【要 約】
【課題】膜質の良い有機薄膜を成膜可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】基板ホルダ４０は基板７が水平にされた水平状態から起こされ、基板ホルダ４０に保持された基板７は、基板ホルダ４０と一緒に起立し、水平面から傾いた起立状態にされる。放出装置５０は起立状態の基板７と対面し、該基板７に有機材料の蒸気を噴出して、基板７表面に有機薄膜が成長する。有機薄膜が成長する間、基板７を起立状態にしておけば、有機薄膜に塵等の不純物が混入しない。 （もっと読む）

【課題】スパッタリング成膜において、磁性体を用いた場合のように、プラズマを制御するカソードマグネットとの間に磁場干渉が生じることのない基板押え機構を実現する。
【解決手段】フレーム６内の空間部５にガス供給手段７から加圧ガスを導入し、フィルム４を変形させて基板３に密着させる。そして、フィルム４とマスク２の間に基板３を挟持して、スパッタリングターゲット１に対向させ、スパッタリング成膜を行う。ガス供給手段７は、ガス導入口７ａ及び排気口７ｂを有し、空間部５内の加圧ガスの圧力を任意に調整することが可能である。加圧ガスとして、スパッタリングのプロセスガスを使用することで、フィルム４から加圧ガスが漏出した場合のプラズマの不安定化を防ぐ。 （もっと読む）

マスク支持体１０はフレーム要素２０と弾性要素３０を含んでいる。弾性要素３０はフレーム要素２０に固定されている。弾性要素３０は全体的に可撓性のある材料で形成されている部材である。それは、アーム部３７の自由端からおよそ９０°の角度で伸びる第１締結突起３８を有するレバーあるいはアーム部３７を含んでいる。マスクアセンブリ４０は薄層マスク４１と、例えば薄い金属ホイルで製造されたものと、接続要素４２を含んでいる。接続要素４２は弾性要素３０の締結突起３８と締結するための締結部４３を含んでいる。マスク４１は、マスク支持体１０から楽に取り外されるのみならず、マスク支持体１０に取り付け／延伸させてもよい。
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【課題】クロストークを回避して多元共蒸着における各蒸着源の蒸着レートを正確に測定する。
【解決手段】蒸着材料２を蒸発させる容器１に、基板方向に向いた開口部３ａを有する分岐配管部３と、基板方向に向かない開口部４ａを有する分岐配管部４を接続する。非蒸着時に、基板方向に向かない開口部４ａから放出される蒸着材料の蒸着レートを測定し、容器１の加熱機構にフィードバックさせ、蒸着レートを安定化する。蒸着時には、基板方向に向いた開口部３ａから蒸気を放出させる。蒸着レートを測定するときの開口部４ａを基板方向と異なる方向に向かせることでクロストークを回避する。 （もっと読む）

【課題】装置構成を大規模にすることなく、タクトタイムを短縮可能な有機ＥＬ製造技術を提供する。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ製造装置１は、第１〜第４の搬送室２ａ〜２ｄ間を真空中で基板７を順次搬送するように構成された搬送ユニット２と、搬送ユニット２の各搬送室２ａ〜２ｄに接続された第１〜第８の成膜ユニット１０〜８０とを備え、各成膜ユニット１０〜８０は、マスク付きパレット９を収容するマスクストック室１１〜８１と、基板７とマスク付きパレット９のマスク８とを位置合わせする位置合わせ室１５〜８５と、マスク付きパレット９に装着された基板７上に成膜を行う成膜室１３〜８３とを有する。マスクストック室１４〜８４と成膜室１３〜８３とが同一の成膜搬送ラインＭ上に配置される一方で、アライメント室１５〜８５が、成膜搬送ラインＭから分岐した退避位置に配置される。 （もっと読む）

本発明は、基板をコーティングするための方法、その方法を実行するためのコーティング装置、およびコーティング装置のための取扱いモジュールに関する。取扱いモジュールは、コーティングすべき基板のための可動サポート（１３）であって、少なくとも２つの位置の間を移動させることができる可動サポート（１３）を備えている。さらに、マスクを基板に取り付けるため、およびマスクを基板から取り外すための少なくともいずれかのためのマスク配置デバイス（４１５）、およびマスクを基板に対して整列させるためのマスク整列デバイスが提供され、マスク整列デバイスは、サポートと共に移動できるように可動サポート（１３）に取り付けられる。別法としては、取扱いモジュールは、真空チャンバと、コーティングすべき基板のための可動サポート（１３）であって、真空チャンバ内に配置され、かつ、少なくとも２つの位置の間で回転できる可動サポート（１３）とを備えており、マスクを基板に取り付けるため、およびマスクを基板から取り外すための少なくともいずれかのためのマスク配置デバイス（４１５）が、取扱いモジュールの真空チャンバ内に配置されている。
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【課題】直接粒子ビーム蒸着によって得られる液晶用配向フィルムを提供する。
【解決手段】本発明は、直接粒子ビーム蒸着法により液晶（ＬＣ）または反応性メソゲン（ＲＭ）を配向するための配向フィルムを調製するための方法と、前記方法により得られる配向フィルムと、ＬＣまたはＲＭを配向するための特に薄層の形態での前記配向フィルムの使用と、前記配向フィルムおよび１つ以上のＬＣおよび／またはＲＭ層を含む多重層と、光学的、電子的および電気光学的用途における配向フィルムおよび多重層の使用とに関する。 （もっと読む）

