インプリント・リソグラフィ・プロセスの分離プロセスにおける頑強層分離を改善するためのシステムおよび方法について述べる。この方法は、インプリントする基板とテンプレート間の歪みを一致させる段階、分離中にテンプレートおよび／または基板に印加される力を変更または修正する段階、または分離プロセスの動特性を変更または修正する段階を含む。
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【課題】 押印装置に含まれるＸ−ＹステージのＸ−Ｙ面におけるストロークの低減。
【解決手段】 基板のショットに配された液状樹脂にモールドをＺ軸方向において押し付けた状態で液状樹脂を硬化させてショットに樹脂のパターンを形成する押印装置であって、モールドチャックに保持されたモールドに形成されたモールドマークと基板チャックに保持された基板に形成された基板マークとの間のＸ−Ｙ平面における位置ずれを計測するためのスコープと、ショットに液状樹脂を配するディスペンサと、Ｘ−Ｙステージ上に設けられた基準マークと、を有し、Ｘ−Ｙステージは、それにより保持された基板の全ショットにディスペンサが液状樹脂を配することができるように、その移動範囲を有し、基準マークは、Ｘ−Ｙステージの移動範囲内においてモールドマークとの位置ずれをスコープにより計測できるＸ−Ｙステージ上の位置に設けられている、ものとする。 （もっと読む）

【課題】 押印装置における処理能力の改善。
【解決手段】 基板チャックと、基板チャックが固定され且つＸＹ面に平行に移動可能なステージとを有し、基板チャックに保持された基板上のレジストにモールドを押し付けてレジストのパターンを基板に形成する押印装置であって、ＸＹ面に平行な方向には剛性を、ＸＹ面に垂直な方向には弾性をそれぞれ有し、且つ基板チャックをステージに固定するフレクシャを有するものとする。 （もっと読む）

【課題】軽量・高剛性かつ安価な成形立体を可能とする生産性の高いＦＲＰシート技術の提供。
【解決手段】硬質系マトリックス材、軟質系マトリックスのいずれか一方又は両方からなるマトリックス材層部と強化材に軟質系マトリックス材を含浸されてなる強化材層部とがともに用いられるか該強化材層部が単独で用いられて構成される複合平板シートにおいて、トリミングされて設けられるかないしはトリミングされるとともに線状溝１を設けられてなる折曲用複合シートの提供。 （もっと読む）

【課題】意匠と手触り感に優れた高級感のある緻密な賦型をすることができ、離型性に優れ、かつ耐熱性に優れた賦型シート、および、該賦型シートを用いて得られる樹脂化粧板、及び該賦型シートを用いる樹脂化粧板の製造方法の提供。
【解決手段】ＪＩＳ Ｃ２３１８に準拠して測定された加熱収縮率（１５０℃×３０分）が２％以下の耐熱性基材２１と、融点が９０〜２３０℃の範囲内にある樹脂からなる基材２２との複合基材２の樹脂基材上に少なくとも、部分的に又は全面にわたって設けられたインキ層３と、該インキ層が形成された領域及び該インキ層が形成されていない領域とを含む全面にわたって被覆する表面賦型層５を有する賦型シートであって、該表面賦型層が硬化性樹脂組成物の架橋硬化したものであり、かつ該表面賦型層中には、該インキ層の直上部及びその近傍の上部に位置する表面賦型層の表面が凸形状を有し、さらに凹陥模様を有してなる賦型シート。 （もっと読む）

【課題】透過性に優れた硬化物が得られるナノインプリント用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）少なくとも２種類の反応性の異なる硬化性官能基を同一分子内に有する単量体と、（Ｃ）酸化防止剤とを含有するナノインプリント用硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】位置ずれを抑制して、基板に成形部を高精度で成形することができる合成樹脂の成形装置を提供する。
【解決手段】加熱で軟化若しくは液状化させた合成樹脂５４をスタンパ金型６０で押圧して、基板５０に複数個の成形部５５を同時に成形した後に、冷却工程を伴う合成樹脂の成形装置である。スタンパ金型６０と基板５０とに、スタンパ金型６０の押圧時に相互に嵌合する凸部６０ｂと凹部５０ｂとを相対的に設ける。この嵌合部６５の位置規制により、冷却時の収縮に伴うスタンパ金型６０と基板５０との位置ずれｄを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 表示装置に用いても表示ムラの発生しない微細パターンを提供可能なナノインプリント用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）重合性単量体および（Ｂ）光重合開始剤を含有し、硬化後の鉛筆硬度が２Ｈ以上である、ナノインプリント用硬化性組成物。 （もっと読む）

