【課題】バイアス電源等の設置を不要とすることができ、基板に対して原料ガス中の炭素のみを効果的に提供してカーボンナノチューブを垂直配向で成長させ、製造することのできるプラズマＣＶＤ装置とカーボンナノチューブの製造方法を提供する。
【解決手段】チャンバ１と、チャンバ１に連通するプラズマ発生部３およびガス提供部２と、チャンバ１内でカーボンナノチューブを成長させる基板Ｋが載置される載置部４と、を備えてなるプラズマＣＶＤ装置１０であり、ガス提供部２からは少なくとも炭素原料ガスが導入されるようになっており、チャンバ１内において、プラズマ発生部３と基板Ｋの間にバルク状の遮蔽材５が配設されている。 （もっと読む）

【課題】高価な装置を用いることなく、高い生産性でカーボンナノチューブを製造することのできるカーボンナノチューブの製造方法、および当該製造方法により得られたカーボンナノチューブを提供すること。
【解決手段】不活性ガス雰囲気とした反応容器３０内に、ポリスチレン粒子等の固形状の炭素含有原料と、ナノサイズのニッケル粒子等の触媒粒子とを収容する。マイクロ加熱装置等からなる加熱装置１によって反応容器３０内を加熱すると、反応容器３０内で炭素含有原料が分解し、ナノサイズの触媒粒子表面でカーボンナノチューブが成長する。 （もっと読む）

【課題】強磁性体をＣＮＴに十分に内包させる。
【解決手段】炭素の供給源である液体又は気体のアルコール５中で基板７の表面に配置された陰極の電極１１により前記基板７との間に強磁性体の金属板１５を挟み、前記金属板１５が備える尖端部１９を前記陰極に対し間隔を置いて前記基板上に配置された陽極に指向させ、前記電極９，１１間で前記基板７を介して通電すると共に前記金属板１５の尖端部１９に可視光又は紫外光を照射し、棒状の磁性体金属２５を内包したＣＮＴ２７を析出させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】原料ガスの反応容器内への導入及び当該反応容器からのガス排出の構成に工夫を凝らし、反応容器内における原料ガスの流動や触媒との接触を良好に行うようにした微小コイルの製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】反応容器２０は、円筒状容器本体２０ａと、この容器本体２０ａの左右両側部から互いに逆方向に延出された原料ガス筒群２０ｂ〜２９ｄ及び排出ガス筒群２０ｆと、容器本体２０ａ内に挿入した円筒状基材３０とを備えている。原料ガス筒群２０ｂ〜２９ｄから容器本体２０ａ内に導入された原料ガスは、所定の高温下にて、基材３０に担持した触媒と反応して熱分解して、基材３０から微小コイルを成長させる。 （もっと読む）

【課題】純度が高いナノカーボン材料を効率よく製造することができるナノカーボン材料製造装置及び方法を提供する。
【解決手段】流動触媒１１を充填した流動層反応部１２ａと、炭素源である炭素原料（ＣＨ₄）１３を前記流動層反応部１２ａ内に供給する原料供給装置１４と、流動触媒１１を前記流動層反応部１２ａ内に供給する流動触媒供給装置１５と、前記流動層反応部１２ａ内の流動材である流動触媒１１が飛散及び流下する空間を有するフリーボード部１２ｂと、前記流動層反応部１２ａに導入し、内部の流動触媒１１を流動させる流動ガス１６を供給する流動ガス供給装置１７と、流動層反応部１２ａを加熱する加熱部１２ｃと、該フリーボード部１２ｂから排出される排ガス１８ａを処理する排ガス処理装置１８と、前記流動層反応部１２ａから触媒付ナノカーボン材料１９Ａを回収ライン２０により抜出して回収する回収装置２１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 高品質で特定のカイラリティを持つ単層カーボンナノチューブ集合体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 高品質な２層カーボンナノチューブ集合体に超音波分散処理を施すことで、内層の単層カーボンナノチューブが引き抜かれ、次に単層カーボンナノチューブを密度勾配分離法によって分離することにより、得られる高品質で、特定のカイラリティを持つ単層カーボンナノチューブ。 （もっと読む）

【課題】純度および安定性の高い高機能のナノカーボンを低コストで効率よく量産することができることを課題とする。
【解決手段】内部を還元雰囲気に保持しうる反応容器１と、この反応容器内に設けられ，ローラにより駆動するとともに表面にナノカーボンが生成される無端状で帯状のステンレス板３と、ステンレス板を加熱するヒータ４と、ステンレス板表面に触媒粉を供給する触媒供給手段７と、反応容器内に炭化水素を供給する炭化水素供給手段５と、反応容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段６と、ステンレス板に生成されたナノカーボンを回収する掻き取り回収手段８と、反応容器内のガスを排気するガス排気手段１０とを具備することを特徴とするナノカーボン製造装置。 （もっと読む）

