【課題】流量調整弁において、高精度に流量を調整することである。
【解決手段】流量調整弁１０は、設定装置２０と弁本体部３０とで構成される。設定装置２０は、流量の設定を行う設定操作盤２２と、設定された流量に対応して、弁本体部３０の調整部３４を移動させるアクチュエータ部２４を含んで構成される。弁本体部３０は、筐体部３２と、筐体部３２の内部の流量調整室４０に配置される複数の平板可動子５０と、流量調整室４０の体積を縮小拡大するための調整部３４とを含んで構成される。平板可動子５０は、中央部に支持穴５２を有し、支持穴５２の外側に第１くぼみ５６と、第１くぼみ５６の外側に第２くぼみ５８と、第２くぼみ５８から外周側に向かって放射状に延びる浅溝部としての複数の細溝６０を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 開閉弁の異常が生じても、装置を停止することなく、できるだけ目標の設定流量に近い流量で運転すること。
【解決手段】 複数の異なる設定流量（または設定関連指標）に対応して開閉弁９Ａ〜９Ｃを異なる開閉パターンに制御する流量調節装置であって、開閉異常が生じている開閉弁９Ａ〜９Ｃを特定する異常特定制御と、開閉異常が生じている開閉弁９Ａ〜９Ｃの開閉状態を含み、かつ正常時の開閉パターンに対応する設定流量（または設定関連指標）に近いバックアップ設定流量（またはバックアップ設定関連指標）の開閉パターンにより、開閉弁９Ａ〜９Ｃを制御するバックアップ制御とを行う。 （もっと読む）

【課題】小流量の流量制御と大流量の流量制御とを高精度に達成する流量制御装置を実現する。
【解決手段】流体通路１０は、バイパス流路１６とセンサ用流路１２，１４を備える。センサ用流路１２等は、バイパス流路１６を流れる前の流体から一部を分岐させ、その後、バイパス流路１６を流れた流体に合流させる。センサ用流路１４は、センサ用流路１２と等しい流路断面と、より長い流路とを有する。流量センサユニット３０は、各センサ用流路について、上流側抵抗器と下流側抵抗器と出力部を備える。上流側抵抗器３１２，３２２は、センサ用流路１２内の流体を加熱する。下流側抵抗器３１４，３２４は、上流側抵抗器３１２，３２２よりも下流に設けられ流体によって温度が変化する。出力部３１６，３１８は、上流側と下流側抵抗器の抵抗の差に応じた信号を出力する。センサ用流路１２，１４は、流体を分岐させる地点から流体を合流させる地点までの距離が等しい。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、柔軟に液量を変更でき、節水をおこなうことが可能な給水システムを提供することにある。
【解決手段】給液システム１０は、液体１２が流れる配管１４、配管１４に設けられたバルブ１６ａ，１６ｂ，１６ｃ、液体１２を溜めるタンク１８、タンク１８内の液面レベルを検知する液面レベルセンサ２０、液体１２の供給量を選択するスイッチ、およびバルブ１６ａ，１６ｂ，１６ｃの開閉を制御する制御盤２２を備える。スイッチＳ１，Ｓ２によって簡単に一定量の液体１２を供給することができ、節水が可能である。必要に応じて連続した液体１２の供給も可能であり、使い勝手がよい。 （もっと読む）

