【課題】流量調整弁において、高精度に流量を調整することである。
【解決手段】流量調整弁１０は、設定装置２０と弁本体部３０とで構成される。設定装置２０は、流量の設定を行う設定操作盤２２と、設定された流量に対応して、弁本体部３０の調整部３４を移動させるアクチュエータ部２４を含んで構成される。弁本体部３０は、筐体部３２と、筐体部３２の内部の流量調整室４０に配置される複数の平板可動子５０と、流量調整室４０の体積を縮小拡大するための調整部３４とを含んで構成される。平板可動子５０は、中央部に支持穴５２を有し、支持穴５２の外側に第１くぼみ５６と、第１くぼみ５６の外側に第２くぼみ５８と、第２くぼみ５８から外周側に向かって放射状に延びる浅溝部としての複数の細溝６０を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁の二次側圧力の変動を低減して、流量制御機器から排出するガス流量を高精度に検定でき、測定用タンク内の圧力降下率を一定に維持する。
【解決手段】プロセスガス供給源からのガスを第１ライン遮断弁２２と第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由しプロセスチャンバに供給する複数のプロセスガスライン２と、共用ガス供給源からのガスを第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由し排出すべく、分岐接続された共用ガスライン１とを有し、共用ガスライン１には、共用遮断弁１２と測定用タンク１３と第１圧力センサ１４１と圧力調整弁１５とを備え、第１ライン遮断弁２２及び共用遮断弁１２を弁閉したとき、測定用タンク１３内におけるガスの圧力降下を第１圧力センサ１４１により測定し流量制御機器２４の流量検定を行うガス流量検定システムにおいて、圧力調整弁１５は、該圧力調整弁１５の二次側圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】異なる液温の液体が収容された２つのタンクにおける急激かつ大幅な液位変化をなくして液体の温度調整を容易にすると共に、該装置をコンパクトかつ安価に設置できるようにする。
【解決手段】第１の液体Ｆ１が収容された外部タンク１の内部に、第２の液体Ｆ２が収容された内部タンク２を設置し、外部タンク１の内部又は内部タンク２の内部に下限液位センサ２８又は２５を配設し、該液位センサ２８，２５が液体の液位の低下を検出したとき第１の開閉弁２４又は第２の開閉弁２７を開放することにより、液位が上昇したタンク内の液体の一部を、外部タンク用液体循環路５及び内部タンク用液体循環路６を通じて液位が低下したタンク内に補給し、それによって両タンク１，２内の液位の変動を吸収する。 （もっと読む）

流量制御デバイスが開示される。流量制御デバイスは、アーマチュアを含むソレノイドを含む。同様に、アーマチュアにはピストンが接続される。ピストンは一次オリフィスを含む。ピストンは開放位置および閉鎖位置を有する。ピストンに接続されるピストンばねが同様におよび少なくとも１つの二次オリフィスを含む。ピストンの、開放位置への運動は少なくとも１つの二次オリフィスを少なくとも部分的に開放し、ピストンの、閉鎖位置への運動は少なくとも１つの二次オリフィスを少なくとも部分的に閉鎖する。アーマチュアの運動はピストンの運動を作動させ、一次オリフィスから少なくとも１つの二次オリフィスを通じた流体の流れを制御する。 （もっと読む）

【課題】小型でありながら大流量の流量制御弁を提供する。
【解決手段】弁座面４０１を有する弁座部材４と、弁座面４０１に着座する着座面６０１を有する弁体部材６と、を具備し、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流入口が形成され、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流出口が形成されており、それら流入口及び流出口が、着座状態において重ならないように形成され、入口が形成された部材の内部に、流入路及び流入口に連通する内部流入路４１が形成され、流出口が形成された部材の内部に、流出路及び流出口に連通する内部流出路が形成されている。 （もっと読む）

【課題】電磁駆動部により吐出される流量を目標流量通りに確保することが可能な流量制御装置を提供すること。
【解決手段】制御部１４は、温度計９にて測定されたプロセスポンプ８に吸引される液体燃料の温度及び温度計１０にて測定されたプロセスポンプ８の周囲温度に基づいてプロセスポンプ８の温度変化を算出し、当該温度変化に基づいて、液体燃料供給ラインＬ２における液体燃料の流量が実際の目標流量となるようにプロセスポンプ８の吐出流量を補正している。また、制御部１４は、温度計１２にて測定されたバーナポンプ１１に吸引される液体燃料の温度及び温度計１３にて測定されたバーナポンプ１１の周囲温度に基づいてバーナポンプ１１の温度変化を算出し、当該温度変化に基づいて、バーナ用燃料供給ラインＬ３における液体燃料の流量が実際の目標流量となるようにバーナポンプ１１の吐出流量を補正している。 （もっと読む）

