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Fターム[4G077EG02]の内容

結晶、結晶のための後処理 (61,211) | 結晶成長共通−装置、治具 (3,794) | 融液支持、収容手段(例;ルツボ) (779) | 材質的特徴、多層又は被覆構造のもの (453)

Fターム[4G077EG02]に分類される特許

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【課題】10MPa以下の低圧または常圧において良質な化合物結晶を工業的に安く製造すること。
【解決手段】化合物ABXをイオン性溶媒に溶解した溶液中で化合物AXを結晶成長させる際に、溶液中の溶質成分BXの濃度を調整することにより、化合物AXの結晶成長速度を制御する[前記Bは1族金属元素または2族金属元素であり、前記Aは第13族金属元素であり且つ前記Xは第15族元素であるか、前記Aは第12族金属元素であり且つ前記Xは第16族元素であるか、または、前記Aは第14族元素であり且つ前記Xは炭素元素である]。 (もっと読む)


【課題】本発明は、低コストで実用化することが可能な人工コランダム結晶およびその製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、種結晶を含有し、{113}面、{012}面、{104}面、{110}面、{101}面、{116}面、{211}面、{122}面、{214}面、{100}面、{125}面、{223}面、{131}面、および{312}面からなる群から選択される少なくとも1つの結晶面を有することを特徴とする人工コランダム結晶を提供することにより、上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】大面積を有する高品質の単結晶炭化珪素を、工業的規模で安定に供給し得る結晶製造方法を提供する。
【解決手段】種結晶1を用いた昇華再結晶法により単結晶炭化珪素を成長させる際に、予めCMP処理を施した炭化珪素基板を種結晶1として使用する。また、予めCMP処理及びエピタキシャル成長による炭化珪素皮膜を施した炭化珪素基板を種結晶1として使用してもよい。さらに、予め黒鉛坩堝3の上部蓋4と、種結晶1をグラファイト系接着剤により接着固定し、その後接着された種結晶1の表面にCMP処理、もしくはCMP処理及びエピタキシャル成長による炭化珪素皮膜を施して坩堝3を組み立ててもよい。 (もっと読む)


【課題】単結晶の育成中に、ルツボ材料やカーボン蒸気と原料融液との反応に起因する内包物の生成が抑制され、高品質なサファイア単結晶を得ることができる単結晶製造方法を提供する。
【解決手段】カーボン系ヒータ3,4又はカーボン系断熱材5を用いたチャンバ6内に、モリブデン、タングステン、もしくはそれらの合金製のルツボ1を設置し、このルツボ1にサファイア原料粉末を装入し、雰囲気ガスを予め不活性ガスで置換した後、ルツボ1を直接加熱してサファイア原料粉末を溶融し、得られた原料融液10に種結晶11を接触させて成長結晶12を引き上げる融液成長法によるサファイア単結晶の製造方法において、前記雰囲気ガスは、不活性ガスと一酸化炭素ガスの混合ガスであり、かつ、一酸化炭素ガスの含有量が、カーボン蒸気又はルツボ材料とサファイア原料融液との反応に起因する内包物の生成を抑制するのに十分な量であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】シリコン結晶のドーパントによる抵抗調整精度を向上し、結晶歩留向上と原材料費コストダウンとを実現することができるシリコン結晶成長用ルツボとその製造方法、及びシリコン結晶成長方法を提供する。
【解決手段】シリコン結晶成長用ルツボCは、貯留するシリコン融液との接触面にシリコン含浸SiC層C1、溌液層C2、石英ガラス層C3、カーボン層C4から構成され、シリコン含浸SiC層C1の製造方法は、原料SiC粉末を、シリコン融液を貯留する空間を有する形状に成形するSiC粉末成形工程と、成形されたSiC粉末成形体を焼成し多孔質SiC層を形成する焼成工程と、多孔質SiC層に溶融したシリコンを含浸させ、シリコン含浸SiC層を形成するシリコン含浸工程とを有する。前記シリコン含浸工程は、シリコン結晶引き上げ前のシリコン原料を加熱溶融する時に行っても良い。 (もっと読む)


【課題】チョクラルスキー法によるサファイア単結晶の製造において、単結晶を安定的に成長させ、均一性にすぐれた結晶品質が得られるサファイア単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】加熱コイル(加熱手段)30を用いて坩堝20を加熱し坩堝20中の酸化アルミニウムを溶融させてアルミナ融液300を得る第1の工程と、加熱コイル30により坩堝20を加熱しつつ坩堝20中のアルミナ融液300からサファイアインゴット230を引き上げて成長させる第2の工程と、を有し、第2の工程において、サファイアインゴット230の成長に伴うアルミナ融液300の液面Sの下降に追随し、且つ、加熱コイル30の最上部位置Tと液面Sとの距離Hが一定範囲内となるように加熱コイル30を下降させることを特徴とするサファイア単結晶の製造方法。 (もっと読む)


