【課題】
処理中の異常放電の発生を抑制して試料の異物あるいは汚染を低減できるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】
半導体デバイスの作成に、ハロゲン系のガスによるプラズマプロセスを用いたプラズマ処理装置において、処理室内の壁等のプラズマが接触する壁の表面に溶射膜を付け、この溶射膜の材料に導体を混入することにより、溶射膜を導体としたことを特徴とするプラズマエッチング装置。 （もっと読む）

【課題】粒径が小さく高表面積であり、かつ均一で付着性の良好な触媒の皮膜を有する基板を提供する。
【解決手段】金属水酸化物、炭酸塩、または硝酸塩などの組成物の、１０マクロメートルより大である大きな粒子を直接基板上に溶射し、それにより５マイクロメートルより小、より具体的には３μmより小の小さな粒子皮膜を基板上に形成することにより基板の表面を処理して得られた金属酸化物表面を有する基板。 （もっと読む）

【課題】不要な溶射被膜を形成することなく、摩耗し易い部位であるボア上死点近傍の耐摩耗性を向上させることのできるシリンダブロックとその製造方法を提供する。
【解決手段】シリンダボアの上死点近傍は、シリンダボアの他の部位に比して相対的に大きなボア内径を有しており、上死点近傍に形成される溶射被膜は、シリンダボアの他の部位の溶射被膜に比して相対的に大きな厚みを有しており、溶射被膜Ｗ４の表面で形成されるボア内径がシリンダボアＣ１の全長に亘って一定となっているシリンダブロックＣである。 （もっと読む）

【課題】溶射ガンに簡易な構成の飛散防止体を付加し、ボア下端側から吸引するだけの極めて簡易な装置により、ボアの全長に亘って密着強度の高い溶射皮膜を形成することのできる溶射装置および溶射方法を提供する。
【解決手段】溶射装置１０は、その下端側の側面において溶射粒子またはエアを噴射するための吐出口が開設されてなる溶射ガン６をシリンダボア内で移動させる移動制御手段と、該溶射ガンを回転させる回転制御手段と、この吐出口よりも溶射ガン６の上端側に設けられ、シリンダボアＣ１面に溶射した際の反射粒子や溶射ヒュームがシリンダボアＣ１の上端側の未溶射面へ飛散するのを防止する飛散防止体７と、シリンダボアＣ１の下端側に載置されて溶射時の反射粒子や溶射ヒュームを吸引するための吸引ダクト８を備えている。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性と被削性の双方に優れたアーク溶射被膜およびその形成方法と、かかる被膜形成に使用されるアーク溶射用線材、該アーク溶射被膜がそのボア内面に形成されたシリンダブロックを提供する。
【解決手段】アーク溶射被膜は、主成分であるＦｅと、０．０１〜０．１５重量％のＣと、少なくとも０．１２重量％のＮと、を含有するものであり、アーク溶射用線材（ワイヤ）は、主成分であるＦｅと、０．０１〜０．２重量％のＣと、０．２５〜１．７重量％のＳｉと、を含有するものであり、他の実施の形態としては、少なくとも１１重量％のＣｒをさらに含有するものである。 （もっと読む）

【課題】目的とする高耐食性の肉盛層を容易に形成することができるごみ焼却プラント用の高耐食ボイラ肉盛管の製造方法を提供する。
【解決手段】炭素鋼の鋼管を母管として用い、溶接時の母管による成分の希釈分を見込んで希釈成分を予め多く含有するように成分調整した肉盛材料を母管の外周面に肉盛溶接して、母管の外面に溶接前の肉盛材料の組成と異なった、目的とする組成の耐食性の肉盛層をプロテクタ層として形成する。 （もっと読む）

