【課題】 部品点数の増加を招くことなく確実に圧力を把握でき、リークディテクタの使用継続時間に関係なく、正確にリーク値を測定することに最適なリークディテクタ用の質量分析管を提供することにある。
【解決手段】 磁場偏向型の質量分析管２は、ガス導入口２２が開設された管体２１を有し、この管体内にフィラメント２３ａとグリッド２３ｂとを有してガス導入口から導入されたガス分子をイオン化するイオンソース２３と、ヘリウムイオンを捕集する第１のイオンコレクタ２５と、管体内でイオンソースとイオンコレクタとの間に介設され、このイオンソースから所定の加速電圧下で放出されたイオンをその質量数に応じて偏向させる磁場を形成してヘリウムイオンのみをイオンコレクタへと導くマグネット２４とを備え、イオンソースの周囲に第２のイオンコレクタ２７が付設され、この第２のイオンコレクタにイオンソースによりイオン化された正イオンを捕集する。 （もっと読む）

【課題】イオン透過率を改善することなく、サンプリング周期に関係のない、ガイド法及びピーク値記録法よりも高い感度を実現する質量分析装置及び質量分析法を提供する。
【解決手段】連続イオン源１２とイオン蓄積器１３を備える質量分析装置において、第１データ処理部１７は、イオン蓄積器１３から周期的に排出されたイオンパルスを含む時間的出現プロファイルを取得する。第２データ処理部１８はこれらの時間的出現プロファイルの中で、当該選択イオンのイオンパルスが出現する時間の強度のみを抽出して積分し、イオン強度を算出する。 （もっと読む）

【課題】必要なパラメータ（質量、エネルギー、価数）を有する複数の種の荷電粒子を選択し伝送する装置及び方法を提供する。
【解決手段】対称面１７０２から間隔をあけて２つの平行なイオンビーム１７０１を生成し、平面１７００間に設けられたモジュールに進入させる。これらのイオンビームは、対称面と平行な面において偏向され、永久磁石の列状体１７１６のフリンジ磁界を斜めに通過する。パラメータについて異なる値を有する必要な複数の種のイオンは、一連の焦点１７０８〜１７１１に至り、分解構造体（１７０７の開口及び１７０５−１７０６間の分解開口）を通って伝送され、ビームストッパ１７０４の両側において磁石の列状体を出る。２つのビームを実質的に間隔をあけて配置することによって、１）複数の種のイオンが伝送可能になり、２）軽量イオンであるプロトンの伝送を阻止し、３）従来の約２倍のビーム電流を提供することができる。 （もっと読む）

第１及び第２のソレノイドコイルとスチールヨークの配置を有するリボンビーム分析器である。第１及び第２のソレノイドコイルの各々は、イオンリボンビームが走行する空間を画定するほぼ「レーストラック」構造を有する。第１及び第２のソレノイドコイルはリボンビームの走行方向に沿って離して置かれる。第１及び第２のソレノイドコイルの各々は、広いリボンビームの質量分解能を付与するために均一の磁場を生成し、イオン源から生成されるイオンの所望の像を生成する。
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質量弁別のための分析装置を開示する。分析装置は、気体試料を保持するための試料チャンバと、試料チャンバから試料気体を受け取るように構成された分析チャンバと、分析チャンバ内で試料気体から発生したイオン種を弁別するように構成された質量弁別器と、試料チャンバを分析チャンバから分離する壁とを含み、壁は、破断しそれによって試料チャンバから分析チャンバに試料気体を放出するように制御可能な破断ゾーンを含む。１実施形態では、破断ゾーンは、電流または機械的力を加えると破断するように適応される。壁はミクロ機械加工することができる。質量弁別の方法も開示する。 （もっと読む）

本発明は、ガスサンプル中の特定の分子量を有する物質の総積算濃度を測定するためのイオンゲージ１０に関し、イオンゲージ１０は、イオン化源１の近傍のイオン化領域と、イオン化された分子の流れＩを生成する加速器２，３，４と、流れを中断して前記範囲に入る分子量を有するイオンをイオン化された分子から分離する質量フィルタ８と、ガスサンプル中に存在するそのようなイオンの総積算濃度を表す信号を生成する検出器７とを備える。本発明はさらにリソグラフィ装置とガスサンプル中の所定範囲内に入る分子量を有する物質の総積算濃度を測定する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】低下した検出感度を簡単にもとに戻すことができるヘリウムリークディテクタを提供すること。
【解決手段】加速スリット対向壁１４の一部の面Ｓ１や中間隔壁１３の一部の面Ｓ２にカーボンが厚く付着した場合、分析管１０の内部を密閉する容器２０から容器部分２０ａを取り外す。そして、中間隔壁１３を中心として左右反対になるように、容器部分２０ａを回転させる。そして、そのまま容器部分２０ａを取り付ける。 （もっと読む）

