【課題】 従来よりも大型の被処理物に対応することができ、そのような被処理物に対しても期待通りの表面処理を施すことができる。
【解決手段】 この発明に係る表面処理装置は、熱電子を放出する直線状のフィラメント４０と、当該熱電子を加速させて気体粒子に衝突させることによってプラズマを発生させるアノード４２と、を備えている。このうち、フィラメント４０は、積極的に加熱されるために、熱膨張を生じる。しかし、フィラメント４０には、その一端を支持する可動式支持部２００（張力付与機構２１０）によって張力が付与されているので、当該フィラメント４０は熱膨張しても、変形しない。従って、このフィラメント４０とアノード４２との間に発生するプラズマは、安定化される。また、フィラメント４０の長さ寸法を適宜設定することで、様々な寸法の被処理物に柔軟に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】 リン酸塩ガラス等の、反応性が強く軟化温度が高いガラスの繰り返し成形においてもガラスと成形型の離型性が良好で、種々の光学ガラス素子成形型基材とコーティング層との密着強度が高く、耐久性に優れ、かつ、コーティング層の劣化及び変色を抑制した光学ガラス素子成形型を提供すること。
【解決手段】 光学ガラス素子成形型基材の光学ガラス素子成形面に
１〜１０ｗｔ％のモリブデン（Ｍｏ）、
１０〜３０ｗｔ％のレニウムＲｅ、
１〜１５ｗｔ％のロジウム（Ｒｈ）及び／又はルテニウム（Ｒｕ）、
４０〜８５ｗｔ％のイリジウム（Ｉｒ）と白金（Ｐｔ）、及び
０〜５ｗｔ％の金（Ａｕ）
を含有するコーティング層を積層する。 （もっと読む）

【課題】鉄族金属切削のため、鉄族金属材料との反応を抑制し、切削抵抗を低減できるダイヤモンド部材で構成される鋭利刃先工具にコーディング可能な薄膜作製方法および薄膜作製装置を提供する。
【解決手段】アークプラズマ発生手段により金属若しくは炭素を蒸発させターゲットに蒸着させる所定の真空度に保持された第１の反応室と、原子ビーム照射手段により原子ビームを発生させる第２の反応室とを、オリフィスを介してカスケードに配置された構成とされ、第２の反応室からオリフィスを通して原子ビームを第１の反応室の前記ターゲットに照射させることにより、前記ターゲット表面に炭化物、窒化物、炭窒化物若しくは酸化物のいずれかの金属化合物薄膜を作製する。 （もっと読む）

【課題】従来の硬質皮膜に対し、更に耐酸化性、耐摩耗性を改善し、単層で十分な耐酸化性及び耐摩耗性を発揮し、切削加工の乾式化、高速化に対応した硬質皮膜被覆工具及び硬質膜被覆方法を提供。
【解決手段】高速度鋼、超硬合金、サーメット、セラミックスの何れかを母材とし、金属成分のみの原子％で、Ｓi が60％を越え85％以下、Ｓi ，Ｔi ，Ｃr 以外の金属、半金属元素が10％以下、残り：Ｔi およびＣr で構成される窒化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭窒化物のいずれかからなる層を単層又は複層被覆した。 （もっと読む）

【課題】光検出器パネル（支持体）と蛍光体層との界面に局所的な剥離さえも生じることなく、光検出器パネル表面に蛍光体層を高精度に形成することを可能にし、これにより、蛍光体層で変換された光を光電変換素子によって高精度に受光／測定することができ、しかも、発行量が高い蛍光体層を得ることができる平面放射線画像検出器の製造方法を提供することにある。
【解決手段】放射線の入射によって蛍光体層が発光する光を光電変換素子で検出することにより放射線画像を撮影する平面放射線画像検出器を製造するに際し、０．１Ｐａ〜１０Ｐａの真空度で前記支持体に真空蒸着によって蛍光体層を形成した後、０．４５℃／ｍｉｎ〜６．０℃／ｍｉｎの平均冷却速度で前記蛍光体層の冷却を行い、前記蛍光体層の温度が１２０℃以下となった後に、前記蛍光体層の冷却系内から前記支持体を取り出すことにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜８μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｃｒ最高含有点とＴｉ−Ｂ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｂ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｃｒ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｂの含有割合は、それぞれ、０．４０〜０．６０、０．３０〜０．５０、０．０１〜０．１０、０．０１〜０．１０であり、また、Ｔｉ−Ｂ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｂの含有割合は、それぞれ、０．０５〜０．２０、０．０５〜０．２０、０．２５〜０．４０、０．４０〜０．５５である。 （もっと読む）

