【課題】高硬度材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具を提供する。
【解決手段】ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＣの１種又は２種以上からなるＴｉ化合物：３５〜５０％、Ａｌ及び／又はＡｌ_２Ｏ_３：８〜１６％、ＷＣ：１〜６％、残部：ｃ−ＢＮ（いずれも質量％）からなる圧粉体の超高圧焼結材料で構成され、分散相を形成するｃ−ＢＮ相と連続相を形成するＴｉ化合物相との界面に超高圧焼結反応生成物が介在した組織を有するインサート本体の表面に、硬質被覆層として、（Ｔｉ_１−ＸＡｌ_Ｘ）Ｎ層（原子比で、Ｘ＝０．４〜０．６５）からなる下部層と、上部層とを蒸着形成し、該上部層は、ＴｉＮ層とＴｉ（Ｃ_ＹＮ_１−Ｙ）層（原子比で、Ｙ＝０．１〜０．７）との交互積層構造として構成する。 （もっと読む）

ここに開示している方法は、非平面的形状の表面に材料を成膜する方法である。この方法は、処理チャンバの搬送経路に沿って非平面的形状サブストレートを搬送しているときに、その非平面的形状サブストレートを回転させることにより達成される。従って、非平面的形状サブストレートは回転させられると同時に処理チャンバの中を搬送され、その回転によって、非平面的形状サブストレートの表面領域の全体に成膜が行われるようにすることも、その表面領域のうちの成膜処理を施そうとする任意の目標領域に成膜が行われるようにすることも可能であり、また必要とされる均一な成膜が行われるようにすることができる。或いはまた、非平面的形状サブストレートの表面領域のうちの所定パターンを成す領域に成膜が行われるようにすることもできる。この方法を実施することによって、様々な非平面的形状の半導体デバイスを製造することができ、製造可能な非平面的形状の半導体デバイスには例えば、非平面的形状の発光ダイオードや、非平面的形状の光電池などがあり、またそれらだけに限定されず更にその他の非平面的形状の半導体デバイスも製造可能である。 （もっと読む）

【課題】従来の光学特性を維持するとともに、耐擦傷性および耐熱性に優れた光学物品とその製造方法を提供すること。
【解決手段】メガネレンズ１Ａは、レンズ基材１０の表面に、ハードコート層１１、低屈折率層である第１の層と高屈折率層である第２の層とが交互に積層された反射防止層１２Ａおよび防汚層１３が順に積層される。反射防止層１２Ａは、低屈折率層である第１の層と高屈折率層である第２の層とが交互に積層され、ハードコート層１１の側から、第１層１２１、第２層１２２、第３層１２３、第４層１２４および第５層１２５が順に積層されている。第２層１２２および第４層１２４が四窒化三珪素（Ｓｉ_３Ｎ_４）からなる高屈折率層で、第２層１２２は第４層１２４よりも厚く形成され、設計波長λに対して２．５λ〜３．０λの範囲内の厚みを有している。 （もっと読む）

【課題】ピストンリング溝の上下面に対し、耐Ａｌ凝着性と耐摩耗性に優れたピストンリング、及び、ピストンリングの外周摺動面のシリンダライナに対する初期なじみ性、耐摩耗性及び耐スカッフ性に優れたピストンリングの提供。
【解決手段】少なくとも上面８及び下面９に硬質炭素膜２が形成されたピストンリングであって、その硬質炭素膜２は、酸素含有量が１原子％以上１０原子％以下であり、水素含有量が１０原子％以上４０原子％以下であり、ケイ素含有量が０．１原子％以上２０原子％以下であり、その硬質炭素膜２の組織形態が柱状組織２ｘである第１ピストンリング１０で、外周摺動面６に形成された硬質炭素膜２の組織形態は、上記柱状組織２ｘとは異なる緻密組織２ｙになっている。また、外周摺動面に硬質炭素膜が形成された第２ピストンリングは、形成された硬質炭素膜の表面形態が粒状形態を有し、その粒状形態が平均粒径で７００ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性に優れているとともに、高い付着強度が得られる高寿命の硬質被膜を提供する。
【解決手段】ドリル１０のボディ１６に設けられた硬質被膜２６は、工具基材２２の表面にＤＬＣ層２６が設けられるとともに、窒素含有量が３〜４０at％のＣＮ層２８が外表面を構成するように最上層に設けられ、且つ、それ等の中間的な組成のＤＬＣ／ＣＮ傾斜層２７がそのＤＬＣ層２６とＣＮ層２８との間に設けられており、全体の膜厚Ｄが０．０１〜２μｍの範囲内とされているため、ＣＮ層２８により優れた耐熱性、耐摩耗性、耐溶着性が得られる一方、ＤＬＣ層２６により高い付着強度が得られて剥離等が抑制され、優れたに耐久性が得られる。しかも、ＤＬＣ／ＣＮ傾斜層２７が介在させられているため、ＣＮ層２８が高い付着強度でＤＬＣ層２６に付着され、硬質被膜２４全体の付着強度が高くなって耐剥離性が一層向上する。 （もっと読む）

