【課題】基板上に耐圧が異なる容量素子を共通の工程で形成する際に、基板上に残渣を残さないようにする。
【解決手段】基板１０の上に半導体不純物がドープされた第１ポリシリコン層４０を形成し、第１ポリシリコン層４０の上にＣＶＤ法により第１酸化膜４１を層状に堆積する（図２（ａ））。これにより、１回目の酸化で第１酸化膜４１を第１ポリシリコン層４０の粒界部に入り込ませないようにする。そして、第１酸化膜４１を第１ボトム膜２４にパターニングした後（図２（ｂ））、第１ポリシリコン層４０の上に第２酸化膜４２を形成する（図２（ｃ））。２回目の酸化は短時間で終わるので、第１ポリシリコン層４０の増速酸化が進行する前に第２酸化膜４２の形成が完了する。このため、第１ポリシリコン層４０をエッチングする際に第２酸化膜４２の一部がマスクとならないようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】電力変換効率の向上を実現するＤＣＤＣコンバータの提供を目的の一とする。
【解決手段】出力電力を制御するためのスイッチング素子として機能するトランジスタが、通常のゲート電極に加えて、閾値電圧を制御するためのバックゲート電極を備える。そして、ＤＣＤＣコンバータから出力される出力電力の大きさに従って、バックゲート電極に与える電位の高さを制御するための、バックゲート制御回路を備える。バックゲート制御回路により、バックゲート電極に与える電位を制御することで、出力電力が大きい場合にはオン抵抗が下がるように閾値電圧を調整し、出力電力が小さい場合にはオフ電流が下がるように閾値電圧を調整することができる。さらに、スイッチング素子として機能するトランジスタが、オフ電流の極めて小さい絶縁ゲート電界効果型トランジスタである。 （もっと読む）

【課題】撮像画像の画像品質、装置の小型化、装置の信頼性、製造効率などの各特性について向上させる。
【解決手段】複数の転送電極３１が間を隔てて垂直方向ｙに並ぶように単一の導電材料層３１３を加工して形成する。また、第１キャパシタ電極Ｃ１１および第２キャパシタ電極Ｃ２１について、転送電極３１へ加工される導電材料層３１３から形成する。 （もっと読む）

【課題】デカップリング容量及びガードリング等のノイズを低減する構造物を設けるための専用配置領域を必要としない半導体集積回路装置を提供する。
【解決手段】Ｐ⁻型シリコンからなる支持基板２を設け、この支持基板２上にＰ^＋型シリコン層３を設け、その上にＮ^＋型シリコン層４及びＰ^＋型シリコン層１２を相互に同層に設ける。Ｐ^＋型シリコン層３及びＮ^＋型シリコン層４の不純物濃度は支持基板２の不純物濃度よりも高くする。また、Ｎ^＋型シリコン層４及びＰ^＋型シリコン層１２上の全面に、埋込酸化膜５及びＳＯＩ層６を設ける。そして、Ｐ^＋型シリコン層３を接地電位配線ＧＮＤに接続し、Ｎ^＋型シリコン層４を電源電位配線ＶＤＤに接続する。これにより、Ｐ^＋型シリコン層３とＮ^＋型シリコン層４との間に、電源に並列に接続されたデカップリング容量Ｃ１が形成される。 （もっと読む）

【課題】支持基板に接地電極を備えることなく、第１、第２素子形成領域間でノイズが伝播することを抑制することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】支持基板１０を、第１導電型領域１０ａと第２導電型領域１０ｂとを有し、第１素子形成領域２０にノイズが印加されてノイズが伝播されたときの当該ノイズの伝播経路中に、第１、第２導電型領域１０ａ、１０ｂで構成されるＰＮＰ接合またはＮＰＮ接合を有するものとする。このような半導体装置では、ＰＮＰ接合またはＮＰＮ接合の間に構成される空乏層により、第１、第２素子形成領域２０、３０の間でノイズが伝播することを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板への高周波信号の減衰を十分に抑制し、半導体装置の特性を十分に安定させる。
【解決手段】半導体装置１００は、第１導電型領域（例えばＮ型ウェル領域２）と、第１導電型領域の下面を覆うように配置された第１の第２導電型領域（例えばＰ型の半導体基板１）と、を有している。半導体装置１００は、更に、第１導電型領域の側面を取り囲むように配置され、且つ、第１の第２導電型領域と接している第２の第２導電型領域（例えばＰ型ウェル領域３）を有している。半導体装置１００は、更に、第２の第２導電型領域に電気的に接続されているとともに固定電位端子にも電気的に接続されているガードリング４と、第１導電型領域の上面を覆うように配置された絶縁膜５と、絶縁膜５上に配置されたアナログ素子（例えば抵抗素子６）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】占有面積を増大させずに、電源投入開始後のチップ動作時にＥＳＤ保護素子で発生するリーク電流を低減することができるＥＳＤ保護素子を提供する。
【解決手段】電源ライン及び接地ラインを含む電子回路が形成された半導体基板１０と、半導体基板１０において電源ライン（Ｖｄｄ）及び接地ライン（Ｖｓｓ）間に設けられ、サイリスタＳＣＲ及びサイリスタを駆動するトリガーダイオードＴＤを含む静電気放電保護素子とを有し、トリガーダイオードは、半導体基板１０に形成されたアノード拡散層２２と、アノード拡散層２２から離間して半導体基板１０に形成されたカソード拡散層２１と、アノード拡散層２２及びカソード拡散層２１間において半導体基板１０上にゲート絶縁膜１６を介して形成されたゲート電極１７とを有し、外部電源に接続された外部端子（パッド電極２７）がゲート電極１７に電気的に接続されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】サリサイド構造を有するＭＩＳ型電界効果トランジスタにおいて、ゲート電極とソース・ドレインコンタクトとの間の短絡を防止する。
【解決手段】ゲート電極１７５上にはシリサイド層２３０が形成されている。シリサイド層２３０の上面は、シリサイド層２３０の中央から両端に向けて低くなっており、当該両端におけるシリサイド層２３０の上面の高さは、オフセットスペーサ１８０の高さ以下である。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の特性が変化しても、デジタル回路から他の回路へのノイズ伝播を安定して抑制する。
【解決手段】半導体基板１０に形成されるデジタル回路４１と半導体回路４２との間には、デジタル回路４１と半導体回路４２とを分離するように、分離部３０が形成される。分離部３０には、Ｎ＋層３Ｎ、シリコン１１およびＰ＋層３Ｐが、この順で、Ｘ方向に並んで配置される。 （もっと読む）

