【課題】 被塗布物に対して吹き付けによって強固で、かつムラなく均一なバリアー膜をローコストに形成可能なバリアー膜形成方法およびバリアー膜形成装置を提供する。
【解決手段】 乾燥前の被塗布物２の表面に塗布された塗布液に塗布ムラがあったり、一部が途切れていても、マイクロウェーブを照射することによって、被塗布物２の表面に塗布された塗布液を均一化させるので、被塗布物２の表面に厚みムラや孔などの無い、均一化された強固なバリアー膜３５を形成することが可能になる。被塗布物２の表面にはガスバリアー性に優れた強固なバリアー膜３５が形成される。 （もっと読む）

スピンコーティング工程の前にまたはその間に、基板を熱的に、局所特定的に調整することによって、粘性の液体を基板（１）、たとえば半導体ウェハまたはデータ記憶媒体の表面にわたって分配するための方法および装置が示される。
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【課題】 基板表面全体で均一な濡れ性を確保できる処理を基板に施す基板表面処理装置を提供する。
【解決手段】 基板表面処理ライン２は、機能液塗布装置４、紫外線照射装置６、乾燥装置８、ベルトコンベアＢＣ、駆動装置１２及び制御装置１０により構成されている。機能液塗布装置４においては、ベルトコンベアＢＣにより搬送された基板上に酸化チタンを含む機能液を塗布する。紫外線照射装置６においては、ベルトコンベアＢＣにより搬送された機能液が塗布された基板に紫外線を照射する。そして、乾燥装置８においては、ベルトコンベアＢＣにより搬送された基板に、例えば、熱風を吹き付けることにより基板上に塗布された機能液を乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】 高さ精度を確保でき、また微細径で先鋭な柱状体が得られる液状体塗布方法を提供する。
【解決手段】 吐出ヘッド１のノズル２５から液状体Ｌを柱状に吐出し、基板Ｐに塗布する。塗布した液状体Ｌに光エネルギを付与する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】対象物の検出精度の低下を防止しつつ、作業者の負担を軽減することを目的とする。
【解決手段】基板処理装置に検出センサ４５０を構成する投光部４５０ａと受光部４５０ｂとを設ける。受光部４５０ｂを、投光部４５０ａから照射されるレーザー光の直接光を受光する位置から（＋Ｚ）方向にずらし、対象物によって反射される反射光を受光する位置に配置する。基板処理装置は、受光部４５０ｂがレーザー光を受光した場合には、対象物が存在すると判定して、スリットノズルの移動機構を制御する。 （もっと読む）

【課題】医療装置を治療の時点でチャンバ内に設置することができる環境制御された装置コーティング・チャンバを備える医療装置を治療の時点でポリマーまたは治療薬で被覆するための装置を提供する。
【解決手段】環境制御されたチャンバは、ポリマーおよび治療薬を、塗布し、必要に応じて、制御され再現できる状態で他の形（被膜またはゲルになる液体など）に変換することができる滅菌エンクロージャを提供する。チャンバは、フィルム・ヒータが発生する熱のような内部のエネルギー源、およびエンクロージャを通過する紫外線またはマイクロウェーブのような外部エネルギー源の両方を提供する。このチャンバを使用すれば、ある気体の導入、および圧力または真空の導入のようなコーティングに影響を与える雰囲気内の変動があっても大丈夫である。 （もっと読む）