【課題】１基の流量制御装置によってより広い流量域の流体の高精度な流量制御を可能とすることにより、流量制御装置の小型化と設備費の削減を図る。
【解決手段】オリフィス上流側圧力Ｐ_１及びオリフィス下流側圧力の少なくともオリフィス上流側圧力Ｐ_１を用い、オリフィスを流通する流体の流量を演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置の第一のバルブ２の下流側と流体供給用管路５との間の流体通路を二つの並列状の流体通路とすると共に、一方の流体通路５cには第二のバルブ３４と第一のオリフィス８cを設け、他方の流体通路５gにはバルブを設けずに第二のオリフィス８aを設け、前記一方の流体通路５cは、前記第二のバルブ３４の開閉によって制御され、前記第一のオリフィス８cへ大流量域の流体を流通させ、前記他方の流体通路５gは常時連通され、前記第二のオリフィス８aへ小流量域の流体を流通させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】
連通管で結合して水位を同一にすることができない複数の水槽に対して、共通のポンプにより水を循環させること。
【解決手段】
ポンプ１５は、複数の水槽１００、１０１からの水を合流して吸い込み、吐出した水を分岐して複数の水槽内に供給する。水槽１００、１０１からポンプ１５への還流路１４には各水槽毎に循環水量が設定された仕切弁２０ａ、２０ｂが設けられている。ポンプ１５から水槽１０１への流路には、水槽１０１に対して設定されている循環水量よりも大きな流量で供給する「開状態」或いは、小さい流量で供給する「閉状態」のいずれかをとるように設定された制御弁２３ｂが設けられ、水槽１０１の水位が予定された水位範囲内を下回るとき「開状態」に制御弁２３ｂを設定し、上回るとき「閉状態」に制御弁２３ｂを設定する。 （もっと読む）

【課題】マイクロ処理装置の特性や流体の物性に拘わらず閉塞箇所を高精度に検出することができる流体分配装置、及び当該装置を備えることによって安定した長期連続運転が可能なマイクロプラントを提供する。
【解決手段】流体分配装置１は、入力流路１１に供給される流体を３以上の出力流路１３に分配するものであって、複数の枝マイクロ流路Ｒc21〜Ｒc33，Ｒs11〜Ｒs36を組み合わせてなり、入力流路１１に供給された処理対象流体Ｗ１を出力流路１３の数だけ分配する分配流路１２と、分配流路１２をなす複数の枝マイクロ流路Ｒc21〜Ｒc33，Ｒs11〜Ｒs36のうちの２つの枝マイクロ流路（例えば、枝マイクロ流路Ｒc31，Ｒc33）の流量を測定するマイクロ流量計１４ａ，１４ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】 バルブとリミットスイッチとを合わせた流体制御器のコンパクト化が可能な流体制御器を提供する。
【解決手段】 バルブ6は、ケーシング21の開口から突出する突出部を有しバルブ6の開閉に伴って直線移動してリミットスイッチ7に当接する移動部材としてのピストン26を有している。リミットスイッチ7は、ピストン26に臨まされて、リミットスイッチ位置決め手段8を介して位置調整可能に取り付けられている。リミットスイッチ位置決め手段8は、ボディ2に固定された第１のボルト42と、リミットスイッチ7に固定された第２のボルト43と、両ボルト42,43を連結する連結ねじ44とを有しており、第１のボルト42と第２のボルト43とでピッチが異なるものとされている。 （もっと読む）

【課題】熱交換ネットワークにおける熱回収を最大にする。
【解決手段】方法及びシステムは、多数の並列経路を有する熱交換器ネットワークからオンライン・プロセス・データを収集することを含む。オンライン・プロセス・データは、経路の低温プロセスストリーム出口温度から生成される。ストリームの流量目標値は、オンライン・プロセス・データに基づいて開発され、各々の低温プロセスストリーム出口温度の等化のために意図された各熱交換器を通る流量を含む。熱交換器ネットワークの１つ又はそれ以上の低温ストリーム流量制御バルブ及び熱交換器ネットワークの１つ又はそれ以上のプロセスストリーム流量制御バルブが、低温プロセスストリーム出口温度の等化をもたらすように流量目標値に基づいて制御される。 （もっと読む）

