【課題】蒸着時の真空度により屈折率が変わりやすい金属酸化物を含む反射防止膜を製造するにあたって、屈折率のバラツキを抑制する。
【解決手段】プラスチックレンズ等の基板にハードコートを塗布する工程Ｓ３と、ハードコートを硬化する工程Ｓ４と、液体で洗浄する工程Ｓ５と、基板の水分率を低下する水分率低下工程Ｓ６と、この基板に金属酸化物を蒸着して反射防止膜を形成する工程Ｓ１３とを有する。これらの工程を経由することで、基板の水分率が低下されるため、蒸着時の基板付近の真空度低下が抑制され、蒸着後の金属酸化物の屈折率バラツキを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】ステンレス鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、下部層として、（Ａｌ_１−ＸＣｒ_Ｘ）Ｎあるいは（Ａｌ_{１−Ｘ−Ｚ}Ｃｒ_ＸＭ_Ｚ）層（但し、０．３≦Ｘ≦０．５、０．００１≦Ｚ≦０．１、かつ、Ｍは、Ｚｒ、Ｙ、Ｖ、Ｗ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔｉ、ＳｉまたはＢから選ばれる１種または２種以上の元素）を形成し、上部層として、（Ｃｒ_１−ａＢ_ａ）Ｎ_ｂ相（但し、０．４≦ａ≦０．７、０．１５≦ｂ≦０．５５）素地に、下部層との界面から上部層最表面へ向かうにしたがって、ＢＮ相の分散分布面積割合が次第に増加するＢＮ分散ＣｒＢＮ層を形成する。 （もっと読む）

【課題】複数の基板に同時に蒸着するときに、複数の基板に均質な膜を成膜することができる真空蒸着方法及び蒸着装置を提供する。
【解決手段】この蒸着装置は、複数の基板３を保持する基板保持部材２と、基板３上に成膜される蒸着物質を保持する蒸着源４と、基板３面にガスイオンを放射するためのイオン銃５と、イオン銃５から照射されるガスイオンの放射方向Ｄ１を整流するための補正板６とを有している。そして、補正板６を調整することにより、基板保持部材２内のガスイオンの濃度分布を均一にすることができる。 （もっと読む）

【課題】バリア性能が向上したバリア性積層体を提供する。
【解決手段】少なくとも１層の有機層と、少なくとも１層の無機層とを有し、前記有機層は、重合性化合物と、１分子中に２以上の重合開始能を有する部位を有する光重合開始剤を含む組成物を光照射して硬化させてなることを特徴とするバリア性積層体。 （もっと読む）

【課題】低から中屈折率ガラスにおいて優れた透過率特性を有し、フレアやゴースト等の発生の少なく、かつ優れたヤケ防止効果を有する反射防止膜及びこれを有する光学部品、交換レンズ及び撮像装置を提供する。
【解決手段】基板上に、第１層〜第７層を基板側からこの順に積層してなる反射防止膜であって、波長領域400〜700 nmの光において、基板の屈折率が1.50〜1.70であり、各層は所定の光学膜厚を有し、第１層はアルミナを主成分であり、第２層〜第６層は所定の屈折率を有し、第７層がシリカを主成分とする多孔質層である反射防止膜。 （もっと読む）

