【課題】複数の光学シートを積層したときに、凸部に傷又は欠けを生じ難くすることができる光学シートの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る光学シートの製造方法は、複数の凹部と該凹部に連なる曲面状の複数の凸部とを表面に有する光学シートの製造方法である。本発明に係る光学シートの製造方法では、複数の凸部と該凸部に連なる複数の凹部とを表面に有する賦型ロール本体と、該賦型ロール本体の表面上に積層されており、かつ複数の凸部と該凸部に連なる曲面状の複数の凹部とを表面に有する離型層とを備える賦型ロール４が用いられる。本発明に係る光学シートの製造方法では、賦型ロール４の表面４ａ上に押出しされたシート状の熱可塑性樹脂Ａを圧着させ、該シート状の熱可塑性樹脂Ａに賦型ロール４の表面４ａの形状を転写する。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置合わせを弊害なく実現する。
【解決手段】実施形態に係わるナノインプリント用テンプレートは、同一面に転写パターン１６ａ及びアライメントマークＡＭ２を備え、アライメントマークＡＭ２は、偏光子又は位相差フィルム１７により構成される。そして、ナノインプリント技術による基板上へのパターン転写時に、偏光を用いることにより、又は、光の位相差を検出することにより、基板とナノインプリント用テンプレートとの位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】切れ味が良いときのバイトで切削した溝と、切れ味が悪くなってきたバイトで切削した溝とが隣り合った部分や外観の濃淡ムラが目立たない金型を製造することができる金型の製造方法、該方法によって製造される金型、該金型を用いて製造される光学機能シート、該光学機能シートを備えた光学シート、及び該光学シートを備えた映像表示装置を提供する。
【解決手段】円柱状体の外周面に平行に切削された複数の溝と、該溝間に形成された山部とを有する金型の製造方法であって、溝を切削する順番が溝の配列順と異なる、金型の製造方法、該方法によって製造される金型、該金型を用いて製造される光学機能シート、該光学機能シートを備えた光学シート、及び該光学シートを備えた映像表示装置とする。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリントに有利に使用することが出来る円筒状モールドの製造方法であって、高い生産性で高精度に製造する方法を提供する。
【解決手段】外周面に微細な凹凸パターンを有する円筒状モールドの製造方法であって、
光透過性の円筒部材１２、及びその外周面に形成された加圧により変形可能な光硬化性転写層１３からなる外側円筒部２０を有する円筒状転写版５０を回転させながら、
外側円筒部２０の転写層１３を、円筒状転写版５０と同方向に移動する表面に微細な凹凸パターンを有する原版モールド７０の当該微細な凹凸パターン７２に押圧下に接触させ、微細な凹凸パターン７２を転写層１３に転写し、
前記転写と同時に、外側円周部２０の内周側から、転写層１３の転写領域１５に紫外線を照射し、硬化させることにより、転写層１３に反転凹凸パターンを連続的に形成することを特徴とする円筒状モールドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】様々な厚さ、材料、形状のテンプレートの保持及び変形制御が可能なテンプレートチャック、インプリント装置、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】インプリント装置用のテンプレートチャック１１１であって、前記テンプレートチャックは、テンプレート１０１の上面及び下面にそれぞれ接触させて、前記テンプレートを上下方向から挟み込むための第１及び第２の構造体４０１，４０２と、前記テンプレートの側面に接触させて、前記テンプレートを側面方向から挟み込むための複数の接触部材４０３とを備える。更に、前記テンプレートチャックは、前記複数の接触部材を介して前記テンプレートに応力を加えることで、前記テンプレートを変形させる変形制御装置４０４を備える。更に、前記第１の構造体、前記第２の構造体、及び前記複数の接触部材は、それぞれが個別に駆動可能なよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】目標とする形状に変形させるのに有利な原版を提供する。
【解決手段】転写されるパターンを有する原版であって、この原版は、負の実効ポアソン比を有する。又は、この原版は、石英板の実効ポアソン比より小さい実効ポアソン比を有する。 （もっと読む）

【課題】高い防眩効果を示しながら、白ちゃけを防止し、画像表示装置に配置してギラツキが発生せず、コントラストの低下がない防眩フィルムの凹凸形状を有する金型を製造し、その金型を用いて、優れた防眩フィルムを製造する。
【解決手段】金型用基材１の表面を研磨する研磨工程と、研磨された面に平坦部と凹部３からなる第１凹凸面４を形成する第１凹凸面形成工程と、第１凹凸面をエッチング処理によって鈍らせて第２凹凸面１１を形成する第２凹凸面形成工程と、形成された第２凹凸面にクロムめっきを施すめっき工程とを含み、第１凹凸面における平坦部の占める面積をＡ（％）とし、凹部の平均深さをＢ（μｍ）とし、凹部の中心間直線距離の平均値をＣ（μｍ）とし、第２凹凸面形成工程におけるエッチング深さをＤ（μｍ）としたときに、特定の条件を満たすことを特徴とする防眩フィルム製造用金型の製造方法ならびに当該金型を用いた防眩フィルムの製造方法。 （もっと読む）

