【課題】安定したプラズマ処理を効率よく行うことができるプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体ウェハ５を対象としてプラズマ処理を行うプラズマ処理装置において、真空チャンバ２の主体となるチャンバ容器４０の底部４０ｃに電極部材４６が装着された下部電極３を配置し、下部電極３の上方に外縁部５１ａよりも内側の下面側に下方に突出した突出面を備えた上部電極４を昇降自在に配設する。上部電極４を下部電極３に対して下降させて、外縁部５１ａをチャンバ容器４０の側壁部４０ａにおける中間高さＨＬに設けられた環状の密封面４０ｄに当接させ、下部電極３と上部電極４との間に密閉された処理空間２ａを形成する。これにより、上部電極４の上方は常圧空間２ｂとなり、異常放電の発生を防止して安定したプラズマ処理を効率よく行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 複数のマイクロキャピラリーを用いた反応装置及びそれによる接触水素化反応方法を提供する。
【解決手段】 複数のマイクロキャピラリー２と、複数のマイクロキャピラリー２へ液相となる基質を溶解した溶液７を供給する溶液供給部１０ａと、マイクロキャピラリーへ気相となる気体を供給する気体供給部１０ｂと、反応生成物を回収する回収部１５と、を備え、マイクロキャピラリーは流路４を有し、流路４の内壁に固相となる金属触媒又は金属錯体触媒５を担持し、マイクロキャピラリーの一端を溶液供給部１０ａ及び気体供給部１０ｂへ接続し、他端を回収部１５へ接続し、基質を溶解した溶液７及び基質と反応する気体９を、マイクロキャピラリー２へ所定の流量で連続的に流すように制御する。 （もっと読む）

【課題】処理水の殺菌、浄化が行える光式の処理システムを採るに当り、処理容器の多数を場所を取らずコンパクトに、しかも高価なものとならないように構成させ、プールや大浴場等の大量の流体処理にも適用可能となる流体用照射装置を提供する。
【解決手段】流体用照射装置Ａにおいて、透過性を持つＰＦＡ製のチューブ１の多数と、多数のチューブ１を縦横並列に配置保持すべくそれらチューブ１の両端夫々に配される一対のＰＴＦＥ製の蓋部材３，４と、多数のチューブ１に紫外光を照射する光源２をチューブ１と並列配備するための光源支持手段Ｋとを有し、蓋部材３，４には、多数のチューブ１の管路１Ａを直列に連通接続するための内部接続路Ｒが形成されるとともに、多数の管路１Ａが直列に連通接続されて成る単一の折返し流路Ｗの一対の端部に対する流体の入口部３ＡがＩＮ側蓋部材３に、かつ、出口部４ＡがＯＵＴ側蓋部材４に夫々形成される。 （もっと読む）

【課題】放電プラズマにより励起された処理対象ガスを分解・合成・改質可能とし、ドライ洗浄装置やオゾン発生装置として使用可能にした大気圧プラズマ素子を提供する。
【解決手段】大気圧雰囲気中で処理対象ガスを流通可能とした筒状誘電体部材２の外周壁に電極を付設して外部電極６とし、該筒状誘電体部材２の内部に配され、螺旋状に正回転する第１羽根部分３、螺旋状に逆回転する第２羽根部分４とを交互に長手方向に延設してそれぞれを内部電極７とし、処理対象ガスと酸素を筒状誘電体部材２内で剪断力を受けて分割及び合流を繰り返すことにより両者が攪拌混合すると同時に両電極間６、７に高周波・高電圧を印加して放電プラズマを誘起することで筒状誘電体部材２内側の処理対象ガスの分解・合成・改質を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 熱交換器、加熱部および触媒を一体化することによりコンパクト化が可能で、かつ、それによってエネルギー効率を高め、アルマイト触媒の適用で触媒反応のスタートアップを早めた触媒式燃焼装置を提供する。
【解決手段】 触媒反応ゾーンと熱交換ゾーンからなる両端を閉じた中空筒体において、アルミニウムよりなり、その長さ方向の一部をアルマイト処理し触媒を担持したパイプ複数本を平行に多数本を配位し、かつ触媒反応ゾーンには各パイプの表面の少なくとも一部に連続状の通電可能な触媒担持帯状体の一部が接触して配設され、かつ邪魔板、処理対象ガス吸入口と処理済みガスの排出口が設けられた触媒式燃焼装置。 （もっと読む）

