【課題】高密度で素子特性に優れた、ＳＲＡＭを備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】一対の駆動トランジスタと一対の負荷トランジスタと一対のアクセストランジスタを備えたＳＲＡＭセル単位を有する半導体装置であって、前記トランジスタはそれぞれ、基体平面に対して上方に突起した半導体層と、この半導体層を跨ぐようにその上部から相対する両側面上に延在するゲート電極と、このゲート電極と前記半導体層の間に介在するゲート絶縁膜と、前記半導体層に設けられた一対のソース／ドレイン領域を有し、前記駆動トランジスタはそれぞれ、前記負荷トランジスタ及び前記アクセストランジスタの少なくとも一方の各トランジスタのチャネル幅より広いチャネル幅を有する半導体装置。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の特性を向上させる。
【解決手段】本発明の半導体装置は、面方位が（１１０）のシリコン基板１と、ｐＭＩＳ領域１Ｂに形成されたｐチャネル型電界効果トランジスタを有する。このｐチャネル型電界効果トランジスタは、ゲート絶縁膜３を介して配置されたゲート電極ＧＥ２と、ゲート電極の両側のシリコン基板１中に設けられた溝ｇ２の内部に配置され、Ｓｉより格子定数が大きいＳｉＧｅよりなるソース・ドレイン領域と、を有する。上記溝ｇ２は、ゲート電極側に位置する側壁部において、面方位が（１００）の第１の斜面と、第１の斜面と交差する面方位が（１００）の第２の斜面と、を有する。上記構成によれば、基板の表面（１１０）面と（１００）面とのなす角は４５°となり、比較的鋭角に第１斜面が形成されるため、効果的にｐチャネル型のＭＩＳＦＥＴのチャネル領域に圧縮歪みを印加することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＳＯＩにおいて適したゲッタリング方法を適用して得られる半導体装置を提供する。
【解決手段】埋め込み酸化膜と、埋め込み酸化膜上に表面シリコン層を有するＳＯＩ構造を有する半導体装置において、埋め込み酸化膜上に、表面シリコン層を活性層として有するトランジスタと、素子分離絶縁膜を有し、素子分離絶縁膜上に容量が形成されており、素子分離絶縁膜に希ガス元素又は金属元素が含まれていることを特徴とする半導体装置とする。 （もっと読む）

【課題】認証データ生成用の専用回路が不要で、ＳＲＡＭのメモリセル構造をそのまま用いて、複製不可能な固有の識別情報を半導体メモリに予め搭載でき、セキュリティの向上を図れるＩＤチップおよびその生成方法を提供する。
【解決手段】本ＩＤチップは、メモリセルアレイを構成する個々のメモリセルの閾値電圧のバラツキにより、メモリセルアレイに生成されたランダムなデータを固有の識別情報として用いた構成とされる。このメモリセルは、“０” または“１”の初期データが書き込まれた後に、両ビット線を同時に“Ｌｏｗ”または“Ｈｉｇｈ”としてデータを生成する。そして、生成されたデータを用いて同一チップか否かを判別する。チップの判別は、メモリセルアレイのデータのハミング距離を測定し、ハミング距離が所定閾値以内の場合に同一チップと判別する。 （もっと読む）

