【課題】スパッタリング装置の省スペース化と高スループット化を図る。
【解決手段】複数のカソード６０ａ〜６０ｃを有し、基板１２の被成膜面１２ａと対向する位置に、中心軸回りに回転可能に設けられており、各カソード６０ａ〜６０ｃにそれぞれ取り付けられたターゲット７０ａ〜７０ｃから、前記中心軸回りの回転により、前記基板１２の被成膜面１２ａに対向させるターゲット７０ａ，７０ｂ又は７０ｃを選択可能な支持体５０と、前記基板１２の被成膜面１２ａとの対向方向に設けられた開口部８０ａを残して、前記支持体５０の周囲を囲んでいると共に、前記支持体５０の回転と連動した回転と該連動の解除とが可能に設けられたシールド８０との組み合わせを複数組備えたスパッタリング装置とする。 （もっと読む）

【課題】従来のこの種の車両用灯具においてはリフレクタもエクステンションも銀色の金属膜系の表面処理を行うものであったので、両者間にデザイン的にもそれ程に差異を生ぜず、単調な印象のものとなっていた。
【解決手段】本発明により、樹脂基材上に直接に、純鉄または鉄を７０％以上含む合金材料をスパッタリング法により１０nm以下として成膜し、前記樹脂基材の融点以下で熱処理し調色を行うことを特徴とするエクステンションの着色方法とすることで黒色乃至は深青色のエクステンションが得られるものとし、簡便な製造手段でリフレクタと明らかに見分けの付くものとして、デザイン向上とコストダウンを可能とし課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】
低レーザパワーでもマーキング性が優れた、再生専用光情報記録媒体用Ｓｎ合金反射膜、再生専用光情報記録媒体および再生専用光情報記録媒体用Ｓｎ合金反射膜形成用のスパッタリングターゲットを提供することを目的とする。
【解決手段】再生専用光ディスク１に設けられるＢＣＡマーク１６の反射膜の組成をＮｉ、Ｃｏの一種または二種を特定量含有するＳｎ合金として、反射率や耐環境性の基本特性に優れるとともに、低レーザパワーでもマ−キングが可能なＢＣＡマークとする。 （もっと読む）

【課題】頻繁な開閉をするシャッター装置を設けて成膜処理室を二分する構成であって、ワークにマスキングを容易にすることができる成膜する真空成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜成形体１は、第一、第二成形体２、３を成形する一次の射出工程、第一成形体２の成膜工程、そして第一、第二成形体２、３を一体化する二次の射出工程を経ることにより製造されるが、成膜用金型７ａと第一成形用金型５ｄとのあいだにシヤッター装置１３が設けられ、真空成膜工程を実施するときのみターゲット室７ｂとワーク室５ｆとを連通するようにして、ターゲット室７ｂ側を真空状態に維持できるようにしている。さらにこのものは、第一成型体２に一部を残して成膜Ｆを施すにあたり、シャッター装置１３の下側の基台Ｂである第二支持プレート２０に、非成膜部２ｂを密着状に当接させて型合わせするためのマスキング部２０ｆを形成している。 （もっと読む）

【課題】鉄鋼材料に対する耐摩耗性が飛躍的に向上した極めて実用性に秀れた切削工具用硬質皮膜の提供。
【解決手段】切削工具用基材上に形成される切削工具用硬質皮膜であって、この硬質皮膜を、金属および半金属成分が原子％で、
Ａｌ_{（１００−Ｘ−Ｙ−Ｚ）}Ｃｒ_(Ｘ)Ｖ_(Ｙ)Ｂ_(Ｚ)
ただし、２０≦Ｘ≦４０，２≦Ｙ≦１５，５≦Ｚ≦１５
であり、非金属元素としてＮを含み、不可避不純物を含むものとする。 （もっと読む）

強化材の層を成長させること、及び、前記層をマトリックスで含浸することを含む、複合材の製造方法。強化材の層は化学蒸着法によって形成されうる。この方法は、所望の形状及び物性を有する部品を形成するためのアディティブ層製造技術として使用でき、又は、薄いシート材料を形成するために使用できる。
（もっと読む）

【課題】本発明は、クランプを備えたスパッタ装置により、厚さの異なる半導体基板に金属膜を形成する工程を含む半導体装置の製造方法に関し、厚さの異なる半導体基板に形成された金属膜の膜質を略均一にすることを課題とする。
【解決手段】厚さの異なる半導体基板２３−１，２３−２をステージ２１上に固定するクランプ２５を備えたスパッタ装置１０により、厚さの異なる半導体基板２３−１，２３−２に金属膜２９を形成する金属膜形成工程を含む半導体装置の製造方法であって、クランプ２５を絶縁すると共に、可変抵抗２６を介して、ステージ２１をグラウンド電位とし、金属膜２９を形成するときに、可変抵抗２６に流れる電流が所定の値となるように可変抵抗２６の抵抗値を調整する。 （もっと読む）

