【課題】振動プレートを支持するプレート支持部を容易に設置できるとともに、振動プレートが熱膨張した場合でも、プレート支持部が振動プレートの振動を妨げることのない振動浮上装置及び振動浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】振動プレートと、前記振動プレートを振動させる振動子と、前記振動プレートを支持するプレート支持部と、を備え、前記振動子により前記振動プレートを特定周波数で振動させることにより、前記振動プレート上の対象物を前記振動プレートの表面から浮上させる振動浮上装置であって、前記プレート支持部は、前記振動プレートの裏面と対向する部分にエアを噴出するエア噴出部を有しており、前記エア噴出部から噴出されたエアにより前記振動プレートが浮上した状態で支持される構成とする。 （もっと読む）

【課題】液浸領域の液体に接触する部材の汚染に起因する露光精度及び計測精度の劣化を防止できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置ＥＸＳは、投影光学系ＰＬの像面側に液体ＬＱの液浸領域ＡＲ２を形成し、投影光学系ＰＬと液浸領域ＡＲ２の液体ＬＱとを介して基板Ｐを露光するものであって、液浸領域ＡＲ２を形成するための液体ＬＱに接触する基板ステージＰＳＴの上面３１などに対して、光洗浄効果を有する所定の照射光Ｌｕを照射する光洗浄装置８０を備えている。 （もっと読む）

【課題】搬送物の状態に応じて使い分けることができるエンドエフェクタを、簡単な構造によって達成すること。
【解決手段】本発明のエンドエフェクタにおいて、アームの先端部に装着されるハンド基部と、ハンド基部に回転可能に設けられた複数の基板保持部材と、複数の基板保持部材を各回転軸線周りに回転させる回転駆動手段と、を備える。複数の基板保持部材のそれぞれは、回転軸線に沿って延在する細長部材を有し、回転軸線周りに細長部材を回転させることによって、細長部材の側面全体のうちの基板を保持する部分が変わるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】集塵穴から異物を効率良く回収することにより、異物の周囲への拡散をより確実に抑えることができる配線基板の非接触搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の非接触搬送装置は吸引部を備える。吸引部の吸引面３０１の外周部には、吸引面３０１を包囲するように突設された環状の凸部３０２が形成される。また、配線基板の基板主面上の異物を回収する集塵穴３０６が、吸引面３０１における凹部の外側領域かつ凸部３０２の内側領域に配設される。 （もっと読む）

【課題】ウェハを低圧状態で処理する場合であっても，ウェハに対するパーティクルの付着や損傷の発生を防止しながら，ウェハの温度を効率的に調節できる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。また，かかる基板処理装置及び基板処理方法に用いられる記録媒体を提供する。
【解決手段】基板Ｗを処理室３２に搬入し，載置台４０の上面に設けられた当接部材４２に基板Ｗの下面を当接させ，基板Ｗと載置台４０との間に隙間Ｇを形成した状態で，載置台４０に基板Ｗを載置させる。そして，処理室３２を所定の圧力にした状態で，載置台４０の温度を調節することにより，当接部材４２に支持された基板Ｗの温度を調節する。その後，処理室３２を所定の圧力より低い圧力の処理雰囲気にして，基板Ｗに所定の処理を施す。 （もっと読む）

【課題】搬送アームへの塗布膜の付着を抑制しつつ、基板を適切に処理する。
【解決手段】塗布現像処理システム１は、ウェハＷの中心位置を調節する位置調節装置４２と、ウェハＷ上にポリイミド溶液を塗布する塗布処理装置と、ウェハＷを搬送するウェハ搬送装置８０と、を有している。ウェハ搬送装置８０は、ウェハＷの径より大きい曲率半径でウェハＷの周縁部に沿って湾曲するアーム部と、アーム部から内側に突出し、ウェハＷの裏面を保持する保持部と、を備える。位置調節装置４２は、ウェハＷの裏面の中心部を保持するチャックと、チャックに保持されたウェハＷの中心位置を検出する位置検出部と、チャックを移動させる移動機構と、位置検出部による検出結果に基づいて、チャックに保持されたウェハＷの中心位置がアーム部の中心位置に合致するように移動機構を制御する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】載置面にダストが入り込むことを抑制することができるとともに、試料とのリンキング現象（試料が載置面の当接部位に密着して離れない現象）を抑えることが可能な載置用部材を提供する。
【解決手段】試料Ｗを載置するための、複数の凸部２を有する載置面３を備えた、セラミックスからなる載置用部材１であって、凸部２は、試料Ｗが当接する上面５と該上面５から下方に向かう側面６とを有し、該側面６は前記上面５よりも気孔率が小さい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、透明性に優れ、しかもアウトガスの発生が少ない新規な樹脂成形品及び樹脂成形品の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】素材Ｐとしてのポリプロピレン系樹脂組成物を、加熱筒２の上流側から間欠的に供給し、供給された素材Ｐを加熱筒２の軸心に沿って加熱筒２内に配されたスクリュー３を回転させることによって加熱筒２の上流側から下流側に順次輸送し、加熱筒２を加熱すると共に加熱筒２内を減圧することによって、素材Ｐからガス成分を遊離させつつ、ベント孔４を介して除去する。 （もっと読む）