【課題】反射防止膜付きレンズその他の光学部材を製造する際に、膜厚誤差を低減して成膜精度を向上させる。
【解決手段】１枚以上の基板が取り付けられたドラムをチャンバ内で回転させる。この状態で、ドラムの周囲に配設されたターゲットの電源を時間制御でオンして、スパッタによりターゲットの粒子を基板に付着させることにより、複数の薄膜を基板に積み重ねて層を形成する。このような成膜工程を所定の回数だけ繰り返すことにより、光学部材を製造する。このとき、ドラムの少なくとも１回転あたりの成膜厚さが、複数の層のうち特定の層において他の層より薄く設定されている。これにより、特定の層においてドラムの１回転あたりの成膜厚さが薄くなるため、カルーセル式のスパッタ装置１に特有の膜厚誤差が低減され、成膜精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、低屈折率ガラスにおいて優れた透過率特性を有し、フレアやゴースト等の発生の少なく、かつ優れたヤケ防止効果を有し、耐久性、耐擦性にも優れた反射防止膜及びこれを有する光学部品、交換レンズ及び撮像装置を提供する。
【解決手段】基板上に、第１層〜第５層を基板側からこの順に積層してなる反射防止膜であって、波長領域400〜700 nmの光において、基板の屈折率が1.42〜1.55であり、各層は所定の光学膜厚を有し、第１層はアルミナを主成分であり、第２層〜第４層は所定の屈折率を有し、第５層がシリカを主成分とする多孔質層である反射防止膜。 （もっと読む）

【課題】本願発明の課題は、残留圧縮応力を適切に制御して高い密着性を維持しながら、高硬度、耐摩耗性に優れた厚膜の硬質皮膜被覆部材を提供することである。
【解決手段】本願発明の硬質皮膜被覆部材において、硬質皮膜は、（Ｍｅ１−ａＸａ）α（Ｎ１−ｘ−ｙＣｘＯｙ）、で表され、但し、Ｍｅは周期律表４ａ、５ａ、６ａ族元素から選択される１種以上の元素、Ｘは、Ａｌ、Ｓｉ、Ｂ、Ｓから選択される１種以上の元素、１０≦ａ≦６５、０≦ｘ≦１０、０≦ｙ≦１０、０．８５≦α≦１．２５であり、硬質皮膜は面心立方構造を有し、硬質皮膜のＸ線回折における、０．２≦（２００）／（１１１）≦１．２、０．２≦（２２０）／（２００）≦１．０、であり、（１１１）面の半価幅をＷ（度）としたときに、Ｗ≦０．７であり、硬質皮膜の膜厚Ｔ（μｍ）としたとき、５≦Ｔ≦３０、であることを特徴とする硬質皮膜被覆部材である。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ効率的で、金型や固定治具等の被洗浄部材に対するダメージが少ない、被洗浄部材の洗浄方法等を提供する。
【解決手段】光学素子製造装置から光学材料成分が付着した被洗浄部材４１を取り出す工程と、取り出された被洗浄部材４１を、光学材料成分を除去する洗浄装置４０に設置する工程と、洗浄装置４０にて、設置された被洗浄部材４１の周囲環境に所定のガスを導入する工程と、導入された所定のガスに高周波電圧を印加してプラズマ化し、被洗浄部材４１の表面をプラズマ化されたガスに晒し、光学材料成分をハロゲン化物にして気化させ除去する工程と、を含む被洗浄部材４１の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】広い入射角範囲で優れた透過率特性を有し、フレアやゴースト等の発生の少なく、かつ優れたヤケ防止効果を有する反射防止膜及びこれを有する光学部品、交換レンズ及び撮像装置を提供する。
【解決手段】基板上に、第１層及び第２層を基板側からこの順に積層してなる反射防止膜であって、波長領域400〜700 nmの光において、基板の屈折率が1.70〜1.95であり、第１層がアルミナを主成分とし、光学膜厚が98.5〜133.5 nmであり、第２層がシリカを主成分とする多孔質層であり、光学膜厚が116.0〜129.0 nmであることを特徴とする反射防止膜。 （もっと読む）

【課題】広帯域の光に対して安定した位相差特性を与える位相差素子を製造することができるワーク支持部材、位相差素子及び偏光ビームスプリッタを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の基板支持部材６は、蒸着チャンバ１内に配置される蒸着源４から蒸発した材料を蒸着させる基板Ｗを固定保持するワークフレーム２１と、ワークフレーム２１を、蒸着チャンバ１内に固定するドーム取付部７と、ドーム取付部７に対して任意の角度で傾斜するように、ワークフレーム２１を傾斜させる傾斜機構８と、傾斜機構８に対してワークフレーム２１を任意の角度で回転させる回転機構９と、を備えている。傾斜機構８と回転機構９とにより、傾斜方向及び回転方向の２方向に基板Ｗの傾斜角度を自由に設定することができる。 （もっと読む）