【課題】人為的ミスを生じることなく校正を短時間に正確に行うことができるイオン注入装置用の質量分析システムとその校正方法を提供する。
【解決手段】ビーム中のイオン種の質量を測定する質量分析器１０と、２種以上の既知の不活性ガスからなる校正用ガス１１が充填された校正用ガスボンベ１２ａと、校正用ガスボンベからイオン注入装置のイオン源として校正用ガスを遮断可能に供給する校正ガスライン１３と、校正用ガスを用いて校正用ガスのイオンビーム２を発生させて質量分析器１０の校正を行う校正処理装置１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出感度の低下を抑制し、測定制度の高いヘリウムリークディテクタを提供すること。
【解決手段】Ｃ_ｍＨ_ｎイオンなどのＨｅイオンより重たいイオンが照射される位置に補正電極１８を設ける。補正電極１８は、中間隔壁１３などの分析管１０の内部とは絶縁されている。補正電極１８は電源１１１に接続されている。電源１１１は、補正電極１８に印加する電圧の電圧値を可変にできる。電源１１１は、分析管１０の内部に付着したカーボンが偏向軌道Ａに及ぼす静電力を相殺するように補正電極１８に電圧（たとえば、−７０〜０Ｖ）を印加する。これにより、Ｈｅイオンの偏向軌道Ａの歪を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単であり、磁石の小型・軽量化を図ることができ、広い範囲に均一磁場領域を発生させることができ、ビーム厚さ方向寸法の大きいイオンビームにも対応できる質量分離電磁石を提供する。
【解決手段】本発明の質量分離電磁石１７における偏向用コイル２０は、イオンビーム１の長方形断面の長手方向に配置された複数のコイル２１，２２，２３からなる。各コイルは、湾曲形状を描くイオンビーム軌道の内側に配置された内側コイル部２０ａと、イオンビーム軌道の外側に配置された外側コイル部２０ｂとからなる。導入位置Ａと導出位置Ｂとの間の途中位置における内側コイル部２０ａと外側コイル部２０ｂの間隔は、導入位置Ａ及び導出位置Ｂにおける間隔よりも広い。 （もっと読む）

【課題】ヘリウムを含む複数のキャリアガスによるリーク検査を作業性良く行うことができるリークディテクタの提供。
【解決手段】ヘリウムガスと水素ガスとの混合ガスが充填された校正用標準リーク６を装着して校正動作を行うことにより、ヘリウムガスおよび水素ガスの各検出感度をいっぺんに取得することができる。取得された各検出感度は記憶部７２に記憶される。そして、いずれのキャリアガスでリーク検査を行うかが操作部７１により指示されると、指示されたキャリアガスが検出できるように分析管５の加速電圧が設定され、指示されたキャリアガスの検出感度を用いてリーク量が算出される。その結果、キャリアガスの異なるリーク検査を切り替えて行う場合に、リーク検査作業時間の短縮を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】周回軌道を回る間に追いつき、追い越しによって混在した異なる質量のイオンを分離して検出できるようにする。
【解決手段】周回軌道Ｐを離れたイオンを、一対の平板状の磁極７の間に形成される均一磁場Ｂ中を通過させ、ローレンツ力によりイオンを質量に応じてその進行方向と直交する方向に偏向させる。この偏向によって一次元的に広がったイオンを検出するようにアレイ状の検出器６を配置する。これにより、イオンは質量に応じてその進行方向に空間的に（検出器６に到達する時間的に）分離されるとともに、進行方向に直交する方向にも空間的に分離される。このようにして、周回軌道Ｐを周回する間に混在した異なる質量のイオンも確実に分離して検出できるから、高い質量分解能での分析を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 コイルの渡り部の張り出し距離を小さくして分析電磁石の小型化および低消費電力化を可能にし、ひいてはイオン注入装置の小型化および低消費電力化を可能にする。
【解決手段】 イオン注入装置を構成する分析電磁石２００は、第１内側コイル２０６、第２内側コイル２１２、三つの第１外側コイル２１８、三つの第２外側コイル２２４およびヨーク２３０を備えている。内側コイル２０６、２１２はそれぞれ鞍型のコイルであって、両者が協働してイオンビームをＸ方向に曲げる主磁界を発生させる。各外側コイル２１８、２２４は、それぞれ鞍型のコイルであって、主磁界の補正を行う副磁界を発生させる。各コイルは、積層絶縁体の外周面に、絶縁シートおよび導体シートを互いに重ね合わせたものを複数回巻いて積層し、その外周面に積層絶縁体を形成した扇型筒状の積層コイルに切欠き部を設けた構成をしている。 （もっと読む）