【課題】充分な離型性を有し、元型モールド上のパターンへの被転写物の充填を良好に行い、精度良くパターンを転写させる。
【解決手段】インプリントにより所定の凹凸パターンを被転写物に転写するためのモールドに設けられる離型層において、前記モールドにおける前記凹凸パターンの凹部に前記離型層越しで前記被転写物を充填するため、エネルギーによる処理によって前記離型層の表面自由エネルギーを変動させることによる表面自由エネルギーの最適化がなされている。但し、前記エネルギーによる処理とは、熱エネルギー及び／又は光エネルギーによる処理のことである。 （もっと読む）

【課題】
工業的な規模で、表面にシームレスの凹凸模様を有するロールを安価に簡便に製造することを課題とする。
【解決手段】
円柱支持体に連続繊維を隙間なくスパイラル巻きにし、固定した後に、該スパイラル巻きした表面形状を内面に転写したシームレス凹凸模様を有する中空鋳型を作成し、該中空鋳型の内面形状を表面に転写することを特徴とするシームレス凹凸模様付きロールの製造方法。連続繊維は撚糸またはモノフィラメントのいずれでも良い。 （もっと読む）

【課題】生産性を高めるために、賦型速度を高めた場合であっても、フィルム幅方向に延びる横スジが発生し難く、かつ良好な光学性能を有する光学フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】溶融押出された熱可塑性樹脂フィルム６を金型ロール２と金属製無端ベルト３とで押圧することにより、前記熱可塑性樹脂フィルム６表面に微細構造を形成する光学フィルムの製造方法であって、前記熱可塑性樹脂のガラス転移温度をＴｇとしたときに、Ｔｇ＋４０℃の温度における前記金属製無端ベルト３と熱可塑性樹脂フィルム６との動摩擦係数が０．３以下であり、かつ前記金属製無端ベルト３の表面の表面粗さＲａが０．２μｍ以下である、光学フィルムの製造方法。 （もっと読む）

【課題】モールドのパターン内部への樹脂充填性と、樹脂層に対するモールドの離型性を確保したパターン形成方法と、このパターン形成方法を利用したナノインプリント転写に使用するナノインプリントモールドとナノインプリント用転写基材とを提供する。
【解決手段】ナノインプリントモールド１を、基体２と、この基体２の一方の面２ａに位置する転写形状部３と、少なくとも転写形状部３上に位置する濡れ性変化層４とを備えたものとし、濡れ性変化層４は第１の波長の光を照射することによる水に対する接触角の減少と、第２の波長の光を照射することによる水に対する接触角の増加が可逆的に起こるものとする。 （もっと読む）

【課題】電子線照射によるレジストパターンのドライエッチング耐性を向上させる手段において、酸素が存在する雰囲気中でも、レジストパターンの形状劣化を防止し、微細な転写パターンを形成することを可能とするナノインプリント用モールドの製造方法およびレジストパターンの形成方法を提供する
【解決手段】レジストパターン２を形成した後に、前記レジストパターンの上に、オゾンアッシングからレジストを保護する保護膜３を形成し、次に、大気中のように、酸素が存在する雰囲気中において、前記保護膜を介して前記レジストパターンに電子線４を照射し、その後、前記保護膜を除去してドライエッチング耐性が向上した前記レジストパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】樹脂部へのパターン転写の際に生じるバリに起因する悪影響を抑制することが可能なナノインプリント用モールドの製造方法等を提供する。
【解決手段】ナノインプリント用モールドの製造方法は、パターン５Ｐが形成された第１面５Ｓ１と、第１面５Ｓ１とは反対側の第２面５Ｓ２とを有し、紫外線が透過可能な材料からなるモールド本体部５を準備する工程と、モールド本体部５を固定するための表面３Ｓを有し、紫外線が透過可能な材料からなるモールド基体部３を準備する工程と、モールド本体部５の第２面５Ｓ２をモールド基体部３の表面３Ｓの一部に固定する工程とを備える。モールド本体部５において、第１面５Ｓ１から第２面５Ｓ２に向かう方向と垂直方向の幅が、一定、又は、第１面５Ｓ１から第２面５Ｓ２に向かうに従って減少する。 （もっと読む）