【課題】純度および安定性の高い高機能のナノカーボンを低コストで効率よく量産することができることを課題とする。
【解決手段】内部を還元雰囲気に保持しうる反応容器１と、この反応容器内に設けられ，ローラにより駆動するとともに表面にＣＮＴ２が生成される無端状の帯状鉄板３と、帯状鉄板を加熱するヒータ４と、反応容器内に炭化水素を供給する炭化水素供給手段５と、反応容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段６と、帯状鉄板に生成されたナノカーボンを回収する回収手段７と、反応容器内のガスを排気するガス排気手段９とを具備することを特徴とするナノカーボン製造装置。 （もっと読む）

【課題】大面積の基板であっても短時間にカーボンナノチューブを形成することができる化学気相成長方法および化学気相成長装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗに対して比較的小さいヘッド３０を所定の方向に所定の速度で相対的に移動させる。ヘッド３０には、基板Ｗに還元ガスを供給する還元室４０と炭素源ガスを供給する炭素源室５０とを設けている。また、基板Ｗに対するヘッド３０の相対移動方向に沿って還元室４０を炭素源室５０よりも前段側に設ける。基板Ｗの表面に配置された触媒が還元室４０または炭素源室５０に対向しているときには、その触媒を加熱することにより還元処理およびカーボンナノチューブの成膜処理を行う。大面積の基板Ｗであっても還元室４０および炭素源室５０の雰囲気置換に長時間を要することはなく、短時間にカーボンナノチューブを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】反応管内の清掃を不要にし得るカーボンナノチューブ形成用のＣＶＤ装置を提供する。
【解決手段】反応管２１内に水平方向で配置された基板Ｋの表面に原料ガスＧを供給して熱化学気相成長法によりカーボンナノチューブを形成するための熱ＣＶＤ装置１であって、上記反応管２１内で所定の隙間を有して上下に複数の基板Ｋを保持し得る基板ホルダー体１１と、この基板ホルダー体１１を載置する台座板１９とを具備するとともに、基板Ｋを保持した基板ホルダー体１１により、反応管２１内を、それぞれ原料ガスＧが供給される下の基板Ｋ表面と台座板１９との間および基板Ｋ同士間の反応空間部７と、上の基板Ｋ表面および台座板１９表面と当該反応管２１内壁面との間の原料ガスＧが供給されない非反応空間部８とに区画し得るようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】同一のカーボンナノチューブ形成面に形成されるカーボンナノチューブの性状のばらつきを抑制できる新規なカーボンナノチューブ製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】装置は、対象物１を収容するための反応室３０と、反応室に収容された対象物のカーボンナノチューブ形成面１１，１２に間隔を隔てて対面しつつカーボンナノチューブ形成面が延設する面方向に沿って延設されたガス供給室５１，５２と、ガス供給室と反応室とを連通させる反応ガスを反応室に吹き出す複数の吹出口４１，４２とを有するガス通路形成部材と、加熱源７１，７２とをもつ。反応ガスをガス供給室に供給することにより、反応室内の対象物のカーボンナノチューブ形成面が延設する面方向に対して交差する方向に沿って、ガス供給室の反応ガスを吹出口から対象物のカーボンナノチューブ形成面に向けて衝突させるように吹き出す。 （もっと読む）

【課題】
高純度、高品質で直径が細く、長いカーボンナノチューブ組成物を収率よく製造することができるカーボンナノチューブ組成物の製造方法を提供する。
【解決手段】
担体上に分散剤被覆金属粒子を担持し、その後分散剤を除去することにより担体上で金属同士を凝集粗粒子化せずに触媒を製造することが可能となる。かかる触媒を使用することにより、効率よくカーボンナノチューブが成長し、高純度、高品質で長いカーボンナノチューブを収率よく得ることが可能となる。また、担体上の金属粒子は担持する分散剤被覆金属粒子の粒径をよく反映させることができるので、予め用いる金属粒子の粒径を制御しておくことにより、担体上の金属粒子の粒径も制御でき、さらに分散剤種及び量をコントロールすることによって担持する金属の粒径を調節することでカーボンナノチューブの直径を制御することも可能となる。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ効率よくカーボンナノ材料を連続的に製造する方法を提供する。
【解決手段】 流体２０中で陰極１４と、黒鉛陽極１２との間に電圧を印加して、隙間３４にアーク放電を発生させる。ボンベ２８から所定流量の不活性気体を隙間３４に導入する。アーク放電によって隙間３４で生成した炭素蒸気からカーボンナノ材料が生成される。 （もっと読む）

