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Fターム[4J100AR11]の内容

Fターム[4J100AR11]に分類される特許

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【課題】優れたラインウィズスラフネス(LWR)を有するパターンを得ることができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する重合体と、酸に不安定な基を有し、かつアルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂と、酸発生剤とを含むレジスト組成物
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【課題】透明性、耐熱性、低吸水性、電気絶縁特性に優れたノルボルネン系共重合体の効率的な製造方法を提供する。
【解決手段】ノルボルネン系モノマーを溶解し、前記モノマーの重合体を溶解しない液体を溶媒として用いる、沈殿重合による、下記一般式(2)


及び、一般式(2)と異なる、特定の官能基を有さないノルボルネン系誘導体で示されるモノマーユニットを有するノルボルネン系共重合体の製造方法であって、前記沈殿重合の溶媒が脂肪族カルボン酸エステルを含むことを特徴とするノルボルネン系共重合体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】優れたフォーカスマージンでレジストパターンを製造することができるレジスト組成物の提供。
【解決手段】式(a)で表される構造単位を有する樹脂及び式(B1)で表される塩を含有するレジスト組成物。


[式中、Rは水素原子又はメチル基;Aは、単結合、脂肪族炭化水素基等;Aは炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基;環Wは炭素数4〜36の脂肪族環;環Wは、炭素数4〜18のラクトン環;Q1及びQ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基;Lb1は、炭素数3〜18の脂環式炭化水素基;Yは置換基を有していてもよい炭素数1〜18の脂肪族炭化水素基;Z+は有機カチオンを表す。] (もっと読む)


【課題】透明性、耐熱性、低吸水性、電気絶縁特性に優れたノルボルネン系モノマーの高分子量付加(共)重合体を効率的に製造できる高活性の触媒系及びその(共)重合体の製造方法の提供。
【解決手段】一般式(1)で示される遷移金属錯体(A)を含有するノルボルネン系モノマーの重合用触媒、及びそれを用いる、カルボキシル基含有ノルボルネン系共重合体ポリマーの製造方法。
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【課題】液晶配向膜など多様な光反応に応用可能であり、多様な有機化合物または重合体の前駆体として好適に使用可能である、光反応基を有する新規な環状オレフィン化合物および光反応性重合体を提供する。
【解決手段】下記の化学式1で表される光反応基を有する環状オレフィン化合物:
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【課題】ブリッジ前寸法等の解像力、DOFに優れた感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】酸の作用により分解してアミド基又はチオアミド基を生じる樹脂を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】ブリッジ欠陥が低減されたパターンを形成できる有機溶剤系現像液を用いたパターン形成方法及び該方法で用いられるリンス液を提供すること。
【解決方法】(ア)化学増幅型レジスト組成物を用いて膜を形成する工程、(イ)該膜を露光する工程、(ウ)有機溶剤を含む現像液を用いて現像する工程、及び(エ)有機溶剤を含み、かつ比重が前記現像液より大きいリンス液を用いてリンスを行う工程を含むパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】粉体床重合により芳香族ビニル化合物重合体を製造する場合において、高い転化率を示し、かつ生成物が攪拌翼や反応器へ付着することなく安定に運転することができる、芳香族ビニル化合物重合体の製造方法を提供する。
【解決手段】特定の触媒溶液を反応器に連続的または段階的に供給しながら、前記反応器内で芳香族ビニル化合物を重合させる工程を含む、粉体重合による芳香族ビニル化合物重合体の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】極性基を有するノルボルネン化合物の高分子量付加共重合体を効率的に得るための触媒組成物、その触媒組成物を使用したノルボルネン化合物の高分子量付加共重合体の製造方法、その共重合体、及びその共重合体を使用するフイルムの提供。
【解決手段】極性基を有するノルボルネン系共重合に使用する主触媒(A)と助触媒(B)とを含む触媒組成物であって、主触媒(A)は、一般式(1)が、MLK1K2K3・・・(1)(式中、Mは周期率表第8属元素、第9属元素及び第10属元素より選択される1つの遷移金属であり、Lはシクロペンタジエニン環を含むシクロペンタジエニル系配位子であり、K1、K2及びK3は互いに異なる陰性配位子又は中性配位子であり、nは0〜2の整数であり、x、y及びzは、それぞれ0を含む整数であり、それらの和が1〜7である。)で示される錯体であり、助触媒(B)は、主触媒(B)と反応してカチオン性遷移金属化合物を生成できるイオン性化合物(a)である。 (もっと読む)


【課題】光学特性、耐熱性および高い成形性を有する硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】炭素原子からなる主鎖と、重合性不飽和結合基を有する側鎖を有し、かつ、主鎖および/または側鎖に環状構造を有する重合体(A)と、重合性不飽和基を有する化合物を含む硬化性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】高屈折性、高アッベ数、高耐熱性、高光線透過率、低吸水性を有する樹脂材料を提供すること。
【解決手段】脂肪族多環構造を有する繰り返し単位を含むポリマーであって、前記脂肪族多環構造の環骨格を構成する2以上の原子が前記ポリマーの主鎖を構成しており、かつ、前記繰り返し単位がスルホニル基を環骨格の構成基として含む脂肪族環を有していることを特徴とするポリマー。 (もっと読む)


