第1のアノードプラズマヘッドと第1のカソードプラズマヘッドを含むプラズマ装置である。プラズマヘッドのそれぞれは、電極、プラズマフローチャネルおよび少なくとも上記のプラズマフローチャネルの一部分の間に配置された一次ガス流入口を含む。第1のアノードプラズマヘッドおよび第1のカソードプラズマヘッドは、互いに角度をもって配置される。プラズマ装置は、また、第2のアノードプラズマヘッドと第2のカソードプラズマヘッドを含む。プラズマヘッドのそれぞれは、電極、プラズマフローチャネルおよび少なくとも電極の一部分の間に配置された一次ガス流入口を含み、プラズマフローチャネル、第2のアノードプラズマヘッドおよび第2のカソードプラズマヘッドは、互いに角度をもって配置される。
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【課題】水（第１物質）とＣＯＦ_２（第２物質）とを、水が結露しないようにしながら反応させてＨＦ（第３物質）のガスを生成する。
【解決手段】反応装置３０の外管３２内に多数の微細孔３３ａを有する内管３３を配置する。内管３３の内通路３３ｂに、水蒸気を含む第１ガスの導入部１２を連ねる。内通路３３ｂの上流部は、水蒸気が凝縮する温度にする。外管３２と内管３３の間の外通路３０ａにＣＯＦ_２を含む第２ガスの導入部２３を連ねる。この第２ガスが微細孔３３ａを透過し内通路３０ｂへ入り込み、水と反応し、ＨＦ水溶液からなる凝縮体ｄｒが生成される。上記透過気流にて凝縮体ｄｒが内管３３の内壁に付着するのが防止される。 （もっと読む）

アノードプラズマヘッドとカソードプラズマヘッドを含む二重プラズマ装置である。プラズマヘッドのそれぞれは、電極、プラズマフローチャネルおよび少なくとも電極の一部分とプラズマフローチャネルの間の一次ガス流入口を含む。アノードプラズマヘッドおよびカソードプラズマヘッドは、互いに角度をもって方向付けられる。プラズマフローチャネルの少なくとも1つは、3つの全体的に円筒形の部分を含む。プラズマフローチャネルの3つの全体的に円筒形の部分は、サイドアークの発生を減少させる。
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【課題】多数のノズルから吐出圧力を均一にして流体を衝突させることにより、流体の均一な混合または反応を行うことができる流体処理装置を提供する。
【解決手段】
流体を流入させる１つの流入口と、該１つの流入口から分岐してＮ個に分かれたＮ個の搬送路と、Ｎ個の搬送路に接続されたＮ個の流出口とを備えた第１のユニットと、第１のユニットに対応して１つの流入口と、Ｎ個の搬送路と、Ｎ個の流出口とを備えた第２のユニットを有し、前記第１のユニットの流出口から流出する第１の流体と、前記第２のユニットの流出口から流出する第２の流体とを接触させて、流体の混合または反応を行う流体処理装置であって、第１のユニットにおける前記Ｎ個の搬送路の長さ及び、第２のユニットにおける前記Ｎ個の搬送路の長さのバラツキが２０％以下である流体処理装置。 （もっと読む）

【課題】マスク表面に亘るエッチング速度の極めて均一な分布を実現するプラズマリアクタを提供する。
【解決手段】プラズマリアクタは、円筒形側壁と、側壁の上にある天井と、側壁の上端上に支持され、天井を支持し、外面と内面とを備えたリングとを備えた真空チャンバを含む。複数の通路が外面から内面へとリング内を半径方向に延び、リングの円周に沿って間隔をあけて配置されている。チャンバ外部に在る外部ガス流導管装置はチャンバの円周に沿って延び、処理ガス供給源に結合されている。チャンバ外部に在る複数のガス流バルブは導管に沿って間隔をあけて配置された各々の位置でもって外部導管に結合され、その各々は（ａ）リングの外面の複数の通路の各々に結合された制御されたガス出口ポートと、（ｂ）バルブ制御入口とを有する。ガスバルブ構成コントローラは各バルブのバルブ制御入口を制御する。 （もっと読む）

【課題】
危険が少なく、またバッチ処理であっても短時間で処理できる、マイクロ波で加熱して化学反応を促進させる装置を提供する。
【解決手段】
マイクロ波反応装置は、マイクロ波発振器２が付された筐体１内に、マイクロ波が照射される反応物質の入るべき封鎖空間の反応容器３が配置され、反応容器３に付随する温度センサー５の挿入口、不活性ガスまたは反応原料の流入パイプの挿入口、あるいは反応生成物または反応余剰物の排出パイプの挿入口が筐体１内に位置している。 （もっと読む）