【課題】SiC結晶の結晶性を良好にすることができる、SiC結晶の製造方法、SiC結晶、およびSiC結晶の製造装置を提供する。
【解決手段】SiC結晶の製造方法は、以下の工程を備える。坩堝101と、坩堝101の外周を覆う断熱材121とを含む製造装置100を準備する。坩堝101内に原料17を配置する。坩堝101内において、原料17と対向するように種結晶11を配置する。坩堝101内において、原料17を加熱することにより昇華させて、種結晶11に原料ガスを析出することによりSiC結晶を成長する。製造装置100を準備する工程は、坩堝101の種結晶11側の外表面101aと、断熱材121との間に、空間からなる放熱部131を配置する工程を含む。 (もっと読む)


【課題】SiC結晶の結晶性を良好にすることができる、SiC結晶、その製造方法、その製造装置および坩堝を提供する。
【解決手段】SiC結晶の製造方法は、以下の工程を備える。本体部102を含む坩堝101と、本体部102を覆う断熱材121とを含む製造装置100を準備する。本体部102内に原料17を配置する。本体部102内において、原料17と対向するように種結晶11を配置する。本体部102内において、原料17を加熱することにより昇華させて、種結晶11に原料ガスを析出することによりSiC結晶を成長する。製造装置100を準備する工程は、本体部102における種結晶11側の外表面102a側に、断熱材121よりも熱伝導率の高い放熱部131を配置するとともに、放熱部131で、または、放熱部131と断熱材121とで、本体部102における種結晶11側の外表面102a全体を覆う工程を含む。 (もっと読む)


【課題】
光デバイスなどの基板として用いられる単結晶を製造する過程で、結晶成長後のアニールで結晶内の酸素欠損が回復でき、結晶にクラックが発生しない結晶成長装置およびその方法を提供する。
【解決手段】
結晶を成長する雰囲気として、酸素分圧が10Pa〜1kPaとなるようにすることで、結晶成長後の酸素雰囲気でのアニールで回復できる酸素欠損で、クラックの発生がない単結晶が得られる。 (もっと読む)


【課題】生体との適合性に優れると共に、その使用部位、方向に応じた最適な強度、耐食性、耐摩耗性などの諸特性を十分に発揮することができるインプラント部材用Co−Cr系合金を提供する。
【解決手段】ブリッジマン法を用いたインプラント部材用Co−Cr系合金単結晶の製造方法であって、所定の組成のCo−Cr系合金を1500〜2050℃の温度で溶融し、温度勾配0.5℃/mm以上の条件の下、成長速度1.0〜500mm/hで結晶成長を行う。さらに、特定の方向に沿った面欠陥状マルテンサイト相を導入する。 (もっと読む)


【課題】他の結晶特性に影響することなくシリコン単結晶における巨視的ボイドの発生率をさらに減じる。
【解決手段】シリコンから成る単結晶9をるつぼ4に含まれた融液11から引き上げる方法において、引上げの間単結晶9は熱シールド2によって包囲されており、熱シールドの下端部3は融液の表面から所定の距離hに位置しており、ガス流10が、単結晶9と熱シールド2との間の領域を下方へ、熱シールド2の下端部3と融液11との間を外方へ、次いで熱シールド2の外側の領域において再び上方へ流れ、下端部3における熱シールド2の内径DHSが単結晶9の直径DSCよりも少なくとも55mmだけ大きく、下端部3における熱シールド2の半径方向幅BHSUが単結晶9の直径DSCの20%以下である。 (もっと読む)


本発明は、溶融鋳型内に粒子層を形成させ、該粒子層を石英ガラスるつぼの形成下に焼結又は溶融させることによる、単結晶引上げ用石英ガラスるつぼの公知の製造法をベースとしている。高純度である点で傑出しており、かつ、気泡不含となるように再現性よく調節することを可能にするばかりでなく、所定の均一な細孔性をも可能にする、石英ガラスるつぼのための石英ガラスの廉価な製造を提供するために、本発明によれば、該粒子層の少なくとも一部をシリカガラス顆粒から作製し、その製造が以下の方法工程を含むことが提案される:実質的に均一な回転楕円状のモルホロジーを有する圧縮成形体の形成下に、シリカ粉末をロールブリケッティング法を用いて機械的に圧密化する工程、及び該圧縮成形体又は該圧縮成形体の破片を熱的に圧密化し、シリカガラス顆粒にする工程。
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【課題】半導体材料あるいは太陽電池材料等の単結晶あるいは多結晶を製造する装置において溶融材料を収容するルツボを支持、保持するために用いられる炭素繊維強化炭素複合材ルツボであって、底部湾曲部において、皺あるいは重ね合わせの段差部分をなくし、耐久性を向上させた炭素繊維強化炭素複合材ルツボを提供する。
【解決手段】周縁部に湾曲部を有する底部3と、前記底部湾曲部から上方に延びる直胴部2とを有する炭素繊維強化炭素複合材ルツボ1であって、前記底部3と直胴部2が、炭素繊維の縦糸と横糸とを交互に織り上げた炭素繊維織布11,12,13(10)を複数枚、貼り合わせることにより形成されると共に、前記底部湾曲部に位置する炭素繊維織布の縦糸と横糸の軸線が、ルツボ周方向に対し斜め方向に形成されている。 (もっと読む)