【課題】外周縁部が平坦な塗膜を製造コストを高騰させることなく形成し得る塗膜形成装置を提供する。
【解決手段】基材１１の一面側に樹脂材料Ｒを展延する展延部と、樹脂材料Ｒを硬化させる硬化処理部と、制御部とを備えて基材１１の一面側に塗膜を形成可能に構成され、基材１１における一面の外周縁部に向けてプレス用部材８２を押圧させるプレス部３５を備え、制御部は、展延部に対して樹脂材料Ｒを展延させた後に、硬化処理部に対して樹脂材料Ｒを半硬化させ、次いで、プレス部３５に対して基材１１の外周縁部に向けてプレス用部材８２を押圧させて外周縁部上における半硬化状態の樹脂材料Ｒをプレスするプレス処理を実行させる。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でありつつも、実際の液滴を１滴ごとに高速に計測可能な液滴計測装置および液滴計測手段を提供すること。
【解決手段】 液滴１８０の飛翔経路にレーザ光１３０を発生するレーザ光発生部１２０と、レーザ光１３０の強度を電気信号に変換する光電変換部１５０と、該電気信号を処理する信号処理部１６０とを備え、該信号処理部１６０は、前記液滴が前記レーザ光を通過するときの前記光電変換部１５０の信号強度と該液滴の重量との関係式を記憶しており、該関係式に基づいて、前記光電変換部１５０から入力された信号強度に対応する液滴の重量を計算する。 （もっと読む）

【課題】 高さ精度を確保でき、また微細径の柱状体が得られる液滴塗布方法を提供する。
【解決手段】 液滴Ｌを吐出して基板Ｐに塗布する。吐出した液滴Ｌ１に光エネルギを付与する工程と、光エネルギを付与した液滴Ｌ１上に次の液滴Ｌ２を積み重ねて塗布する工程とを繰り返して行う。 （もっと読む）

【課題】 シャッタミラーを備えた光照射器において、ランプユニットのみを取り出してランプ交換できるようにし、ランプの交換を容易にし、ランプの破損を防ぐこと。
【解決手段】 棒状ランプ３３の周りを回動し、開時はランプからの光を上記光出射口から出射させる反射鏡として、閉時は光を遮断するシャッタとして作用するシャッタミラー１５が内蔵された光照射器において、シャッタミラー１５とその駆動機構をランプハウス１０側に設け、棒状ランプ３３を保持するランプユニット３０を、ランプハウス１０から棒状ランプの長手方向に沿って引き出して取り外しできるように構成する。ランプ３３を交換する際には、ランプユニット３０を、ランプハウス１０からから引き出し、ランプを交換した後、上記ランプユニット３０をランプハウス１０本体に挿入する。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光照射による壁面等へのマーキングを人手によることなく転写して墨だしができるレーザー墨だし方法及びこれに用いる薬剤噴霧装置を提供する。
【解決手段】 マーキングすべき壁面１等に感光材料からなる薬剤を塗布し、この薬剤塗布面２にレーザー光４を照射して墨だしを行う。この場合、前記薬剤を噴霧して壁面等に塗布する。また、このとき、薬剤の噴霧器と、該噴霧器を噴霧動作させるアクチュエータと、該噴霧器及びアクチュエータを保持する保持具と、該保持具を先端に装着した伸縮ロッドとからなる薬剤噴霧装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】 スピンコート中に照射する紫外線等の放射線の照射領域をより正確に制御する。
【解決手段】 光記録媒体の回転径Ｄ０よりも大きい第１の開口部１１１ａが形成された下部カバー１１１及び回転径Ｄ０よりも小さい第２の開口部１１２ａが形成された上部カバー１１２を有するスピンカップ１１０と、光記録媒体１０を第１の開口部１１１ａからスピンカップ１１０内に供給するとともに、スピンカップ１１０内に供給された光記録媒体１０を回転させる駆動部１２０と、光記録媒体１０の表面に塗布された塗布液に第２の開口部１１２ａを介して放射線を照射する照射部１３０とを備える。これにより、スピンカップ１１０の上部カバー１１２が紫外線等の放射線マスクを兼ねることができることから、全体の機構を複雑化させることなく、放射線の照射領域を非常に正確に制御することが可能となる。 （もっと読む）

