【課題】信頼性の高い半導体装置を提供する。
【解決手段】Ｎ型基板１０と、Ｎ型基板１０の一面側に設けられたＰ型ウェル４０と、Ｐ型ウェル４０に設けられたＰ型高濃度不純物領域４２と、Ｐ型ウェル４０に設けられたＮ型のソース・ドレイン領域を有するＭＯＳトランジスタ２０と、Ｎ型基板１０の一面側に設けられ、かつ一方がＰ型高濃度不純物領域４２と電気的に接続し、他方が接地されているソース・ドレイン領域を有するＭＯＳトランジスタ３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 基板表面にパターンニングされたポリシリコン層（ゲート配線や保護ダイオード）が閉ループ状の場合、特にウエハの周辺部分に配置されるチップでは、層間絶縁膜形成時にＳＯＧ膜のスピンコートでチップコーナー部分などにおいてＳＯＧ液の液だまりが生じ、層間絶縁膜の膜厚が不均一となり、厚膜化した箇所ではコンタクトホールの形成不良が発生する問題があった。
【解決手段】 ゲート配線と保護ダイオードが連続した閉ループ状とならないように、ゲート配線のコーナー部と、ゲート配線および保護ダイオードの隣接部分に開放部を設ける。 （もっと読む）

【課題】ＥＳＤ耐量を向上させたＬＤＭＯＳＦＥＴを備える半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体層２００よりも高濃度のＰ型の押込拡散領域４４０は、半導体層２００の表層から底面まで設けられている。押込拡散領域４４０よりも低濃度のＰ型の第１ウェル領域３００は、半導体層２００に、平面視で一部が押込拡散領域４４０と重なるように設けられている。Ｎ型のドレインオフセット領域５４０は、半導体層２００に、平面視で第１ウェル領域３００と接するように設けられている。ドレインオフセット領域５４０よりも高濃度のＮ＋型のドレイン領域５２０は、ドレインオフセット領域５４０内に設けられている。ドレインオフセット領域５４０よりも高濃度のＮ型の第２ウェル領域５６０は、半導体層２００のうち、ドレインオフセット領域５４０の下に位置して、平面視でドレイン領域５２０と重なる領域に設けられている。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路の微細化に伴い非常に短くなったゲート長を有するトランジスタにおいて、ゲート絶縁膜におけるリーク電流の発生を抑制し、トランジスタとしての機能を高めることが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】主表面を有する半導体基板ＳＵＢと、半導体基板ＳＵＢの主表面に形成された１対のソース／ドレイン領域と、１対のソース／ドレイン領域に挟まれる領域上であって、主表面に接するように形成されたゲート絶縁膜ＡＦＥと、ゲート絶縁膜ＡＦＥの上面に接するように形成されたゲート電極ＰＯとを備える。上記１対のソース／ドレイン領域の一方から他方へ向かう方向のゲート電極ＰＯの長さは４５ｎｍ未満である。ゲート絶縁膜ＡＦＥは反強誘電体膜を有する。 （もっと読む）

【課題】互いに絶縁分離された複数の素子を有する半導体装置の小型化と、その製造コストの低減とを実現できるようにする。
【解決手段】半導体装置は、第１の素子１５１、第２の素子１５２、第３の素子１５３及び第４の素子１５４を備えている。基板１００は、基板を貫通する第１素子分離領域１３１により互いに分離された第１の区画１０１及び第２の区画１０２を有している。第１の区画は、第２素子分離領域１３２により互いに分離された第１素子領域１２１及び第２素子領域１２２を含む。第２の区画は、第３素子分離領域１３３により互いに分離された第３素子領域１２３及び第４素子領域１２４を含み、基板の裏面に露出した裏面拡散層を有している。第３の素子は、第３素子領域に形成され、第４の素子は、第４素子領域に形成され、第３の素子及び第４の素子は、裏面拡散層１０５を介在させて互いに接続されている。 （もっと読む）

【課題】電源供給が遮断されるＩＯ領域が存在する場合でも、ランダムロジック領域内でのラッチアップの発生を防止するガードバンドセル及びガードバンドを提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係るガードバンドセル１１は、ＮウェルＮＷ１を有する。また、本発明の一態様に係るガードバンドセル１１は、ＮウェルＮＷ１の上に形成された、Ｎウェル層と同じ導電型であるＮ型ガードバンド拡散層ＮＧＢ１を有する。Ｎ型ガードバンド拡散層ＮＧＢ１は、十分な低抵抗の配線により、ランダムロジック領域２の電源電位と接続される。 （もっと読む）

