【課題】簡単な診断を可能とする装置を提供する。
【解決手段】制御装置（２０）のマスターインターフェース（２２）に接続できるスラーブインターフェース（１２）と、測定装置（３０）のスレーブインターフェース（３２）に接続できるマスターインターフェース（１８）と、各インターフェースに少なくとも一つのデータ入力信号（ＤＩＮ＿Ｓ，ＤＩＮ＿Ｍ）を供給し、各他のインターフェースに対する各データ入力信号に一致するデータ出力信号（ＤＯＵＴ＿Ｍ，ＤＯＵＴ＿Ｓ）を放出する回路配列（１５）とを備え、回路配列がデータ入力信号と補償データ信号（ＤＥ＿Ｓ，ＤＥ＿Ｍ）を供給し、データ出力信号として一致するデータ入力信号或いは補償データ信号を放出するときに、記録関連インターフェース信号（ＤＩＮ＿Ｓ，ＤＩＮ＿Ｍ，ＴＣＬＫ＿Ｓ）を供給して、操作制御に基づいて記録関連インターフェース信号を受けた情報を選択する機能とを備える。 （もっと読む）

【課題】処理装置の保守作業による影響を反映して、製造品の特性を予測できて、製造品の特性予測値の特性値に対する誤差を減少できる特性予測装置を提供する。
【解決手段】特性予測装置１９は、運転データ収集部１６と特性データ収集部２４と状態変数取得部２９と記憶部１８と特性予測部２０と学習部２１とを有する。状態変数取得部２９は、処理装置１１に施された保守作業の結果得られた保守状態を表す保守状態変数２５を取得する保守状態変数取得部３０を含む。学習部２１は、処理装置１１の保守作業が行われる度に、記憶部１８に記憶された保守状態変数２５を更新する保守状態変数更新部３１を含む。 （もっと読む）

【課題】 夜間に特定の作業を付けを行い、納期遅れが発生しない場合には、当該特定の作業を夜間に実施するような製造計画を作成する。
【解決手段】 製品を製造するために実施する作業の内、夜間に実施可能な作業を登録しておく。そして、当該製品を製造するための製造計画を立てた後に、納期遅れが発生していないようであれば、夜間に実施可能な作業を夜間に割付けた形での新たな製造計画を作成する。特定の作業を夜間に割り当てた製造計画で当該製品を製造しても納期遅れ発生しないようであれば、新たな製造計画を採用する。 （もっと読む）

【課題】接続される外部機器を想定した設定画面を作成する必要の無い表示器及びそれを用いた表示システムを提供する。
【解決手段】画像を表示する表示部１と、表示部１に表示される画像の任意の領域に対する操作入力を受け付けると当該領域に対応する操作信号を出力する操作入力部２と、操作入力部２からの操作信号を受けると所定の領域に割り当てられた処理を実行する制御部３と、自身に接続される外部機器Ｂとの間で信号の送受信を行う通信部４と、外部機器Ｂの機器名と当該外部機器Ｂ専用の設定画面Ｃ１とを対応付けて記憶する記憶部６とを備え、制御部３は、自身の周囲に存在する外部機器Ｂを探索して外部機器Ｂの接続を認識する接続処理と、接続処理の際に当該外部機器Ｂから機器名を取得するとともに、当該機器名に基づいて当該外部機器Ｂ専用の設定画面Ｃ１を記憶部６から読み出して表示部１に表示させる表示処理とを行う。 （もっと読む）

【課題】産業機械の診断装置及び診断方法に関し、産業機械の点検結果を考慮しながら生産性や品質の診断を容易に且つ適正に行なうことができるようにする。
【解決手段】入力部にマシン停止の際のマシン症状を入力され、処理部において、このマシン症状の発生原因となった発生原因事象との対応データを参照して入力されたマシン症状からマシン停止の発生原因事象を推定し、マシン点検結果とマシン点検結果から想定される発生原因事象との対応データを参照して、点検により得られるマシン不具合事項から発生原因事象を推定し、マシン症状から推定した発生原因事象とマシン不具合事項から推定した発生原因事象との異同から、マシン停止の原因となった前記発生原因事象を特定するように構成する。 （もっと読む）