【課題】 流路の幅を制御でき、内部の洗浄が容易で、流体の種類や条件によらず最適な条件で混合を行うことができる微小混合装置および流体混合方法を提供する。
【解決手段】 流体供給口から複数の流体を導入する複数の流体導入部１２１と、該流体導入部を通過した複数の流体を混合する流体混合部１４５を有する微小混合装置であって、前記流体混合部１４５が、少なくとも一部の位置に傾斜した外側壁１０４を有する外筒１０１と、該外筒の内側に間隙を設けて配置され、少なくとも一部の位置に傾斜した内側壁１０６を有する内筒１０５と、該外筒と内筒を相対的に変位させ、前記外側壁と内側壁の間隙で前記複数の流体を混合する混合手段を有する微小混合装置。 （もっと読む）

【課題】 電気分解が生じない電圧（１．１Ｖ未満）での電気浸透流を利用して、流路内の液体を移動させることができるようにすること。
【解決手段】 基板内に形成された流路内の液体を移動させる装置であって、前記流路に隣接するように接続されて環状に形成された少なくとも一つ以上の環状流路に電圧を印加して発生する電気浸透流を用いて前記環状流路方向に環流を発生させ、発生した前記環状流路内の前記環流により前記流路内の前記液体を移動させるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、容器の回転ムラを防止できると共に接触部の寿命を長くでき、更には容器と接触部との接触位置の調整を不要にできる被膜形成装置及び粉砕装置を提供することである。
【解決手段】 モータ３と、モータ３の出力軸５と、出力軸５に交差して設けられたアーム７と、アーム７に揺動自在に吊下げられた揺動軸１５と、揺動軸１５に回転自在に設けられた容器９と、出力軸５の回転方向に沿って円環状に設けられた接触部１０とを備え、容器９には基材４及び粉末６を収納しており、出力軸５の回転で容器９に生じる遠心力により容器９の公転半径が広がって容器外側面９ａが接触部１０に摩擦接触し、容器９が公転及び自転することにより、容器内の粉末６が衝突と摺擦を繰り返して基材４の表面に被膜を形成している。 （もっと読む）

【課題】より耐久性である充填物の存在でＨＣｌ、Ｈ₂Ｏ及びシロキサンを含有する混合物を加工する方法。
【解決手段】フッ素化ビニルポリマーからなる充填物の存在で、ＨＣｌ、Ｈ₂Ｏ及びシロキサンを含有する混合物を加工する。 （もっと読む）

【課題】 天然ガス等の燃料の使用による温室効果ガスの実質的な排出量を低減する。
【解決手段】 天然ガス等の燃料の製造時に副次的に生成されるガスであって、任意の範囲で空気と混合しても常温常圧において可燃範囲に入らない低濃度のメタンを含む混合ガスＧ１を、空気と混合及び加湿させた後、放電プラズマ雰囲気中を通過させて、混合ガスＧ２中の低濃度メタンを分解する。放電プラズマは、パルス電源を備えたプラズマ処理装置１が発生するパルス放電プラズマを用いる。 （もっと読む）

【課題】 所望の形状を有し、かつサイズのバラツキが小さい微小構造体を、歩留まり良く、かつ、簡便安価に形成する方法を提供することを提供すること。
【解決手段】 本発明の微小構造体の製造方法は、
第１の流路に第１の液体を供給する工程と；該第１の流路を包囲するように形成された第２の流路に第２の液体を供給する工程と；該第１の流路と該第２の流路とが合流する地点で該第１の液体と該第２の液体とを接触させる工程とを含み、該第１の液体および該第２の液体を層流状態で接触させる。 （もっと読む）

一連の交互充填材層を有する充填床反応器（１００）。第１の充填材層（１２０）は、充填材要素約１０個分までの厚さで層をなしてランダムに充填されたオープンボディー充填材要素を有し、第２の充填材層は、疎水性フォームの多孔性支持体要素（１１０）を有する。多孔性支持体要素（１１０）は、多孔性支持体要素約１０個分までの厚さでランダムに充填される。さらに、第１の層（１２０）の充填材要素は、ほぼ円筒状の形状を含み、第２の層の多孔性支持体要素（１１０）は、ほぼ直線的な形状を含む。いくつかの実施形態では、第２の層は、生物学的反応器内で微生物を支持し、オープンボディー充填材の第１の層は、流体の流動および分配、物質移動を促進しかつチャネリングを最小限に抑えるように流体流動空間を提供する。 （もっと読む）

【課題】空間の利用効率が良く且つ精密な反応制御ができるマイクロリアクタを提供すること。
【課題手段】被反応流体を導入するための入口ポート２２及び反応済流体を導出するための出口ポート３２を備えたケーシング１Ａと、ケーシング１Ａ内に着装され入口ポート２２及び出口ポート３２に連通する内径５００μ以下のチューブ体９１とを備えるマイクロリアクタにおいて、ケーシング１Ａ内に着装されるチューブ体９１を支持するためのチューブ体支持部６１Ｃを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 長期に安定してマイクロリアクターに試料を注入・供給することができるマイクロリアクター用注入装置を提供すること。特に、長期に安定した濃度の微粒子分散液を注入・供給することのできるマイクロリアクター用注入装置を提供すること。
【解決手段】 シリンジ、該シリンジ内に配置された磁性回転部材及び、該磁性回転部材をシリンジ外部から非接触で回転可能な磁性回転動力部を有することを特徴とするマイクロリアクター用注入装置。 （もっと読む）