【課題】実流量に合わせて適切な測定範囲を選択可能な流量計を提供する。
【解決手段】主流路11、主流路11に通じる少なくとも三以上の複数の孔4a, 4b, 6a, 6b、及び前記複数の孔4a, 4b, 6a, 6bを介して前記主流路11と連通する分流路25が設けられた流路保持体10と、複数の孔4a, 4b, 6a, 6bから選択された二つの被選択孔6a, 6b以外の複数の孔4a, 4bを閉塞する閉塞部材21Aと、分流路25を流れる流体の流量を検出する流れセンサ8と、被選択孔を検出する被選択孔検出機構9A, 9Bと、被選択孔に応じた、分流路25と主流路11の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置400と、分流路25を流れる流体の流量、及び検出された被選択孔に応じた分流比に関する情報に基づいて、主流路11を流れる流体の流量を算出する算出モジュール300と、を備える。 （もっと読む）

【課題】応答性に優れ、かつ高精度・広範囲に流量を制御することができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置１０は、圧力調整手段としてのパイロットレギュレータ２０とその下流側に配置されたエアオペレートバルブ４０とを備えている。エアオペレートバルブ４０は、カバー４１、シリンダ４２、ボディ４３からなる。ボディ４３には吸入通路５８と、排出通路５９と、各通路５８，５９を連通する円形溝６７と、吸入通路５８と円形溝６７とを連通する固定オリフィス６４とが形成されている。吸入通路５８の円形溝６７側端部は弁座オリフィス５８ａとなっており、その開口部周囲は弁座６３となっている。ダイアフラム弁体５５は圧縮コイルバネ４８の付勢力により常時弁座６３に着座されており、圧力制御室５１が操作エアにより加圧されると弁座６３から離れる。 （もっと読む）

低い流入圧力において広い流量検証範囲にわたって高い測定精度をもたらす高精度質量流量検証器（ＨＡＭＦＶ）が、流体送達デバイスによる流量測定値を検証するために開示される。ＨＡＭＦＶは、上流バルブを有する複数Ｎの流入口を画定するチャンバ、１つの下流バルブを有する１つの流出口、チャンバ内の流体圧力を測定するように構成される圧力センサ、およびチャンバ内の流体温度を測定するように構成される温度センサを備える。複数Ｎの臨界流ノズルが、対応する上流バルブに隣接して配設される。ＨＡＭＦＶは、所望の流量検証範囲および流体の種類に基づいて、対応する上流バルブを開き、他の全ての上流バルブを閉じることによって、複数Ｎの臨界流ノズルの１つを起動するように構成されるコントローラをさらに備える。複数Ｎの臨界流ノズルの少なくとも２つは、異なる断面積を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の流体を択一的に選択切換して供給する際に、簡易な構成で連続して流体を供給することができる流体の切換制御方法及び切換制御装置を提供する。
【解決手段】複数の流体を切換手段によって択一的に選択切換して流体使用部１２に所定の流量を供給する方法において、複数の流体のうち選択切換されて使用部１２に流通している流体の流量を測定して圧力調整手段９０による制御信号を当該流体の圧力制御弁部２０（２０ｘ，２０ｙ，２０ｚ）に送り所定の流量の制御をなすとともに、複数の流体のうち選択切換されず使用部１２に流通していない他の流体の圧力制御弁部に対しても圧力調整手段９０による制御信号を送り、選択切換時に即時に所定の流量を確保できる待機状態となるようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流量センサ部自体にサーマルサイフォン現象対策を行わなくてもこれを防止できる集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構を提供する。
【解決手段】一対のセンサコイルからなる流量センサ１０が水平姿勢状態で本体ブロック１に設けられているマスフローコントローラ３と流体供給ラインＬの一部を構成するバルブ等とを繋ぐ繋ぎ流路ｔ_２，ｔ_３，ｔ_７，ｔ_８を有する複数の基板９１〜９４とを備えた集積タイプのマスフローコントローラにおいて、前記マスフローコントローラ３の前記基板９１〜９４への取付姿勢の変更に伴い前記流量センサ部１０においてサーマルサイフォン現象が生ずるのを回避すべく、前記基板９１〜９４とは異なる繋ぎ流路Ｎ_１，Ｎ_２を有する取替基板８０を設ける。 （もっと読む）

【課題】プロセス流体の流れを受け取る流体入口および複数の流体出口を含む流体流れ制御システム。
【解決手段】複数の流体出口に、第１流体出口と少なくとも１つの第２流体出口が含まれる。第１流体出口は、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給し、少なくとも１つの第２流体出口は、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する。１実施形態では、制御システムに、圧力変換器、第１乗算器、第２乗算器、第１フローコントローラ、および第２フローコントローラが含まれる。第１乗算器は、圧力変換器から受け取る圧力信号に、第１セットポイントをかけて、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１フローコントローラを制御する。第２乗算器は、圧力信号に第２セットポイントをかけて、残りの部分を供給する第２フローコントローラを制御する。 （もっと読む）