【課題】高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｃｒ−Ｓｉ最高含有点とＴｉ−Ｂ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｂ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｃｒ−Ｓｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｂの含有割合は、それぞれ、０．４０〜０．６０、０．３０〜０．４５、０．００５〜０．１０、０．０２〜０．１０、０．０１〜０．１０であり、また、Ｔｉ−Ｂ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｂの含有割合は、それぞれ、０．０５〜０．２０、０．０５〜０．２０、０．００１〜０．０３、０．２５〜０．４０、０．４０〜０．５５である。 （もっと読む）

【課題】 耐欠損性が高くチッピングや欠損が発生しにくい表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 基体２の表面に、第１被覆層３と、柱状結晶から構成されて前記基体の表面の垂線方向に対して平均で１〜１５°の角度で斜めの方向に成長した第２被覆層４とを順次被覆していることによって、硬質被覆層５に衝撃がかかっても第２被覆層４から伝わる力が分散して第１被覆層３には衝撃が伝わりにくくクラックが進展しにくくなる結果、硬質被覆層５に発生するチッピングや大きな欠損を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、組成式（Ａｌ_１−Ｘ Ｔｉ_Ｘ ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．４０〜０．６０）を満足するＡｌとＴｉの複合窒化物層からなり、かつ、該複合窒化物層についてＥＢＳＤによる結晶方位解析を行った場合、表面研磨面の法線方向から０〜１５度の範囲内に結晶方位＜１００＞を有する結晶粒の面積割合が５０％以上、また、表面研磨面の法線と直交する任意の方位に対して０〜５４度の範囲内に存在する最高ピークを中心とした１５度の範囲内に結晶方位＜１００＞を有する結晶粒の面積割合が５０％以上であるような、２軸結晶配向性を示す改質（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層で硬質被覆層を構成する。 （もっと読む）

【課題】光学素子との離型性が良く、かつ長寿命な成形面が、容易に、かつ安価に形成された光学素子成形用金型を提供すること。
【解決手段】本実施形態に係る光学素子成形用金型１は、成形面１ａを有して、ガラスからなる光学素子のプレス成形に用いる光学素子成形用金型であって、成形面１ａの基となる成形基面２ａを有する型母材２と、タンタル酸化物を主成分として少なくとも型母材２の成形基面２ａに設けられた膜層３とを備え、膜層３の表面が成形面１ａとなっている。 （もっと読む）

【課題】蒸着用るつぼの内壁に固着している蒸着材料からなる焼結ペレットを蒸着用るつぼが変形したり破損したりすることなく容易かつ確実に除去することができる蒸着材料除去装置および蒸着材料除去方法を提供する。
【解決手段】蒸着用るつぼ１内の焼結ペレット３を高速で往復運動するたがね２３によって打撃して破壊し、除去する。たがね２３は、焼結ペレット３の表面中央部を打撃する中央打撃部２３Ｂと、この中央打撃部２３Ｂの周囲を取り囲み焼結ペレット３の表面外周部を打撃する外周打撃部２３Ｃとを一体に備え、中央打撃部２３Ｂが外周打撃部２３Ｃより前方に突出されており、焼結ペレット３の表面中央部を優先的に打撃する。 （もっと読む）

【課題】構成刃先を作りやすい切り屑の流れるすくい面の刃の稜線付近には耐溶着性の高い被膜と、切り屑の流れるすくい面が熱による影響を強く受けてクレーター摩耗が発生することを防止する耐熱・耐酸化性の高い被膜との両者を有する、ドライ加工で優れた性能を発揮する硬質被膜を提供。
【解決手段】工具基体１に接する第一層２に密着層として、ＴｉＮ、ＴｉＡｌＮまたはＣｒＮの被膜を置き、第二層３に耐熱・耐摩耗層としてＴｉＡｌＮまたはＴｉＳｉＮの被膜を置き、第三層４に耐熱・酸素バリアー層としてＡｌＣｒＮの被膜を置き、最表面の第四層５に耐溶着層としてＴｉＡｌＮまたはＴｉＳｉＮの被膜を置く。 （もっと読む）

【課題】耐熱合金の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜８μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｔｉ−Ｓｉ最高含有点とＢ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｓｉ，Ｂ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｔｉ−Ｓｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｂの含有割合は、それぞれ、０．４０〜０．６０、０．２０〜０．４０、０．０５〜０．２０、０．０１〜０．１０、０．０１〜０．１０であり、また、Ｂ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｂの含有割合は、それぞれ、０．０５〜０．２０、０．２５〜０．４５、０．０１〜０．０７、０．００１〜０．０３、０．４０〜０．５５である。 （もっと読む）