【課題】測定値を表す第一のグラフと制御信号を表す第二のグラフを用いて測定値を正確に分析できる技術を提供する。
【解決手段】本発明では、同じファイル名称で特定される第一、第二のグラフは互いに関連づけられており、画面１００上に表示される測定値の第一のグラフ１３４ａ、１３４ｃ、１３４ｄと、第二のグラフ１４４ａ、１４４ｃ、１４４ｄのうち、所望のものを選択し、移動対象にすると、関連づけられた第一、第二のグラフが一緒に移動するようになっている。従って、測定値の第一のグラフとタイミングチャートである第二のグラフの間の関係は、移動があっても維持されるので、分析ミスが発生することがない。 （もっと読む）

【課題】被制御装置の模擬が実行可能になるまでに要する時間が短く、且つ、被制御装置を正確に模擬することができるシミュレーション装置を提供する。
【解決手段】シミュレーション装置２０は、制御装置１０の制御対象である被制御装置を模擬するものであって、被制御装置を構成する機器毎の特性を示す情報が格納された設定ファイルの内容に基づいて、被制御装置を構成する機器のうち応答速度が予め設定された基準速度よりも速い機器を模擬するシミュレーションＰＬＣ２１と、上記の設定ファイルの内容に基づいて、被制御装置を構成する機器のうち応答速度が基準速度よりも遅い機器を模擬するシミュレーションＰＣ２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】ロックアウト出力を迅速に解除する。
【解決手段】安全センサ４０の出力ラインＬ１、Ｌ２が接続されるセンサ用入力端子Ｘ１、Ｘ２と、リセット入力を受け付けるリセット用入力端子Ｘ１、Ｘ２と、装置の異常の有無を判定する判定部３０と、前記異常が有る場合には、制御対象の機器に対してロックアウト出力を行う出力部３０と、を備えた安全コントローラ２０であって、前記判定部３０は、前記ロックアウト出力中に前記リセット入力があった場合には、前記異常の有無を再判定すると共に、前記出力部３０は、前記再判定にて異常なしと判定される場合には、前記ロックアウト出力を自動解除して、前記制御対象の機器に対して前記安全センサ４０の出力に応答した応答出力を行う。 （もっと読む）

【課題】従来技術では区別することが困難であった運転状態を区別することを可能にして、所定の運転状態における期間のデータのみを検知対象とすることができる半導体製造における装置異常の予兆検知技術を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ製造工程で使用される製造装置に接続したセンサから定期的に取得した装置ログ情報のうちの検知対象区間に、故障に繋がる予兆が含まれているかを判定する方法において、装置ログ情報、メンテナンス履歴情報、着工履歴情報を収集し、予め設定しておいたイベント定義情報を用いてイベント発生時刻情報を設定し、これらの情報から検知対象区間を算出し、そして、検知対象区間情報と装置ログ情報とから検知対象区間データを取得して統計処理し、検知対象統計処理加工データに装置故障の予兆が含まれているかを判定することで、検知対象区間のデータのみを対象に予兆検知を行う。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一つの処理ステーションでの一つ以上のプロセス量を検出するためのセンサ手段と、プロセス品質に関する情報を得るためのセンサ手段によって生成された信号で動作する取得及び処理の手段と、プロセス品質に関する情報に基づいて動作する製造フローを管理するための手段と、を備える工業プロセスをモニターするためのシステムを提供する。
【解決手段】取得及び処理の手段32は、少なくとも一つの処理ステーション20に局所的に配置される。製造フロー19を管理するための手段は、取得及び処理の手段32に関して遠隔の位置に配置される。取得及び処理の手段32と製造フロー19を管理するための手段との間にプロセス品質に関する情報Qを交換するための無線通信手段42，43が設けられている。 （もっと読む）