【課題】 簡単，安定的かつ無駄なく燃料ガスの供給制御を行える方法を提供する。
【解決手段】 燃料ガスを供給源から消費者に供給する燃料ガス供給装置における燃料ガスの供給制御方法において、タンクから前記消費者に送出される燃料ガスの流量を検出する工程と、燃料ガスの供給源から前記タンクに供給される燃料ガスの流量を検出する工程と、前記消費者に供給される燃料ガスの流量に変化が生じたときに、前記燃料ガスの流量の変化から前記タンク内の燃料ガスの圧力変化を予測する工程と、予測された圧力の変化量から、供給側の各燃料ガスの流量の変化量を予測する工程と、予測された供給側の燃料ガスの変化量に基づき、供給側の前記各燃料ガスの流量を調整する工程とを有する。 （もっと読む）

本発明は、マイクロチャネルのアレイに対する流れを制御するために使用可能な機能を記述する。本発明はまた、プロセスストリームが複数のマイクロチャネルに分配される方法を記述する。
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【課題】管路内を通過する光の量、流体の流量又は流体の圧力を長期間に亘って制御可能な調節孔の制御方法を提供すること。
【解決手段】光又は流体が通過する管路３内に、磁性粒子を含有する粘弾性固体で形成された隔壁５が横断状に配置されている。隔壁５に、光量、流体流量又は流体圧力を調節する調節孔６が軸方向に貫通して設けられている。管路３内に径方向に磁場勾配を生じさせることにより、調節孔６の開口度を変化させる。 （もっと読む）

【課題】少ない刺激によって高速かつ高精度に微粒子を分別できる微粒子分別マイクロシステムおよび微粒子分別方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微粒子分別マイクロシステム１は、刺激感応物質としてのゾル-ゲル転移物質が添加された微粒子含溶液11が流れる微粒子含溶液流路３と、所定位置で当該微粒子含溶液流路３と合流するシース溶液12が流れるシース溶液流路４と、微粒子含溶液流路３とシース溶液流路４とが合流した合流流路９と、当該合流流路９に設けられた導入された微粒子10を計測するための微粒子計測部５と、合流流路９の下流に設けられ、分岐点６を介して分岐する微粒子10を分別するための微粒子回収流路７ａ及び微粒子廃棄流路７ｂとが、基板２上に設けられるとともに、当該微粒子廃棄流路７ｂ上に刺激付与手段としての赤外線照射装置８が設けられた構成を有する。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置の二次側流体の圧力変動が発生した場合であっても流体流量の安定化を高精度で実現することができる流量制御装置及びその方法を提供する。
【解決手段】流体供給部１１から所定の流体使用部１５に対して流通する流体の供給ラインＬに配される流量制御装置１０であって、流体供給部側に配置される第１圧力制御弁部２０と、第１圧力制御弁部と圧力損失部４０を介して流体使用部側に配置される第２圧力制御弁部６０とを含み、第１圧力制御弁部は、一次側流体の圧力変動に対して第１弁室２２内に配置された第１弁部３０が第１弁座２５に対して進退して二次側流体を所定の圧力に維持する第１圧力制御機構Ｃ１を備えており、第２圧力制御弁部は、二次側流体の圧力変動に対して第２弁室６２内に配置された第２弁部７０が第２弁座６５に対して進退して一次側流体を所定の圧力に維持する第２圧力制御機構Ｃ２を備えている。 （もっと読む）

本発明は、サーモスタット混合栓の動作形態を安定化するために用いられる水流の動的制御をする装置に関する。この装置は、ピストン（８）と、ピストンを第１の位置へ強制連行する復帰ばね（１７）とを備えるバルブを有しており、そのピストンは流れに依存して２つの位置へ動くことができる。流れが閾値を下回っているとき、ピストンは第１の位置にあり、流量制限手段（１０）が流れを制限している。流れがこの閾値を上回っているとき、ピストンは第２の位置へ動き、流量制限手段が橋渡しされる。
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【課題】 部品数の増加を抑えるとともに、より一層のコンパクト化が果たされた集積化流体制御装置を可能とする継手部材を提供する。
【解決手段】 センサ付き継手部材10は、隣り合う流体制御機器16,20の下端開口同士を接続するＶ字状通路41aが形成された通路ブロック41と、通路ブロック41の側面に設けられた圧力センサ42とを備えている。通路ブロック41には、Ｖ字状通路41aから分岐して圧力センサ42に通じる分岐通路41bが形成されている。 （もっと読む）