加工物をコーティングするためのＰＶＤ皮膜システムには、少なくとも１つの複酸化物混合結晶皮膜が含まれる。当該複酸化物の組成は（Ｍｅ１_１−ｘＭｅ２_ｘ）_２Ｏ_３である。このとき、Ｍｅ１およびＭｅ２はそれぞれ、Ａｌ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｌｉ，Ｍｇ，Ｍｎ，Ｎｂ，Ｔｉ，ＳｂあるいはＶのうちの少なくとも１つの元素である。元素Ｍｅ１およびＭｅ２は、それぞれ異なる。ＰＶＤ皮膜システムにおける混合結晶皮膜の結晶格子はコランダム型構造を有している。当該コランダム型構造は、Ｘ線回折で測定された前記混合結晶皮膜のスペクトルにおいて、少なくとも３本の、コランダム型構造に特有のラインを有することを特徴としている。さらに、複酸化物の混合結晶皮膜を形成するための真空コーティング法と、当該方法でコーティングされた工具および部品が開示されている。 （もっと読む）

【課題】耐熱合金の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜８μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｖ−Ｓｉ最高含有点とＢ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｖ，Ｓｉ，Ｂ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｖ−Ｓｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｖ、Ｓｉ、Ｂの含有割合は、それぞれ、０．４０〜０．６０、０．２０〜０．４０、０．０５〜０．２０、０．０１〜０．１０、０．０１〜０．１０であり、また、Ｂ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｖ、Ｓｉ、Ｂの含有割合は、それぞれ、０．０５〜０．２０、０．２５〜０．４５、０．０１〜０．０７、０．００１〜０．０３、０．４０〜０．５５である。 （もっと読む）

【課題】耐熱合金の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜８μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｖ最高含有点とＢ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｖ，Ｂ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｖ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｖ、Ｂの含有割合は、それぞれ、０．４０〜０．６０、０．３０〜０．５０、０．０５〜０．１０、０．０１〜０．１０であり、また、Ｂ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｖ、Ｂの含有割合は、それぞれ、０．０５〜０．１９、０．２５〜０．４５、０．０１〜０．０８、０．４０〜０．５５である。 （もっと読む）

本発明は、特に鋼のキャリヤ材又は鋳込材でできたピストンリング（１）に関する。このピストンリングは、各々が金属窒化物の少なくとも２つの層（２０、２１）からなる周期構造（１１）を各々が有する周期的な多層系（１０）からなる耐摩耗コーティング（４）を有する。この多層系は、夫々の層（２０、２１）の厚さが２ｎｍ以上１５ｎｍ未満であり、かつ多層系の厚さが４．５μｍを超えた厚さの超格子構造を特徴とし、また、周期構造（１１）内の互いに隣接する層（２０、２１）は、異なる金属元素を含む。
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【課題】スパッタリング装置の省スペース化と高スループット化を図る。
【解決手段】複数のカソード６０ａ〜６０ｃを有し、基板１２の被成膜面１２ａと対向する位置に、中心軸回りに回転可能に設けられており、各カソード６０ａ〜６０ｃにそれぞれ取り付けられたターゲット７０ａ〜７０ｃから、前記中心軸回りの回転により、前記基板１２の被成膜面１２ａに対向させるターゲット７０ａ，７０ｂ又は７０ｃを選択可能な支持体５０と、前記基板１２の被成膜面１２ａとの対向方向に設けられた開口部８０ａを残して、前記支持体５０の周囲を囲んでいると共に、前記支持体５０の回転と連動した回転と該連動の解除とが可能に設けられたシールド８０との組み合わせを複数組備えたスパッタリング装置とする。 （もっと読む）

本発明は、特に鋼のキャリヤ材又は鋳込材でできたピストンリング（１）に関する。このピストンリングは、各々が金属窒化物の少なくとも２つの層（２０、２１）からなる周期構造（１１）を有する周期的な多層系（１０）からなる耐摩耗コーティング（４）を有する。周期構造（１１）内の互いに隣接する層（２０、２１）は、異なる金属元素を含む。また、夫々の層（２０、２１）の厚さは、１５ｎｍ以上である。
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【課題】大きな接触応力が作用するような条件下や無潤滑下においても好適に使用可能な転がり摺動部材及び転動装置を提供する。
【解決手段】スラスト玉軸受の内輪１，外輪２と玉３との接触面においては、内輪１，外輪２，玉３の母材にＤＬＣ層Ｄが被覆されている。ＤＬＣ層Ｄは、炭素からなるカーボン層Ｃと、タングステン及び炭素からなる複合カーボン層ＦＣと、タングステンからなる第一金属層Ｍ１と、タングステン及びクロムからなる複合金属層ＦＭと、クロムからなる第二金属層Ｍ２と、で構成され、これら５層はＤＬＣ層Ｄの表面側から上記の順に配されている。母材のうちＤＬＣ層Ｄが被覆されている部分は、表面粗さＲａが０．０３μｍ以上０．２μｍ以下とされている。 （もっと読む）