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Fターム[4K029AA21]の内容

物理蒸着 (93,067) | 基体 (14,066) | 形状 (5,788)

Fターム[4K029AA21]の下位に属するFターム

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Fターム[4K029AA21]に分類される特許

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【目的】冷間鍛造用金型の表面に形成される硬質被膜の摩耗や剥離を防止することにより、冷間鍛造用金型により鍛造される成形品のかじりを抑制できる冷間鍛造用金型及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】冷間鍛造用金型1は、金型意匠面2に4A族(Ti,Zr,Hf)、5A族(V,Nb,Ta)、6A族(Cr,Mo,W)金属の一種又は二種以上を含む炭化物、窒化物若しくは炭窒化物、及び、4A族(Ti,Zr,Hf)、5A族(V,Nb,Ta)、6A族(Cr,Mo,W)金属の一種又は二種以上とSi及びAlの一種又は二種とを含む窒化物からなる群から選ばれる一種又は二種以上からなる単層又は多層の硬質被膜3を備え、硬質被膜3は、表面粗さRaがいずれの方向から測定しても0.05μm以上0.50μm以下である。 (もっと読む)


【課題】タービン部品を減衰するための構造を提供する。
【解決手段】 本願では、ガスタービン部品用の皮膜であって、振動減衰特性を有する1種以上の材料を含む皮膜について開示する。さらに、翼形基板と該翼形基板に設けられた皮膜とを含む振動減衰特性を有するガスタービン翼形部であって、上記皮膜が振動減衰特性を有する1種以上の材料を含む翼形部についても開示する。ガスタービン部品の振動減衰方法は、減衰特性を有する1種以上の材料を含む皮膜をガスタービン部品に施工することを含む。 (もっと読む)


【課題】シリコン酸化膜上に高温アルミニウムスパッタ法により形成されるAl膜に白濁が生じる。
【解決手段】シリコン酸化膜44へ向けてアルゴンイオンによるスパッタエッチングを行い、先行するエッチバック処理等で生じたシリコン酸化膜44の表面の微小な凹凸を平滑化する。しかる後、シリコン酸化膜44の表面に高温アルミニウムスパッタ法によりアルミニウム膜を堆積する。これによりAl膜の白濁が抑制され、これを用いて形成されるアライメントマークの反射率が確保される。 (もっと読む)


【課題】 高温での耐酸化性に優れ、かつ高い耐欠損性と耐摩耗性を有する切削工具を提供する。
【解決手段】 基体の表面に、Ti1−a−b−c−dAlSi(C1−x)(ただし、MはNb、Mo、Ta、Hf、Yから選ばれる1種以上、0.45≦a≦0.55、0.01≦b≦0.1、0.01≦c≦0.05、0.01≦d≦0.1、0≦x≦1)からなる被覆層を被覆している切削工具であり、優れた耐摩耗性と耐欠損性を有するものである。 (もっと読む)


【課題】外部衝撃による傷やクラックの発生を抑制できる反射防止膜及びそれを用いた光学部材を提供する。
【解決手段】プラスチック基板上に設けられる反射防止膜であって、該反射防止膜が、最外層が低屈折率層となるように、基板側から低屈折率層と高屈折率層が交互に積層されてなり、低屈折率層と高屈折率層との間に、金属酸化物からなる緩衝層が少なくとも一層設けられている反射防止膜であって、前記低屈折率層がSiO2及びAl23から選ばれる少なくとも一種の金属酸化物からなり、前記高屈折率層がTa25、Nb25及びZrO2から選ばれる少なくとも一種の金属酸化物からなり、前記緩衝層がInSnO、InZnO、In23及びTiO2から選ばれる少なくとも一種の金属酸化物からなる反射防止膜、並びに、プラスチック基板上に前記反射防止膜が設けられた光学部材である。 (もっと読む)


【課題】耐熱合金の高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐欠損性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具において、硬質被覆層の下部層はTi化合物層、同上部層は、化学蒸着で形成した島状のAl/ZrO混合組織層(縦断面観察による)と、該島状Al/ZrO混合組織層の間隙を埋める物理蒸着で形成された耐熱性高強度硬質膜からなる層構造を有し、上部層表面に平行な横断面において上記Al/ZrO混合組織層が占める面積(ACVD)と、上記耐熱性高強度硬質膜が占める面積(APVD)との面積比(ACVD/APVD)は、0.9〜16である層構造を有する。 (もっと読む)