【課題】タッチパネル電極層を下面にしてカラーフィルタ層を形成する基板を搬送し、複数の装置間での基板の受渡しをロボットハンドによって行う場合に、基板搬送面であるタッチパネル電極層の最表面である有機膜面の傷や汚れの発生を抑制するとともに、基板の受け渡しの位置ずれがなく安定して受け渡すことを可能とするリフトピンを備えた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、載置された基板を搬送するコロと、基板を前記コロの上方に持ち上げるリフトピンと、前記リフトピンが設けられた支持台を昇降する手段と、前記リフトピンの先端部に設けられ流体吹き出し孔と流体吸い込み孔を有する基板支持部と、前記流体吹き出し孔に流体を送り込む手段と、前記流体吸い込み孔から流体を吸い込む手段と、を備え、基板をリフトピン先端部に接することなく持ち上げることを特徴とする基板搬送装置。 （もっと読む）

【課題】 研削面に研削屑等のコンタミの付着を防止可能なウエーハ搬送機構を提供することである。
【解決手段】 ウエーハを保持して搬送するウエーハ搬送機構であって、アームと、該アームの先端に弾性支持手段を介して支持されたウエーハを吸引保持する保持パッドとを具備し、該保持パッドは、ウエーハの外周を吸引保持する環状の吸引保持部と、該環状の吸引保持部に囲繞され吸引保持されたウエーハとの間で空間を形成する凹部と、該凹部に液体を供給する液体供給部と、該凹部から液体を排出する該環状の吸引保持部に形成され排出部と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハに対する加工特性に影響することなく異物を好適に除去し得る半導体製造装置および半導体製造方法を提供する。
【解決手段】処理室１１内の圧力を調整可能な圧力調整手段１９と、処理室１１内に流量が調整された不活性ガスを流入させるガス供給源１５ｂおよびマスフローコントローラ１７ｂとが設けられている。そして、ドライエッチング後に、圧力調整手段１９により処理室１１内の排気圧力Ｐをドライエッチング時における処理室１１内の圧力よりも高くし、かつ、マスフローコントローラ１７ｂによりガス供給源１５ｂからの不活性ガスの流入ガス流量Ｑｂをドライエッチング時におけるエッチングガスの流入ガス流量Ｑａよりも高くすることで、処理室１１内の排気が促進される。 （もっと読む）

【課題】成膜時に半導体ウエハの内周部の温度分布をより均一化することができるとともに、可動部材上への膜の成長を防止することができる支持台を提供する。
【解決手段】成膜時にウエハ７０が載置される支持台であって、載置部材４０と可動部材３０を備えている。載置部材４０は、ウエハ７０が載置されるときに、ウエハ７０の裏面の外周部を支持する第１支持面４４を備えている。可動部材３０は、ウエハ７０を搬送するときに、ウエハ７０の裏面の外周部を支持する第２支持面３４を備えている。第２支持面３４は、第１支持面４４の内周端４４ａよりも外周側に位置している。可動部材３０は、上部位置と下部位置との間を移動可能である。第１支持面４４に支持されたウエハ７０を平面視したときに、可動部材３０全体がウエハ７０と重なる範囲内に位置する。 （もっと読む）

【課題】搬送中の物品に対して、塵埃が付着するのを防止するだけでなく、アンモニアや二酸化硫黄等の物質が付着することも防止できる物品搬送装置の提供。
【解決手段】移動体７には、上昇位置に位置する物品保持部９にて保持された物品５の周囲を覆う収納空間Ｋが形成され、その収納空間Ｋの下端部には、上昇位置と下降位置との間での物品保持部９の昇降を可能とする開口部２５が形成され、収納空間Ｋ内に空気浄化用フィルタを通して浄化空気を通風する浄化空気通風手段２６が備えられ、横軸心周りでの揺動により開口部２５を開口する開位置と開口部を閉塞する閉位置とに位置変更自在な開閉体２７と、物品保持部９を上昇位置と下降位置との間で昇降させる場合には、開閉体２７を開位置に位置させ、物品保持部９の上昇位置と下降位置との間での昇降が終了すると、開閉体２７を開位置から閉位置に位置変更させる開閉制御手段が備えられている。 （もっと読む）