【課題】 従来、水や液状体の電子的水素イオン濃度ＰＨ値の改質は存在したが、アルカリ方向に最大ＰＨ１２．１前後が限界であり、ＰＨ１３以上の改質が産業利用への基本的課題であった。また、酸性側への改質は微動の可変も困難で、産業界や医療界への特質たる利用が成されなかった。
【解決手段】 改質装置内部に、金属グリッドを適宜に設けた事、適切な周波数を割り出す事、循環型電子回路や、シャワー噴霧方式を附加する事、帯電による感電防止策を循環回路による増強エネルギー化した簡単な回路と製品の安定化の為に冷却器を附加した等、解決の手段としての装置を製作した。 （もっと読む）

【課題】配管の内壁や噴射ノズルの内壁等に付着した凝集体が再飛散することによる圧粉体の形成や膜厚のむらを防止する。
【解決手段】この成膜方法は、エアロゾル生成部において原料粉をガス中に分散させることによりエアロゾルを生成する工程（ａ）と、エアロゾル生成部から搬送管に供給されるエアロゾルを、成膜室に配置されたノズルに搬送する工程（ｂ）と、成膜室において、ノズルと基板との相対位置を変化させながら、ノズルから基板に向けてエアロゾルを噴射することにより基板上に原料粉を堆積させて膜を形成する工程（ｃ）と、ノズルと基板との相対位置に応じて、エアロゾル生成部と搬送管とノズルとの内の少なくとも１つを間欠的に振動させる工程（ｄ）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】装置の低コスト化を図ることができ、且つ第１被反応液と第２被反応液との反応により析出した析出物が滞留することをほぼ完全に無くすことのできるリアクタを提供すること。
【解決手段】少なくとも２種類の第１被反応液（Ｌ１）と第２被反応液（Ｌ２）とを反応させその反応により生成した生成物（Ｌ３）を導出部（３３０）から導出するように構成されたリアクタ（１０）であって、前記導出部（３３０）に向けて第１被反応液（Ｌ１）を流通させるための流路（３３）と、前記流路（３３）に第１被反応液（Ｌ１）を導入する第１被反応液供給手段（４０）と、前記流路（３３）を流通している第１被反応液（Ｌ１）に向けて第２被反応液（Ｌ２）を前記流路（３３）の上方から噴霧状の液体ミスト（Ｍ）として噴射する液体ミスト噴射手段（６０）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法による複合構造物作製において、原料微粒子粉体の表面の付着物を除去し、作製される構造物の強度の向上、不純物の混入の防止を行う。
【解決手段】エアロゾルデポジション法によって複合構造物を形成させる場合に、プラズマ照射やマイクロ波照射により使用する微粒子の表面を予めクリーニングし、時間をかけて活性化処理する。引き続いてこの微粒子をエアロゾル化し、基材に向けて噴射することで基材上に微粒子の構成材料からなる構造物を作製する。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法による成膜において、厚さ及び品質が均一な膜を形成できる成膜装置を提供する。
【解決手段】この成膜装置は、原料粉をガス中に分散させることによりエアロゾルを生成するエアロゾル生成部と、基板が配置される成膜室６と、エアロゾル生成部において生成されたエアロゾルを成膜室に搬送するエアロゾル搬送管５と、成膜室に配置され、エアロゾル搬送管を介して搬送されたエアロゾルを基板に向けて噴射するノズル７と、該ノズルと基板との相対的位置を変化させるために、ノズル又は基板の位置を移動させる基板ステージ８と、成膜を中断してエアロゾル搬送管内を清掃するように各部を制御する制御部１０とを有する。 （もっと読む）

本発明は、容器と、プレート、壁、または螺旋状シートから選択され、少なくとも１つの混合ゾーンへの流体から少なくとも１つの熱交換ゾーンへの熱交換流体を分離する少なくとも１つの分離部材と、１つまたは２つ以上のポート（３）あるいは１つまたは２つ以上の噴射ポートを有し、混合ゾーンに挿入される少なくとも１つの流れ方向付け装置（１）とを有する熱交換器反応器に関する。１つまたは２つ以上の混合ゾーンへの熱または１つまたは２つ以上の混合ゾーンからの熱は、１つまたは２つ以上の熱交換ゾーンとの間で交換される。本発明は、熱交換器反応器の使用方法にも関する。
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ガス流れ（２２）と流体（２４）との接触を改善するスプレータワー（２０）である。スプレータワー（２０）はタンク（２６）とこのタンク内に設置されている複数のスプレーノズル（２８）とを包含し、タンク（２６）は入口（３２）と出口（３４）とを有し、複数のスプレーノズル（２８）の各々はスプレー出口（３８）を包含する。複数のスプレーノズル（２８）の各々は、スプレー出口（３８）を通して流体（２４）のコーン（４０）をタンク（２６）内にスプレーするようにしている。スプレータワー（２０）は、また、複数の孔（４４）を有する多孔板（３０）を包含する。この多孔板（３０）はタンク（２６）内に設置されてタンク（２６）の横断面を限定すると共に、複数の孔（４４）の各々は複数のスプレーノズル（２８）のひとつのスプレー出口（３８）から流出するコーン（４０）と整列させられている。
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【課題】粒子の形成を提供する。
【解決手段】物質の粒子の製造方法が記載されるが、ここで溶媒中の物質の溶液が超臨界流体中に少なくとも１回のショットで供給される。前記超臨界流体は、前記物質にとって非溶媒であり且つ前記溶媒と混和性である。前記溶媒と前記超臨界流体の混合物中に分散された前記物質の粒子が形成される。 （もっと読む）