【課題】鋭い形状および研磨した刃先の上でなくても、スポーリング、フリッタリング、いわゆる刃先スポーリングおよびフレーキングを起こしにくいＰＶＤ被膜を有する被膜付き切削工具およびその製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの非金属機能層または層システムの間に配置された金属中間層を含む被膜を備えた基材を含む被膜付き切削工具に関し、前記金属中間層は、Ｔｉ、Ｍｏ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｖ、Ｙ、Ｎｂ、Ｗ、ＴａおよびＺｒまたはこれらの混合物の1種または複数種から選択される金属元素を少なくとも６０at％含み、前記の少なくとも２つの非金属機能層または層システムは、窒化物、酸化物、硼化物、炭化物またはそれらの組み合わせの1種または複数種であり、前記の少なくとも２つの非金属機能層または層システムの厚さは前記金属中間層の厚さの３から２００倍である。金属中間層と交互積層した非金属機能層または層システムの数は少なくとも３である。 （もっと読む）

【課題】鋼およびステンレス鋼の機械加工性能を高めた被膜付き工具を提供する。
【解決手段】超硬合金基材と被膜とを有し、特に鋼またはステンレス鋼を湿式または乾式で機械加工するのに有用な切削工具インサートにおいて、
上記被膜が、
総厚さ０．５〜５μｍ、望ましくは１〜４μｍで、柱状粒のＴｉ_１−ｘＡｌ_ｘＮの層であって、０．２５≦ｘ≦０．７、望ましくはｘ＞０．４である第１層すなわち最内層と、
厚さ１〜５μｍ、望ましくは１．５〜４．５μｍ、最も望ましくは２〜４μｍで、柱状粒の（Ａｌ_１−ｙＣｒ_ｙ）_２Ｏ_３層であって、０．１≦ｙ≦０．６、望ましくはｙ＝０．５である層と
を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、凹凸面を有する構造部材の製造を容易にするとともにその表面が摩耗した場合でも凹凸面を維持することのできる構造部材を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の構造部材製造方法は、基材の表面にその断面形状が略三角形の溝を連続して多数個形成し、その上に材質の異なる一定厚さの膜を交互に積層して多層膜を形成し、多層膜の表面を研磨することにより凹凸表面を形成することを特徴としている。また、本発明の構造部材は、基材の表面に形成されたその断面形状が略三角形の連続する溝の上に異種材料の膜が交互に積層されてなる多層膜を設け、該多層膜の表面を研磨することにより得られた凹凸表面を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】アークイオンプレーティング装置用の蒸発源において、陰極の利用効率を飛躍的に向上させ、かつ表面平滑性が高く、残留応力が小さい薄膜を形成する。
【解決手段】陰極２の外周に配置されたリング状の磁石３と、陰極２の背面に配置されたソレノイドコイル４とを有する磁界形成手段５を備えたアークイオンプレーティング装置用の蒸発源１において、磁界形成手段５は、リング状の磁石３の極性の向きとソレノイドコイル４の極性の向きとが反対となるように構成され、陰極２を構成する物質を蒸発させる蒸発面の中心部から周縁に向かって延びた任意の線分上における磁束密度の最小値が４５Ｇａｕｓｓ（ガウス）以上、その平均値が８０Ｇａｕｓｓ以上である磁界を形成する。 （もっと読む）

【課題】高速、無潤滑切削に用いられる切削工具に適した、耐酸化性、耐熱性に優れたZr-Al-Si-N系の皮膜をPVD処理により基板上に形成するために、製作工程における金属間化合物形成による脆化やジルコニウム粉末の酸化による発火や爆発の危険性を防止して容易にかつ低コストで製造したPVD処理用のZr-Al-Si系ターゲット材を提供する。
【解決手段】必要数のプラグ嵌合用の孔を加工したジルコニウム板材に、Al-Si合金で製作したプラグを嵌合し、ＰＶＤ処理用のZr-Al-Si系ターゲット材を製作する。 （もっと読む）

