【課題】再作動の時の追突、自動時の間違って入力されたデータによる棚の追突、及び受動時の作業者の間違いによる棚の追突などがあらかじめ防止されることができるとともに、駆動部による作動から離脱して落下または一方向への慣性力によって棚が超過移動されて隣接した棚と追突されるダメージが防止できるようになった蒸着源用追突防止装置を提供する。
【解決手段】駆動源と、駆動源によって動作するように設置された駆動軸と、駆動軸に垂直往復移動するように設置された１以上の棚と、この棚に固定された蒸着機が含まれてなる駆動部と、隣接した棚の距離が検知されるように設置されたセンサーが含まれてなる検知部と、検知部のセンサーから収集されたデータと前もって設定されたデータを比べて駆動部の作動を制御する制御部と、が具備されてなることを特徴とする蒸着源用追突防止装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】蒸着源が固定されて駆動軸により上下に移動される棚が、カウンターウェイトが装着された滑車と締結することによって、蒸着源及び棚の全体の重さが顕著に低減し、自重が減少した棚を往復移動させるための駆動装置の駆動力も小容量化になることができるとともに、カウンターウェイトによって軽減された棚の重さが望ましくは“０（ｚｅｒｏ）”になるようにして棚の正確な位置移動が可能になり、落下をあらかじめ除去できるようになった蒸着源用移動装置を提供する。
【解決手段】蒸着機が搭載／固定された棚と、この棚が選択的に垂直往復移動されることができるように連動設置された駆動軸と、棚が一端部と締結されて、カウンターウェイトが他端部に装着された重さの軽減部材と、が具備されてなされることを特徴とする蒸着源用移動装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】基材を保持するとともに、基材の平坦面の露出領域の面積を任意に変更することが可能な保持治具を提供する。
【解決手段】保持治具５０は、透明基材１０ａ下面の反射領域１０ａ以外の領域をマスクするマスク部材５３Ａ、５３Ｂを有している。このマスク部材５３Ａ、５３Ｂはフレーム５１に対して着脱可能であるため、反射膜１０ｂを形成した後にマスク部材５３Ａ、５３Ｂをフレーム５１から取り外すことで、透明基材１０ａを別の保持治具などに載せ替えることなく、接着領域１０ｃを露出させることが可能となる。これにより、作業効率を向上させるとともに、透明基材１０ａへの薄膜形成工程の工数を削減することができ、ミラー１０の製造コストを削減することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】透光性の宝飾石の輝きを損なうことなく宝飾石を保持することができ、さらに、宝飾石のパビリオンから光を入射させて、これまでにない輝きを発揮することのできる装飾品を提供すること。
【解決手段】装飾品１において、基台３０にはパビリオン１１１の一部のみが挿入される固定穴３１が形成され、固定穴３１の縁部分３１０と、宝飾石１０のパビリオン１１１において縁部分３１０と対向する部分とが接着剤４０により固定されており、パビリオン１１１の一部のみに接着剤４０が塗布されている。この状態において、パビリオン１１１の大部分が開放状態にあるので、光源装置５からパビリオン１１１に光を入射させてクラウン１１２側から出射させる。 （もっと読む）

【課題】移動度の高い酸化亜鉛半導体膜を提供することを目的とする。
【解決手段】成膜室１２４内で、対向して配置され、少なくともその一方が高純度の亜鉛からなる一組のターゲットＡ，Ｂに、ＤＣ電圧を印加し、両ターゲットＡ，Ｂ間に発生させたプラズマによりスパッタリングする。スパッタリングされたターゲットＡ，ＢのＺｎ粒子を、酸素ガスと反応させつつ、対向するターゲットの軸方向からずらされて配置された基板上に堆積し、該基板表面にＺｎＯ膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】必要量の有機材料を正確に加熱蒸発させる。
【解決手段】蒸気発生装置２０ａ〜２０ｃを放出装置５０に接続させて蒸気を供給する際には、他の蒸気発生装置２０ａ〜２０ｃは放出装置５０から遮断するから、蒸気が混ざらない。成膜後は、蒸気発生装置２０ａ〜２０ｃを放出装置５０から遮断しながら排気槽に接続する。排気槽内には冷却手段８５ａ〜８５ｃが配置され、排気槽に排出された蒸気は冷却手段８５ａ〜８５ｃに析出する。析出した蒸着材料３９は回収して再利用が可能である。 （もっと読む）

