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Fターム[4K029BC01]の内容

物理蒸着 (93,067) | 被膜の性質 (4,709) | 耐食性 (332)

Fターム[4K029BC01]に分類される特許

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【課題】気相潤滑方法用の装置を提供すること。
【解決手段】チャンバー、配列した開口部を有するディフューザープレート、ディフューザープレートの開口部とほぼ同じパターンの開口部を有するシャッタープレート、チャンバー内で被気相コーティング目的物を保持するホルダー、及びシャッタープレートを動かしてシャッタープレートの配列した開口部をディフューザープレートの配列した開口部に合わせるか、またはシャッタープレートでディフューザープレートの配列した開口部を少なくとも部分的に塞ぐアクチュエータを含む気相潤滑用装置。 (もっと読む)


【課題】比較的大きい表面凹凸が形成される磁気記録層上であっても、FCVA法により、ステップカバレッジ、および、耐食性・耐摩耗性に優れた磁気記録媒体用薄膜を成膜できる。
【解決手段】回転駆動機構部およびチルト機構部が制御ユニット40に制御されることにより、基板ホルダー20および記録媒体用基板28’の傾斜角θが、成膜中、保護層の膜厚の増大に応じて最小傾斜角度から最大傾斜角度まで連続的に変化する。 (もっと読む)


【課題】タービン動翼などに設けられる遮熱用などの保護皮膜において、接着性の良い保護皮膜、及びその設層方法を提供する。
【解決手段】保護皮膜を有する物品は、第1表面22を有する基材18と、第1表面22から延在する複数の要素20aと、複数の要素20aの少なくとも一部の間、又は複数の要素20aの少なくとも一部の上、又はその両方に配置された保護皮膜24aとを備える。複数の要素20aは基材18と一体である。 (もっと読む)


【課題】非水溶性樹脂と金属酸化物からなるコーティング膜を、活性エネルギー照射のような特殊な処理や高温での処理を必要としないで積層することにより、耐水性およびガスバリア性に優れるガスバリアフィルムを提供する。
【解決手段】プラスチック基材(I)上に、コーティング膜層(II)を設けた構成のガスバリア性フィルムにおいて、コーティング膜層(II)が、少なくとも下記の成分(A)、成分(B)を含有し、コーティング膜層(II)が(B)金属酸化物を主とするマトリックスに、成分(A)が分散した構造となっていることを特徴とするガスバリア性フィルム。
成分(A):非水溶性樹脂微粒子
成分(B):金属酸化物 (もっと読む)


【課題】初期だけでなく、燃料電池の作動環境で長時間使用しても、耐食性及び電気伝導性に優れた燃料電池用ステンレス分離板及びその製造方法が提供される。
【解決手段】本発明の一実施例に係る燃料電池用ステンレス分離板の製造方法は、ステンレス鋼板母材を用意する段階と、ステンレス鋼板母材の表面層の鉄(Fe)成分を低減させて、ステンレス鋼板の表面に、クロム(Cr)成分の相対的な量が増加されたCr−rich不動態被膜を形成する表面改質段階と、表面改質されたステンレス鋼板母材の表面に、金属窒化物層(MNx)、金属/金属窒化物層(M/MNx)、金属炭化物層(MCy)、金属ホウ素化物層(MBz)のうちから選択されるコーティング層を形成する段階とを備える。 (もっと読む)


【課題】透明基材表面の微細な凹凸を平滑化し、平滑な面上に無機酸化物層を形成することで、高い透明性を保持しつつ、高いガスバリア性を有し耐久性もあるガスバリア積層フィルムを提供する。
【解決手段】透明基材の少なくとも一方の面上に、バリア層を積層してなる透明ガスバリア積層フィルムにおいて、前記バリア層は、1層以上の有機化合物膜からなる有機化合物層3と、1層以上の無機化合物膜からなる無機化合物層4と、を順次積層してなり、前記無機化合物層4と接している有機化合物膜は、Si原子もしくはF原子を含有する化合物を1種類以上含んでおり、前記有機化合物層3の膜厚は、10nm以上1μm以下であり、前記無機酸化物層4の膜厚は、5nm以上500nm以下であることを特徴とするガスバリア性積層フィルム1。 (もっと読む)