プラズマチャンバ材料としてのイットリウム酸化物の寿命を延長する２つの方法が提供される。１つの方法は、２層の未焼結体を同時焼結することによってプラズマ処理チャンバの３層部品を作成することを備え、１つの層はセラミックパーティクルを備え、第２の層はイットリアパーティクルを備える。２つの層は、焼結処理の間、密に接触する。好ましい実施形態では、３層部品は、イットリアの外層と、ＹＡＧの中間層と、アルミナの第２の外層とを備える。随意的に、ディスは、焼結処理の間、共にプレスされる。３層部品は、低い多孔性を有する。好ましくは、イットリアの外層、ＹＡＧの中間層及びアルミナの第２の外層のいずれかの多孔性は、３％未満である。第２の方法は、部品の全てのイットリア表面上の封止剤をブラッシングして部品に室温で５０ｃＰ未満の粘度の液体嫌気性封止剤を適用することと、部品をウエットクリーニングすることと、ウエットクリーニングした部品を窒素環境における少なくとも１５０℃の温度で２時間以上修復させることと、第１のコートを適用するために用いた手順を繰り返して修復した基板に第２の封止剤コート適用すること、によって、イットリアプラズマ溶射を被覆した部品を封止する。 （もっと読む）

回転対称性の中空体を被覆するための方法において被覆材料が分配装置を用い被覆すべき表面上へ塗布され、この際、表面の完全な被覆に至るまで反復されて以下のごとく進行するステップが実施される：
− 中空体に対し、分配装置を相対的に直線的に移動させること
− 中空体に対し、定義された角度分だけ分配装置を相対的に回転させること （もっと読む）

【課題】半導体デバイス製造装置や液晶デバイス製造装置などのプラズマエロージョンを防止する目的において有用な溶射皮膜の形成に適した溶射用粉末、その溶射用粉末を用いた溶射皮膜の形成方法、及びその溶射用粉末から形成される溶射皮膜を備えた耐プラズマ性部材を提供する。
【解決手段】本発明の溶射用粉末は、原子番号６０〜７０のいずれかの希土類元素の酸化物からなる造粒−焼結粒子を含有する。造粒−焼結粒子を構成する一次粒子の平均粒子径は２〜１０μｍ、造粒−焼結粒子の圧壊強度は７〜５０ＭＰａである。溶射用粉末の真比重に対する嵩比重の比は０．１０〜０．３０が好ましい。造粒−焼結粒子中の細孔の直径についての頻度分布は１μｍ以上に極大を有することが好ましい。溶射用粉末は、好ましくはプラズマ溶射で溶射皮膜を形成する用途で用いられる。本発明の耐プラズマ性部材１１は、上記溶射用粉末を溶射して形成される溶射皮膜１３を備える。 （もっと読む）

【課題】室温での硬度（室温硬度）、耐摩耗性、耐熱衝撃性（耐熱サイクル特性）に加え、耐熱性の指標である高温下での硬度（高温硬度）に優れる溶射用Ｎｉ基自溶合金粉末およびその製造方法と、自溶合金溶射皮膜を提供する。
【解決手段】Ｃｒ、ＣおよびＣｏを含むＮｉ基自溶合金からなり、粒径５μｍ以下のクロムカーバイドが、粒子内部に均一に析出している溶射用Ｎｉ基自溶合金粉末であり、３０．０質量％〜６５．０質量％のＣｒと、１．０質量％〜４．５質量％のＣと、５．０質量％〜２０．０質量％のＣｏと、０．５質量％〜４．０質量％のＳｉと、０．５質量％〜４．０質量％のＢと、０．５質量％〜４．０質量％のＭｏと、選択的に０〜５．０質量％のＦｅとを含み、残部がＮｉおよび不可避的不純物である。さらに、４５μｍ〜１０６μｍの粒度範囲に整粒される。 （もっと読む）

【課題】被膜合金層の剥離を抑止し防食効果の優れたＬＮＧ気化器用伝熱管を提供する。
【解決手段】Ａｌ合金製伝熱管の外表面にＡｌ合金からなる被膜を形成されたオープンラック式のＬＮＧ気化器用伝熱管であって、前記被膜断面を解析したとき、前記伝熱管のＡｌ母材とＡｌ合金被膜の界面の粗さが、平均粗さＲａ：１５〜５０μｍ、最大粗さＲｍａｘ：１５０〜５００μｍであり、かつ、１ｍｍ×１ｍｍの視野範囲において間隔１０μｍの格子点法により各格子点にて前記界面の密着または非密着を判定し、非密着点の３つ隣りの格子点までに非密着点が存在する場合、２つの非密着点間の密着している点も非密着点とする非密着点評価法によって求めた非密着界面率の１０視野の平均値が１５％未満であるＬＮＧ気化器用伝熱管。 （もっと読む）