【課題】ＳＲＡＭのゲート配線形成にあたって、ゲート形状を複雑に変形させることなく転写及び加工マージンを確保する半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】半導体記憶装置は、第１組及び第２組のドライバトランジスタ１１、ロードトランジスタ１２及びアクセストランジスタ１３とを備えたメモリセルが半導体基板上に２次元配列されたメモリセルアレーと、複数のワードラインと、複数のビットラインと、第１組のドライバトランジスタ１１とロードトランジスタ１２とを接続し、直線状の側辺を有する長方形状の第１ゲート配線３ａと、アクセストランジスタ１３と接続され、直線状の側辺を有する長方形状の第２ゲート配線３ｃと、第１ゲート配線３ａと、第２組のドライバトランジスタ１１とロードトランジスタ１２とを接続する第１コネクタ５ａと、第２ゲート配線３ｃとワードラインとを接続する第２コネクタ５ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】低電源電圧下においても、安定かつ高速に動作する半導体記憶装置を実現する。
【解決手段】メモリセル列ごとにアレイ電源線（ＡＲＶＤ）およびダウン電源線（ＤＷＶＤ）を配置する。ダウン電源線は、読出し時に接地に結合され、書込み時にフローティング状態とされる。書込み時、選択列のアレイ電源線への電源電圧の供給を停止するとともに該アレイ電源線を対応のダウン電源線に接続する。電源系統を複雑化することなく、低電源電圧下においても安定にデータの書込／読出を行うことのできる半導体記憶装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】多くの半導体装置に必要な低温処理と両立しない高温操作を必要とするような欠点がない、堆積可能なアッド‐オン層形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】堆積可能なアッド‐オン層形成方法であって、第一半導体基板の取り外し層の形成、取り外し層の上の第一半導体基板に多くのドーピング領域の形成、ここで多くのドーピング層の形成は、第一電導型を有するように、ドーピングされ、取り外し層の上の第一半導体基板の第一ドーピング層の形成、第一電導型に対する第二電導型を有するようにドーピングされ、第一ドーピング層の上の第一半導体基板に最低中間ドーピング層の形成、及び中間ドーピング層上の第一半導体基板に最低第三ドーピング層の形成からなり、第三ドーピング層上に第一の電導性ブランケット層の形成、第一電導ブランケット層上に第二の電導性ブランケット層の形成、及び第二電導性ブランケット層が第二半導体基板の対応する電導性上部層と接触するように、第一半導体基板を第二半導体基板への取り付け、からなる。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの性能の劣化の防止に有利な半導体集積回路を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、半導体集積回路は、ワード線とビット線との交差位置にそれぞれ配置されデータを保持するデータ記憶部（ＳＲＡＭセル）と前記データ記憶部に記憶された保持データを論理的に反転させる反転回路２２と、前記データ記憶部が記憶するデータの論理反転の有無を識別するフラグをロウ単位で記憶するフラグビットカラム１１−１とを備える、メモリセルアレイ１１を具備する。 （もっと読む）

【課題】動作マージンの向上に対して有利な半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、半導体装置は、半導体基板上に、互いのゲート電極が接続されて配置される第１トランジスタ（Ｐ２）と、前記第１トランジスタと異なる導電型を有する第２トランジスタ（Ｎ４）とを具備し、前記第１トランジスタのゲート電極は、第１不純物と前記第１不純物の拡散を抑制する第２不純物とを含有し、前記第１不純物の濃度ピーク（ＰＥ１）は、前記第２不純物の濃度ピーク（ＰＥ２）よりも浅い位置に形成されている。 （もっと読む）

【課題】マスクの新規な作製技術を含む半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、半導体基板上方に、第１の膜を形成する工程と、第１の膜上方に、第１マスク膜を形成する工程と、第１マスク膜をパターニングする工程と、パターニングされた第１マスク膜の側部にプラズマ処理を行って、側部を変質層に変換する工程と、プラズマ処理の後、第１マスク膜の上部及び側部を覆う第２マスク膜を形成する工程と、第２マスク膜をエッチングして、側部に形成された第２マスク膜を残存させつつ、第１マスク膜上部に形成された第２マスク膜を除去する工程と、第２マスク膜のエッチングの後、変質層を除去する工程と、変質層を除去した後、残った部分の第１マスク膜、及び第２マスク膜をマスクとして、第１の膜をエッチングする工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】給電セルのレイアウト面積を縮小することによりメモリアレイ全体のレイアウト面積をさらに縮小することが可能な半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】第１の金属配線層に、Ｎウェル電圧ＶＤＤＢを供給するメタル３１２を設ける。メタル３１２は、共有コンタクト２１６および２１９によりＮウェル領域に設けられた活性層３００と電気的に結合され、Ｎウェル領域に対してＮウェル電圧ＶＤＤＢが供給される。第３の金属配線層にＰウェル電圧ＶＳＳＢを供給するメタル３３２，３３３を設ける。Ｎウェル電圧ＶＤＤＢを供給するメタル３１２は、第１の金属配線層のメタルを用いた構成としているため下層へのくい打ち領域を必要とせず、Ｐウェル電圧ＶＳＳＢのメタル３３２，３３３の下層へのくい打ち領域のみ確保すればよい。したがって、給電セルＰＭＣのＹ方向の長さを縮小して、給電セルのレイアウト面積を縮小することができる。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＯＳインバータを含むメモリセルにおいて、リーク電流によるゲート配線の制約やデザインルールの制約を起因とするメモリセルの面積の増大を抑える。
【解決手段】第１のインバータＩＶ１と第２のインバータＩＶ２を含むメモリセル１Ａの第１の金属層として、第１の配線ＦＬ１及び第２の配線ＦＬ２が配置されている。第１の配線ＦＬ１は、第１のインバータＩＶ１の２つのドレインＤと第２のインバータＩＶ２の第２のゲート配線ＧＬ２と接続している。第２の配線ＦＬ２は、第２のインバータＩＶ２の２つのドレインＤと第１のインバータＩＶ１の第１のゲート配線ＧＬ１と接続している。第１の配線ＦＬ１は第２のゲート配線ＧＬ２と重畳し、第２の配線ＦＬ２は第１のゲート配線ＧＬ１と重畳して配置される。第１の金属層よりも上層には、第２の金属層と、その上層の第３の金属層が配置されている。 （もっと読む）