【課題】フューズ開口部に起因する水分の浸入における長期信頼性の劣化を防止する半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板上にフィールド酸化膜を介して抵抗体を設け、抵抗体上に第一の金属配線を設け、第一の金属配線上に吸湿性膜を含む平坦性の良い金属間層間膜を形成する。抵抗体のトリミング用フューズは吸湿性膜を含む金属間層間膜の上に形成することで吸湿性膜の露出を防止する。 （もっと読む）

【課題】複数の集積回路層が厚さ方向に積層されて成る半導体集積回路装置の層間接続不良の有無を、一層積層する毎に短時間で検査することが可能な検査方法及び半導体集積回路装置を提供する。
【解決手段】互いに積層される集積回路層１０及び２０に、複数の検査用整流素子部１５及び２５をそれぞれ形成する。複数の検査用整流素子部１５（２５）は、複数の接続用端子１４（２４）のそれぞれと正電源配線１３ａ（２３ａ）及び接地配線１３ｂ（２３ｂ）との間に接続され、整流素子１５ａ，１５ｂ（２５ａ，２５ｂ）を含み電流により発光する。複数の接続用端子１４及び２４を互いに電気的に接続したのち、正電源配線１３ａ（又は接地配線１３ｂ）と接地配線２３ｂ（又は正電源配線２３ａ）との間にバイアス電圧を印加し、検査用整流素子部２５の発光に基づいて、接続用端子１４及び２４の接続状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】低容量保護ダイオードを採用した静電破壊防止用保護ダイオードからなる半導体装置において、半導体基板の表面に電圧制限素子としてのツェナーダイオード形成のための占有面積を不要とする。
【解決手段】Ｐ＋型半導体基板１にＰ＋型埋め込み拡散層１ｂを形成する。次に、その上をノンドープの第１エピタキシャル層４ａで被覆する。次に、該第１エピタキシャル層４ａ上にＮ型の高比抵抗の第２エピタキシャル層４ｂを形成する。該第２エピタキシャル層４ｂをＰ＋分離層６で第１保護ダイオード形成領域５０と第２保護ダイオード形成領域５１に分離する。第１保護ダイオード形成領域５０の第１エピタキシャル層４ａの表面から第１エピタキシャル層４ａ及び第２エピタキシャル層４ｂに延在するＮ＋型埋め込み層２等を形成する。Ｐ＋型埋め込み拡散層１ｂから延在するＰ＋型這い上がり層１ｃとＮ＋型埋め込み層２でツェナーダイオードＴＤ等を形成する。 （もっと読む）

【課題】高耐電圧により大電流化が可能で、オン抵抗が低く高速動作が可能で、高集積化と省エネルギーが可能で、素子間分離の容易な、電気熱変換素子駆動用の半導体装置を提供する。
【解決手段】電気熱変換素子とそれに通電するためのスイッチング素子とがｐ型半導体基体１に集積化されている。スイッチング素子は、半導体基体１の表面に設けられたｎ型ウェル領域２と、それに隣接して設けられチャネル領域を提供するｐ型ベース領域６と、その表面側に設けられたｎ型ソース領域７と、ｎ型ウェル領域２の表面側に設けられたｎ型ドレイン領域８，９と、チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して設けられたゲート電極４とを有する絶縁ゲート型電界効果トランジスタである。ベース領域６は、ドレイン領域８，９を横方向に分離するように設けられた、ウェル領域２より不純物濃度の高い半導体からなる。 （もっと読む）