【課題】 成膜装置、プレクリーニング装置等の内部に配置される装置構成部品に厚膜状に付着した物質の剥離、 脱落を長時間に亘って抑制して汚染源のパーティクルを発生させず、装置のメンテナンスに際しては、付着物を容易に除去することができる装置構成部品を提供すること。
【解決手段】 プラズマ・プレクリーニング装置１０内に配置される石英ホルダー１を基材とし、ブラスト処理した表面粗さＲａが約１０μｍの面にＡｌ溶射膜を形成して表面粗さＲａを１４〜５０μｍとし、更にその面にプラズマ溶射法によるＡｌ₂ Ｏ₃ 溶射膜を形成して表面粗さＲａを１０〜５０μｍとする。このような溶射石英ホルダー１Ａは付着物が厚膜化しても容易には剥離せず、メンテナンス時にはアルカリ水溶液によってＡｌ溶射膜を溶解することにより、基材の石英ホルダー１から付着物をＡｌ₂ Ｏ₃ 溶射膜と共に除去して再使用することができる。 （もっと読む）

本発明は、貴金属製ガラス供給システムの酸化を減少させる方法であって、溶射プロセスにより、貴金属製ガラス供給システムの外面上に接触して耐火性酸化物を含む材料を十分な量だけ施し、それによって、貴金属製ガラス供給システムの酸化を減少させる工程を有してなるが、ただし、この方法は、アルミナを含むフレーム溶射耐火性酸化物を含まないものである方法に関する。本発明はまた、貴金属製ガラス供給システムであって、貴金属製ガラス供給システムの少なくとも１つの構成部材が貴金属を含み、貴金属が、貴金属の外面上の耐火性酸化物を含む材料と接触し、それにより被覆されており、耐火性酸化物は本発明の方法により施される、貴金属製ガラス供給システムを含む。本発明はまた、その少なくとも１つの構成部材が貴金属を含んでいる貴金属製ガラス供給システムであって、貴金属が、貴金属の外面上のジルコニアを含む材料と接触し、それにより被覆されている貴金属製ガラス供給システムを提供する。本発明はさらに、本発明の方法により製造された製品を含む。
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【解決手段】カーボン基材上に、（ｉ）Ｙｂ₂Ｏ₃からなる中間被覆層が形成され、更にこの中間被覆層上に、上層被覆層として、
（ｖ）Ｙ元素と３Ｂ族元素との複合酸化物を含む被覆層、
（ｖｉ）Ｙ元素とランタノイド元素と３Ｂ族元素との複合酸化物を含む被覆層、
（ｖｉｉ）ランタノイド元素、Ａｌ元素又はＹ元素の酸化物被覆層、又は
（ｖｉｉｉ）Ｙ酸化物とランタノイド酸化物の混合被覆層
が形成されてなることを特徴とする耐熱性被覆部材。
【効果】本発明の耐熱性被覆部材は、耐熱性、耐蝕性、非反応性が良好で、熱サイクルによる皮膜の剥がれが起りにくく、耐久性の優れた、真空、不活性雰囲気又は還元雰囲気下での金属又はセラミックスを焼結又は熱処理するのに有効に用いられるものである。 （もっと読む）

ターボ機械は、ロータ及びステータを有しており、流れを導く部分に、少なくとも部分的に、触媒のコーティングを有している。コーティング７，７’は、遷移金属の少なくとも一つの酸化物、または複数の遷移金属からなる化合物の酸化物を有する。これらの遷移金属は、ＩＢ族、特にＣｕ，Ａｇ，Ａｇ；ＩＩＢ族、特にＺｎ，Ｃｄ、Ｈｇ；ＩＩＩＢ族、特にＳｃ，Ｙ；ＩＶＢ族、特にＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ；ＶＢ族、特にＶ，Ｎｂ，Ｔａ；ＶＩＢ族、特にＣｒ，Ｍｏ，Ｗ；ＶＩＩＢ族、特にＭｎ，Ｔｃ，Ｒｅ；および／または、ＶＩＩＩＢ族、特に、Ｆｅ，Ｒｕ，Ｏｓ，Ｃｏ，Ｒｈ，Ｉｒ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ；の中から選択される元素である。 （もっと読む）

