【課題】溝の周辺の雰囲気の影響により液体の伸び量が変動することを防止し、ノズルの液滴吐出量の測定精度を向上させることができる液滴量測定方法を提供する。
【解決手段】液滴を貯留可能な溝３２に、溝３２を覆うカバー部材４０を、少なくとも一の液滴が着弾可能に溝３２の一部を露出させた状態で装着する溝被覆工程と、溝３２の一部へ液滴を着弾させ、溝３２のカバー部材４０に覆われた部分に液滴を濡れ拡がらせる液滴伸張工程と、溝３２に濡れ拡がった液滴の長さを計測する計測工程と、を有し、液滴の長さの計測値に基づいて、液滴の量を推定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】重量測定部のコストを低減するとともに、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を高精度に測定する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量検出方法を提供する。
【解決手段】検査ユニット７０に重量測定ユニット７４を１台設けて、移動テーブル７１においてＹ軸方向に移動可能にした。また、検査ユニット７０に、重量測定ユニット７４の移動軌跡上に配置可能なフラッシング回収台７３を設けた。そして、各キャリッジが作業領域に位置しているとき、１つのキャリッジの直下に重量測定ユニット７４を移動させて、各液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出重量測定を行った。また、他のキャリッジには、その直下にフラッシング回収台７３を配置してフラッシング動作させる。従って、１台の重量測定ユニット７４で全キャリッジの各液滴吐出ヘッドの液滴の吐出重量を測定することができる。しかも、描画位置で吐出重量測定することで吐出重量の誤差を低減できる。 （もっと読む）

【課題】高品質なカラーフィルタ等を製造することができる吐出パターン生成装置を提供すること。
【解決手段】予め基板の上に形成した多数のパターン状の開口部に、インクジェットヘッドの複数のノズルからインクを吐出し、基板上に多数の画素部を形成する吐出パターン生成方法であって、開口部のパターン形状をもとに、ヘッドに属するノズルのうち、吐出に使用されるべき有効ノズルを選択する工程と、開口部に対して与えられるべきインクの理論液量をもとに、有効ノズルから開口部に対して付与されるべきインクのドロップ数を求める工程と、ノズルから開口部に対して実際に吐出されたインク液量を測定する工程と、この測定したインク液量とインクの理論液量の差と、乱数に基づいて、次にノズルから吐出するインクのドロップ数の増減数を決定する工程と、を備えたことを特徴とする吐出パターン生成方法。 （もっと読む）

【課題】エネルギー資源の有効活用を図ることができて、従来の装置では困難であった局所的な箇所での有効な塗布も容易に実現することができる液体塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明装置１は、液体Fを塗布するシャフト10を移動させる斜面2を有し、この斜面2は、その幅方向Wに間隔を空けて２つの柱部材3が配置されると共に、当該柱部材3の相互間に開口部4が形成され、この開口部4の直下に液体Fを貯留するタンク5を配置すると共に、このタンク5の上方に、２つの柱部材3の間に掛け渡された軸部材6を設け、この軸部材6は、自重によって垂下してタンク5の液体F内に浸漬すると共に、斜面2に沿って移動するシャフト10によって押し退けられてその溝11をなぞり、軸部材6の中心軸O周りを揺動可能な塗布部材7を備える。 （もっと読む）

【課題】中心開口部を有する被処理基板の両面に、中心開口部に塗液が侵入するのを防止しつつ、簡易な工程で均一に塗液を塗布することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明の塗布装置１は、中心開口部２ａを有する被処理基板２の両主面に塗液を塗布する塗布装置であって、被処理基板２を、その中心開口部２ａを閉塞して保持するチャッキング部１１を有する回転駆動機構３と、被処理基板２の一方の主面に塗液を噴出する第１の塗液用ノズル１８と、これを被処理基板２の一方の主面に沿って走査するように移動操作する第１の旋回駆動機構１７と、被処理基板２の他方の主面に塗液を噴出する第２の塗液用ノズル２８と、これを被処理基板３の他方の主面に沿って走査するように移動操作する第２の旋回駆動機構３１と、第１の塗液噴出口２３における塗液の噴出量と、第２の塗液噴出口２９における塗液の噴出量を独立に制御する機能を有する。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペースを実現しつつ、基板の端面の汚染に起因した問題（欠陥の発生、トラックや露光装置へのクロスコンタミネーション等）を回避できる基板処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板の端面を洗浄する端面洗浄処理ユニットＥＣを備える洗浄処理部９３を、インデクサブロック９に配置する。インデクサブロック９に設けられたインデクサロボットＩＲは、カセットＣから取り出した未処理基板Ｗを、処理部である反射防止膜用処理ブロック１０に搬送する前に洗浄処理部９３に搬送する。洗浄処理部９３においては、基板Ｗの端面および裏面を洗浄する。すなわち、端面および裏面が汚れた基板Ｗが処理部に搬入されることがないので、基板の端面や裏面の汚染に起因した問題を回避できる。 （もっと読む）