【課題】蒸発材料の使用効率を向上させるとともに、蒸発材料の経時劣化を防止可能な有機材料蒸着技術を提供する。
【解決手段】本発明の蒸気放出装置は、複数の放出口１２が面内に配列されたシャワープレート型の放出部１１と、放出部１１内に設けられ有機蒸発材料蒸気５０を当該放出部１１内に供給する供給管１４とを有する。供給管１４は、パイプ状に形成された本体部１４ａを有し、当該本体部１４ａに設けられた噴出口１５から放出部１１の底部１１ａに対して有機蒸発材料蒸気５０を吹き付けるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】正確な量の蒸着材料を供給する。
【解決手段】振動手段４６が、回転軸３５、接続管３３、又は収容部３２に接続されており、回転軸３５を回転させる時に、回転軸３５、接続管３３、又は収容部３２を振動させれば、収容部３２の開口に集中する蒸着材料３９が振動で散らばり、回転軸３５外周に形成された凸条３６と凸条３６の間の溝が詰まらない。従って、予め求めた量の回転量回転軸３５を回転させると、必要量の蒸着材料３９が正確に供給される。 （もっと読む）

【課題】仕事関数の低い材料を迅速に有機層と陰極との界面近傍に挿入する。
【解決手段】スパッタ装置Ｓｐは、銀Ａｇからなるターゲット材３０５と、処理容器外に設けられ、銀Ａｇよりも仕事関数が小さいセシウムＣｓを加熱して蒸発させるディスペンサＤｓと、ディスペンサＤｓに連通し、蒸発させたセシウムＣｓの蒸気を、アルゴンガスをキャリアガスとして処理容器内まで搬送させる第１のガス供給管３４５と、処理容器内に高周波電力を供給する高周波電源３６０とを有する。制御器５０は、高周波電力のエネルギーを用いてアルゴンガスを励起させてプラズマを生成し、生成されたプラズマによりターゲット材３０５から叩き出された銀Ａｇ原子をメタル電極３０として成膜する際、ディスペンサＤｓの温度を制御することにより成膜中のメタル電極３０に混入させるセシウムＣｓの割合を制御する。 （もっと読む）

【課題】膜質の良い有機薄膜を効率良く成膜する。
【解決手段】第一、第二の薄膜を形成するために、第一、第二の蒸着装置１０ａ、１０ｂの蒸発室２１内部に配置する有機材料３９ａ、３９ｂの必要量を予め求めておく。求めた必要量の有機材料３９ａ、３９ｂを蒸発室２１に配置して蒸気を発生させ、基板８１を放出装置５０の放出口５５上に配置してから、蒸気を放出口５５から放出させる。蒸発室２１に配置された有機材料３９ａ、３９ｂが消費されると、予め決められた膜厚の第一、第二の薄膜が基板８１表面上に形成される。 （もっと読む）

【課題】必要量の有機材料を正確に加熱して膜厚制御をする。
【解決手段】回転軸３５は中心軸３７と、中心軸３７の周囲に螺旋状に設けられた突条３６とを有しており、突条３６はＳｉ₃Ｎ₄を主成分とするセラミック材料で構成されている。突条３６は機械的に研磨され、平滑になっているから、有機材料３９は堰き止められずに、突条３６間の溝を通過して、タンク３１から蒸発室２１に移動する。回転軸３５の先端はセラミック材料で構成され、誘導加熱されないから、回転軸３５に接触する有機材料３９は蒸発しない。 （もっと読む）

【課題】必要量の有機材料を正確に加熱蒸発させる。
【解決手段】導入管３１の蒸発室２１内部に挿入された部分（導入部４４）の外周は、銅を主成分とする低抵抗材料で構成されている。回転軸３５の下端は導入部４４の内側に位置する。蒸発室２１内部に電磁場が形成されると、高温体２２は誘導加熱されるが、導入管３１と、回転軸３５は誘導加熱されない。従って、導入管３１の貫通孔３３内を移動する有機材料３９は溶融や蒸発せず、有機材料３９が詰らないから、高温体２２に所望量の有機材料３９を正確に配置することができる。 （もっと読む）

