【課題】レジスト組成物原料として有用な新規な（メタ）アクリル酸エステルの提供。
【解決手段】下記化学式に代表される新規なシアノ基含有（メタ）アクリル酸エステル。
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【課題】 現像欠陥が極めて少なく、かつパターン倒れマージンに優れるポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 （Ａ）樹脂の主鎖又は側鎖にカルボキシル基を含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、及び、（Ｂ）エポキシ化合物を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型レジスト組成物、およびそれを用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】 １５０度以上の超撥水性と無色透明性を兼ね備え、しかも表面硬度に優れる硬化塗膜の形成が可能な組成物、およびそのような特性を有する成形物、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 １分子中に２個以下のラジカル重合性不飽和二重結合を有する化合物および／または重合性不飽和二重結合を含まない樹脂を、組成物（塗膜形成成分）１００質量部中に３５質量部以下の割合で含有する、全光線透過率が９０％以上、ヘイズ値が１％以下、および水に対する接触角が１５０度以上の硬化物を形成しうる組成物。 （もっと読む）

【課題】 高解像性を有するとともに、レジストパターンの矩形性、ＬＥＲ、ＤＯＦ、およびＥＬマージンの少なくとも１つを改善できるようにする。
【解決手段】フェノール性水酸基を有する構成単位（ａ１）と、ラクトン含有単環又は多環式基を有する構成単位（ａ２）と、酸解離性溶解抑制基を有する構成単位（ａ３）とを有する共重合体。 （もっと読む）

【課題】 塗料、接着剤、粘着剤、インキ用レジン、レジスト、成型材料、光学材料等の構成成分樹脂の原料として有用な（メタ）アクリル酸エステル、該（メタ）アクリル酸エステルの重合体及び該重合体を用いたレジスト組成物を提供する。
【解決手段】 式（１）の（メタ）アクリル酸エステル及びこれを単量体とする重合体及び該重合体をレジスト樹脂とすることにより上記課題は達成される。
【化１】


（式中、Ｒは水素原子またはメチル基であり、Ｒ１〜Ｒ４は、Ｒ１、Ｒ２の少なくとも一つとＲ３、Ｒ４の少なくとも一つとが一緒になって、それぞれが結合している炭素原子と共に環式炭化水素基を形成し、環を形成しない残りのＲ１〜Ｒ４は水素原子またはアルキル基を表わす。） （もっと読む）

【課題】 臭気、残留溶剤量が少なく、架橋可能な加水分解性シリル基を含有するメタアクリル酸エステル系重合体（Ａ）の重合に用いることができる溶媒を用いた製造方法の提供。
【解決手段】 架橋可能な加水分解性シリル基を含有するメタアクリル酸エステル系重合体（Ａ）の製造方法であって、エチルアルコール系溶媒中で（メタ）アクリル酸エステル単量体を主成分とする単量体を重合せしめる重合体（Ａ）の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 解像性やレジストパターン形状に優れるレジスト組成物用重合体、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供すること。また、有機溶剤に対する溶解性に優れ、ディフェクトリスクを低減できるレジスト組成物用重合体、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 酸解離性溶解抑制基を含有する（メタ）アクリル酸エステルから誘導される構成単位（ａ１）と、アルキル基を有さない単環または多環式のラクトン残基を含有する（メタ）アクリル酸エステルから誘導される構成単位（ａ２）と、下記一般式（３）で表される構成単位（ａ３）とを含有することを特徴とするレジスト組成物用重合体。
【化１】
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【課題】 高屈折率、光散乱性、環境特性に優れる光学材料を提供する。
【解決手段】 有機成分と無機成分からなる光学材料において、無機成分としてニオブ酸化物からなる無機粒子成分と、重合性官能基を有する有機成分を含む光学材料。 （もっと読む）