【課題】紫外線硬化型インクを用いて、連続した長尺の被記録媒体５００に画像を記録できるインクジェット式記録装置１００。
【解決手段】被記録媒体５００を支持する支持ドラム３００と、支持ドラム３００の側方に配置された送り出しロール２１０から被記録媒体５００を引き出す給送部２００と、被記録媒体５００を支持ドラム３００の周面に沿わせる案内ローラ２３０、４３０と、支持ドラム３００の側方に配置され、支持ドラム３００の周面から被記録媒体５００を巻き取る巻取り部４００と、給送部２００、支持ドラム３００、案内ローラ２３０、４３０および巻取り部４００を一体的に回転させる駆動モータ１２０と、支持ドラム３００の周面上の被記録媒体５００に向かって紫外線硬化型インクを吐出する記録ヘッド６１０と、被記録媒体５００の表面に付着した紫外線硬化型インクに紫外線を照射する紫外線照射部６２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】各ノズルから吐出される塗布液の流量管理が容易となる塗布装置の流量設定方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】単一の供給源から本管を介して供給される塗布液を複数の支管に分流し、当該支管にそれぞれ設けられた支管流量調節機構によって当該支管を流動する塗布液流量を所定の流量に調節して、当該支管に接続されたノズルから塗布液をそれぞれ吐出する。供給源から本管へ供給された塗布液を、複数の支管から選ばれた１つの支管にのみ供給し、他の支管への当該塗布液の供給を閉止している状態において、本管を流動する塗布液の流量を計測し、当該計測結果に基づいて、塗布液が供給されている支管に設けられた支管流量調節機構の所定の流量に対応した調節目標となる目標流量値を設定する。そして、上記設定動作を、他の支管に対して順次行う。 （もっと読む）

【課題】空気より動粘性係数の高いガスを効率的に使用して塗布膜厚の均一性の向上を図れるようにし、発生するミストの付着を抑制すると共に、スループットの向上を図れるようにすること。
【解決手段】空気より動粘性係数の高いガスの雰囲気中で、塗布液中の溶剤を蒸発させてウエハの表面に塗布膜を形成する基板処理装置において、ウエハＷの表面を下向きにして回転可能に保持するスピンチャック１と、スピンチャックによって保持されたウエハを収容する開閉可能な処理容器１０と、スピンチャックによって保持されたウエハの表面に向かってそれぞれレジスト液を吐出するレジストノズル４１、レジスト液の溶剤であるシンナーを吐出するシンナーノズル４２、Ｈｅガスを供給するガス供給ノズル４０を具備する。これにより、ガス供給ノズルから吐出されたＨｅガスをウエハの表面層に効率的に供給し、Ｈｅガス濃度を高く維持してレジスト塗布処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】スループットの向上及び塗布膜厚の均一性の向上を図れるようにした基板処理装置を提供すること。
【解決手段】被処理基板であるウエハＷを回転可能に保持するスピンチャック５０と、スピンチャックによって保持されたウエハの表面にレジスト液を供給する塗布液供給ノズル５２と、スピンチャックと塗布液供給ノズルを収容する処理室４０と、ウエハに塗布液を供給する前のウエハを所定の温度に冷却する冷却プレート５６と、塗布液が塗布されたウエハを所定温度に加熱する加熱プレート５８と、処理室、冷却プレート及び加熱プレートとの間でウエハを搬送する搬送手段と、を具備する基板処理装置において、処理室、冷却プレート及び加熱プレートを外気と区画し、少なくとも処理室に、空気より動粘性係数の高いガス（Ｈｅガス）の供給源６８ｂを有するガス供給機構６０を接続して、処理室内をＨｅガスの所定濃度に維持する。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンを形成する製造装置において、レジスト膜中のパーティクル発生の防止と、均一なレジスト膜を形成することが可能なレジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】レジストを塗布する装置において、複数の塗布ノズル５１，５２に対し、それぞれレジストを圧送する吐出ポンプ２１，２２と、これらの吐出ポンプ２１，２２の内圧を測定するための圧力計３１，３２とを備え、その圧力波形を演算部９で取得してパーティクル数を演算により予測する。もしくは遮光センサー６の電圧波形を演算部９で取得してパーティクル数を演算により予測して、モニタリングシステム１０により予め設定した基準を満たしたノズルのみ使用する。 （もっと読む）

