【課題】トップコンタクト型のＦＥＴと同様のコンタクト抵抗を実現し、かつボトムコンタクト型のＦＥＴなみの微細構造の作製を可能とする。
【解決手段】ゲート電極１１と、前記ゲート電極１１上に形成されたゲート絶縁膜１２と、前記ゲート絶縁膜１２上に形成された半導体層１３と、前記ゲート絶縁膜１２上で前記半導体層１３の両端に形成されたソース・ドレイン電極１４、１５とを有し、前記各ソース・ドレイン電極１４、１５は、前記半導体層１３側に延長形成されたひさし部１６を有し、該ひさし部１６の前記ゲート絶縁膜１２側に向いている下面が前記半導体層１３の少なくとも一部に接続されている。 （もっと読む）

【課題】Ｐ型ＦＥＴとＮ型ＦＥＴとを半導体基板に形成された半導体装置において、ゲート電極をフルシリサイド化して、Ｐ型ＦＥＴの移動度を高め、Ｎ型ＦＥＴのオン電流を増やすことを可能とする。
【解決手段】半導体基板１１にＮ型ＦＥＴとＰ型ＦＥＴとが形成され、前記Ｎ型ＦＥＴのゲート電極１４ＮとＰ型ＦＥＴのゲート電極１４Ｐとがフルシリサイド化されている半導体装置１において、前記Ｐ型ＦＥＴのゲート電極１４Ｐは、ゲート長方向の断面形状が前記半導体基板１１表面より上方に行くに従いゲート長が短くなる形状に形成されていて、前記Ｎ型ＦＥＴのゲート電極１４Ｎは、ゲート長方向の断面形状が前記半導体基板１１表面より上方に行くに従いゲート長が長くなる形状に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導電型が異なるＭＩＳトランジスタにそれぞれ異なる応力を生じさせる半導体装置をより簡便に製造できるようにする。
【解決手段】半導体基板１１のｎ型トランジスタ領域Ａの上に、サイドウォール２４ａ及びｎ型ゲート電極１６を覆うように応力歪み生成膜２７を形成する。その後、半導体基板１１を加熱することにより、応力歪み生成膜２７によりｎ型トランジスタ領域Ａの活性領域１１ａに応力歪みを与える。続いて、ｎ型トランジスタ領域Ａにおいては応力歪み生成膜２７をマスクとし、ｐ型トランジスタ領域Ｂにおいてはｐ型ゲート電極１７及びサイドウォール２４ｂをマスクとして、活性領域１１ｂの上部をエッチングすることにより、活性領域１１ｂにおけるサイドウォール２４ｂの外側方にリセス部１４ａを形成する。その後、形成されたリセス部１４ａに、シリコンゲルマニウムからなる半導体層２８Ａを形成する。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークの検出が可能であるとともに、チャージアップしにくいハードマスクおよびこのハードマスクを用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体デバイスが形成された半導体基板上に被加工膜１０２を形成し、この被加工膜上にハードマスク１１０を形成してから前記被加工膜をパターニングする工程を含む半導体装置の製造方法において、前記ハードマスクとして、前記被加工膜上に順次積層された導電性カーボン膜１０３及び透光性カーボン膜からなる透明積層膜１０４を用いることを特徴とする半導体装置の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】
互いにパターン（平面形状）の異なる２種類以上の薄膜を積層した積層構造を形成する工程にて、１回のフォトリソグラフィ工程で夫々の薄膜形状を画定すること。
【解決手段】
基板１上に２層の薄膜３，２を順次成膜し、次に薄膜２の上面に形成された第１マスクパターン４を用いて薄膜２のエッチングを行い、第１の薄膜パターン６を形成する。その後、第１マスクパターン４を残した状態で第１マスクパターン４及び薄膜２の上に、有機材料のオフセット印刷、インクジェット印刷、又はディスペンサノズルによる追加塗布で第２マスクパターン５を形成する。最後に、薄膜３を第１マスクパターン４及び第２マスクパターン５を用いて第２の薄膜パターン７に成形し、続いて２つのマスクパターン４，５を除去する。以上の工程により、フォトリソグラフィが第１マスクパターン４を形成する１回のみに制限されるも、基板１の主面に所望の積層構造が形成される。 （もっと読む）