【課題】密封式油圧ダンパのダイヤフラムゴム膜の放熱性を改良したガスバリヤ構造およびその作製方法を提供する。
【解決手段】密封式油圧ダンパのダイヤフラムを構成するゴム膜１０のガスバリヤ構造であって、上記ゴム膜１０の表面に形成されたアルミニウム薄膜１４と、該アルミニウム薄膜１４上に形成されたフレキシブルＤＬＣ膜１８とを備え、上記アルミニウム薄膜１４と上記フレキシブルＤＬＣ膜１８とが両者間に介在するアルミニウム・シリコン共晶層１６により相互に接合されていることを特徴とするガスバリヤ構造。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速重切削加工等において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜８μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｃｒ最高含有点とＴｉ−Ｓｉ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｃｒ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｓｉの含有割合は、それぞれ、０．３５〜０．５０、０．１５〜０．３５、０．２５〜０．４５、０．０３〜０．１０であり、また、Ｔｉ−Ｓｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｓｉの含有割合は、それぞれ、０．１０〜０．２５、０．１０〜０．２５、０．５０〜０．７０、０．１０〜０．２５である。 （もっと読む）

本発明は、真空コーティング設備の中で物体（１２）を旋回させるための装置に関する。この装置は、支持体（２）上で回転軸（２３）を中心として回転自在に取り付けられている、物体（１２）のためのホルダ（１０）と、力発生器による回転軸（２３）を中心とした回転によってホルダ（１０）を旋回させる旋回手段（２，４，２８）と、を具備する。本発明では、旋回手段（２，４，８）が、機械的な連結なしに、および旋回手段（２，４，８）とホルダ（１０）との間の可動な機械的な構成部材なしにホルダ（１０）を旋回させる力を発生させることが提案されている。本発明は、物体（１２）を旋回するための対応の方法に関し、特に眼科用のプラスチックレンズ（１２）を旋回するための装置または方法の使用に関する。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速切削加工等において、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜８μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＴｉ−Ｓｉ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ最高含有点におけるＡｌ、Ｔｉ、Ｓｉの含有割合は、それぞれ、０．３５〜０．６０、０．３５〜０．５５、０．０３〜０．１０であり、また、Ｔｉ−Ｓｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｔｉ、Ｓｉの含有割合は、それぞれ、０．１０〜０．２５、０．６０〜０．８０、０．１０〜０．２５である。 （もっと読む）

【課題】塩水噴霧試験において、変色や溶解を防ぐことができる、高い耐食性および耐塩水性を有する電磁波シールド膜を提供する。
【解決手段】真空蒸着法を用いて、モネル合金を蒸発させるための電流を低電流値より高電流値として第１層をＣｕ−Ｎｉ傾斜合金で形成し、その後、モネル合金をその合金組成で蒸発させて第２層をモネル合金で形成することで、第１層と第２層からなる二層構造である電磁波シールド膜を得る。 （もっと読む）

【課題】ターゲットを大型化してもそのクラックや破壊を未然に防止できる新規なコーティング装置およびスパッタリング成膜方法の提供。
【解決手段】チャンバー10内に設置されるバッキングプレート90に当該バッキングプレート90と線膨張係数の異なる板状のターゲット40を備えたコーティング装置100であって、前記ターゲット40を複数の分割ターゲット40aで構成すると共に当該各分割ターゲット40a同士を元の形状を維持すべく互いに所定の隙間を隔てて配置し、各々前記バッキングプレート90に取り付ける。これによって、各分割ターゲット40a間の隙間が適宜拡大縮小することでその膨張収縮量の差を吸収できるため、大型のターゲット40を用いた場合でも、これにクラックや破壊が生ずるのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速切削加工等において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜８μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＣｒ−Ｓｉ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｓｉの含有割合は、それぞれ、０．３５〜０．６０、０．３５〜０．５５、０．０３〜０．１０であり、また、Ｃｒ−Ｓｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｓｉの含有割合は、それぞれ、０．１０〜０．２５、０．６０〜０．８０、０．１０〜０．２５である。 （もっと読む）