【課題】流量精度を向上させることができるコンパクトな流量制御装置を提供すること。
【解決手段】熱式流量計２の流量測定値に基づいて流体制御弁３のバルブ開度を制御して流量制御を行う流量制御装置１であって、流出ポート２３と入力ポート４２とを接続するようにセンサボディ１１とバルブボディ４１とを面接触させて、熱式流量計２と流体制御弁３とを一体化する。そして、流量を絞るオリフィス流路３３が設けられたオリフィス部材３１をセンサボディ１１の流出ポート２３に装着し、オリフィス部材３１を熱式流量計２に内蔵させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流路面積が可変のオリフィス板及び当該オリフィス板を備えた流量制御装置を提供する。
【解決手段】オリフィス板１０１は、両面に形成された電極１１１，１１２及び圧電体１１０からなり、面内方向に伸縮する圧電素子から構成してある。オリフィス板１は、孔部１１３及び孔部１１３の周縁から放射状に径方向外側に向かって延びる複数の切欠部１１４，１１４，…からなる流路部１１５を備える。電極１１１，１１２に電圧を印加して圧電体１０を面内方向に伸長させた場合、流路部１１５の流路面積が減少する。電極１１１，１１２に印加する電圧を調整することにより、流路面積が可変となる。 （もっと読む）

【課題】チャンバーへ供給されるプロセスガス等の流体の供給量（総量）を補正することができる流量制御装置を提案する。
【解決手段】流路の弁機構３０より下流側に設置され、設置箇所において流れる流体の圧力値を検出すると共に、検出された圧力検出値を表す圧力検出信号を出力する圧力検出手段４０を有し、弁機構制御手段Ｐ５が、予め流体を流路に流して流量設定値と流量検出値とが一致するように弁機構３０を制御したときに、圧力検出手段４０が検出した圧力基準値の時間変化を示した、圧力基準値−時間テーブルがＲＯＭ１２からなる記憶手段に記憶されている。制御手段１０の弁機構補正制御手段Ｐ６は、圧力検出手段４０からの圧力検出信号を受けて、この圧力検出信号が表す圧力検出値と、圧力基準値−時間テーブルにおける圧力検出値の検出時に対応する時間の圧力基準値とに基づいて弁機構３０を補正制御する。 （もっと読む）

【課題】大幅なコストの増大を伴わずに、流量を広範囲に制御することができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御システム１０には、薬液の流量を検出する流量センサ１４と、その下流側において互いに並列に設けられた流量調整手段としてのパイロットレギュレータ２０及び流体の通過を許可又は禁止する第１開閉弁４０とが備えられている。流量センサ１４の下流側における吐出配管１３の下流側端部は、第１分岐配管１５と第２分岐配管１６とに接続されており、そのうち第１分岐配管１５にパイロットレギュレータ２０が設けられ、第２分岐配管１６に第１開閉弁４０が設けられている。コントローラ３０は、目標流量値及び流量センサ１４により検出された流量値に基づいて電空レギュレータ１８及び第１電磁弁１９を駆動させ、流体流量が目標流量値に一致するように流量フィードバック制御を実施する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率の面での問題の有無を定量的に判断させたり、省エネルギーへの取り組みを活発化させたりする。
【解決手段】実流量計測部２５Ｂによって管路１３を流れる流体の実流量ＱＲを計測する。超過流量積算部２５Ｄによって、流体の実流量ＱＲが設計流量ＱＤを超えている超過期間毎の設計流量ＱＤからの実流量ＱＲの超過分ΔＱを積算する。この超過流量の積算値ΣΔＱを超過流量積算値記憶部２１に記憶するとともに表示部１７に表示する。この超過流量の積算値ΣΔＱを参照することにより、システムがどの程度設計どおり運用されているのか、どの程度設計から外れて運用されているのかなどを定量的に知ることができる。また、超過流量の積算値ΣΔＱを解析することで、システムがどの程度エネルギーを無駄にしているのか、異常が起きていないかどうかなどを検証することができる。 （もっと読む）