【課題】半導体装置のゲート加工用のマスク層に関する新たな提案を行う。
【解決手段】基板上方に第１乃至第３のマスク層を堆積し、第３のマスク層を加工し、第２のマスク層を加工し、Ｌ／Ｓ部内及びＬ／Ｓ部外の第２のマスク層をスリミングし、Ｌ／Ｓ部内及びＬ／Ｓ部外の第３のマスク層を剥離し、Ｌ／Ｓ部内及びＬ／Ｓ部外の第２のマスク層の側壁にスペーサを形成し、Ｌ／Ｓ部外の第２のマスク層がレジストで覆われた状態でＬ／Ｓ部内の第２のマスク層をエッチングすることで、Ｌ／Ｓ部外の第２のマスク層を残存させつつＬ／Ｓ部内の第２のマスク層を除去し、Ｌ／Ｓ部内及びＬ／Ｓ部外のスペーサとＬ／Ｓ部外の第２のマスク層とをマスクとして、第１のマスク層をエッチングにより加工し、当該エッチングにより、Ｌ／Ｓ部内及びＬ／Ｓ部外のスペーサとＬ／Ｓ部外の第２のマスク層とが薄膜化されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ゲート形成溝内に埋め込んで形成される金属系ゲート電極を有するトランジスタ群と抵抗とを有する半導体装置で、抵抗値のばらつきをなくした抵抗形成を可能とする。
【解決手段】半導体基板１１に、第１トランジスタ群と、これよりも低い動作電圧の第２トランジスタ群と、抵抗３とを備え、第１トランジスタ群は、半導体基板１１上に第１ゲート絶縁膜１３を介してシリコン系材料層７１で形成された第１ゲート電極１５を有し、第２トランジスタ群は、半導体基板１１上の第１層間絶縁膜３８に形成したゲート形成溝４２内に第２ゲート絶縁膜４３を介して金属系ゲート材料を埋め込むように形成された第２ゲート電極４７、４８を有し、抵抗３は、半導体基板１１上に絶縁膜６１を介してシリコン系材料層７１と同一層で形成された抵抗本体部６２と、この上部に形成された抵抗保護層６３を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異なる動作電圧のトランジスタ群を同一半導体基板に形成し、高電圧動作のトランジスタ群のゲート電極の低抵抗化を可能にし、低動作電圧のトランジスタ群の金属ゲート電極を形成するための導電膜の残査発生をなくすことを可能にする。
【解決手段】半導体基板１１に、高動作電圧の第１トランジスタ群と、低動作電圧の第２トランジスタ群とを有し、第１トランジスタ群は、半導体基板１１上に第１ゲート絶縁膜１３、第１ゲート電極１５、シリサイド層とが順に積層され、第２トランジスタ群は、半導体基板１１上のダミーゲート１８を除去してなるゲート形成溝４２内に、第２ゲート絶縁膜と第２ゲート電極を有する半導体装置の製造方法において、第１ゲート電極１５をダミーゲート電極１６よりも低く形成してから上記シリサイド層を形成し、それらを被覆する層間絶縁膜を形成して表面を平坦化してから、ゲート形成溝を形成する。 （もっと読む）

低コンタクト抵抗を示すＭＯＳ構造（１００，２００）と、このようなＭＯＳ構造の形成方法が提供される。一方法では、半導体基板（１０６）が提供され、前記半導体基板上にゲートスタック（１４６）が形成される。前記半導体基板内に、前記ゲートスタックと整合された不純物ドープ領域（１１６）が形成される。前記不純物ドープ領域から延びる隣接するコンタクトフィン（１８６）が形成され、前記コンタクトフィン上に金属シリサイド層（１２６）が形成される。前記コンタクトフィンの少なくとも１つに存在する前記金属シリサイド層の少なくとも一部に対するコンタクト（１２２）が形成される。
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【課題】セルサイズを縮小することのできるＳＲＡＭを提供する。
【解決手段】駆動ＭＩＳＦＥＴおよび転送ＭＩＳＦＥＴの上部には、縦型ＭＩＳＦＥＴ
が形成されている。縦型ＭＩＳＦＥＴは、下部半導体層（ドレイン）５７、中間半導体層
５８、上部半導体層（ソース）５９を積層した四角柱状の積層体（Ｐ_１、Ｐ_２）と、この積層体（Ｐ_１、Ｐ_２）の側壁にゲート絶縁膜６３を介して形成されたゲート電極６６とによって構成されている。縦型ＭＩＳＦＥＴは、下部半導体層５７がドレインを構成し、中間半導体層５８が基板（チャネル領域）を構成し、上部半導体層５９がソースを構成している。下部半導体層５７、中間半導体層５８、上部半導体層５９の夫々は、シリコン膜で構成され、下部半導体層５７および上部半導体層５９はｐ型にドープされ、ｐ型シリコン膜で構成される。 （もっと読む）