本発明は、１０００℃以下の温度で固体微粒子浸食にさらされるオイルおよびガス探査および生産、精油所並びに石油化学プロセス用途での金属表面の保護方法に関する。本方法は、かかる用途で金属表面に耐熱浸食性サーメット内張りまたはインサートを提供する工程であって、サーメット内張りまたはインサートがａ）約３０〜約９５容量％のセラミック相と、ｂ）金属バインダー相とを含み、サーメット内張りまたはインサートが少なくとも５．０のＨＥＡＴ耐浸食性指数および少なくとも約７．０ＭＰａ・ｍ^１／２のＫ_１Ｃ破壊靱性を有する工程を含む。金属表面はまた、少なくとも５．０のＨＥＡＴ耐浸食性指数を有する耐熱浸食性サーメットコーティングを提供されてもよい。本方法によって提供される利点には、とりわけ、プロセス装置のベース金属への傑出した熱膨張適合性だけでなく、傑出した破壊靱性と組み合わせて極高温耐浸食性および耐腐食性が含まれる。本方法は、プロセス容器、移送ラインおよびプロセス配管、熱交換器、サイクロン、滑り弁ゲートおよびガイド、フィードノズル、曝気ノズル、サーモウェル、弁体、内部ライザー、偏向シールド、サンドスクリーン、並びにオイルサンド採掘設備を保護する特定の用途に利用される。 （もっと読む）

【課題】貫通気孔や開気孔を通して、海水成分、酸、アルカリなどが内部へ浸入し、基材を腐食させて皮膜を剥離が起きやすいとい溶射皮膜の欠点を解消できる技術を提案する。
【解決手段】溶射皮膜の開気孔部が、１０〜４５原子％の水素を含有するアモルファス状炭素水素固形物によって充填され、かつ該溶射皮膜表面には０．５〜８０μｍの膜厚のアモルファス状炭素水素固形物膜が被覆されてなる耐食性溶射皮膜と、高水素含有アモルファス状炭素水素固形物によって、該溶射皮膜の気孔を封孔し、その皮膜表面への膜形成を行う。 （もっと読む）

【課題】 Cl_２のような腐食性の高いガスを使用して、電子デバイスを製造する場合、通常のY₂O₃溶射膜では、腐食性ガス曝露後の密着力を維持できず、膜剥離が起こる。
【解決手段】0.2〜5.0％のSiO_２を含有するY₂O₃原料を用いてY₂O₃溶射膜を形成することによって、プラズマ耐性を維持したまま腐食性の高いガスに対して腐食しにくく、且つ、密着性も良いY₂O₃ 溶射膜が得られる。 （もっと読む）

【解決手段】ハロゲン系ガスプラズマ雰囲気に曝される耐プラズマ部材であって、基材のプラズマに曝される部分の少なくとも一部に、イットリウム金属の溶射膜、又はイットリウム金属と酸化イットリウム及び／又はフッ化イットリウムとの混合溶射膜が形成されて、導電性が付与されたことを特徴とする導電性耐プラズマ部材。
【効果】本発明の耐食性の導電性耐プラズマ部材は、導電性があり、ハロゲン系腐食性ガス、あるいは、そのプラズマに対しての耐食性を向上させ、半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置に用いた際のプラズマエッチングによるパーティクル汚染を抑制することができる。 （もっと読む）

本発明は、硫化水素を硫黄および水素から製造する反応容器に関し、この場合この反応容器は、部分的または全体的に、反応混合物、その化合物、または元素に対して安定性の材料からなり、この場合この材料は、高い温度の場合でも安定性を維持する。 （もっと読む）