【課題】動圧軸受の内孔壁の微細な溝の加工の困難度を改善することができ、より良い耐磨耗性を有するフォトリソグラフィー技術を用いた動圧軸受とその製造方法する。
【解決手段】内孔を有する軸受本体１を提供するステップ、軸受本体１の内孔壁の表面にフォトレジストを塗布するステップ、フォトレジストが露光された、表面に動圧溝パターンのマスクを有するランプを軸受本体の内孔の中に設置し、露光を行うステップ、フォトレジストに現像を行い、一部のフォトレジストを取り除き、内孔壁を露出するステップ、フォトレジストの保護を受けていない内孔壁上に、堆積層５０を形成するステップ、および内孔壁上に残留しているフォトレジストを取り除き、内孔壁上に動圧溝１２を形成するステップを含む動圧軸受の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 第一の反射面に続いて球面状の第二の反射面が形成された反射鏡において、高輝度の点光源を集光する反射鏡の反射膜として使用する場合であっても、各反射面において高い反射特性及び反射効率が得られる反射鏡を提供すること。
【解決手段】 基体が実質的に一体で構成され、光放射口を前端に有する第一の反射面と、
この第一の反射面に連設され、入射光を焦点に戻す反射面よりなる第二の反射面とを有してなる反射鏡であり、第一の反射面は、前記基体の表面に、物理蒸着により膜厚が変位するよう誘電体多層膜が形成されて反射面が構成され、前記第二の反射面は、一面に反射面がされた反射部材が前記基体に嵌め込まれることにより当該第二の反射面が構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 被コーティング部品が微細な場合に、被コーティング部品を筒体内に均一に分布するように投入でき、取り出すときに被コーティング部品が飛散しにくい構造の蒸着コーティング装置用バレルを提供する。
【解決手段】 被コーティング部品を収納する筒体とこの筒体を回動させる回転軸とを備え、前記回転軸を中心とする略円周上に、その長手方向を前記回転軸と平行な方向としている複数の筒体を配設しているバレルであって、前記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーティング部品の表面に、コーティング皮膜形成用の原料物質を蒸着させると共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、分離可能である複数個の小型筒体の組み合わせで形成している蒸着コーティング装置用バレルとした。 （もっと読む）

【課題】
高速度切削、高送り切削、被削材の高硬度化などの厳しい切削加工条件において長寿命を実現できる切削工具用の被覆部材の提供を目的とする。
【解決手段】
基材の表面に被膜を被覆した被覆部材において、被膜の少なくとも１層は、（Ｍ_aＬ_b）Ｘ_c（但し、ＭはＣｒ，Ａｌ，Ｔｉ，Ｈｆ，Ｖ，Ｚｒ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ，Ｙの中から選ばれた少なくとも１種の金属元素を示し、ＬはＭｎ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ｂ，Ｓｉ，Ｓの中から選ばれた少なくとも１種の添加元素を示し、ＸはＣ，Ｎ，Ｏの中から選ばれた少なくとも１種の非金属元素を示し、ａはＭとＬとの合計に対するＭの原子比を示し、ｂはＭとＬとの合計に対するＬの原子比を示し、ｃはＭとＬとの合計に対するＸの原子比を示す。）と表され、ａ，ｂ，ｃは、それぞれ０．８５≦ａ≦０．９９、０．０１≦ｂ≦０．１５、ａ＋ｂ＝１、１．００＜ｃ≦１．２０を満足する硬質膜からなる被覆部材。 （もっと読む）

【課題】潤滑油で潤滑することなく冷媒中で使用することが可能な転がり軸受を提供する。
【解決手段】深溝玉軸受の内輪１，外輪２，及び玉３は、ＳＵＪ２等の鋼で構成されている。そして、軌道面１ａを含む内輪１の外周面全体，軌道面２ａを含む外輪２の内周面全体，及び玉３の表面全体のうち少なくとも一つに、潤滑被膜Ｌが被覆されている。この潤滑被膜Ｌは、Ｃｒ，Ｗ，Ｔｉ，及びＳｉのうちの少なくとも１種の金属からなる下地層Ｍと、前記金属及び炭素からなる中間層Ｆと、炭素及び水素を含有するダイヤモンドライクカーボンからなる表面層Ｃと、の３層で構成されていて、該３層は表面側から表面層Ｃ，中間層Ｆ，下地層Ｍの順に形成されている。また、中間層Ｆ中の炭素の割合は、下地層Ｍ側から表面層Ｃ側に向かって増加している （もっと読む）

【課題】硬質難削材の高速連続切削加工ですぐれた仕上げ面精度を長期に亘って発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具を提供する。
【解決手段】分散相を形成する立方晶窒化ほう素相と連続相を形成する窒化チタン相との界面に超高圧焼結反応生成物が介在した組織を有するインサート本体の表面に硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具において、（ａ）硬質被覆層は、１〜３μｍの平均層厚を有する下部層と０．３〜３μｍの平均層厚を有する上部層とからなり、（ｂ）下部層は、特定の組成式を満足するＣｒとＡｌの複合窒化物層からなり、（ｃ）上部層は、一層平均層厚がそれぞれ０．０５〜０．３μｍの薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、薄層Ａは、特定の組成式を満足するＣｒとＡｌの複合窒化物層、薄層Ｂは、Ｃｒ窒化物（ＣｒＮ）層からなる。 （もっと読む）