【課題】Ｄｔ−ＭＯＳトランジスタよりなる半導体装置の素子寸法を縮小する。
【解決手段】シリコン基板２１と、素子分離領域２１Ｉと、前記素子分離領域により画成された、第１の導電型を有する第１のウェルよりなる素子領域２１ＤＮＷと前記第１の導電型と逆の第２の導電型のコンタクト領域２１Ｐ＋１と、ゲート絶縁膜を介して、前記素子領域上から、前記素子分離領域のうち前記素子領域と前記コンタクト領域との間に延在するゲート電極と、第２の導電型のソース拡散領域と、第２の導電型のドレイン拡散領域と、前記ソース拡散領域の下端部に接して形成された第１の絶縁領域と、前記ドレイン拡散領域の下端部に接して形成された第２の絶縁領域と、前記ゲート電極と前記コンタクト領域とを電気的に接続するビアプラグと、を含み、前記第１のウェルは前記素子分離領域部分の下の前記シリコン基板を介して前記コンタクト領域に電気的に接続されていること。 （もっと読む）

【課題】これまでのＭＯＳＦＥＴと同等の集積性を維持しながら、ＭＯＳＦＥＴに比べて優れたスイッチング特性をもつ、すなわち、室温においてＳ値が６０ｍＶ／桁より小さな値をもつ半導体素子を提供する。
【解決手段】ＭＯＳＦＥＴと、トンネル接合を有するトンネルバイポーラトランジスタを組み合わせることにより、低電圧であっても、ゲート電位変化に対してドレイン電流が急峻な変化（Ｓ値が６０ｍＶ／桁よりも小さい）を示す半導体素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】サブスレッショルド領域で動作するＳＲＡＭの書き込み動作安定性を改善する回路及び方法を提供する。
【解決手段】所定の遅延時間でサブスレッショルド領域で動作し、ｐＭＯＳＦＥＴの典型値におけるしきい値電圧と、ｎＭＯＳＦＥＴの典型値におけるしきい値電圧の差の絶対値が０．１Ｖ以上であるサブスレッショルドＳＲＡＭに対して制御出力電圧を電源電圧として供給する電源電圧制御回路であって、電源電圧に基づいて所定の微小電流を発生する微小電流発生回路と、発生された微小電流に基づいて遅延時間のバラツキを補正するためのｐＭＯＳＦＥＴ又はｎＭＯＳＦＥＴのしきい値電圧の変化を含む制御出力電圧を発生して、制御された電源電圧としてサブスレッショルドＳＲＡＭに対して供給する制御出力電圧発生回路とを備えた。 （もっと読む）