本発明は、高エネルギの放射線の照射によって不活性ガス雰囲気下で放射線硬化可能な材料を硬化させることにより基材上の成形材料および被覆体を製造するための装置および方法に関する。
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【課題】 物体上で液状の材料の塗れ広がりの度合いを部分的に異ならせる層形成方法を提供すること。
【解決手段】 層形成方法は物体上の第１部分と第２部分とを覆う層をインクジェット法で形成する。ここで、前記第２部分は前記第１部分に接する部分である。この層形成方法は、（ａ）前記第１部分へ感光性樹脂を含んだ液状の材料を吐出するステップと、（ｂ）前記第１部分へ前記液状の材料が吐出された時点から層形成期間内に前記第１部分上の前記液状の材料へＵＶ光の照射を開始するステップと、（ｃ）前記ステップ（ｂ）の後で、前記第２部分へ前記液状の材料を吐出するステップと、（ｄ）前記第２部分へ前記液状の材料が吐出された時点から前記層形成期間内に亘って、前記第２部分上の前記液状の材料が塗れ広がるように、前記第２部分上の前記液状の材料を放置するステップと、を含んでいる。 （もっと読む）

本発明は、円筒状光源と、該円筒状光源からの放射光を反射する曲面鏡とからなる照明装置であって、該曲面鏡の光反射面が、該円筒状光源の軸方向に対して垂直な方向の断面において、基準軸上に第１焦点及び第２焦点を有する楕円曲線の一部である形状を有し、該円筒状光源が、該曲面形状の基準軸上、かつ該第１焦点と該第２焦点との間に配置されている照明装置、該照明装置を有する光照射装置、及び該光照射装置を用いた光反応生成物シートの製造方法を提供するものである。 （もっと読む）

本発明は、インクもしくはワニスコーティングのようなコーティングを架橋する操作を、制御された残存酸素含有率を有するガス混合物の存在下に、紫外線または電子線により行う装置に関する。この装置は、前記架橋操作を行うために必要な１またはそれ以上のＵＶランプまたは加速電子線源を有するチャンバを備え、前記チャンバに隣接し、処理すべき走行する製品から連続的に見て、少なくとも次の３つの構成要素、すなわち迷路システム、ガスナイフを形成する不活性ガスを注入するための手段、およびチャンネルを備える入口デバイスを含むことを特徴とする。
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基板上に所望の寸法の形状（２４、３５）を形成する方法およびシステムにおいて、材料の一連の液滴（４３）を基板上に滴下し、その境界内に前記形状がおさまるような十分な寸法のパターン（２２、３２）を形成し、前記形状を画定する前記パターンの内側部分を囲む、前記パターンの余剰領域を除去する。余剰材料の除去は、前記パターンを画定する前記パターンの部分を硬化し余剰を洗い流すことにより、または、余剰材料をアブレーションすることにより、行ってもよい。
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要約
本発明は、密集複合した三次元の車体のコーティングを硬化するために、中〜高電力（１ｋWと同等またはより大きく）および中〜高エネルギー（１Ｍｅｖと同等またはより大きく）の電子ビームまたはＸ線を使用することに関する。当該中〜高電力および中〜高エネルギーは、複数層の鋼の硬化を可能にするために適切なスループットと侵入度を有し、それゆえ、車体の折り曲げ、折り重なり、湾曲による影を貫通できる。加えて、当該中〜高電力および中〜高エネルギーは、割れ目や隙間表面に堆積したより厚いコーティングを硬化するために、適切なスループットと侵入度を有する。本発明は、コーティングを硬化可能な電子ビームの使用を可能とし、その結果、車両産業で通常使用される塗料を構成する溶剤に用いられる無反応溶剤に関連する、火災の危険、有害性大気汚染物質、揮発性有機物などの問題を低減する。
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【課題】 均一な膜厚の塗膜を各基材に対して連続かつ安定して形成し得る回転塗布装置を提供する。
【解決手段】 回転塗布によって回転中心の近傍または外周寄りの所定位置に塗液が滴下された基材を回転させることにより塗液を基材に塗布可能に構成された回転部と、回転部の回転数を回転開始時から所定回転数まで漸増制御する制御部とを備えた回転塗布装置であって、制御部は、回転開始時を起点とする時間軸上において予め設定された複数の基準時間毎における回転数が所定の固定回転数に達するように回転部を制御し、かつ入力した補正用データに基づいて基準時間を伸縮制御する（ステップ３４，３６，３８）。 （もっと読む）