【課題】複雑な外形を有する加工物の全面に所望通りに被覆材料を付着させる装置を提供する。
【解決手段】加工物に真空めっきを施す装置１０は、被覆材料を内包し、高温かつ準大気圧で作用しうるめっきチャンバと；めっきチャンバ内および被覆材料上に電子ビームを照射し、被覆材料を溶解させ溶融被覆材料を気化させるよう作用しうる電子ビーム銃と；めっきチャンバ１４内における加工物１２の支持および操作を行う機構３４とを含む。支持機構３４は、加工物を保持する結合装置５８と；加工物の全方向の移動を可能にする継手と；結合装置５８と継手とを接続する中間部材と；加工物を所定の垂直面６６内において移動させる装置とをさらに含む。支持機構３４は、中間部材に接続し加工物を所定の水平面において移動させる装置９２を含みうる。 （もっと読む）

【課題】基板の成膜処理により成膜される付着膜を容易に剥離・除去することができる成膜装置用部品、成膜装置、成膜装置用部品の製造方法、成膜装置用部品の再生方法を提案する。
【解決手段】基板Ｐ類への成膜処理中に不要な付着膜３０が成膜される成膜装置用部品２０は、成膜装置用部品本体２１と、成膜装置用部品本体２１の表面に形成されて付着膜３０と共に剥離可能な保護膜２２と、を有する。保護膜２２は、ジメチルシリコーン重合膜である。成膜装置用部品としては、例えば、防着板２０がある。 （もっと読む）

【課題】 化学蒸着法（ＣＶＤ）によって形成された被覆層に基体の成分が拡散して被覆層の強度が低下することを抑え、優れた耐摩耗性を有する長寿命の耐摩耗性部材を提供する。
【解決手段】 基体と、該基体上に形成された被覆層と、を有してなる耐摩耗性部材であって、前記基体は、炭化タングステン、炭化チタン、窒化チタンおよび炭窒化チタンの１種以上を主成分とする硬質相と、ＣｏおよびＮｉの１種以上を含む結合相と、を含んでなり、前記被覆層は、前記基体と接して形成されるとともに、Ａｌ元素を２５原子％以上含む第一の層と、該第一の層上に化学蒸着法によって形成された第二の層と、を備えた耐摩耗性部材である。
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【課題】かじり防止の為の貴金属の被覆を形成されたボルトやナット等の締結具を真空中で用いる場合、脱脂洗浄した締結具とは同程度のガス放出量がある為、より良い真空雰囲気を得るにはガス放出量の低減、特に水素のガス放出量の低減が求められていた。
【解決手段】脱脂洗浄したステンレス鋼のボルト部品１の雄ネジ部４の表面に１μｍ程度貴金属である金の被覆５を施し、１５０℃以上３００℃以下で、３０分以上真空加熱、又は窒素雰囲気中加熱を行う。これにより、低ガス放出量、特に水素のガス放出量の少ないボルト部品１にすることができる。このようにして製造されたボルト部品１は、真空処理装置の組立てや真空配管の接続に好適である。また、本発明はボルトに限らず、ナットや雌ネジ部を有する板材等の締結具にも適用可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、搬送されてきた基板ホルダーを移動させることなく、基板を受け取り、その場で基板を回転することが可能な基板支持回転装置及び基板支持機構を提供することを目的とする。
【解決手段】中空の円柱状部材と、その中空部に第１のバネにより軸方向の一方に付勢して取り付けられ、一端部にテーパー部が形成された中心軸と、円柱状部材の一端面に設けられた径方向に移動する複数の移動部材であって、その外周側には基板の内周端面を支持するツメが設けられ、第２のバネにより中心軸方向に付勢された径方向移動部材と、からなり、中心軸の軸方向運動を径方向移動部材の径方向運動に変換して基板の支持、解放を行う基板支持機構を用いることを特徴とし、さらに、基板支持機構を軸方向移動及び回転させる機構及び中心軸を軸方向に移動させる機構を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電池用極板に用いる活物質層等の電子ビーム蒸着における、輻射熱軽減を実現するための成膜装置を提供すると共に、これを用いた生産性、安定性に優れた成膜方法を提供すると共に、これを用いた成膜方法を提供すること。電池用途に限らず、広く真空成膜装置一般における熱負荷課題の解決を図る。
【解決手段】蒸発材料３１を保持する容器３２の上面の一部を遮蔽する遮蔽板３７によって３以上の溶融面領域に分割された溶融領域に選択的に電子ビームが照射される蒸発機構によって成膜を行う。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）ＣｒとＡｌの複合窒化物層、あるいは、ＣｒとＡｌとＭ（但し、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上）の複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）層厚方向に向かって酸素含有割合が高くなる酸素濃度分布構造を有し、最下面では酸素を実質的に含有せず、最表面では窒素を実質的に含有しない組成傾斜型酸窒化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｃｒ_1−ＸＡｌ_Ｘ）Ｎあるいは組成式：（（Ｃｒ_1−ＺＭ_Ｚ）_1−ＸＡｌ_Ｘ）Ｎ（但し、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、０．４５≦Ｘ≦０．７５、０．０１≦Ｚ≦０．２５）を満足するＣｒとＡｌ（とＭ）の複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる中間層、（ｃ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】かじり防止の為のポリイミドコートされたボルトやナット等の締結具を真空中で用いる場合、脱脂洗浄した締結具とは同程度のガス放出量がある為、より良い真空雰囲気を得るにはガス放出量の低減、特に水のガス放出量の低減が求められていた。
【解決手段】脱脂洗浄したステンレス鋼のボルト部品１の雄ネジ部４の表面に１μｍ程度ポリイミド膜５を施し、２００℃以上３００℃以下で、３０分以上真空加熱、又は窒素雰囲気中加熱を行う。これにより、低ガス放出量、特に水のガス放出量の少ないボルト部品１にすることができる。このようにして製造されたボルト部品１は、真空処理装置の組立てや真空配管の接続に好適である。また、本発明はボルトに限らず、ナットや雌ネジ部を有する板材等の締結具にも適用可能である。 （もっと読む）