【課題】 半導体装置に発生するノイズを低減する
【解決手段】 シリコン基板１００の第１部分１１０を覆い、シリコン基板１００の第１部分１１０に隣接する第２部分１２０を覆わない窒化シリコン膜２００をマスクとしてシリコン基板１００を熱酸化することにより、酸化シリコン膜３００を形成する。窒化シリコン膜２００をマスクとして酸化シリコン膜３００のバーズビーク部３１０の下へ斜めイオン注入を行うことにより、不純物領域１２１を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ＥＳＤ対策のための特別な工程や専用マスクを増やすことなく、ＥＳＤ放電能力の向上を図る事が可能な半導体装置を実現する。
【解決手段】
基板上の所定の領域に、ＭＯＳＦＥＴ構造のＨＶトランジスタ２３と保護抵抗回路２５からなる高耐圧用のＥＳＤ保護素子２１、及び、ＭＯＳＦＥＴ構造のＬＶトランジスタ２４と保護抵抗回路２６からなる低耐圧用のＥＳＤ保護素子２２が形成されている。当該保護抵抗回路２５（２６）は、ゲート電極８ｂ（８ｄ）を挟んで互いに対抗するようにウェル２（３）の表層に分離形成される抵抗ドリフト領域１６（１７）の双方が、同導電型の低濃度ドリフト領域５ｃ（５ｄ）により電気的に接続されていることを除き、ＨＶトランジスタ２３（ＬＶトランジスタ２４）と同一の構造である。 （もっと読む）

【課題】ブートストラップ方式のドライブ回路を有する半導体装置において、ブートストラップダイオードの順バイアス時にｐ^-基板側に流れるホールによるリーク電流を抑制することができる半導体装置を提供することにある。
【解決手段】ブートストラップダイオードＤｂ下にＳＯＮ構造の空洞３を形成し、ブートストラップダイオードＤｂとグランド電位（ＧＮＤ）となるＧＮＤｐ領域４との間のｎ^-エピ層２にその空洞３に達するフローティングｐ領域５を形成することで、外部のブートストラップコンデンサＣ１充電時のｐ^-基板１へのホールによるリーク電流を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】耐久性が高い半導体装置及びＤＣ−ＤＣコンバータを提供する。
【解決手段】実施形態に係る半導体装置は、高電位側電源電位に接続するための第１の配線と、前記高電位側電源電位に接続するための、前記第１の配線とは別の第２の配線と、前記第１の配線に一端が接続され、他端が出力端子に接続されるスイッチングトランジスタと、前記高電位側電源電位と前記低電位側電源電位との間で前記スイッチングトランジスタと並列に接続される保護素子とを備える。前記保護素子は、前記第１の配線に接続される、第１のｐ形半導体領域と、前記第２の配線に接続される、前記第１のｐ形半導体領域に接したｎ形半導体領域と、前記ｎ形半導体領域に接し、前記第１のｐ形半導体領域から離隔し、前記低電位側電源電位に接続するための配線に接続される第２のｐ形半導体領域と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ウェル給電領域の面積を縮小して、半導体装置の微細化を行う。素子形成領域間のウェル電位のばらつきを抑制する。分離部の幅を細くする。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板の表面に形成され、底部がウェル領域内に位置する溝状の分離部を有する。分離部は、ウェル領域と電気的に接続された導体配線と、底部に導体配線を埋め込む絶縁膜とを有する。分離部に囲まれるようにして区画されたウェル領域の一部は素子形成領域を形成し、素子形成領域には半導体素子が配置される。 （もっと読む）

【課題】安定したボディ固定動作と共に、高集積化、低寄生容量化や配線容量の低減化を図ることができる、ＳＯＩ基板上に形成される半導体装置を得る。
【解決手段】ソース領域１，ドレイン領域２及びゲート電極３で形成されるＭＯＳトランジスタにおいて、ゲート一端領域及びゲート他端領域に部分分離領域１１ａ及び１１ｂが形成され、部分分離領域１１ａに隣接してタップ領域２１ａが形成され、部分分離領域１１ｂに隣接してタップ領域２１ｂが形成される。部分分離領域１１ａ，１１ｂ、タップ領域２１ａ，２１ｂ及び活性領域１，２の周辺領域は全て完全分離領域１０が形成される。 （もっと読む）

【課題】急峻なＳ値特性を有するとともに、ソース／ドレイン領域が同じ導電型となる対称構造を有する電界効果トランジスタを提供する。
【解決手段】本実施形態による電界効果トランジスタは、半導体層と、前記半導体層に離間して設けられたソース領域およびドレイン領域と、前記ソース領域と前記ドレイン領域との間の前記半導体層上に設けられたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極と、前記ソース領域および前記ドレイン領域側の前記ゲート電極の少なくとも一方の側面に設けられた高誘電体のゲート側壁と、を備え、前記ソース領域および前記ドレイン領域は前記ゲート電極の対応する側面から離れている。 （もっと読む）

【課題】横型二重拡散構造を有する電界効果トランジスタの高集積化を可能とする半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１Ｎは、ゲート電極１７の幅方向両側のうちの一方の側で延在するＰ型ボディ領域２０Ｐと、他方の側で延在するＮ型ボディ領域２０Ｎと、その一方の側に形成されてＰ型ボディ領域２０Ｐと接合するＰ型不純物拡散領域３２Ｐと、その他方の側でＰ型不純物拡散領域３２Ｐと対向する位置に形成されてＮ型ボディ領域２０Ｎと接合するＮ型不純物拡散領域３２Ｎと、その一方の側に形成されてＰ型ボディ領域３０Ｎと接合するＮ型不純物拡散領域３１Ｎと、その他方の側でＮ型不純物拡散領域３１Ｎと対向する位置に形成されてＮ型ボディ領域２０Ｎと接合するＰ型不純物拡散領域３１Ｐとを備える。 （もっと読む）