【課題】酸素ガス、水蒸気等の高度なバリア性を有し、かつ、湿潤でも優れたラミネ−ト強度を有し、その貯蔵・保管ないし流通中に破袋による液漏れや内容物の風味および食味等を損なうことなく、更にまた、環境対応に優れた液体ないし粘調体からなる調味料等を充填包装した液体小袋包装体を提供すること
【解決手段】ポリアミド樹脂からなる基材フィルムと、窒素原子とアジピン酸とビスフェノールグリシジルエーテルとを含んだ易接着層と、ポリオールとイソシアネート化合物とその反応生成物を含んだ蒸着アンカーコート層と無機酸化物層とを具備した透明ガスバリアフィルムに熱接着性樹脂層が順次積層された積層体 (もっと読む)


【課題】耐湿性に優れ、酸化ストロンチウムと酸化カルシウムとを主成分とする高密度の焼結体およびその製造方法を得る。
【解決手段】酸化ストロンチウムと酸化カルシウムとを主成分とする焼結体の製造方法であって、平均粒径0.01〜15μmの炭酸ストロンチウム粉末と、平均粒径0.01〜15μmの炭酸カルシウム粉末および/または水酸化カルシウム粉末とを混合し、加圧し、相対密度50%以上の成型体を形成する工程と、成型体を、1200〜2400℃の温度範囲で焼結することにより焼結体を形成する工程とを含む、焼結体の製造方法である。 (もっと読む)


本発明は、基板上の透明バリア層システムに関しており、このバリア層システムには一連の個別層が含まれており、これらの個別層は層Aおよび層Bから交互に構成されており、層Aと層Bとは、水蒸気が透過する際の活性化エネルギが少なくとも1.5kJ/molの差分だけ異なる。
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【課題】層間接着性に優れるとともに、燃料や冷媒等に対する低透過性にも優れた燃料・冷媒用低透過部材およびその製法を提供する。
【解決手段】ポリフェニレンサルファイドおよびフッ素系樹脂の少なくとも一方からなる内層1の外側面に、無機系酸化膜を備えた中間層2が形成され、その外側に、高アミノ価のポリアミド系樹脂または下記の(A)〜(D)を必須成分とするゴム組成物からなる外層3が形成されてなる燃料・冷媒用低透過部材であって、上記内層1の外側面がプラズマ処理により改質され、その改質面上に、化学的蒸着法(CVD)または物理的蒸着法(PVD)により、上記無機系酸化膜が成膜されている。
(A)エチレン−プロピレン−ジエン三元共重合体およびエチレン−プロピレン共重合体の少なくとも一方。
(B)過酸化物加硫剤。
(C)レゾルシノール系化合物。
(D)メラミン樹脂。 (もっと読む)


【課題】 既存設備の大幅改造や装置コスト増大、大規模化等の問題を回避しながら電子ビーム蒸着を行うときにフィルム基材の帯電障害を極力抑え、損傷のない安定的な成膜作業を行うことが可能な巻取式真空蒸着方法及び装置を提供する。
【解決手段】 本発明の巻取式真空蒸着方法及び装置は、フィルム基材が成膜ドラムに密着する近傍の成膜ドラムの内部、および、前記フィルム基材が成膜ドラムから剥離する近傍の成膜ドラム内部に、それぞれ永久磁石を設置するとともに、前記成膜ドラムの対極をチャンバー外壁とし、前記成膜ドラムに40KHz〜100KHzの高周波電位を印加することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ディスプレイ用途であり、透過率と色味に優れたガスバリアフィルムとその作製方法、装置を提供。
【解決手段】基材フィルム2と、その上に設けられた、ケイ素、酸素及び窒素を含有するガスバリア膜3とを少なくとも有するガスバリアフィルム1であって、ガスバリア膜は厚さ方向に、酸素含有量が窒素含有量よりも多い領域Aと、窒素含有量が酸素含有量よりも多い領域Bと、領域Aと領域Bとの間にあって領域Aの酸素含有量が徐々に減少するとともに領域Bに向かって窒素含有量が徐々に増加する領域Cとを有するように構成する。ガスバリア膜の作製装置は、基材フィルムの供給装置と、ガスバリア膜を形成した後の基材フィルムの巻取装置と、供給装置と巻取装置との間の複数の成膜室を少なくとも有する。 (もっと読む)