【課題】蒸発源アセンブリ及びそれを用いた蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸発源アセンブリ３０を構成する外部ハウジング５０はガイド８０ａを有していて、蒸発源アセンブリを構成する蒸発源６０、７０が有するノズル部の貫通ホール２２２、３２２を所定の角度で傾けさせることによって、それぞれの蒸発源から吐出される蒸着物質が被蒸着基板の同一の領域に蒸着されるように誘導し、均一な粗さと均一な厚さを有する薄膜を形成できるようにする。 （もっと読む）

【課題】マスクを用いた堆積を含む方法によって基材上に材料の組み合わせライブラリを構築する方法に関し、ライブラリに含まれる個々の材料の組成範囲を任意に設定できる命令セット生成方法を提供する。
【解決手段】マスクを用いた堆積を含む方法によって基材上に材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの生成方法であって、（ａ）コンピューターが、材料を構成する３つの成分群の堆積速度を入力等されるステップ、（ｂ）コンピューターが、３つの成分群のそれぞれを頂点とする三角組成図３０において、ライブラリを構築する組成範囲を、三角組成図における所定形状３１の位置及び大きさとして入力されるステップ、及び（ｃ）コンピューターが、三角組成図における所定形状の位置及び大きさ等に基づいて、マスクの移動速度に関する命令セットを生成するステップ、を含む。 （もっと読む）

【課題】複数の材料によって構成されている材料ライブラリを効率的に構築する方法を提供する。
【解決手段】２又はそれよりも多くの材料ライブラリ（１５及び１６、又は１５’及び１６’）を、堆積を含む方法によって１つの基材（１２、１３）上に構築することを含み、材料ライブラリのうちの少なくとも２つの材料ライブラリに含まれる材料が、少なくとも１つの共通成分を含有しており、且つ共通成分のうちの少なくとも１つ（成分Ａ）を、この共通成分（成分Ａ）を含有する材料を含む少なくとも２つの材料ライブラリ（１５及び１６、又は１５’及び１６’）のために、１つの堆積工程（第１の堆積工程）で基材上に堆積させる、材料ライブラリの構築方法（（ｂ）及び（ｃ））とする。 （もっと読む）

【課題】製造装置を大型化することなく基板に対して表示パネルを合理的に配置しつつも、画素内において蒸着膜の必要膜厚が確保された実効画素領域を広く確保することができ、これにより低コストで表示特性の良好な表示装置を得ることが可能な製造方法を提供する。
【解決手段】開口パターン３ａを備えた蒸着マスク３と長尺状のライン蒸着源１とを用いて基板５の画素ａ上に蒸着パターンを形成する表示装置の製造方法において、基板５上における表示パネル領域Ｐの配置方向に係わりなく、ライン蒸着源１の長手方向に開口パターン３ａおよび画素ａの長辺方向をそれぞれ一致させるように蒸着マスク３と基板５とを配置する。蒸着源５に対して基板５と蒸着マスク３とを相対的に移動させることにより、蒸着パターンを各画素ａに形成する。 （もっと読む）

本発明は、マイクロ電子工学の基板およびデバイスに、薄膜を選択的に堆積するための自己整合金属マスクアセンブリに関し、上記自己整合金属マスクアセンブリは、ａ）メタライズされるパターンを規定する穴または領域と、センタリング穴とを有する上方金属マスクと、ｂ）メタライズされる基板またはデバイスと同じサイズおよび形状の穴と、上記アセンブリをセンタリングするためのさらなる補助穴とを有する下方金属マスクと、ｃ）上記のパーツをセンタリングするために、上記補助穴と対応するロッドを備えるピースまたはベースとを備え、完全なアセンブリを固定し維持するための上方ピースまたはフレームは、ネジおよびわずかな圧力によって整合される。上記アセンブリは続いて、蒸着機のサンプルホルダに固定することができる。
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【課題】基板表面に異物があった場合でも陰極と陽極とのショートを防止可能な成膜装置および有機ＥＬ装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】成膜装置１００は、蒸着装置１１０と蒸着装置１２０とを備えた成膜装置であって、蒸着装置１１０と蒸着装置１２０とのそれぞれは、蒸着槽２０，６０と、蒸着槽２０，６０内に配置され基板３２を保持する保持部３０，７０と、蒸着槽２０，６０内に保持部３０，７０に対向して配置され膜材料を蒸発させる蒸着源４０，４２，９０と、を備え、蒸着装置１１０における保持部３０の基板保持面３０ａと蒸着源４０，４２との距離は、蒸着装置１２０における保持部７０の基板保持面７０ａと蒸着源９０との距離よりも短いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、蒸着膜厚を長時間にわたって高精度に制御することができる仕組みを提供する。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ素子の製造装置は、有機ＥＬ素子の素子基板に有機材料からなる蒸着材料を蒸着させるとともに、素子基板に蒸着される蒸着材料の膜厚を監視する膜厚監視部２３を備える。膜厚監視部２３は、光透過性を有する測定用板２６と、この膜厚監視部２３の一部に蒸着材料を付着させるための蒸着窓３０を有する防着板２７と、測定用板２６を回転移動可能に支持する駆動機構２８と、蒸着窓３０を通して測定用板２６に付着した蒸着膜厚を光学的に測定する反射率測定器２９とを有する。 （もっと読む）