【課題】大量の商業マイクロエレクトロニクスメーカーがアクセスし易い最先端の基礎設備を使用して、高性能且つ費用対効果に優れた耐放射線性集積回路（ＲＨＩＣｓ）を提供する。
【解決手段】様々な形式の放射線エネルギーによって引き起こされる有害な影響を減少し、又は排除するために、従来の設計及びプロセスを使用する一方で特殊構造を含んで半導体デバイスを作成する。このような半導体デバイスは本願で開示された１台以上の寄生的な分離デバイス、及び／又は、埋め込みガードリング構造を含む。これら新規な構造に対応する設計、及び／又は、工程ステップの導入には、従来のＣＭＯＳ製作工程との互換性がある。したがって、比較的低い費用で比較的簡単に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】論理回路をできるだけ小さな回路面積で形成可能な半導体回路を提供する。
【解決手段】半導体回路は、第１および第２のトランジスタで共有されるゲート領域と、ゲート領域に接するように配置されるゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜に接するように配置される半導体層と、を備える。半導体層は、ゲート領域に対向するように配置され、第１のトランジスタのチャネルとして用いられる反転層形成領域と、反転層形成領域に沿って、あるいは反転層形成領域と交差するように形成され、第２のトランジスタのチャネルとして用いられる導通路形成領域と、を有する。導通路形成領域は、ゲート領域が所定の電圧範囲のときには、反転層形成領域から伸びる空乏層により遮断される。 （もっと読む）

【課題】信頼性と電気的特性の確保を両立した半導体装置を提供する。
【解決手段】同一の半導体基板１上に形成されたパワーＭＯＳＦＥＴと保護回路を備える。パワーＭＯＳＦＥＴがトレンチゲート縦型ＰチャネルＭＯＳＦＥＴであって、そのゲート電極６の導電型をＰ型とする。また、保護回路がプレーナゲート横型オフセットＰチャネルＭＯＳＦＥＴを備え、そのゲート電極１０の導電型をＮ型とする。これらゲート電極６とゲート電極１０は別工程で形成される。 （もっと読む）

【課題】埋め込み絶縁層により活性層と支持基板とが電気的に絶縁された半導体基板において、支持基板の電位を活性層の表面から取り出すための基板コンタクトの低抵抗化を図ることができる半導体装置およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】活性層１６に素子領域４およびコンタクト領域５が形成された厚膜ＳＯＩ基板２において、ＣＭＯＳトランジスタ７のＢ／Ｌ層２９およびＬ／Ｉ層３７、ｎｐｎバイポーラトランジスタ８のコレクタ層４９と同一層に、ｎ型基板コンタクト１２の貫通コンタクト５８を取り囲むｎ型コンタクト埋め込み層５７を形成する。 （もっと読む）

【課題】パワー変換器に於けるシンクロナス整流器として適するＭＯＳＦＥＴスイッチを提供する。
【解決手段】互いに接続されソース及びボディが、ドレンよりはより正の側に高い電圧にバイアスされたＮ−チャネルパワーＭＯＳＦＥＴを製造する。ゲートはスイッチ（１１８４）により制御され、ゲートを、ソース及び当該ＭＯＳＦＥＴのチャネルを完全にオンにするのに十分な電圧（ＶＣＰ）のいずれか一方に選択的に接続する。ゲートがソースに接続されたとき、デバイスは、比較的低い電圧でオンし、従来のＰＮ接合よりは低い導通抵抗を有する「擬似ショットキー」ダイオードとして機能する。ゲートが、前記した正の電圧に接続されたとき、ＭＯＳＦＥＴのチャネルは完全にオンとなる。このＭＯＳＦＥＴスイッチは、電力損及び“break-before-make”時間に於ける蓄積電荷を低減する。 （もっと読む）

【課題】低電圧領域として使用されるＳＯＩ型ＭＩＳＦＥＴと、高電圧領域として使用されるバルク型ＭＩＳＦＥＴとが共存する半導体装置であっても半導体装置全体を縮小でき、更にプロセスが複雑化することなく作製できる半導体装置と製造方法を提供する。
【解決手段】単結晶半導体基板1、単結晶半導体基板から薄い埋め込み絶縁膜4で分離された薄い単結晶半導体薄膜（ＳＯＩ層）3を持つＳＯＩ基板を用い、ＳＯＩ型ＭＩＳＦＥＴ100およびバルク型ＭＩＳＦＥＴ200のウエル拡散層領域6と、ドレイン領域9、11、14、16と、ゲート絶縁膜5と、ゲート電極20とを同一工程にて形成する。バルク型ＭＩＳＦＥＴとＳＯＩ型ＭＩＳＦＥＴとを同一基板上に形成できるので、基板の占有面積を縮小できる。ＳＯＩ型ＭＩＳＦＥＴとバルク型ＭＩＳＦＥＴとの作製工程の共通化により簡易プロセスを実現することができる。 （もっと読む）