【課題】樹脂製光学素子に光ろ過用多層薄膜を直接に蒸着することにより、多層薄膜レンズの使用を省略可能であり、ひいては撮影素子を小型化可能である樹脂製光学素子用多層薄膜真空蒸着方法とその樹脂製光学素子を持つ撮影素子を提供する。
【解決手段】樹脂製光学素子21の表面には光濾過用多層薄膜が真空蒸着されてあり、前記光濾過用多層薄膜は、多数の高屈折率薄膜と、多数の低屈折率薄膜とを含み、且つ前記高屈折率薄膜と前記低屈折率薄膜とは交錯に形成されて積層することを特徴とする、樹脂製光学素子用多層薄膜真空蒸着方法。 (もっと読む)


【課題】クロム処理の不都合を解消した自動車のハンドルの処理を提供する。
【解決手段】1または複数の固定部品(4)、(13)または可動部品(1)を備える自動車のハンドルをコーティングするための方法であって、これらの部品(1)、(4)、(13)の少なくとも1つの部品(1)、(13)の外面を、蒸着法でコーティングする方法。 (もっと読む)


【課題】 真空チャンバーを設置した後においても、ユーザーの要望等によって真空チャンバーの形状や大きさを簡易に変更することができるようにする。
【解決手段】 真空チャンバー1が、長方形状に形成されたチャンバー本体2と、チャンバー本体2の両側面にボルト留めで取り外し自在に密着接合される3角形状の側面枠3a、3bと、チャンバー本体2と側面枠3a、3bのそれぞれの開口している上面に接合される上板6、9a、9bと、チャンバー本体2と側面枠3a、3bのそれぞれの開口している底面に接合される底板7と、に分割自在に構成されているので、ユーザーの要望等によって真空チャンバーの形状や大きさを簡易に変更することができる。 (もっと読む)


ピストンリング上の焼けを回避するために、ピストンリングを、熱伝導容量少なくとも180W/(m・K)をもつ材料から成る耐摩耗及び耐剥傷性保護被膜で外装することが提案される。耐摩耗及び耐剥傷性保護被膜の少なくとも5体積%は、窒化アルミから成る。 (もっと読む)


本発明は、カミソリ刃を形成する方法に関する。本方法は、a)基板を準備する工程と、b)30°未満の夾角及び1,000オングストローム未満の先端半径を有する楔形の鋭利な縁部を基板上に形成する工程と、c)この基板を真空チャンバ内に配置する工程と、d)第1の固体ターゲットをこの真空チャンバ内に配置する工程と、e)イオン化されるガスをこの真空チャンバ内に供給する工程と、f)負電圧を第1の固体ターゲットにパルスで印加することによって、基板上の楔形の鋭利な縁部上に薄膜コーティングを形成するイオンを第1の固体ターゲットから生成する工程と、を含む。
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【課題】基板を密着して保持することができ、基板の温度を正確に調整することができ、基板に高品質な膜を成膜を形成することができる真空成膜装置を提供すること。
【解決手段】基板と当接する基板保持面を備え、基板保持面が曲面形状であるホルダと、基板と基体支持面との接触状態を検出する接触検出機構と、ホルダの基板保持面の外側に配置され、基板の端面に対して荷重を付与し、基板を支持する荷重付与機構と、接触検出機構の出力に基づいて荷重付与機構が基板に付与する荷重を制御する制御部とを有する構成とすることで、上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】 実機の摺動面の隙間で発生するプラズマを用いて、その場でプラズマコーティングし、摺動しつつプラズマコーティングを行うことにより、コーティングと同時になじみ運転も行うことができる技術を提供する。また、摩擦または摺動により、薄膜には絶えず接線力を加えた状態でコーティングし、接線力による膜中の組織の配向を発生させ、極めて高い耐摩耗性、良潤滑性の膜をコーティングできる技術を提供する。
【解決手段】 摺動体と回転体を摩擦又は摺動させることにより、これらの間にトライボマイクロプラズを発生させ、該摺動体と回転体の一方又は双方に、摺動体又は回転体を構成する物質の少なくとも一部からなる膜を形成することを特徴とするトライボマイクロプラズマコーティング方法。 (もっと読む)