【課題】金属表面に耐食性や耐磨耗性を有する硬質被膜を効率的に形成できるスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】クロムを主成分とし、けい素を1〜50原子%含有し、ジルコニウム、ハフニウム、ニオブ、タンタル、タングステンおよびモリブデンから成る群より選択される少なくとも1種の元素を0.1〜30原子%含有する原料粉末を調製する工程と、得られた原料粉末を真空度が5×10−2Pa以下の真空中で脱ガス処理を実施する工程と、脱ガス処理した原料粉末に20〜35MPaの加圧力を作用せしめ温度1100℃〜1500℃に加熱して焼結し板状の合金ターゲット材を調製する工程とを備えることにより、相対密度が95.0%以上であり、欠陥の最大幅が0.1mm以下であり、ビッカース硬度(Hv0.05)が1000以上の硬質被膜を形成するスパッタリングターゲットを製造する。 (もっと読む)


【課題】所定の有機膜と無機膜とを有する機能性フィルムの製造において、目的とする性能を有する機能性フィルムを安定して製造することを可能にする。
【解決手段】基板の表面に有機膜を成膜し、その後、真空成膜法によって無機膜を成膜し、かつ、真空装置内で有機膜に接触する部材は、機能発現部分以外に接触する構成とすることにより、前記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】所定の有機膜と無機膜とを有する機能性フィルムの製造において、目的とする性能を有する機能性フィルムを安定して製造することを可能にする。
【解決手段】基板の表面にポリマーを主成分とする有機膜を成膜し、その後、真空成膜法によって無機膜を成膜し、かつ、前記無機膜の成膜を終了するまでは、真空中において前記有機膜の表面に接触することなく、前記有機膜を成膜した基板の処理を行なうことにより、前記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】バリア性能が向上したバリア性積層体を提供する。
【解決手段】少なくとも1層の有機層と、少なくとも1層の無機層とを有し、前記有機層は、重合性化合物と、1分子中に2以上の重合開始能を有する部位を有する光重合開始剤を含む組成物を光照射して硬化させてなることを特徴とするバリア性積層体。 (もっと読む)


【課題】基板に樹脂フィルムを用いた場合、この樹脂フィルムに変質、変形などが生じることなく、無機膜を熱処理することができる熱処理方法、およびバリアフィルムを提供する。
【解決手段】本発明の熱処理方法は、樹脂フィルム製の基板の表面に無機膜が形成されたシート材に、無機膜に加熱処理を行う工程を有し、無機膜の加熱処理に、無機膜よりも基板の方が吸収されにくい波長の赤外線を用いる。 (もっと読む)


【課題】基板に樹脂フィルムを用いた場合、この樹脂フィルムに変質、変形などが生じることなく、無機膜を熱処理することができる熱処理方法、成膜装置およびバリアフィルムを提供する。
【解決手段】本発明の熱処理方法は、樹脂フィルム製の基板の表面に無機膜が形成されたシート材の無機膜に熱処理を行う工程を有し、無機膜に熱処理を行う際に、樹脂フィルム製の基板をガラス転移温度未満の温度に保持する。 (もっと読む)


ガスタービンエンジンのホットセクション部品のために、CMAS浸透耐性を向上させる方法。例示的な方法は、ボンドコート被覆基材上に、イットリア安定化ジルコニアのような遮熱材料からなる内部遮熱層を設けることによって、基材を遮熱コーティング系で被覆することを含む。希土類アルミン酸塩を含む最上層は、内側層の少なくとも一部分を覆うように堆積される。堆積プロセス及び被覆厚さは、被覆すべき部品の種類に応じて調整できる。 (もっと読む)


【課題】生産安定性が高く、緻密でガスバリア性の高いガスバリア膜を成膜できるイオンプレーティング用蒸発源材料の原料粉末等を提供する。より具体的には、イオンプレーティング法に適したイオンプレーティング用蒸発源材料の原料粉末、イオンプレーティング用蒸発源材料及びその製造方法、ガスバリア性シート及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】平均粒径が5μm以下の窒化ケイ素又は酸窒化ケイ素100重量部に対して、平均粒径が5μm以下の導電性材料を5重量部以上100重量部以下含有する原料粉末により、上記課題を解決する。導電性材料が、導電性を有する、金属酸化物、金属窒化物、及び金属酸窒化物から選ばれる少なくとも1つであることが好ましい。本発明のイオンプレーティング用蒸発源材料は、上記の原料粉末を焼結又は造粒させて平均粒径が2mm以上の塊状粒子又は塊状物に加工したものである。 (もっと読む)


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