【課題】微細パターンを形成する際に生じるバリの高さを抑制することと、樹脂にパターン面を押し付ける際にモールドの基体部が樹脂に接触することを抑制することを両立することが可能なナノインプリント用モールドを提供する。
【解決手段】モールド１ａは、モールド基体部３とモールド本体部５とを備える。モールド本体部５の表面５Ｓは、ナノインプリント用のパターン５Ｐが形成されたパターン面５Ｓ１と、パターン面５Ｓ１の外縁５Ｓ１Ｘ、５Ｓ１Ｙに沿って設けられた副表面５Ｓ２とを有する。表面３Ｓと垂直な方向における副表面５Ｓ２からモールド基体部３の表面３Ｓまでの最長距離Ｈ５Ｓ２は、モールド基体部３の表面３Ｓと垂直な方向におけるパターン面５Ｓ１からモールド基体部３の表面３Ｓまでの距離Ｈ５Ｓ１よりも短く、これらの差Ｄ５Ｓは、ナノインプリント用のパターン５Ｐの深さよりも大きい。 （もっと読む）

【課題】高速搬送によってエンボス形成した場合に発生する同伴エアーを低減させ、低速搬送時と同一形状を有するエンボスを形成する。
【解決手段】マットローラ３１と、フィルムＦをマットローラ３１と挟持して搬送することで、フィルムＦにエンボスを形成するエンボス形成ローラ３２と、マットローラ３１とフィルムＦとの間に発生する同伴エアーを緩和させるエアー緩和手段とを備え、エアー緩和手段を、表面粗さ（Ｒａ）が１．０μｍ≦Ｒａ≦１０μｍで規定されるマットローラ３１で構成した。 （もっと読む）

【課題】良好なスループットを維持できるように十分な光透過性を有すると共に、被転写体に対する微細パターンの転写精度に優れ、しかも繰り返し転写性にも優れるナノインプリント用樹脂スタンパ及びこれを使用したナノインプリント装置を提供する。
【解決手段】複数の重合性官能基を有する主成分としてのシルセスキオキサン誘導体と、複数の重合性官能基を有し、前記シルセスキオキサン誘導体とは別の重合性樹脂成分と、光重合開始剤とを含有する樹脂組成物の重合体からなる微細構造体層を、光透過性の支持基材上に備えるナノインプリント用樹脂スタンパ３であって、前記光重合開始剤は、前記シルセスキオキサン誘導体、及び前記重合性樹脂成分の合計の質量に対して、０．３質量％以上、３質量％以下であり、前記微細構造体層は、波長３６５ｎｍの光を８０％以上透過することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多段構造の寸法精度を向上したインプリントモールドの製造方法およびインプリントモールドを提供することを課題とする。
【解決手段】３次元の多段構造パターンを有するインプリントモールドの製造方法において、基板１１に酸化膜１２を形成する第１の工程と、第１の工程後に、感光性樹脂１４を基板１１に形成し、感光性樹脂１４は酸化膜１２を被覆する第２の工程と、感光性樹脂１４をマスクにして基板１１を選択的に除去して、基板１１に第１凹部パターン１５を形成する第３の工程と、感光性樹脂を除去した後、酸化膜１２をマスクにして基板１１を選択的に除去して、基板１１に第２凹部パターン１６を形成する第４の工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多段構造の寸法精度を向上したインプリントモールドの製造方法およびインプリントモールドを提供することを課題とする。
【解決手段】３次元の多段構造パターンを有するインプリントモールドの製造方法において、第１基板１１を選択的に除去して第１凹部パターン１４を形成する工程と、この工程で第１凹部パターン１４が形成された第１基板１１に、第２基板１５を貼り合わせる工程と、第２基板１５を選択的に除去して第２凹部パターン１６を形成する工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】インプリント材料の充填速度を制御する。
【解決手段】実施形態のインプリント用のテンプレートは、一方の面に凹凸を有するパターンが形成された第１部材を備え、被加工基板上に塗布された光硬化性のインプリント材料に前記一方の面を接触させた状態で、前記第１部材の他方の面の上から照射された光により前記インプリント材料を硬化して前記パターンを前記インプリント材料に転写するインプリント用のテンプレートである。このテンプレートは、端部領域に第２部材が設けられている。前記第２部材の前記インプリント材料に対する接触角は、前記第１部材の前記インプリント材料に対する接触角より大きい。 （もっと読む）

【課題】生産性が高いモールドシートの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のエンボスパターンが形成された転写面を有する転写シートを準備し、転写シートの転写面上に、シリコーン組成物を含有する未硬化層を形成する。未硬化層が形成された転写シートを巻き取りロール１０５に巻き取る。未硬化層が巻き取られた巻き取りロール１０５を熱キュア装置２００で熱処理する。このとき、未硬化層が熱硬化してモールドシートが製造される。 （もっと読む）