【課題】保持具から基板を取り外すことなく基板の両面に塗布液を塗布でき、かつ基板の厚みにばらつきがあっても、塗布液を均一に塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】角基板１０両面に塗布液を塗布するための塗布装置であって、角基板１０を保持する保持具２は、角基板１０の一面全体を露出する第１開口部Ｈ１が設けられた第１保持具部本体２１１と、一面を第１開口部Ｈ１の周囲平面と同一平面に固定するため、角基板１０に当接する当接部２１３ａ、および反対側から押圧して角基板１０を固定する押圧部２１３ｂとを備えた第１保持具部２１と、他面全体を露出する第２開口部Ｈ２が設けられた第２保持具部本体２２１を備えた第２保持具部２２とを重ね合わせて、他面が第２開口部Ｈ２の周囲平面と同一平面になるように、第１保持具部２１と第２保持具部２２の間隔をねじ２３による内周壁部２２２への押圧で固定することで調整するようにした。 （もっと読む）

【課題】機能性材料の塗布液の粘度に依存せず、吐出安定性に優れ、柱状又は筒状の被塗布物外周面に膜厚のバラツキが抑制された良好な機能膜を形成可能な機能性材料塗布装置、及び機能性材料塗布方法を提供すること。
【解決手段】機能性材料を含む塗布液１４を連続して加圧して、環状吐出ヘッド１２のノズル１２３から液柱状の塗布液１４を吐出させ、その吐出した液柱状の塗布液１４を液滴化して、被塗布物１０へ塗布する。このように、連続的に加圧して塗布液１４を吐出させるため、高粘度の塗布液（例えば水に近い粘度３ｍＰａ・ｓ程度以下のものから、粘度３００ｍＰａ・ｓ程度の塗布物）でも、安定して塗布液１４を吐出し、被塗布物１０へ塗布することが可能となる。そして、柱状又は筒状の被塗布物外周面に膜厚のバラツキが抑制された良好な機能膜が得られる。 （もっと読む）

【課題】丸棒状部材の部材外周面に、ホットメルトが適切に塗布されるようにする。
【解決手段】ディッピングローラ６０の外周付着面６０Ａに外周塗布面７０Ａが平行に臨むように配設した塗布ローラ７０は、第２駆動手段７４により回転駆動される。塗布ローラ７０の外周塗布面７０Ａに部材外周面１３を平行に臨ませる丸棒状部材１１は、部材支持部８２に支持された状態で第３駆動手段８８により回転駆動される。丸棒状部材１１の部材外周面１３全周にホットメルトＨＭの塗布が完了したら、第２駆動手段７４を制御して塗布ローラ７０の回転を停止させると共に、第３駆動手段８８を制御して丸棒状部材１１の回転を塗布時よりも増速させる。そして丸棒状部材１１を、増速回転した状態で塗布ローラ７０から離間させる。 （もっと読む）

【課題】ポンプの吐出圧力を必要以上に高くすることなく、定圧弁の二次側圧力若しくは二次側流量を一定に保って、定圧若しくは定流量の処理液の供給を実現できるようにすること。
【解決手段】処理液を貯留する処理液タンク３と、処理液を供給する処理液供給ノズル３６とを接続する配管２に、処理液タンク３から処理液を連続的に吐出するベローズポンプ４と、このベローズポンプ４の二次側に位置し、ベローズポンプ４による液流の脈動を抑制する定圧弁５と、を介設する処理液供給システムにおいて、配管２におけるベローズポンプ４の二次側に、ベローズポンプ４による液流の脈動の圧力低下を補完する気体を供給する気体供給源７を接続すると共に、この気体供給源７から配管２内に供給された気体を排出する気体抜き部８ａを有するフィルタ８を介設する。 （もっと読む）