【課題】ＰＭＯＳトランジスタのソース・ドレイン領域にＳｉＧｅ層が形成されており、当該ＳｉＧｅ層の上面がシリサイド化されている構成において、ソース・ドレイン領域と金属シリサイドとの接触抵抗の低減を図ることができる半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体装置は、半導体基板１、ＳｉＧｅ層７、高濃度Ｇｅ層８および金属シリサイド層９を備えている。ＳｉＧｅ層７は、ＰＭＯＳトランジスタ１００のソース・ドレイン領域となる半導体基板の表面内に形成される。高濃度Ｇｅ層８は、ＳｉＧｅ層上面に形成され、ＳｉＧｅ層７内におけるＧｅ濃度よりも高いＧｅ濃度を有する。金属シリサイド層９は、高濃度Ｇｅ層８上に形成される。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＯＳがＦＵＳＩゲートを含む場合、異なるシリサイド相を有する第１および第２の制御電極が形成され、ゲート形成後の熱工程等により各ゲートの異なったシリサイド相中のＮｉ等の金属はゲート電極間を拡散しない半導体装置を提供する。
【解決手段】第１の制御電極１７の金属半導体化合物から、第２の制御電極１８の金属半導体化合物に、金属が拡散するのを防止するブロック領域２３を形成する。ブロック領域２３は、第１および第２の制御電極１７、１８の間の境界面に形成され、金属半導体化合物がそれから形成される金属中での溶解度より、金属半導体化合物中での溶解度が低いドーパント元素を注入することにより形成する。これにより、金属拡散が防止され、第１および第２の制御電極１７、１８の金属半導体化合物の構成が、例えば更なるデバイスの処理中の熱工程中に、実質的に変化せずに保たれる。 （もっと読む）

【課題】相変化メモリ素子を提供する。
【解決手段】基板上に一方向に延伸しているワードラインと、ワードライン上に位置する第１半導体パターンと、第１半導体パターン上に位置するノード電極と、第１半導体パターンとノード電極との間に形成されたショットキーダイオードと、ノード電極上に位置する相変化抵抗体と、を備える半導体メモリ素子。 （もっと読む）

【課題】表面にエクステンション層を形成したフィンを有し、十分に寄生抵抗を低減することのできる半導体装置、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様に係る半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板上に形成されたフィンと、ゲート絶縁膜を介して前記フィンの両側面を挟むように形成されたゲート電極と、前記ゲート電極の両側の前記フィンの側面に形成され、前記半導体基板の表面と鋭角に対向する面を有するエクステンション層と、前記半導体基板の表面と鋭角に対向する前記面の表面に形成されたシリサイド層と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＣプロセスによるコンタクト形成において、ゲート電極とコンタクトとのショートを生じにくくし、歩留まりの向上を図ること。
【解決手段】シリコン基板１に直交する面内において、ゲート電極３，４，５のうちゲートマスク６，７に近い第２電極部（窒化タングステン）４及び第３電極部（タングステン）５をゲートマスク６，７よりも幅小となるようにし、ゲート電極３，４，５とセルコンタクトプラグ１５との間のショートマージンを増加させた。 （もっと読む）