【課題】速い育成速度と高い結晶品質とを両立することができる、アモノサーマル法による窒化物単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】耐腐食性オートクレーブ3内で、超臨界又は亜臨界状態にあるアンモニアの存在下、少なくとも1種類の窒化物多結晶を原料6として用い、かつ、少なくとも1種類の酸性鉱化剤をアンモニアに添加して、アモノサーマル法により窒化物多結晶から窒化物単結晶を製造する方法において、オートクレーブ3内には、窒化物多結晶を配置する部位9と、種結晶7を用いて窒化物単結晶を育成する部位10とが存在しており、種結晶7を用いて窒化物単結晶を育成する部位10の温度T1は、650℃〜850℃であり、かつ、窒化物多結晶を配置する部位9の温度T2よりも、平均温度で、高く保持され、そして耐腐食性オートクレーブ3内の圧力は、40MPa〜250MPaに保持されている。 (もっと読む)


【課題】シールド部の材料を強固にすることにより、繰り返し使用可能回数を向上させた、13族元素窒素化合物の結晶を製造するための圧力容器の提供。
【解決手段】温度600℃〜850℃、及び圧力30MPa〜250MPaのアンモニア雰囲気下で、13族元素窒素化合物の結晶を製造するための圧力容器であって、該アンモニア雰囲気に接する該圧力容器のシールド部の材料が、イリジウムと白金の合金又はイリジウム単体であり、ここで、イリジウムが、該シールド部の材料の全体に対して、20重量部〜100重量部で含有されていることを特徴とする圧力容器。 (もっと読む)


方向性凝固炉は、溶融物を収容するためのルツボであって、壁と、開口を有する底とを有するルツボと、ルツボを支持するルツボ支持体と、ルツボを覆う蓋とを有するルツボアセンブリを含む。プレートは、底の開口の中に収められる。プレートは、底の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する。底は、添加剤を有するコンポジットを含むことができ、コンポジット底が、添加剤無しの同等の底と比較して高い熱伝導性を有する。
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【課題】シリコン単結晶引き上げに用いる石英ガラスルツボであって、クリストバライト化の進行が抑制された石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ111を作製した後、前記作製した石英ガラスルツボの外面側を研削することにより、あるいは、石英ガラスルツボの外面を熱処理することにより、前記作製した石英ガラスルツボ111の外層部142に存在するシリカの結晶相151を除去する。この結果、前記石英ガラスルツボ111の全体が石英ガラス121からなり、前記石英ガラスルツボ111の外層部142にシリカの結晶相151が実質的に存在しない石英ガラスルツボ111が得られる。 (もっと読む)


【課題】アルミナ、イットリアまたはイットリウム・アルミニウム・ガーネットからなる反応容器内にナトリウムを含む融液を収容した状態でフラックス法によって単結晶を育成した後に、反応容器を再生し、次の単結晶育成時に透明な単結晶を育成できる方法を提供する。
【解決手段】アルミナ、イットリアまたはイットリウム・アルミニウム・ガーネットからなる反応容器内にナトリウムを含む融液を収容した状態でフラックス法によって単結晶を育成する。次いで、反応容器を超音波洗浄し、次いで反応容器を酸化性雰囲気下で1300〜1600℃で5〜20時間にわたって加熱することによって,反応容器を再利用可能とする。 (もっと読む)


【課題】種結晶上以外の部分に窒化物結晶が析出するのを抑制し、種結晶上へ成長する窒化ガリウム単結晶の生産効率を向上させることのできる窒化物結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】鉱化剤を含有する溶液を入れた容器1内でアモノサーマル法により窒化物結晶を製造する際に、容器1および容器1内に設置される部材5、6の表面のうち溶液に接触する部分の少なくとも一部が、タンタル(Ta)、タングステン(W)およびチタン(Ti)からなる群より選択される1種以上の原子を含む金属または合金で構成され、且つ、表面粗さ(Ra)が1.80μm未満となるようにする。 (もっと読む)


【課題】高温強度、特に底部と側壁部とを連結する角部の高温強度に優れるタングステン製ルツボを提供すること。
【解決手段】純度99.9%以上のタングステンからなり、底部2と側壁部3とが角部4を介して連結された上部開放の有底筒状のタングステン製ルツボ1であって、前記タングステンは、粒径が10μm以上100μm以下のタングステン結晶粒の割合が粒子数の割合で90%以上であるもの。また、焼結工程やHIP焼結により製造する。 (もっと読む)


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