丸みを帯びた肩部を有するＣ字形断面部品を形成するための金型（３０）が、丸みを帯びた凸状部分各々によって反対向きの平面状端面に接続される円筒外面を有する円筒体（３６）を有する内型（３２）と、丸みを帯びた凹状部分（４８、５０）各々によって対向する端フランジ（４６）に接続される円筒中心部分（４４）を有する外型（３４）とを具備し、ここで、内型の一部分が、形成されるべきＣ字形断面部品の所望の断面に対応する空洞部を画定するために外型の端フランジ（４６）間に配置され且つ端フランジから離間されるように構成され、丸みを帯びた凸状部分及び丸みを帯びた凹状部分が、内型及び外型各々の外周回りで変化する曲率半径を有し、丸みを帯びた凸状部分及び丸みを帯びた凹状部分の、内型及び外型が互いに近接している箇所の曲率半径が、内型及び外型が回転されるとき、変化するように内型及び外型が回転可能である。
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【課題】微細な凹凸パターンが形成された樹脂製のレプリカモールドを高精度にかつ大量に高い生産性で製造できる樹脂製モールド作製用積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本願発明の樹脂製モールド作製用積層体１０は、マスターモールドを用いた圧縮成形により樹脂製モールドを作製する際に圧縮成形に供される積層体であって、互いに対向する一対の基体１１，１２と、一対の基体１１，１２間に挟まれた液状あるいはゲル状の硬化性樹脂材料の層１３と、硬化性樹脂材料の硬化物からなり、前記一対の基体１１，１２間に挟まれた流動抑止体１４とを有し、硬化性樹脂材料の層１３が、一対の基体１１，１２および流動抑止体１４によって封入されている。 （もっと読む）

【課題】 被転写基板上に形成される欠陥の発生を抑制できるナノインプリント方法を提供すること。
【解決手段】 ナノインプリント方法は、パターンを含むテンプレート１４に付着したパーティクル１５を除去する工程と、テンプレート１４を被転写基板１１ｄ，１２に押し付け、テンプレート１４の前記パターンを被転写基板１１ｄ，１２に転写する工程とを含むナノインプリント方法であって、パーティクル１５を除去する工程は、被転写基板１１ｄ，１２の表面よりもテンプレート１５に対する密着性が高い密着性部材１２にテンプレート１４を押し付ける工程と、密着性部材１２からテンプレート１４を離す工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】効率よくナノインプリント加工を行い得る方法およびその装置を提供する。
【解決手段】転写面に凹凸パターンを形成したモールドを用いて、熱可塑性レジストを塗工した基板のレジスト面にパターンを形成するインプリント方法であり、アライメント工程、加熱工程、モプレス工程、冷却工程、離型工程を少なくとも有し、前記各工程が、１つの工程をその中で実施する独立ユニット、複数の工程をその中で実施する複合ユニットあるいは独立ユニットと複合ユニットの組み合わせからなる複数のユニット内にて実施され、モールドと基板と対にしてユニット間を搬送する搬送工程を有するインプリント方法およびインプリント方法における各工程を１つの工程をその中で実施する独立ユニット、複数の工程をその中で実施する複合ユニットあるいは独立ユニットと複合ユニットの組み合わせからなる複数のユニットを備え、さらに、前記各ユニット間をモールドと基板と対にして搬送する搬送手段を備えてなるインプリント装置。 （もっと読む）

【課題】材料損失が少なく、基板との高い密着性を有するめっき膜の製造技術を提供すること。
【解決手段】（ａ）金型(4)の凹部(2)内に、触媒液を付着させることによって触媒層(10)を形成すること、（ｂ）金型の一面側に樹脂を鋳込むことにより、凹部に対応した凸部を一面側に有するスタンプ(12)を形成すること、（ｃ）金型からスタンプを取り外し、触媒層を凸部に転写すること、（ｄ）スタンプの一面側を、基板(16)上に配置された半硬化状態の樹脂(14)に押し当てることにより、凸部に対応した形状を半硬化状態の樹脂に転写するとともに触媒層を半硬化状態の樹脂に転写すること、（ｅ）半硬化状態の樹脂を硬化させること、（ｆ）基板上の樹脂に転写された触媒層上にめっき膜を形成すること、を含むめっき膜の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】電鋳可能な樹脂版を得る第一のパターン形成材料と第二のパターン形成材料を提供し、前記パターン形成材料を用いパターン形成体を提供する。
【解決手段】第一の金属原版の凹状パターン又は凸状パターンを転写するパターン形成材料から成るパターン形成体又はパターン形成体から第二の金属原版を形成する複製方法において、パターン形成体は、第一層と第二層の二層から成り、第一層は、エポキシ化合物と光カチオン重合開始剤から成る組成物の第一のパターン形成材料から成り、第二層は、エポキシ樹脂とエポキシ樹脂硬化剤から成る組成物の第二のパターン形成材料から成ることを特徴とするパターン形成体に関するものである。 （もっと読む）