【課題】監視対象装置の状況を遠隔監視し、異常の前触れを検知する監視システムを提供する。
【解決手段】臨床検査装置（２００）の製造・販売業者のホストコンピュータ（１００）は、ユーザの臨床検査装置（２００）の部品センサ（２０３ａ・２０３ｂ…）から、各部品の状態データを受信し、状態監視部（１０５）において、受信した状態データと条件記憶部（１０４）に記憶されている予知条件とを対比することにより、異常の前触れを検知する。前記予知条件は、各部品の寿命データに基づいて生成された条件と、異常が発生したときに、異常発生時点以前における状態データの推移に基づき生成された条件とを含む。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、制御システム内のデータを同期させて記憶すると共に、この記憶されたデータに基づく解析を支援することができる。
【解決手段】制御データを記憶する制御データ採取装置４１〜４３と制御ネットワークを介して接続されたカウンタ装置と、このカウンタ装置とネットワークを介して接続されたレベル２計算機６及びデータ蓄積装置１２とを備えた制御システム１であり、カウンタ装置１３が、所定の更新周期で制御データ採取装置４１〜４３に備えられた制御ネットワーク５１内でスキャン伝送により共有される共通メモリに記憶された制御データにカウンタを付加して制御情報として生成すると共に、更新周期でカウンタを第２のネットワーク５３上に送信し、レベル２計算機６が、制御関連データを生成し、この制御関連データにカウンタを付加してイベント情報として生成し、データ蓄積装置１２が、制御情報とイベント情報とを記憶する。 （もっと読む）

【課題】プラント内の情報を共有化することで、業務の効率化を図ることができるプラント解析システムを提供する。
【解決手段】 保存手段は、受付手段を介して定義されたロジックを保存する。監視データ生成手段は、保存手段に保存された前記ロジックを用い、プラントから取得されるデータに基づいてキー情報をプラント監視用のデータとしてリアルタイムに生成する。解析データ生成手段は、前記保存手段に保存された前記ロジックを用い、履歴データ蓄積手段に蓄積された履歴データに基づいてキー情報を過去のプラント状態を解析するための解析用データとして生成する。 （もっと読む）

【課題】上位コンピュータから受信した、所定の処理に関する処理条件を示す制御パラメータ（レシピ）が、製造装置（例えば、半導体・電子部品製造装置）の装置コントローラに正常に格納されているか否かの確認を正確に行うことが可能な検査システム、検査装置、および検査方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る検査装置２は、基準データである検査用レシピデータをレシピファイル３６として保持し、該検査用レシピデータを検査対象装置３のＰＣ４へ送信する検査用レシピ送信部３４と、検査対象装置３のＰＬＣ５のデータ格納領域に格納された検査用レシピデータを受信し、上記レシピファイル３６に出力された基準データである検査用レシピデータとＰＬＣ５から受信した検査用レシピデータとを比較照合する照合部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置によって得られる情報を迅速に解析することが可能なプロセス管理システムを提供すること。
【解決手段】真空プロセス装置１の各部の状態を示す状態情報を取得する第１の取得手段（制御監視部２０）と、真空プロセス装置の制御に関する制御情報を取得する第２の取得手段（制御監視部２０）と、第１および第２の取得手段によって取得された状態情報と制御情報を対応付けする対応付手段（タイマ３４）と、対応付手段によって対応付けがされた状態情報および制御情報を格納する格納手段（ログ格納装置２）と、制御情報を参照して、状態情報に対して解析処理を施す解析手段（解析装置４）と、解析手段の解析の結果として得られた情報を呈示する呈示手段（解析装置４）と、を有し、解析手段は、所定の制御情報を始点または終点として、所定の状態情報を抽出する処理を実行するとともに、抽出した所定の状態情報が所定の条件に該当する時間を算出する処理を実行し、呈示手段は、解析手段によって算出された時間を呈示する。 （もっと読む）