本発明は、AlとTiとを含有する、窒化物又は炭窒化物の単層又は多層の、硬質材料被膜であって、少なくとも1つの被膜層が組成(AlxTiyRuzMev)(Na1-a)を有し、式中、0.45≦x≦0.75、0.20≦y≦0.55、0.001≦z≦0.10、0≦v≦0.20、そして、0.8≦a≦1.1であり、MeがSi、B、W、Mo、Cr、Ta、Nb、V、Hf及びZrからなる元素群から選択されているものに関する。Ru含有硬質材料被膜は、硬度低下温度がより高い温度へずらされ、従って改善された耐摩耗性を示す。
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【課題】本発明の目的は、高温での安定性に優れるとともに、刃先のチッピングを抑制することにより工具寿命を長期化させた表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材と該基材の表面上に形成された被覆層とを含むものであって、該被覆層は、A層とB層とが交互にそれぞれ1層以上積層された交互層を含み、該A層は、AlとCrとを含む窒化物からなり、該A層を構成する金属原子の総数を1としたときのCrの原子数の比が0よりも大きく0.4以下であり、該B層は、ZrとSiとを含む窒化物からなり、該B層を構成する金属原子の総数を1としたときのSiの原子数の比が0.05以上0.3以下であることを特徴とする。 (もっと読む)


支持材料と耐摩耗性被膜から成るピストンリングが開示される。耐摩耗性被膜は3元系A−B−Nから成り、PVD法を用いて成膜される。A及びBは各々、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si及びCを包含する群から選ばれた元素であり、ここでA≠B、Nは窒素を表す。耐摩耗性被膜の厚みは≧3μmとなる。 (もっと読む)


【課題】 本発明の課題は、ファインピッチ化で要求される平滑な表面の銅箔において、防錆処理、クロメート処理、シランカップリング剤等の表面処理を行わずとも金属層を形成させることで絶縁樹脂との密着性、特には加熱処理後も密着性に優れる銅箔を提供することである。
【解決手段】表面にAl被膜を形成したことを特徴とする銅張積層板Al被膜付き銅箔であり、被膜のAl濃度は、85質量%以上、被膜の厚みが0.4nm以上であればよい。 (もっと読む)


【課題】合成樹脂で形成された光学素子に光学膜を形成する際に、光学膜形成用治具内で光学素子の位置が変動しても、被接着部位である周縁部に充分に光学膜を形成でき、接着強度の確保できる光学素子及び光学膜形成用治具を得る。
【解決手段】合成樹脂からなり、光学機能面と、該光学機能面の外周部に形成され他部品と接着される被接着部位とが一体的に形成された円形状の光学素子に、光学膜を形成するための穴部及び光学素子の落下防止のための受け部が形成された光学膜形成用治具において、受け部が、少なくとも3箇所の半径方向に延伸された突起部で構成されている光学膜形成用治具とする。 (もっと読む)


【課題】反応域を減少または消失させる層を配置した安価なサーマルバリアコ
ーティングシステムの提供。
【解決手段】基材、基材の上の第1遷移金属層、第1遷移金属層の上のボンドコート、ボンドコートの上の第2遷移金属層および第2遷移金属層の上の任意のセラミックトップコートを含むサーマルバリアコーティングシステム。 (もっと読む)


【課題】金属などの混入もなく高純度且つ高濃度のオゾンを簡便に効率よく製造することができ、基材との密着性などにも優れたオゾン生成用電極を提供する。
【解決手段】本発明のオゾン生成用電極は、基材と、基材の少なくとも一部を被覆する導電性薄膜とから構成され、導電性薄膜は、結晶質成分と非晶質成分が混在したダイヤモンドライクカーボンからなるものである。導電性薄膜は、ラマン分光分析において、1320〜1350cm−1の範囲内、および1540〜1590cm−1の範囲内に明確なピークを有しており、詳細には、1340cm−1±20cm−1に存在するピークの積分強度Int<1340>と1580cm−1±20cm−1に存在するピークの積分強度Int<1580>との比が下記(1)式を満足している。
Int<1340>/Int<1580>=0.5〜1.5 ・・・ (1) (もっと読む)


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