【課題】必要量の有機材料を正確に加熱蒸発させる。
【解決手段】蒸気発生装置２２は内側突部２２ａが回転軸３５の先端と対面するように配置されており、回転軸３５の先端は内側突部２２ａが放出する輻射熱で有機材料３９の蒸発温度以上に加熱されるから、有機材料３９の蒸気が回転軸３５の先端に析出しない。落下孔４８は内側突部２２ａと外周突部２２ｂの間の供給部２９上に位置するから、落下孔４８から落下する有機材料３９は外周突部２２ｂで堰き止められ、供給部２９から零れ落ちない。 （もっと読む）

【課題】比較的大面積を有し微細な孔を含む薄い金属板が損傷してしまうことを防止することができる梱包用部材を提供することを目的とする。
【解決手段】梱包用部材３０は、孔１５が形成されている複数の有孔領域１３を含む金属板１０を梱包するための部材である。梱包用部材は、金属板と対向して金属板の両側に配置されるようになる平板状の一対の平板部３２と、一対の平板部の間に設けられ、金属板の板面に沿った外方に配置されるようになるフレーム部３６と、金属板の有孔領域以外の領域と各平板部との間に配置されるようになる中間支持部３４と、を備える。中間支持部は、金属板の梱包時に金属板の有孔領域以外の領域を押圧する。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークの検出精度が高いマスクを容易に製造できるマスクの製造方法及びマスクを提供すること。
【解決手段】単結晶シリコン基板で形成されたアライメント基板５の面方位によりエッチングレートが異なるエッチャントを用いたウェットエッチングにより、アライメント基板５の一面を粗面化する工程と、アライメント基板５に、被成膜基板との位置合わせに用いるマスクマークを形成してアライメントチップ３を製造する工程と、被成膜基板に形成される薄膜パターンの少なくとも一部の形状に対応する開口部が形成されたマスクチップを製造する工程と、アライメントチップ及びマスクチップを、支持基板上に固定する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】成膜元素が半導体デバイスの反成膜源側端面に回り込むことを確実に防止する半導体デバイスの成膜用ホルダを提供する。
【解決手段】半導体デバイスの被成膜面を露出させ、半導体デバイスを保持するホルダ本体と、半導体デバイスの被成膜面を露出させた状態で、半導体デバイス及びホルダ本体の間に形成される間隙を半導体デバイスの被成膜源側から遮蔽する遮蔽体１７とを備えた。これにより、成膜源３から間隙に向かう成膜元素１６は、遮蔽体１７に進行を遮断される。 （もっと読む）

【課題】設計目標通りの位置精度および寸法精度で薄膜に開口パターンが設けられた蒸着マスクを得ることが可能な蒸着マスクの作製方法を提供する
【解決手段】設計値に基づいて薄膜１０に開口パターン１０ａが設けられたマスク薄膜１を形成する。開口パターン１０ａの寸法および位置を検知する。検知した値と設計値とのずれ量だけ、レーザ光ｈｒ照射によって開口パターン１０ａ周縁の薄膜１０部分を除去する。 （もっと読む）

【課題】真空蒸着室内への有機物の着膜を防止すること。
【解決手段】有機ＥＬディスプレイパネル製造装置は、真空蒸着室９内で蒸着源８から発した有機材料を有機ＥＬディスプレイパネルに用いられる基板３に蒸着させるようになっている。そして、有機ＥＬディスプレイパネル製造装置は、基板３を保持する基板トレイ１と、基板トレイ１の蒸着源の側に突設された防着部材２と、を備えている。有機ＥＬディスプレイパネル製造時における真空蒸着室への着膜を著しく低減することができる。 （もっと読む）

エネルギー粒子ビーム（４２）で基板（４４）を処理するための方法及び装置である。基板（４４）上の特徴（６６）は、エネルギー粒子ビーム（４２）に対して配向され、基板（４４）はエネルギー粒子ビーム（４２）を通して走査される。ビーム（４２）の長寸法（４９）に対して特徴（６６）を再配向するために、基板（４４）は、エネルギー粒子ビーム（４２）への露光から遮蔽される間に、対称な方位軸（４５）の周りで周期的に割り出される。
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【課題】成膜中の基板の熱変形による蒸着パターンの位置ズレやエッジのボケを防ぐ。
【解決手段】複数の蒸発源２を有する蒸着源に対して基板５を矢印で示すように相対移動させながら成膜する蒸着装置において、基板５の中央領域の成膜を行う蒸発源２ａを、端部領域の成膜を行う蒸発源２ｂより下流側に配置する。基板５の端部領域の成膜を先行させ、基板５の中央領域の成膜を最後に行うことで、成膜中の基板端部における熱変形を低減する。 （もっと読む）