【課題】長尺状のカーボンナノチューブを容易に製造することができるカーボンナノチューブの製造方法、カーボンナノチューブの製造装置を提供する。
【解決手段】カーボンナノチューブ１６を長尺状に成長させるカーボンナノチューブの製造方法において、触媒１４を担持した線状の支持体３を加熱するステップと、前記支持体３に炭素原料と触媒原料とを含有する原料ガスを供給するステップとを備え、前記支持体３上に前記カーボンナノチューブ１６を長尺状に成長させる。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの発生を抑えつつ、カーボンナノチューブの成長速度の低下を抑制できるカーボンナノチューブの形成方法、及びカーボンナノチューブの形成装置を提供する。
【解決手段】アセチレンガスを熱分解してカーボンナノチューブ３３を形成する際に、コバルトから構成される触媒金属層３２に対して、窒素プラズマによる窒化処理を行い、窒化金属層３２Ｎを形成する。次いで、アセチレンガスを熱分解する温度以下まで窒化金属層３２Ｎを加熱して窒化触媒金属を微粒子化して微粒子膜３２Ｐを形成する。その後、微粒子膜３２Ｐをアセチレンガスが熱分解される温度にまで昇温して且つ該温度に維持することによって、アセチレンガスを熱分解して微粒子層３２Ｐ上にカーボンナノチューブ３３を形成する。 （もっと読む）

【課題】大量・低コスト・高品質のナノカーボンを製造する方法及び装置を提供すること。
【解決手段】触媒支援化学的気相成長法を用い、４００〜１０００℃に加熱した触媒活性化ゾーン２１ａとナノカーボン合成ゾーン２１ｂと冷却ゾーン２１ｃを有する電気炉２１内に設置した反応管としてのスクリューコンベア２２に、多孔質複合金属酸化物と炭化水素ガスを触媒の供給用ホッパー２５から連続的に供給し、合成されたナノカーボンを連続的に排出ホッパー２６から取り出す。本発明によれば、大量・低コスト・高品質のナノカーボンの製造方法及び製造装置が得られる。さらに、ナノカーボン合成ゾーンにて生成される水素ガスを燃料電池２８ｂによる発電に有効利用することでエネルギーを回収することができるため、より低コストでナノカーボンを製造できるようになる。 （もっと読む）

【課題】被処理体上のビアホールや配線用溝等の開口部に高密度にカーボンナノチューブ膜を埋め込むことができるカーボンナノチューブの形成方法を提供する。
【解決手段】表面に１又は複数の開口部を有し、当該開口部底面に触媒金属層が形成された被処理体を準備し（ＳＴＥＰ１）、触媒金属層に酸素プラズマ処理を施し（ＳＴＥＰ２）、酸素プラズマ処理後の触媒金属層に水素含有プラズマ処理を施して、触媒金属層の表面を活性化し（ＳＴＥＰ３）、その後、触媒金属層の上にプラズマＣＶＤによりカーボンナノチューブを成長させて、被処理体の開口部内をカーボンナノチューブで充填する（ＳＴＥＰ５）。 （もっと読む）

【課題】本発明は、物理的な衝突を利用したナノ材料の製造方法に関し、特に、大量製造および製造コストの低減に有利なカーボンナノ材料の製造方法を提供するものである。
【解決手段】本発明のナノ材料の製造方法は、複数個の硬質物質同士の物理的な衝突によって生じる局所的な高温場を利用して、カーボンナノ材料を製造するものである。組成式に炭素を含む物質をカーボンナノ材料の原料として用い、前記高温場においてカーボンナノ材料を合成する。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブ配向集合体を連続的に製造する装置において、排気管中に付着する炭素固形物の生成を抑制することによって、ＣＮＴ配向集合体の連続製造を安定的に保つことを可能にする。
【解決手段】触媒基板１０上に原料ガスを供給してカーボンナノチューブ配向集合体を成長させる成長炉３ａと、成長炉３ａ内のガスを排気する排気管２３と、を備えるカーボンナノチューブ配向集合体の製造装置において、前記原料ガスと化学反応を起こすことで前記排気管内２３に付着する炭素固形物を低減する反応ガスを噴射する反応ガス噴射部１６、１７を備えている。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノ構造物をより効率よく製造するために、高い成長効率を達成することができるカーボンナノ構造物の製造方法を実現する。
【解決手段】本発明に係るカーボンナノ構造物の製造方法は、流動層を用いた化学的気相成長法によってカーボンナノ構造物を製造する方法であって、触媒担持基材と触媒非担持基材とを混合してなる混合触媒を用い、炭素源となる原料ガスを、上記混合触媒と接触させることによってカーボンナノ構造物を生成させる工程を含む。 （もっと読む）