本発明は、冶金炉の冷却要素(1)の個々の冷却要素流路(3)を流れる冷却液の温度、流量、または圧力などの物理量のうち少なくとも１つを計測する方法および装置に関する。本装置は、冷却液を分配して冷却要素(1)の冷却要素流路(3)に供給する供給母管(2)と、冷却液を冷却要素(1)の冷却要素流路(3)から回収して収容する回収母管(4)とを備える。本装置は測量ライン(5)を備え、測量ラインはバルブ機構(6)を介して少なくとも１つの冷却要素流路(3)に流体接続され、冷却液は測量ライン(5)を経由して回収母管(4)に案内されるか、または測量ライン(5)を経ずに回収母管(4)に案内される。測量ライン(5)は、測量ライン(5)を流れる冷却液の物理量のうちの少なくとも１つを計測し、また冷却要素流路(3)を計測する計測器(7)を少なくとも１つ含む。
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【課題】単一の質量流量を多数の流れラインに分割するための流量比制御装置を含むガス送出システム用のマルチ反対称最適（ＭＡＯ）制御アルゴリズムを開示する。
【解決手段】ＭＡＯ制御アルゴリズムでは、各流れラインには、流れセンサ及びバルブが設けられている。このバルブは、ターゲット流量比設定点を得るため、線型サチュレータと組み合わせたＳＩＳＯフィードバック制御装置によって積極的に制御される。最適制御性能のため、これらのＳＩＳＯ制御装置及び線型サチュレータは実質的に同じである。各バルブ制御コマンドは、全ての他のバルブ制御コマンドに対してマルチ反対称であるということがわかっている。従って、ＭＡＯ制御アルゴリズムは、任意の時期に少なくとも一つのバルブが許容可能な最大開放位置にあり、これによって、流量比設定点の所与の組について、最大総バルブコンダクタンスに関して最適解を提供することを保証する。 （もっと読む）

【課題】被制御流体の流量値を設定値（制御目標流量）に短時間に制御することが可能な、コリオリ流量計による流量計測と流量制御装置を提供する。
【解決手段】制御手段２７には、コリオリ流量計２４の流量−差圧特性が予め記憶されている。制御手段２７は、流量制御の開始時或いは流量制御目標値を変更した場合に、差圧計測手段２６からの差圧信号と上記流量−差圧特性に基づき所望の流量に相当する差圧を制御目標値としてポンプ２５の吐出量を制御するようになっている。また、制御手段２７は、流量が所望の流量、若しくはこの近傍に制御された時点でコリオリ流量計２４からの流量信号を制御目標値に移行させてポンプ２５の吐出量を制御するようになっている。 （もっと読む）

【課題】見かけ上差圧の生じない、コリオリ流量計による流量計測と流量制御装置を提供する。
【解決手段】コリオリ流量計２４と，コリオリ流量計２４の上流位置に配置されコリオリ流量計２４へ流体を輸送するポンプ２５と，ポンプ２５の上流側近傍位置とコリオリ流量計２４の下流側近傍位置との差圧を計測する差圧計測手段２６と，コリオリ流量計２４、ポンプ２５及び差圧計測手段２６が電気的に接続され、且つ差圧がゼロ若しくはゼロに近づくようにポンプ２５の吐出量を制御する制御手段２７と，を備えて流量計測・流量制御装置２１を構成する。 （もっと読む）

本発明は、マイクロチャネルのアレイに対する流れを制御するために使用可能な機能を記述する。本発明はまた、プロセスストリームが複数のマイクロチャネルに分配される方法を記述する。
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【課題】通路を流通する流体の流量を高精度で且つ安定して制御することにある。
【解決手段】圧力流体入力ポート１２、圧力流体出力ポート１４、及び圧力センサポート１６を有し、複数の金属板の積層体からなるベース部１８と、前記ベース部１８内の第１通路３０を流通する圧力流体（ガス）の圧力を調圧する圧力制御部２０と、第２通路３４を流通する圧力流体の圧力を検出する圧力センサ７８と、前記圧力制御部２０によって調圧された圧力流体を所定量に絞る第１〜第３オリフィス４８ａ〜４８ｃを含むと共に、前記圧力流体出力ポート１４に向かって圧力流体が導出される第４〜第６通路３８、４０、４２をそれぞれ切り換える第１〜第３オン／オフ弁４６ａ〜４６ｃを有する流路切換部２２とを備える。 （もっと読む）