【課題】処理装置の動作を示す動作データや、ユースポイントでの処理状況を指すプロセスデータの特徴量を抽出し、動作データの特徴量と設定値を比較し、更に、直接設定値と比較できないプロセスデータの特徴量と基準値を比較して、プロセス条件に左右されることなく、プロセス処理の正常／異常を判断する方法を提供する。
【解決手段】装置の動作に関するデータを動作データとして収集し、この動作データから動作データの特徴量として算出し設定値と比較して動作の異常の有無を判断すると共に、制御条件が動作データの前記特徴量と一致する場合の出力を基準値として予め定め、一方、装置の動作中の出力に関するデータをプロセスデータとして収集し、このプロセスデータから前記基準値に対応する数値をプロセスデータの特徴量として算出し、このプロセスデータの特徴量を前記基準値と比較して、出力の異常の有無を判断することを特徴とする異常検出方法。 （もっと読む）

【課題】本稼働用のプログラムと試運転用のプログラムとを入れ替える必要がなく、かつ安全に生産設備の試運転の検査を行う。
【解決手段】タイヤ生産設備試運転検査装置１０は、タイヤの生産設備を制御するプログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）１６が実行する、生産プログラム２０Ａに対応した生産設備の動作順序に関する動作順序情報５０Ｂをハードディスク５０から読み出し、ＰＬＣ１６から出力された各動作の動作結果に関する動作結果情報を受信し、ＰＬＣ１６が、構成部材を生産設備に投入しない状態で生産プログラム２０Ａを実行して生産設備を試運転させた場合に、構成部材を検出するためのセンサＳＳ及び生産設備の動作を指示するためのスイッチＳＷの少なくとも一方を強制的にオンさせるダミー信号を、動作順序情報５０Ｂ及び受信した動作結果情報に基づいて、ＰＬＣ１６に出力する。 （もっと読む）

【課題】経時変化が周期的に変化し、その変化が多数現れ、その傾向の定量化や定式化が困難な装置に対しても異常を検出する異常判定装置を提供する。
【解決手段】異常判定装置１０は、収集部１１と一時記憶部１２と分類済みデータ記憶部１３と分類部１４と異常判定部１５とを有する。第１のフェーズで、判定対象の製造データがどの分類に属するかを決定し、第２のフェーズで、その製造データが、属する分類グループのなかで、時間推移とともに逸脱してしまっているかを監視することで、異常かどうかを判定する。 （もっと読む）

【課題】ホットプレスに供する鋼板を所望の温度まで高精度に通電加熱することができる鋼板の加熱制御方法を提供する。
【解決手段】接触式の温度センサにより鋼板の温度を測定しながら通電加熱を行って所望の昇温パターンを得るのに必要な電気エネルギの出力パターンを事前に決定しておく。この出力パターンとこの時の実績電圧、実績電流とを出力パターン記憶装置に保存する。この保存した出力パターンとなるように電気エネルギの出力を制御して鋼板の通電加熱を行うとともに、電圧値、電流値を測定して、これらが前記出力パターン記憶装置に保存した実績電圧、実績電流と異なる場合は加熱エラーと判定して鋼板をライン外へリジェクトする。 （もっと読む）

【課題】ＦＡ装置のセットアップツールの簡略化・コストダウンを図る。
【解決手段】パソコン２はＵＳＢ通信方式、ＦＡ装置３は例えばＥＩＡ−４２２、ＥＩＡ−４８５等の汎用通信方式による通信を行う。設定表示装置１に、ＵＳＢ−汎用通信変換部１５を備えさせる。設定表示装置１は、モード選択メモリ１６に基づき、モード１、モード２の何れかのモードで動作する。モード１では自装置が通信経路ＡによりＦＡ装置３の設定／状態表示を行い、モード２では通信経路Ｂを有効にして、パソコン２によりＦＡ装置３の設定／状態表示を行わせる。 （もっと読む）