【課題】環状オレフィンを製造する触媒システムの助触媒であるホスホニウム化合物の製造方法を提供する。
【解決手段】ホスホニウム化合物助触媒製造方法に係り、詳細には、[(R)−P(R(R’)]HXで表示されるプロティック(Protic)ホスホニウム化合物と、[C][Ani]で表示される塩化合物との反応により、ホスホニウムを有する塩化合物からなる助触媒を製造する方法を提供する。これにより、該ホスホニウム助触媒化合物の製造方法は、極性環状オレフィン重合用助触媒であるホスホニウム塩化合物を高収率で製造できる。 (もっと読む)


【解決手段】下記化合物(A)、(B)、(C)を含む多成分系触媒の存在下、特定の環状オレフィン官能性シロキサン、又はこのシロキサンと特定の環状オレフィン化合物とを付加重合して、環状オレフィン官能性シロキサンに由来する構造単位の割合が付加重合体中10〜100モル%であり、数平均分子量(Mn)が100,000〜2,000,000である高気体透過性環状オレフィン付加重合体を得る高気体透過性環状オレフィン付加重合体の製造方法。
〔化合物(A)〕
0価のパラジウム化合物。
〔化合物(B)〕
イオン性ホウ素化合物。
〔化合物(C)〕
炭素数3〜6のアルキル基、シクロアルキル基、アリール基から選ばれる置換基を有するホスフィン化合物。
【効果】本発明によれば、気体透過性に優れ、高い熱安定性、膜強度、優れた有機溶媒への溶解性を有する重合体を容易に製造できる。 (もっと読む)


【課題】塩基性水溶液で現像して、実用可能な感度を有していて膨潤のない微細パターンを形成できるレジスト組成物を提供すること。
【解決手段】式(I)〜式(XIII)で表されるオキセタン構造保有のアルカリ可溶性樹脂と、溶剤と、結像用放射線を吸収して分解するとアルカリ可溶性樹脂中のオキセタン構造が反応を起こしめる酸を発生可能な光酸発生剤とを含んでなり、自体塩基性水溶液に可溶であり、露光後は露光部がアルカリ不溶となるように構成する。 (もっと読む)


【課題】光反応性重合体およびこの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、より迅速な光反応速度および優れた配向性を示す光反応性重合体、この製造方法およびこれを含む配向膜に関する。前記光反応性重合体は、アゾ系官能基が含まれている特定の繰り返し単位を全体の重合体中に50モル%以上の含量で含むものである。 (もっと読む)


【課題】ビシクロ[2.2.1]ヘプタ−2−エンを単独で単量体として用いた場合であっても、有機溶媒への溶解性に優れるノルボルネン化合物付加重合体を高い重合活性で与えることができるノルボルネン化合物重合用触媒と、その触媒を用いるノルボルネン化合物付加重合体の製造方法を提供すること。
【解決手段】ノルボルネン化合物を付加重合するために用いられるノルボルネン化合物重合用触媒であって、ホスフィン化合物または窒素原子含有カルベン化合物を配位子として有する、0価または1価のパラジウム化合物と、当該パラジウム化合物の触媒活性を向上させる活性化剤とを含んでなることを特徴とするノルボルネン化合物重合用触媒。 (もっと読む)


【課題】少なくともβ−ピネンを含むカチオン重合性単量体のカチオン(共)重合を制御し、分子量、特に数平均分子量が大きいβ−ピネン系重合体を有利に製造することが出来る方法を提供すること。
【解決手段】少なくともβ−ピネンを含むカチオン重合性単量体をカチオン重合又はカチオン共重合せしめることによってβ−ピネン系重合体を製造する方法において、前記カチオン重合又はカチオン共重合を、所定の化学式で表わされる化合物、電子供与体、及びカチオン重合開始剤としてのプロトン性化合物の存在下において進行させる。 (もっと読む)


【課題】再溶解性、微細パターンの実現能力に優れ、基板との密着力および分散安定性が改善されたアルカリ可溶性バインダー樹脂の提供。
【解決手段】不飽和二重結合を含んだモノマー、カルボン酸を含んだ不飽和二重結合性モノマー、およびアリル基を含む不飽和二重結合性モノマーを繰り返し単位として含み、分子量分布(Mw/Mn)が2.0〜3.5であることを特徴とするアルカリ可溶性バインダー樹脂およびこれを含むネガ型感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】優れた感度、高安定性、及び高解像度が得られ、ガス排出量及びLERを低減することができる、化合物、これを含む重合体、及びその重合体を含む化学増幅型レジスト組成物を提供する。
【解決手段】下式で表される化合物、その化合物を単量体として含む重合体。


[式中、R11は水素原子、炭素数1〜10のアルキル基等を表し、Q1、Q2は各々独立に水素原子またはハロゲン原子を表し、A+は有機対イオンを表す。] (もっと読む)


【課題】耐摩耗性、氷上性能、ドライ路面での操縦安定性の性能をバランス良く得られるタイヤ用ゴム組成物、及びそれを用いたスタッドレスタイヤを提供する。
【解決手段】ジエン系ゴム成分、共役ジエン化合物と極性基含有ビニル化合物とを共重合して得られる極性基含有共重合体、シリカ、及び特定の硫黄含有シラン化合物を含むタイヤ用ゴム組成物であって、上記極性基含有ビニル化合物は、重合性不飽和結合と極性基とを有し、かつ該重合性不飽和結合を形成するいずれかの炭素原子と該極性基が結合する炭素原子とが少なくとも1個の炭素原子を介して結合する化合物であり、上記共役ジエン化合物の二重結合部分のシス含量は、80モル%以上であるタイヤ用ゴム組成物。 (もっと読む)


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