【課題】重ね塗り部による塗料の無駄を低減するとともに美観を向上させる。
【解決手段】平面視長楕円形の噴霧パターン５を出すノズル１１を備えたスプレーガン１０を用い、その長楕円形の長径方向ｑを管体ｐの管軸方向に向けてその管体ｐの外周面に螺旋状に塗装被膜ｖを形成する塗装方法において、前記噴霧パターン５は、前記長径方向ｑ両端部でそれぞれ塗装被膜ｖの膜厚が徐々に減少する漸減部６を有してその漸減部６を塗装被膜ｖ同士の重ね塗り部ｒに含めるとともに、前記ノズル１１に取り付けるチップ１２にテールレスチップを採用して、そのスプレーガン１０による塗料吐出の中心線４方向を被塗装面が近づいて来る方向に向かい合うように傾けた。漸減部６を重ね塗り部ｒに含めれば膜厚の差異による凹凸を低減することができ、テールレスチップを採用することにより、その凹凸をさらに低減できる。また、中心線４方向を傾けたことにより、風圧や気流の影響を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】スピンナーテーブルを回転させその遠心力により爪部によってフレームを固定した状態でテープを介してフレームに支持されたウェーハの表面に保護膜を被覆する場合において、爪部とフレームとの間に樹脂が入り込んだ場合でも、ウェーハをスピンナーテーブルから取り外せるようにする。
【解決手段】フレームＦを押さえる爪部４１４を有する振り子体４１０の振り子軸４１５が軸支持体４１１の軸孔４１６に回動可能に支持された構成のフレーム押さえ手段４１において、軸孔４１６を、下側から上側に向かうにつれてスピンナーテーブルの外周側に傾斜し振り子軸４１５を摺動可能に支持する長孔に形成し、スピンナーテーブルの回転停止時に振り子体４１０を軸孔４１６に沿って下降させて爪部４１４とフレームＦとの接着状態を解除する。 （もっと読む）

【課題】スリーブ本体の先端部と円筒容器の開口端部との干渉による削れカスが生じにくく、しかも、円筒容器の挿入に伴う出し入れ時に円筒容器に傷等のダメージを与えない円筒容器保持用マンドレルを安価に提供する。
【解決手段】底部を有する円筒容器Ｃの内側に挿入してその円筒容器を保持するマンドレルＭであって、前記円筒容器に挿入されるスリーブ本体１と、該スリーブ本体の先端部に着脱可能に設けられた先端部材１０とを備えるとともに、前記先端部材のうち、少なくとも前記スリーブ本体に挿入された円筒容器の底部の内面と当接する部分の表面に硬質被膜１１が形成されている。 （もっと読む）

システム内で、スピンドル上に支持された各部品（ｃ）を水平方向に移送するスピンドルコンベアシステム（２５）を含むスピンドルスプレーコーティングシステム。スプレー時に、各部品を支持する個々のスピンドルを回転させるスピンドル回転ステーション（１８）も設けられる。調整可能なスプレーシステムによるスプレー中に、スピンドル上に支持された各部品を閉じ込めて、スプレーされるコーティング材料に対する環境および作業員の曝露を最低限に抑えるスプレー閉じ込め密閉スプレーブース（２０）。調整可能な二次スプレーシステムによる二次スプレー中に、スピンドル上に支持された各部品を閉じ込める第２のスプレー閉じ込め密閉スプレーブースを設けてもよい。スプレー工程（ｓ）に続いて、目視検査システム（２２）を使用して、コーティングされた各部品が検査される。垂直引き上げ機構と、欠陥部品を把持し、釣り合い重りを使用してこの部品を引き上げ１８０度回転移動させるグリッパ機構とを有し、引き上げ及び回転移動の後に、グリッパ機構からの放出によって部品が処分される欠陥部品自動廃棄用組立体（２４）も設けられる。
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【課題】２つの異なる姿勢で支持される基板の位置を調整する位置調整装置を小型化する。
【解決手段】基板位置調整装置では、４つの角部位置制限部１８１が、主走査方向および副走査方向に対して斜めに水平移動されて互いに近づけられることにより、各角部位置制限部１８１の第１制限部１８１１が、長辺９５が主走査方向に平行となる姿勢にてステージ１１１上に支持された長方形の基板９ａの各角部の２辺に近接または当接して各角部の位置の存在許容範囲が制限され、基板９ａのおよその位置調整が行われる。また、長辺が副走査方向に平行となる姿勢にて基板がステージ１１１上に支持されている場合には、各角部位置制限部１８１の第２制限部１８１２が、基板の各角部の２辺に近接または当接することにより、基板のおよその位置調整が行われる。これにより、２つの異なる姿勢で支持される基板の位置を調整する基板位置調整装置を小型化することができる。 （もっと読む）