【課題】 コイルの渡り部の、ヨークからのビーム入出射方向への張り出し距離を小さくして分析電磁石の小型化を可能にすると共に、消費電力を小さくすることができる分析電磁石を提供する。
【解決手段】 この分析電磁石２００は、第１内側コイル２０６、第２内側コイル２１２、三つの第１外側コイル２１８、三つの第２外側コイル２２４およびヨーク２３０を備えている。内側コイル２０６、２１２はそれぞれ鞍型のコイルであって、両者が協働してイオンビームをＸ方向に曲げる主磁界を発生させる。各外側コイル２１８、２２４は、それぞれ鞍型のコイルであって、主磁界の補正を行う副磁界を発生させる。各コイルは、積層絶縁体の外周面に、絶縁シートおよび導体シートを互いに重ね合わせたものを複数回巻いて積層し、その外周面に積層絶縁体を形成した扇型筒状の積層コイルに切欠き部を設けた構成をしている。 （もっと読む）

【課題】 リボン状のイオンビームを曲げる分析電磁石であって、出射時のイオンビームの形態の乱れを小さく抑えることができる分析電磁石とその関連技術を提供する。
【解決手段】 この分析電磁石２００は、第１主コイル２０６、第２主コイル２１２、三つの第１副コイル２１８、三つの第２副コイル２２４、ヨーク２３０および一組の磁極２３２を備えている。両主コイル２０６、２１２は、それぞれ、リボン状のイオンビーム５０のＹ方向の一方側の半分以上ずつをカバーする本体部２０８、２１４を有する鞍型のコイルであって、互いに協働してイオンビーム５０をＸ方向に曲げる主磁界を発生させる。各副コイル２１８、２２４は、それぞれ、各主コイル２０６、２１２の外側に位置する本体部を有する鞍型のコイルであって、主磁界の補正を行う副磁界を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡単な構造で、リボン状のイオンビームの歪みを小さくすることができる分析電磁石を提供する。
【解決手段】 この分析電磁石４０は、平面形状が湾曲した磁極８０を、イオンビーム２の進行方向に沿って三つの部分磁極８１〜８３に分割している。そして、イオンビーム２の入口から数えて１番目および３番目の部分磁極８１および８３のギャップを、上記湾曲の外側に向けて広げている。２番目の部分磁極８２のギャップを、上記湾曲の内側に向けて広げている。 （もっと読む）

【課題】 縦断面が長円形、円形、楕円形の粒子ビームを、縦断面が横方向に長い長円形状、楕円形状の粒子ビームとなるように整形して、偏向走査装置に入射させることができるようにする。
【解決手段】 イオンビーム発生源１１から引き出されたイオンビームを、質量分析磁石装置１３、質量分析スリット１５、偏向走査装置１７の順に通過させ、被処理物に照射させるビーム処理装置において、質量分析磁石装置と偏向走査装置との間であって質量分析磁石装置を通過したイオンビームが横方向に最も集束する位置に前記質量分析スリットを設け、該質量分析スリットの上流側及び下流側に、それぞれ第１の直流四極電磁石１４及び第２の直流四極電磁石１６を設けた。 （もっと読む）

アナログ−デジタル変換器を備えるイオン検出器を備える飛行時間質量分析器が開示される。イオン検出器からの出力信号はデジタル化され、イオン到着イベントに関係する到着時間および強度値が決定される。２つの信号から決定された到着時間が同じ時間ウィンドウに含まれる場合、到着時間は重み付けを行って加算され、強度値は合成される。
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アナログ−デジタル変換器を備えるイオン検出器を備える飛行時間質量分析器を備えた質量分析計が開示される。アナログ−デジタル変換器からの信号がデジタル化され、イオンの到着時間および強度が決定される。各イオン到着イベントの到着時間Ｔ₀および強度Ｓ₀は、近接する時間ビンＴ_(n)、Ｔ_(n+1)に記憶された２つの別個の強度Ｓ_(n)、Ｓ_(n+1)に変換される。 （もっと読む）

【課題】プリカーサイオンの運動エネルギー分布および空間的な拡がりを、共に小さく抑えつつ、プリカーサイオンを減速させるタンデム型質量分析装置を実現する。
【解決手段】第１の質量分析装置１１で生成および抽出されるプリカーサイオンを、第１〜３の電極１２〜１４に対して、これら電極より形成される減速電場の方向と若干の角度を有する斜め方向に入射し、減速電場方向の速度が零となる第２の電極１３および第３の電極１４の中心位置にプリカーサイオンが到達するタイミングで、減速電場と直交する加速電場を印可し、開裂手段１７に入力させることとしているので、プリカーサイオンの運動エネルギー分布を小さなものとし、ひいては開裂手段１７によりプリカーサイオンから形成されるプロダクトイオンの運動エネルギー分布も小さなものとすることを実現させる。 （もっと読む）