【課題】配線不良が生じ難いＳＲＡＭ。
【解決手段】第１方向に平行に延設された第１、第２ゲート電極と、第１ゲート電極と直交して第１負荷トランジスタを構成する第１拡散領域及び第１の駆動トランジスタを構成する第２拡散領域と、第２拡散領域と直交して第１アクセストランジスタを構成する第３ゲート電極と、第１拡散領域と第２ゲート電極との第１共通コンタクトと、第１及び第３ゲート電極間の第２拡散領域に形成された第１拡散領域コンタクトと、第３ゲート電極に接続された第１ゲートコンタクトと、第１共通コンタクトと第１拡散領域コンタクトとを接続する第１配線と、第１ゲートコンタクトに接続された第２配線と、を備えたＳＲＡＭ。第１共通コンタクトと第１ゲートコンタクトとが階段状の２層構造を有し、第１及び第２配線はいずれも第１方向を長手方向とする矩形形状を有し、第１の方向の一直線上に並べて配置されている。 （もっと読む）

【課題】ノードコンタクト構造体を有する半導体素子と、その製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板の上に形成されソース／ドレイン領域を有するバルクモストランジスタを備える。該バルクモストランジスタ上に層間絶縁膜が形成され、該層間絶縁膜上にソース／ドレイン領域を有する薄膜トランジスタが形成される。該バルクモストランジスタのソース／ドレイン領域上に半導体プラグが形成され、該半導体プラグは該層間絶縁膜の少なくとも一部を介して延長される。該薄膜トランジスタのソース／ドレイン領域及び該半導体プラグは金属プラグと接触し、該金属プラグは該層間絶縁膜の少なくとも一部を介して延長される。該半導体プラグ及び該金属プラグは多層のプラグを構成する。 （もっと読む）

【課題】小型化の増進を可能にするとともに、実現が容易な、対向電極を備えた電界効果トランジスタの製造方法を提供する。
【解決手段】ゲート電極９ソースコンタクト１２，ドレインコンタクト１３、および対向電極コンタクトの輪郭描写パターンを含むエッチングマスクが、セミコンダクタ・オン・インシュレータ型の基板上に形成される。基板は、誘電体５の層およびゲート材料により覆われる。対向電極コンタクトは、ゲート電極９のパターン内に配置される。ゲート材料は、ゲート電極９、ソースコンタクト１２およびドレインコンタクト１３、ならびに対向電極コンタクトを画定するためにエッチングされる。支持基板２の一部分は、対向電極コンタクト領域のパターンの中を通って解放される。導電性材料２２が支持基板２の自由部分上に堆積されて、対向電極コンタクトを形成する。 （もっと読む）

【課題】 微妙なプロセスコントロールのための判断材料となる情報を短時間のうちに採取することができるプロセス評価用半導体集積回路を提供する。
【解決手段】 プロセス評価用半導体集積回路としてのＳＲＡＭは、メモリセルに電源電圧を供給する給電系統と、メモリセル以外の回路に電源電圧を供給する給電系統とが分離されており、メモリセルに供給する電源電圧を他の回路に対する電源電圧と独立に制御可能な構成となっている。メモリセルに対する電源電圧を段階的に下げつつ、各メモリセルに対するアクセスを試み、動作不良を検出することにより、メモリセル間のトランジスタの電気的特性の微妙な変化を判定することができる。 （もっと読む）

【課題】微細かつリーク電流が抑制されたＳＲＡＭ。
【解決手段】第１の負荷トランジスタＬＴ１を構成する第１のゲート電極Ｇ１ｂと、第１のゲート電極Ｇ１ｂの長手方向の延長上に、これと離間して延設され、第１の駆動トランジスタＤＴ１を構成する第２のゲート電極Ｇ１ａと、第１のゲート電極Ｇ１ｂと平行に延設され、第２の負荷トランジスタＬＴ２を構成する第３のゲート電極Ｇ１ｂと、第３のゲート電極Ｇ１ｂと交差して形成され、第２の負荷トランジスタＬＴ２を構成する第１のＰ型拡散領域ＰＤ２１と、第１のゲート電極Ｇ１ｂ及び第２のゲート電極Ｇ１ａ及び第１のＰ型拡散領域ＰＤ２１に跨って形成された第１の共通コンタクトＳＣ２と、を備えるＳＲＡＭ。第１のＰ型拡散領域ＰＤ２１は、第１のゲート電極Ｇ１ｂと第２のゲート電極Ｇ１ａとの間隙領域近傍まで延設され、かつ、当該間隙領域には形成されていない。 （もっと読む）