【課題】スパッタリング装置及びスパッタリング装置を使用した平板表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】チャンバ内部に設置されて基板を支持する基板支持部と、基板上に蒸着されるターゲット物質を含むターゲット部と、基板のエッジを取り囲むように基板と所定間隔離隔されて配置されるマスク部と、マスク部を支持し、アース電位に接続されるシールド部と、マスク部とシールド部とを結合させ、絶縁性物質を含む絶縁部材と、スパッタリング装置の非放電時に、マスク部の短絡如何を検出できるマスク短絡検出手段と、を備えるスパッタリング装置である。 （もっと読む）

【課題】仕事関数の低い材料を迅速に有機層と陰極との界面近傍に挿入する。
【解決手段】ＰＭ１は、処理容器１００と、有機材料を加熱して気化させる蒸着装置２００と、第１の蒸着源に連通し、第１の蒸着源にて気化された有機材料を不活性ガスにより運搬させる第１のガス供給路１５０と、処理容器外に設けられ、陰極を形成する第１の金属よりも仕事関数が小さい第２の金属を加熱して気化させるディスペンサＤｓと、ディスペンサに連通し、ディスペンサにて気化された第２の金属を不活性ガスにより運搬させる第２のガス供給路３２０と、各ガス供給路１５０、３２０に連通し、気化された第２の金属を気化された有機材料に混入させて処理容器内の被処理体に向けて吹き出させる吹き出し機構１２０ｆと、気化された有機材料に混入させる前記気化された第２の金属の割合を制御する制御器５０とを有する。 （もっと読む）

【課題】蒸発源群の配置によって、材料放出口の温度制御を容易に行えるようにして、安定した成膜ができるようにすること。
【解決手段】蒸着装置１は、蒸発材料の設定温度が異なる３つ以上の材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃを一列に配列された蒸発源群７を複数備え、複数の蒸発源群は、各蒸発源群の隣り合う材料放出口８ｃ（８ａ）の設定温度が同じ設定温度であるように配設され、蒸発源群と被蒸着部材との少なくとも一方が他方に対して移動可能になっている。 （もっと読む）

【課題】所望の形状を有する膜を、生産性良く形成する成膜方法を提供することを目的とする。また、高精細な発光装置を、生産性良く作製することができる発光装置の作製方法を提供する。特に、大型の基板を用いた場合であっても、高精細な発光装置を作製する方法を提供する。
【解決手段】被成膜基板と、被成膜基板よりも小さい面積のシャドーマスクを用い、被成膜基板とシャドーマスクとの位置合わせを行い、被成膜基板の少なくとも一部に蒸着材料を成膜する工程を複数回行う。蒸着源としては、光吸収層と蒸着材料を有する支持基板を用いることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ホスト材料とドーパントとからなる膜層のドーパントの混合比率を、コストを抑制しつつ測定する。
【解決手段】第１の基板１１を、周縁部を除いて開放した状態で基準面２５上を第１の方向線５１に沿って搬送する第１の搬送手段３１と、第１の搬送手段３１と隣り合う搬送手段であって、第２の基板１２を周縁部を除いて開放した状態で基準面２５上を第１の方向線５１に沿って搬送する第２の搬送手段３２と、基準面２５上において第１の方向線５１と直行する第２の方向線５２を中心とする所定の幅を有する帯状の領域４０と第１の基板１１とが重なり得る第１の領域４１及び帯状の領域４０と第２の基板１２とが重なり得る第２の領域４２、の双方の領域に第２の蒸着材料を同時に飛翔させることが可能な第２の蒸着源６２と、第１の蒸着材料を第１の領域４１にのみ飛翔させることが可能な第１の蒸着源６１と、を備えることを特徴とする蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】蒸着源が固定されて駆動軸により上下に移動される棚が、カウンターウェイトが装着された滑車と締結することによって、蒸着源及び棚の全体の重さが顕著に低減し、自重が減少した棚を往復移動させるための駆動装置の駆動力も小容量化になることができるとともに、カウンターウェイトによって軽減された棚の重さが望ましくは“０（ｚｅｒｏ）”になるようにして棚の正確な位置移動が可能になり、落下をあらかじめ除去できるようになった蒸着源用移動装置を提供する。
【解決手段】蒸着機が搭載／固定された棚と、この棚が選択的に垂直往復移動されることができるように連動設置された駆動軸と、棚が一端部と締結されて、カウンターウェイトが他端部に装着された重さの軽減部材と、が具備されてなされることを特徴とする蒸着源用移動装置を提供する。 （もっと読む）