【解決手段】 式（１）及び（２）で示される繰り返し単位をそれぞれ１種以上含む重量平均分子量１，０００〜５０，０００の高分子化合物。
【化１】


［Ｒ¹、Ｒ³はＨ又はＣＨ₃。Ｒ⁴はアルキレン基。Ｒ²は式（Ｒ²−１）〜（Ｒ²−７）から選ばれる酸不安定基。
【化２】


（破線は結合位置及び結合方向を示す。Ｒ⁵はアルキル基、Ｒ⁶、Ｒ⁷はアルキル基。Ｚは結合する炭素原子と共に単環又は架橋環を形成する酸素原子を含んでもよい２価の炭化水素基、ｍは０又は１。）］
【効果】 本発明の高分子化合物は、レジスト材料、特に化学増幅ポジ型レジスト材料のベース樹脂として使用されて高い感度、解像性、エッチング耐性を与えると共に、優れた基板密着性、現像液親和性を有する。 （もっと読む）

【課題】 サーマルフロープロセスにおいて、パターン制御性が良好な技術を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸解離性溶解抑制基を有し、酸の作用によりアルカリ可溶性が増大するベース樹脂成分、及び（Ｂ）放射線の照射により酸を発生する酸発生剤成分を含有するポジ型レジスト組成物であって、
前記（Ａ）成分は、１９３ｎｍにおける吸光度が１．０（１／μｍ）以下であり、分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）が１．５以下である樹脂を含み、かつ
当該ポジ型レジスト組成物が、サーマルフロープロセス用であることを特徴とするポジ型レジスト組成物。 （もっと読む）

【解決手段】 式（１）及び（２）で示される繰り返し単位をそれぞれ１種以上含む重量平均分子量１，０００〜５０，０００の高分子化合物。
【化１】


［Ｒ¹、Ｒ³はＨ又はＣＨ₃、Ｒ⁴はアルキレン基、Ｒ²は式（Ｒ²−１）〜（Ｒ²−４）から選ばれるラクトン構造を有する置換基。
【化２】


（ＹはＣＨ₂又はＯ、ＹがＣＨ₂の場合、Ｒ⁵はＣＯ₂Ｒ⁷、ＹがＯの場合、Ｒ⁵はＨ又はＣＯ₂Ｒ⁷、Ｒ⁶はＨ又はアルキル基、Ｒ⁷はアルキル基又は該アルキル基の炭素−炭素結合間に酸素原子が挿入された基。）］
【効果】 本発明の高分子化合物は、レジスト材料、特に化学増幅型ポジ型レジスト材料のベース樹脂として使用されて、高い感度、解像性、ドライエッチング耐性を与えると共に、基板密着性が良好で、パターン側壁の荒れが防止されたレジストパターンを与える。 （もっと読む）

本発明は、フリーラジカル解裂部位を有するある種のポリエステル化合物が、マイクロエレクトロニックパッケージング産業用のｂ−ステージ化可能な接着剤として有用であるという発見に基づいている。 （もっと読む）

二重層のレリーフ画像を製造するための熱硬化性アンダーコート組成物であって、ａ）構造（ＩＩ）、（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）：
【化１】


［ここで、Ｒ¹は夫々独立に、水素原子、炭素数１〜３のアルキル基又はハロゲン原子を表し、Ｌは単結合、−ＣＯＯ−基又は−ＣＯＮ（Ｒ²）−基を表し、Ｒ²は水素原子又は炭素数１〜３のアルキル基を表し、Ｍは炭素数５〜７のシクロアルキレン基又は炭素数６〜１８のアリーレン基を表し、Ｗは単結合、−ＣＯＯ−基、−Ｏ−、−（Ｃ＝Ｏ）−又は−（ＳＯ₂）−を表し、Ｒ³は水素原子、炭素数５〜３０の置換されていないか又は置換された直鎖状アルキル基、炭素数５〜３０の置換されていないか又は置換されたシクロアルキル基、炭素数５〜２５の置換されていないか又は置換された架橋した脂環式炭化水素基、炭素数６〜１８の置換されていないか又は置換されたアリール基又は炭素数７〜１８のアリールアルキル基を表し、ｎは１〜３の整数を表し、ｑは０〜３の整数を表し、且つｎとｑの合計は５以下であり、Ｒ⁴は炭素数１〜１０の直鎖状、分枝鎖状又は環状のアルキル基又はハロゲン基を表し、そしてＲ⁵は炭素数５〜３０の直鎖状、分枝鎖状又は環状のアルキル基、置換されていないか又は置換された脂環基又は（Ｒ⁶Ｏ）_tＲ⁷基（ここで、Ｒ⁶は炭素数１〜１０の直鎖状又は分枝鎖状のアルキレン基を表し、Ｒ⁷は炭素数１〜３０の直鎖状、分枝鎖状又は環状のアルキル基、置換されていないか又は置換された脂環基、又は置換されていないか又は置換された芳香族基又はアルキル芳香族基を表し、そしてｔは１〜４の整数を表す）を表す］の繰返し単位を含む構造（Ｉ）のポリマー；ｂ）フェノール系架橋剤；ｃ）熱酸発生剤（ＴＡＧ）；及びｄ）溶剤を含む、熱硬化性アンダーコート組成物。
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硬化性組成物は、ポリ（アリーレンエーテル）と、縮合脂環式（メタ）アクリレートモノマーとを含む。また、組成物を製造する方法と、この硬化性組成物から得られる硬化組成物と、この硬化組成物を含む物品についても記載する。組成物は、例えばバルク成形コンパウンドとして有用である。 （もっと読む）