【課題】ビアホールの形成に関連する歩留まりの低下を抑制することができる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁性基板１上にＧａＮ層２及びｎ型ＡｌＧａＮ層３を形成し、その後、ゲート電極４ｇ、ソース電極４ｓ及びドレイン電極４ｄを形成する。次に、ソース電極４ｓ、ＧａＮ層２及びｎ型ＡｌＧａＮ層３に、少なくとも絶縁性基板１の表面まで到達する開口部６を形成する。次いで、開口部６内にＮｉ層８を形成する。その後、Ｎｉ層８をエッチングストッパとするドライエッチングを行うことにより、絶縁性基板１に、その裏面側からＮｉ層８まで到達するビアホール１ｓを形成する。そして、ビアホール１ｓ内から絶縁性基板１の裏面にわたってビア配線１６を形成する。 （もっと読む）

【課題】ゲート電極膜とコンタクトプラグとの接触を避け且つ距離の短縮が可能な半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板５と、半導体基板５の表面上に、ゲート絶縁膜１１、浮遊ゲート膜１３、ゲート間絶縁膜１５、及び、上側部に切欠き部１８が形成された制御ゲート膜１６が順次積層されたゲート電極膜と、制御ゲート膜１６の切欠き部１８に形成されたスペーサ２３と、ゲート電極膜、スペーサ２３及び半導体基板５の表面を覆うよう形成され、スペーサ２３と被エッチング性の異なる層間絶縁膜２７と、ゲート電極膜に隣接して、層間絶縁膜２７を貫通して形成されたコンタクトプラグ２９とを備える。 （もっと読む）

【課題】ゲート電極構造が異なるＮｃｈ絶縁ゲート型電界効果トランジスタとＰｃｈ絶縁ゲート型電界効果トランジスタのゲート電極形状を安定化させる。
【解決手段】半導体装置５０には、Ｎｃｈ ＭＩＳＦＥＴとＰｃｈ ＦＭＩＳＦＥＴが半導体基板１上に設けられる。半導体基板１上に、Ｎｃｈ ＭＩＳＦＥＴのソースとドレインの間にオーバラップしてゲート絶縁膜７、ゲート電極膜８、及び絶縁膜１０が積層形成される。半導体基板１上に、Ｐｃｈ ＭＩＳＦＥＴのソースとドレインの間にオーバラップしてゲート絶縁膜７、ゲート電極膜９、及び絶縁膜１０が積層形成される。ゲート電極膜９はゲート電極膜８よりもゲート電極膜同時加工時での補正膜厚分だけ薄く形成されている。 （もっと読む）

【課題】キャリア移動度を一層向上できる半導体装置を提供する。
【解決手段】この半導体装置は、ゲート３の側面とソース／ドレイン６のエクステンション領域６ａとを被覆する様に側面視断面Ｌ字状に形成されたサイドウォール５ｂと、ゲート３上およびソース／ドレイン６のコンタクト領域６ｂ上に形成されたシリサイド層７と、サイドウォール５ｂおよびシリサイド層７を被覆する様に形成されたストレスライナー膜８とを備え、ソース／ドレイン６のコンタクト領域６ｂが半導体基板１の半導体素材（Ｓｉ）よりも格子間隔の大きい半導体素材（ＳｉＧｅ）により形成され且つストレスライナー膜８が圧縮型であり、または、ソース／ドレイン６のコンタクト領域６ｂが半導体基板１の半導体素材（Ｓｉ）よりも格子間隔の小さい半導体素材（ＳｉＣ）により形成され且つストレスライナー膜８が引張型であるものである。 （もっと読む）

【課題】寄生容量が低く、かつ、熱処理による抵抗値の変動が小さい抵抗素子を有する半導体装置を得ることのできる技術を提供する。
【解決手段】スパッタリングターゲット材料としてタンタルを用い、スパッタリングガスとしてアルゴンと窒素との混合ガスを用いた反応性直流スパッタリング法により、窒化タンタル膜からなる厚さ２０ｎｍ、窒素濃度３０原子％未満の第１抵抗層５ａ、及び窒化タンタル膜からなる厚さ５ｎｍ、窒素濃度３０原子％以上の第２抵抗層５ｂを順次形成した後、第１及び第２抵抗層５ａ，５ｂを加工して抵抗素子Ｒ１を形成する。窒素濃度が３０原子％以上の上部領域を設けることにより、配線工程において熱負荷が与えられても抵抗素子Ｒ１の抵抗変動率を１％未満に抑えることができる。 （もっと読む）