【課題】原版の損傷がなく、複製精度に優れ、電鋳可能な樹脂版を得るパターン形成材料を提供し、パターン形成材料を用い、複製版を得る金属複製版の製造方法を提供する。
【解決手段】金属原版を複製するためのパターン形成体を形成する材料として、30℃において液状のポリブタジエンエポキシ化物と、エポキシ当量が150g/eq以上の脂環式エポキシ化合物を、パターン形成材料全体に対して合わせて50％以上含有する組成物と、光カチオン重合開始剤から成るパターン形成材料であって、ポリブタジエンエポキシ化物と脂環式エポキシ化合物の割合は、10:90〜60:40の範囲にあることを特徴とするパターン形成材料又はそれを用いた金属原版の複製方法に関するものである。 （もっと読む）

【課題】 ラインエッジラフネスに優れ、より経済的な電子部品等の微細構造物を高い精度で安定して形成することができるナノインプリント用樹脂組成物及びその硬化物を提供する。
【解決手段】
本発明のナノインプリント用光硬化性樹脂組成物は、硬化性モノマー、又は硬化性モノマーとバインダー樹脂とを含有し、該硬化性モノマーとバインダー樹脂との総量１００重量部に対して、同一分子骨格中に反応性官能基と疎水性官能基を有する化合物をさらに０．００１〜５重量部含有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐久性、及び基板に対する転写性が高く、ディスクリートトラックメディアや、パターンドメディアに高品質なパターンを転写形成するモールド構造体の提供。
【解決手段】厚みが０．３ｍｍ〜２．０ｍｍであり、表面にインプリントレジスト層が形成された基板に対し、表面に凹凸パターンが形成され、該凹凸パターンを前記インプリントレジスト層に対向させて該インプリントレジストに前記凹凸パターンを転写するモールド構造体であって、該モールド構造体の厚み（Ｄｍ）と、前記基板の厚み（Ｄｓ）と、該モールド構造体のカール量（Ｃ）とが、数式：０．０１≦１０，０００×（Ｄｍ^３／Ｄｓ^３）^１／２×Ｃ^２≦２５０を満たすことを特徴とするモールド構造体等である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、視野角制限フィルムの製造方法に関する。
【解決手段】本発明の視野角制限フィルムの製造方法は、所望するパターンが陰刻されたニッケル金型を製造するステップと、硬化樹脂を前記ニッケル金型に注入してマスターモールドを製造するステップと、前記マスターモールドに紫外線硬化樹脂を注入した後、硬化させて凸凹パターンが形成されたフィルムを製造するステップと、前記フィルムパターンの凹部にブラックインクを注入するステップと、を含んでなる。本発明の視野角制限フィルムの製造方法は、その工程が単純かつ生産効率に優れ、低コスト生産が可能であるという長所がある。 （もっと読む）

【課題】パターンの破損を防止し、離型工程を容易にするモールド作成法および転写装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のインプリントモールドは、凹凸パターンが形成された面と逆側の面の基板に、基板外縁部から基板中心部に向けて窪みが深くなるように形成された凹部を形成したことを特徴とする。本発明の構成によれば、剥離時に樹脂とインプリントモールドの付着力によってインプリントモールド自体が湾曲し、剥離力が付着面の周囲に集中して働くため、従来よりも小さな力で剥離を開始する事が出来る。また、剥離が進行するにつれて剥離力は周囲から中心へと順次効率よく働いていくため、パターン破損の減少と転写スピードの向上の両立を図る事が出来る。 （もっと読む）

【課題】パターン位置ずれを有するインプリントマスクのパターン位置ずれを補正することができるインプリントマスクの製造方法を提供すること。
【解決手段】マスク基板３０上にパターン形成するパターン形成工程と、マスク基板３０上に形成されたパターンの実際の位置と設計上の位置との間の位置ずれ情報を算出する位置ずれ情報算出工程と、算出された位置ずれ情報に応じた体積膨張となるように、基板３０内の所定の位置に周囲のマスク基板領域よりも体積が膨張した異質層３５を形成する異質層形成工程と、を含む。 （もっと読む）