【課題】アーチファクト縁部を利用してリバースエンジニアを混乱させる半導体デバイスおよび半導体デバイスを製造する方法を提供する。
【解決手段】輪郭を管理した導電性材料の層を配置して、デバイスが実際には動作不能であるときに、動作可能なデバイスのような導電性材料のアーチファクト縁部を形成する。実際に形成されるデバイスの特徴を示さないアーチファクト縁部を提供することにより、集積回路構造をカムフラージュするたの技術および構造である。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの特性を劣化させることなくポリシリコン抵抗素子を製造できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板３０の抵抗素子形成領域に抵抗素子となるポリシリコン膜３５ａを形成するとともに、トランジスタ形成領域にポリシリコンゲート３５ｂ及び高濃度不純物領域４０を形成する。その後、全面に絶縁膜４１を形成した後、トランジスタ形成領域をフォトレジスト膜４２で覆い、ポリシリコン膜３５ａに導電性不純物をイオン注入する。次いで、フォトレジスト膜４２をアッシングにより除去する。このとき、トランジスタは絶縁膜４１に覆われているため、アッシングによるダメージが回避される。また、抵抗素子領域に導入された導電性不純物が大気中のＯ及びＨと反応して酸が発生しても、ポリシリコンゲート及び高濃度不純物領域４０が酸により溶解することが回避される。 （もっと読む）

【課題】 リーク電流モニタ、リーク電流モニタ方法、及び、半導体装置の製造方法に関し、複数種類のデバイス特性をできるかぎり同じ構造のモニタで評価する。
【解決手段】 形状或いはしきい値電圧の少なくとも一方が異なる複数種類のトランジスタを異なった領域に同じ間隔で配置するとともに、前記複数種類のトランジスタの内、設計データにおける設置頻度の比を反映した数のトランジスタのゲート電極同士、ソース電極同士、及び、ドレイン電極同士を電気的に共通に接続する。 （もっと読む）

【課題】書き込み電圧が小さいアンチヒューズを提供する。
【解決手段】アンチヒューズは読み出し専用の記憶装置のメモリ素子に用いられる。アンチヒューズは、第１導電層、絶縁層、半導体層、及び第２導電層を有する。アンチヒューズに含まれる絶縁層は、原料ガス中にアンモニアを添加して形成した酸化窒化シリコンであり、層中に１．２×１０^２１以上３．４×１０^２１ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以下の水素、または３．２×１０^２０以上２．２×１０^２１ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以下の窒素を含むことで、低電圧での書き込みが可能となる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置及びその製造方法において、ゲート電極部の幅及びゲート電極部からの突き出し長のばらつきを低減する。
【解決手段】半導体装置は、ゲート電極部及び突き出し部を有する実パターン４３１と、実パターン４３１に並んで配置されるダミーパターン４３３とを含む複数のラインパターンを備える。２つのダミーパターン４３３と、これらに挟まれ且つ実パターン４３２を含むラインパターンとにより、同一間隔を空けて並走するラインパターン並走部が構成される。ラインパターン並走部の各ラインパターンは、同一の幅を有すると共に、互いに実質的に面一なライン終端部４１４を有する。各ライン終端部４１４の延長線上に、同一の終端部間距離４０３を空けて、ライン終端部均一化ダミーパターン４２０が形成される。ライン終端部均一化ダミーパターン４２０は、ラインパターンと同一幅で且つ同一間隔に形成された複数のライン状のパターンを含む。 （もっと読む）

【課題】多層配線構造を使って、キャパシタンスが大きく、かつキャパシタンス値が安定なキャパシタ素子を半導体基板上に集積化する。
【解決手段】多層配線構造１８は、少なくとも第１層目の層間絶縁膜１６と、第１層目の層間絶縁膜中に埋設された第１配線層と、を含み、第１配線層は、第１の電源に接続され前記第１の層間絶縁膜中に埋設された第１の配線パタ―ン１５Ｃ１と、第２の電源に接続され前記第１の層間絶縁膜中に埋設された第２の配線パタ―ン１５Ｃ２と、を含み、第１の配線パタ―ンと前記第２の配線パタ―ンとは容量結合して第１のキャパシタを形成し、第１の配線パタ―ンは積層配線パタ―ン１３Ｃ上に形成されて、前記第４の電極パターン１３Ｇと容量結合して第２のキャパシタを形成し、第４の電極パターンは第２の配線パタ―ンに電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路に含まれる静電気保護装置の面積を大きくすることなく、その破壊耐量及び維持電圧を大きくする。
【解決手段】第１導電型である半導体基板１と、半導体基板の上又は上部に形成された第２導電型である第１拡散層３と、第１拡散層の上部に形成され、第１導電型である第２拡散層５と、第２拡散層の上部に形成され、第２導電型である第３拡散層６と、第１拡散層の上部で且つ第２拡散層から間隔をおいて形成された第２導電型である第４拡散層８と、少なくとも第３拡散層の下に、第２拡散層と間隔をおき且つ下端部が第１拡散層の下端部よりも下に位置するように形成された第１導電型の第５拡散層２とを備えている。第３拡散層から第５拡散層までの最短距離と、第５拡散層から第４拡散層までの最短距離及び第１拡散層の下端部から第４拡散層までの最短距離のいずれか短い方の距離との和は、第３拡散層から第４拡散層までの最短距離よりも小さい。 （もっと読む）