一つ又はそれ以上のプロセス流を、希望の組成を有する成分プロセス流に分離するために成分分離装置において開口セルのセル状固体材料を利用するための方法及び組立体。成分分離装置において、プロセス流を希望の成分プロセス流に分離するために前記開口セルのセル状固体材料を使用するための方法及び組立体であって、開口セルのセル状固体材料は、酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、セラミック、金属、ポリマー、及び化学蒸留物を含むことができる。
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【課題】 非平衡プラズマによるガス処理を効率的かつ低コストで行うことができ、しかも、消費電力が少なく、装置の小型化が可能なガス処理装置を提供する。
【解決手段】 本発明のガス処理装置１は、被処理ガスｇを非平衡プラズマ内にてプラズマ分解処理するプラズマ反応部２と、このプラズマ反応部２から排出される未分解のガス及び非平衡プラズマにより生成される副生成物を含むガスｇ’を光触媒により分解処理する光触媒反応部３とにより構成され、プラズマ反応部２は、棒状の接地電極１１及び誘電体１２と、円筒状の表面電極１３と、光触媒体１５とにより構成され、光触媒反応部３は、透明ガラスからなる筒状の容器３１と、この内部に充填された光触媒体３２と、容器３１の外側に設けられた光源３３とにより構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

上部壁（６）と、底部壁（３）と、２個の対向する側壁（４、５）とにより区画される少なくとも一個の通路（２）を備えてなるマイクロ流体素子。通路（２）の上部壁（６）と底部壁（３）の間隔（Ｐ）は２５マイクロメートル以上であり、該素子は、接触表面と有効体積の比が特に高く、全体的な表面サイズが限られるように、第一および第二セットのナノチューブ（９ａ、９ｂ）が、それぞれ２個の対向する側壁（４、５）により支持されている。さらに、２個の対向する側壁（４、５）の間隔は、約数マイクロメートル、好ましくは３〜５マイクロメートルである。
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本発明は液体、気体もしくは固体相、またはそれらの混合物を含む媒体の殺菌及び精製のための装置に関し、前記装置は：中心電極（１）、前記電極（１）に隣接した誘電層（２，２０）、前記誘電層（２）に隣接した第一領域（３，３０）、及び前記第一領域中に第一媒体を導入する手段、前記第一領域に隣接した第二領域（５，５０）、及び前記第二領域中に第二媒体を導入する手段、前記第一媒体が第一領域内に存在している間に、前記第一電極（１）と第二電極の間に電圧を印加することにより、前記第一媒体内にプラズマを作るための手段、第二媒体と混合されるために、第二領域（５）中に前記プラズマを注入するための手段、を含む。本発明はまた、本発明の装置で実施される方法に関する。 （もっと読む）

【課題】多電極と多相交流電源との接続が容易で、比較的簡単な電極構造で放電時における電極間の絶縁性を保つことができる多相交流プラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】装置本体４の中に、チャンバ１０と電源装置１４等を備えいる。チャンバ１０の開口部６が位置した側には、本体４に対して上下にスライド自在に設けられた扉１６が取り付けられている。扉１６の外側から内側に貫通して環状に複数配置されたコンタクトプローブ２２が取り付けられている。多孔円筒金属籠２６と、それを同心状に囲む複数の分割電極３０を一体的に備えて成る放電ユニット３２が設けられている。複数の分割電極３０の扉側端部には、扉１６のコンタクトプローブ２２の端子用接点１２と当接可能に、分割電極端子である給電子３４が固定されている。各分割電極３０は、多孔円筒金属籠２６の外周に位置して、支持部材３６により多孔円筒金属籠２６に固定されている。 （もっと読む）

【課題】静電容量を増やさずに捕集面積を増加し得るようにしたプラズマアシスト型の排気浄化装置を提供する。
【解決手段】誘電体のバリア８を挟んで対向配置された電極５，６間に、フィルタ機能を有する適宜数の金属導体１０を電気的に絶縁された状態で介装して、該金属導体１０により前記電極５，６間を複数のプラズマ発生空間９に分割し、該各プラズマ発生空間９に導入した排気ガス２が必ず前記金属導体１０を通過して流れるように流路形成を図り、前記電極５，６間に放電に必要な電圧を印加し得るように構成する。 （もっと読む）