ピストンリングは、実質的に環状の摺動面と、上部側面および下部側面と、内周面と、画定された合い口隙間を備えた合い口開口部とを有する本体を備え、各合い口面における摺動面側合い口端部の移行部が、鋭い端部として構成され、摺動面が、少なくとも前記各摺動面側合い口端部まで、１０μｍ以下の少なくとも１つのＰＶＤ被覆層を備えている。
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【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点間とでＡｌおよびＣｒ含有量がそれぞれ連続的に変化する組成変化（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層または組成変化（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層（但し、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分）からなる下部層、（ｂ）層厚方向に向かって酸素含有割合が高くなる酸素濃度分布構造を有し、最下面では酸素を実質的に含有せず、最表面では窒素を実質的に含有しない組成傾斜型酸窒化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点間とでＡｌおよびＣｒ含有量がそれぞれ連続的に変化する組成変化（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層または組成変化（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層（但し、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分）からなる下部層、（ｂ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる中間層、（ｃ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】鋳造すべき溶融金属によって表面にクラックやコーティング層の剥離が生じにくく、耐ヒートチェック性に優れたダイカスト金型、およびその表面処理方法を提供する。
【解決手段】溶融金属の鋳造に用いられるダイカスト金型であって、係るダイカスト金型における表面３のうち、少なくともキャビティを含む表面３に被覆され、ＩＶＡ族、ＶＡ族、ＶＩＡ族の少なくとも一種の金属（例えば、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ）またはこれらの合金からなり、マイクロビッカース硬さが１０００Ｈｖ以下で且つ厚みが１〜３０μｍの第１層４と、係る第１層４の表面上に被覆され、ＩＶＡ族、ＶＡ族、ＶＩＡ族の少なくとも一種の金属との炭化物（例えば、ＴｉＣ）、窒化物（例えば、ＴｉＮ）、酸化物（例えば、Ｃｒ_２Ｏ_３）、あるいは炭窒化物（例えば、ＴｉＣＮ）からなる第２層６と、を含む、ダイカスト金型１。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｃｒ_1−ＸＹ_Ｘ）Ｎ（但し、原子比で、０．００１≦Ｘ≦０．１）を満足するＣｒとＹの複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる中間層、（ｃ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、基材と被覆層との密着性および被覆層中の各層間の密着性に優れることにより長寿命が達成可能な表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】表面被覆切削工具において、基材上に形成される被覆膜は、１層以上のＡ層と１層以上のＢ層と２層以上のＣ層とを含み、基材と接する最下層はＣ層であり、かつＡ層とＢ層とはＣ層を挟んで交互に積層した構造を有し、該Ａ層は、化学式Ａｌ_aＴｉ_bＭ_c（０．４＜ａ＜０．７５、０≦ｂ＜０．６、０＜ｃ＜０．３、ａ＋ｂ＋ｃ＝１、Ｍは少なくとも１種の特定の元素を示す）で表わされる第１複合金属の窒化物、炭窒化物、窒酸化物または炭窒酸化物によって構成され、該Ｂ層は、化学式Ｔｉ_dＳｉ_e（０＜ｅ＜０．３、ｄ＋ｅ＝１）で表わされる第２複合金属の炭窒化物によって構成され、該Ｃ層は、ＴｉＮによって構成されることを特徴とする。 （もっと読む）