基板２２と被膜とを含む物品が提供される。本物品は、チップ形成材料除去工程において性能を改善するように示された切削インサート２０、あるいはチップ無し形成工程のための耐摩耗部品であってよい。１つの耐摩耗被覆方式４０はアルミニウム、クロムおよび窒素を含有する下層４２と最上層４６とを有する。被覆方式４０はまた、チタン、アルミニウム、クロムおよび窒素を含有する中間多周期性ナノレイヤ被覆方式４４を含む。中間多周期性ナノレイヤ４４被覆方式は複数の組の交互層配置５０、５２、５４、５６、５８、６０、６２を含む。交互層配置５０、５２、５４、５６、５８、６０、６２のそれぞれは、チタン、アルミニウムおよび窒素を含むベース層６４と、複数の組の交互ナノレイヤ６８、７０、７２、７４、７６、７８を有するナノレイヤ領域とを有する。交互ナノレイヤ６８、７０、７２、７４、７６、７８のそれぞれの組は、アルミニウム、クロム、チタンおよび窒素とを有する１つのナノレイヤ８２と、アルミニウム、クロム、チタンおよび窒素を有する別のナノレイヤ８４とを有する。ベース層厚さＧはナノレイヤ領域厚さＦより小さい。
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【課題】成膜後に微塵がレンズ等の成膜対象の表面に付着して不良品となることを防止できる成膜装置を提供すること。
【解決手段】イオン化部７０が、真空容器４０内に配置され、真空容器４０内に導入される導入空気ＬＡをイオン化する。これにより、真空容器４０内を大気に開放する際に、導入空気ＬＡによってワークＷが帯電することを防止でき、真空容器４０内壁に付着した塵埃等の意図しないパーティクルが成膜後のワークＷに引き寄せられて膜上に付着することを防止できる。つまり、成膜後のワークＷの取り出し時に製品不良が発生することを防止できる。 （もっと読む）

真空コーティングユニットは、反応性ガス入口（１２）と、層状カソード（１１）を有する少なくとも１つのＰＶＤコーティング源（８、２１）と、複数の基板（７）を伴う基板担持体（６）とを含み、基板担持体（６）は二次元的に水平な範囲を形成し、少なくとも２つのＰＶＤコーティング源の間に位置決めされ、複数の基板（７）は、少なくとも１つの切刃（Ｅ）を層状基板（７）の周縁マージン領域に有する切削工具であり、基板担持体（６）の二次元範囲の面において分布されるように配置され、基板担持体（６）は、真空処理チャンバ（１）において、水平面（３）において、少なくとも２つのＰＶＤコーティング源（８、２１）の層状カソード（１１）の間に間隔をおいた状態で、かつ、少なくとも１つの切刃（Ｅ）の各々の少なくとも一部は、処理中の切刃（Ｅ′）を含み、処理中の切刃（Ｅ′）は、ＰＶＤコーティング源（８、２１）のカソード（１１）のうちの少なくとも１つに対向して向き付けられ、視線において常に露出されるよう位置決めされる状態で、配置されることにおいて特徴付けられる、真空コーティングユニット。
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【課題】有機層を用いることなく、耐熱性を向上させた反射防止膜を有するプラスチックレンズおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】プラスチックレンズ基材の表面に直接または他の層を介して多層反射防止膜を有するプラスチックレンズ。前記多層反射防止膜は、金属元素が同一であり、かつ酸素含有量が異なる少なくとも２つの金属酸化物層を隣接して有する複合層を含む。上記のプラスチックレンズの製造方法。前記複合層を構成する各金属酸化物層は、同一の蒸発源を用い、かつ隣接する層同士は、反応性酸素ガス分圧が異なる条件下で蒸着することで形成されることを含む。 （もっと読む）