【課題】ウエハの運搬時、容器中でウエハとウエハ保護シートとが接触によるウエハ保護シートの有機物のウエハへの転写を防止したウエハ保護シートを提供する。
【解決手段】ウエハ保護シート１は、厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたシートであり、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が６０〜１２０ｍｍであるウエハ保護シートにおいて、前記合成樹脂製シートが直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】被処理基板と支持基板の接合を適切に行いつつ、接合処理のスループットを向上させる。
【解決手段】接合装置７００は、受渡部７２０と、被処理ウェハＷ又は支持ウェハＳの表裏面を反転させる反転部７２１と、被処理ウェハＷと支持ウェハＳとを押圧して接合する接合部１０１と、被処理ウェハＷ、支持ウェハＳ、重合ウェハＴを搬送する搬送部７２２とを有している。搬送部７２２は、被処理ウェハＷ、支持ウェハＳ、重合ウェハＴの裏面を保持するＯリングを備えた第１の搬送アームと、被処理ウェハＷ、支持ウェハＳの表面の外周部を保持する第２の保持部材を備えた第２の搬送アーム７８１と、を有している。第２の保持部材は、被処理ウェハＷ、支持ウェハＳの表面の外周部を載置する載置部と、当該載置部から上方に延伸し、内側面が下側から上側に向かってテーパ状に拡大しているテーパ部と、を有している。 （もっと読む）

【課題】 フォトマスク用ガラス基板等の表面の品質及び収納ケースの内部に異物が存在するかを容易に検査することができる収納ケースを提供する。
【解決手段】 フォトマスク用基板１７を収納する収納ケース１１は、蓋１２とケース本体１３とから主に構成されている。蓋１２とケース本体１３とは金属材料からなる。蓋１２がケース本体１３に接合されると、収納ケース１１の内部に基板収容室５１が形成される。基板収容室５１を画成する内面５２，５３には黒色皮膜が形成されている。 （もっと読む）

【課題】微小パーティクルの基板への付着を極力防止することができる基板搬送方法を提供する。
【解決手段】基板処理システム１０は、内部空間Ｓ１を有するプロセスモジュール１２〜１７と、該プロセスモジュール１２〜１７に接続され且つ内部空間Ｓ２を有するトランスファモジュール１１と、内部空間Ｓ１及び内部空間Ｓ２を仕切る開閉自在なゲートバルブ３０とを備え、トランスファモジュール１１は、ウエハＷを把持してプロセスモジュール１２〜１７に対するウエハＷの搬出入を行う搬送アーム機構２１を内部空間Ｓ２に有し、ゲートバルブ３０の開弁動作中において、搬送アーム機構２１は把持するウエハＷをゲートバルブ３０と対向する対向位置から退避させる。 （もっと読む）

【課題】容器本体と蓋体との間を適切にシールし、気体等が容器本体内に侵入して基板を汚染させるのを抑制することができる基板収納容器を提供する。
【解決手段】成形材料により成形されて基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、この容器本体１の正面の開口正面部７に嵌め入れられる蓋体と、これら容器本体１の開口正面部７と蓋体との間をシールする圧縮変形可能なガスケットとを備えた基板収納容器であり、容器本体１の開口正面部７をその幅方向外側に張り出させてリム部とするとともに、このリム部の内面をガスケット用のシール面に形成し、容器本体１には、リム部方向に指向する補強リブ４・４Ａを形成し、容器本体１のリム部に対する補強リブ４・４Ａの対向近接部４ａの肉厚を減少させて容器本体１の成形時にリム部のシール面に凹みが生じるのを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 大型化によって重量が増加したドアに対して、ドア駆動時に発生するモーメントに抗し得る構造を有するロードポート装置を提供する。
【解決手段】 ロードポートの取付け面に対して垂直に突出して該取付け面に対して平行に延在する一対の長方形状のメインベースを連結シャフトにて結合し、該取付け面と面にて密着可能なＩ形プレートによりこの構造体を該取付け面に固定する。ドア駆動機構及び載置テーブル等の機構は、この構造体における一対のメインベースの内側に配置する。 （もっと読む）

【課題】枚葉移載と一括移載を切り替える際に、パーティクル発生を抑制することのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】複数の基板が収容される基板収容器と、複数の基板が積載されるボートと、複数の基板が積載されたボートを収容し前記ボート上の複数の基板を処理する処理室と、前記基板収容器と前記ボートとの間で基板の移載を行う基板移載装置とを備え、前記基板移載装置は、１枚の基板を移載するための枚葉移載用プレートを駆動する第１の駆動部と、複数枚の基板を移載するための一括移載用プレートを駆動する第２の駆動部とを備え、１枚の基板を移載する場合は、第１の駆動部により枚葉移載用プレートを駆動し、複数枚の基板を移載する場合は、第１の駆動部と第２の駆動部により、枚葉移載用プレートと一括移載用プレートを同期して駆動するように、基板処理装置を構成する。 （もっと読む）