンの断面測定時に信頼性のある測定結果が得られ、工程時間を短縮して生産率を高められると共に、正確なる断面測定工程によって品質管理及び向上を図れるようにしたペースト塗布器及びその制御方法を提供する。
【解決手段】基板を着脱可能に搭載するステージと、ステージに搭載された基板の主面に対向するペースト吐出口を有し、ステージと相対的に移動しながら基板にペーストを吐き出すノズルと、ステージ、カラム、又はヘッドユニットのいずれかに固着された断面測定手段であって、基板と相対的に移動せず、停止状態で基板上に塗布されたペーストパターンの断面を測定する断面測定手段とを含んで構成され、塗布されたペーストパターンの断面管理地点を設定する段階と、設定された断面管理地点が断面測定手段に位置するように相対移動する段階と、基板と相対的に移動せず、直接的に断面を測定する段階とを含む。 (もっと読む)


【課題】可視光線や不可視光線の何れかを使用しても、硬化可能な液体塗料、又は熱硬化型の液体塗料によって、モールドの内部において、射出成形などの方法で作製された仕掛品の表面にコーティング薄膜を形成可能である塗装方法とその装置を提供する。
【解決手段】固定側プレートと、可動側プレートと、固定側コアと、可動側コアと、コア固定板と、固定側固定板と、可動側固定板と、仕切板と、上押出プレートと、下押出プレートなどから構成されるモールドの内部から塗装を施す塗装装置において、透光性材料で作製され、表面に反射層がコーティングされた固定側コアと、前記固定側コア内に嵌め込まれている一つ以上の光線発生器と、前記固定側コア内に嵌め込まれている一つ以上のカメラと、前記固定側コア内に嵌め込まれている一つ以上の光センサーと、前記固定側コアの底部に固定されているパッドを含む。 (もっと読む)


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