【課題】 レジスト溶剤への溶解性に優れ、ベーク温度依存性が少なく、また現像後のパターンのラインエッジラフネスを低減する。
【解決手段】 式（１）と、式（２）と、式（３）および／または式（４）とを含有することを特徴とする。【化１】 Ｒ、Ｒ’、Ｒ’’、およびＲ’’’は水素原子、メチル基、またはトリフルオロメチル基を、Ｒ^１は、水素原子、炭素数１〜４の直鎖状あるいは分岐状のアルキル基、アルコキシ基、または、炭素数１〜４の直鎖状あるいは分岐状のフッ素化アルキル基を、Ｘは炭素数７〜２０の炭素原子および水素原子のみからなる多環型脂環式炭化水素基を、Ｒ^２およびＲ^３は相互に独立に炭素数１〜４の直鎖状または分岐状のアルキル基を、Ｒ^４は炭素数４〜２０の脂環式炭化水素基を、Ｒ^５は炭素数１〜４の直鎖状または分岐状のアルキル基を、Ｒ^６およびＲ^７は水素原子、または炭素数１〜４の直鎖状または分岐状のアルキル基をそれぞれ表す。 （もっと読む）

本発明は、リビングフリーラジカル重合の技術によるフォトレジストポリマーの調製を対象とする。本発明は、一側面において、立体的に大きなエステルモノマーを、重合成分として利用する。連鎖移動剤を用いることは、重合プロセス条件に含まれる。ヘテロ原子を含むポリマーの末端基を切断することが記載されている。一側面において、本発明のポリマーはランダムコポリマーであり、バッチプロセスにてまたは半連続的な重合反応条件下で調製され得る。 （もっと読む）

【課題】安価な設備で無色透明な有機層を形成する方法を提供するとともに、従来よりも高いガスバリア性能を持ちかつ曲げてもそのバリア性能が劣化しない透明フィルムを提供する。
【解決手段】熱重量分析による５％重量減少温度の差が３０℃以内である光重合性モノマーと光重合開始剤を含む混合物を基材上に蒸着させ、ＵＶ架橋させる有機層の形成方法、及び、高分子材料からなる基材の少なくとも片面に、前記方法で形成された有機層と無機層とが交互に少なくとも一層以上積層されたガスバリア性プラスチックフィルム。 （もっと読む）

【課題】シラン化合物を含む単量体混合物を重合器内で水系重合をした際に発生する重合体スケールを容易に除去する方法の提供。
【解決手段】重合器内壁面にｐＨが４以下の酸性溶液又はｐＨが１１以上のアルカリ性溶液で分解可能な被膜を形成した後、当該重合器内において水性媒体中でシラン化合物を含む単量体混合物を重合させ、重合後に当該重合器内に発生した重合体スケールを、ｐＨが４以下の酸性溶液又はｐＨが１１以上のアルカリ性溶液により被膜ごと除去する重合体スケールの除去方法。 （もっと読む）

【課題】 照明用に好適の透明性、耐候性及び曲げ加工性に優れた光伝送用プラスチックロッドを提供する。
【解決手段】 コア及びコアより低屈折率のクラッドからなるプラスチック光伝送体において、コアが（メタ）アクリル単量体及び多官能性単量体を必須成分とし、重合収縮率が１０％以下となるような混合液から作製される光伝送用プラスチックロッド。 （もっと読む）