制御された渦運動に媒体を至らせるよう設計された渦発生器であり、その媒体をその渦発生器に向けるための中空の注入口部分（１）を備えた渦発生器。その注入口部分は、湾曲形状（１０８）を有する回転対称キャビティ（１０１）から構成される。更に、その内側でその渦運動が確立される渦チャンバ（４ａ、４ｂ）は、その注入口部分に取り付けられる。注入口部分（１）は、その媒体をその回転対称キャビティからその渦チャンバに向けるための少なくとも一つの螺旋形状の円錐チャネルを含む。その渦チャンバは、トランペット形状又は卵形状の何れかである。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法において基材の表面状態に対応して成膜を行なう成膜速度および成膜効率に優れる被膜形成方法を提供する。
【解決手段】微粒子をガス中に分散させてエアロゾルを形成するエアロゾル形成工程と、エアロゾルを真空チャンバー内でエアロゾル噴射ノズルから表面研磨された基材表面上に噴射して成膜を行なう成膜工程とを備えてなり、該成膜工程は、エアロゾル噴射ノズルと基材とを所定の距離を保ちながら平行に相対的に移動させつつ、エアロゾル噴射ノズルから基材表面上にエアロゾルを噴射し衝突させる工程であり、上記移動の方向（成膜方向）は、基材の表面研磨方向と相対角度で 0°±20°または 90°±20°の範囲（図中Ｂ）となる方向である。 （もっと読む）

一端に放出口をもつ液体供給導管を有するアトマイザの提供、放出口の上流で液体供給導管のポートに開口するガス供給導管、及び、アトマイザに振動エネルギーを与えるための手段を含む、液体を噴霧化する方法。１つの実施形態において、液体供給導管及びガス供給導管は、互いに関して同軸になるように配置される。本方法は、更に、ガスをガス供給導管を通して流すのと同時に、液体を液体供給導管を通って放出口に流すことと、放出口から出てる液体を噴霧化するために振動エネルギーをアトマイザに与えることを含む。ポートでガスを導入することによって、液滴スプレーの寸法特性が改善される結果を得る。
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【課題】装置規模を拡大することなく規格化されたマイクロプレートを用いて効率の高いマイクロプレート分割処理装置およびマイクロプレート処理方法を提供することである。
【解決手段】複数のウェルが行列状に配列された所定マイクロプレートと、複数のノズルが行列状に配列された１または２以上のノズルヘッドと、該ノズルを介して気体の吸引吐出を行う吸引吐出機構と、前記マイクロプレートとノズルヘッドとの間を相対的に移動可能とする移動手段と、を有するとともに、前記各ノズルヘッドに設けられた全ノズルの先端は、前記マイクロプレートの一部のウェルに一斉に挿入可能に設けられ、配列された前記ノズルの行間隔および列間隔は、配列された前記ウェルの行間隔および列間隔に各々等しく設けられたマイクロプレート分割処理装置である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、配列欠陥が少なく、規則性の高いコロイド粒子配列構造を簡便に作製するための方法および装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の方法は、（ａ）エッジ部８を備えたカバー部材３を準備するステップと、（ｂ）カバー部材３を基板２の上に間隔を空けて、エッジ部８が前記基板２に対して鋭角αをなして対向するように、エッジ部８と基板２との間に隙間を形成するように、カバー部材３を支持するステップと、（ｃ）カバー部材３と基板２との間の所定の空間部分７にコロイド溶液を貯留するステップと、（ｄ）カバー部材３と基板２とを、所定の方向に相対スライド運動させることにより、空間部分７に貯留したコロイド溶液を前記エッジ部８と前記基板２との間の隙間９から外側に漏出させ、前記基板２上にコロイド粒子を配列するステップと、から成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液相での気体発生を伴う一段階の化学反応によって、目的とする反応生成物を生成するにあたり、溶液中へ原料を、気泡の層に阻害されることなく供給することができ、反応生成物を効率良く製造することができる反応装置を提供する。
【解決手段】第一原料５と第二原料とを混合液４中で化学反応させて反応生成物を得るために用いられる。この反応装置は、反応容器１、筒状体２及び液体吐出手段３を具備する。反応容器１は、前記混合液４が貯留され、又は連続的に供給され、この反応容器１内で前記化学反応が起こる。筒状体２の下端の開口２ａは、前記反応容器１内の混合液４の液面よりも下方に配置され、この筒状体２の内部を通じて、前記第一原料５が、前記反応容器１へ供給される。液体吐出手段３は、前記筒状体２の内部を通じて、液体を前記反応容器１の内部へ吐出する。 （もっと読む）