【課題】作動流体が貯留されるリザーバに接続される第１流体圧シリンダと、それに伝達管を介して接続される第２流体圧シリンダとを備え、構成においてコンパクトであると共に、混入したエアを効率良く排出させるようにした流体圧伝達装置などを提供する。
【解決手段】作動流体が貯留されるリザーバに接続されると共に、第１ピストンが移動自在に収容された第１流体圧シリンダと、第１流体圧シリンダに流体圧伝達管を介して接続されると共に、第２ピストンが移動自在に収容された第２流体圧シリンダを備え、第１ピストンの移動によって生成される流体圧を流体圧伝達管を介して第２流体圧シリンダに伝達して第２ピストンを移動させる流体圧伝達装置において、第１流体圧シリンダなどにエアが混入したか否か判定し（Ｓ１０）、エアが混入したと判定された場合、混入したエアを除去する（Ｓ１２からＳ１４）。 （もっと読む）

【課題】インジェクタ付き減圧弁の小型・軽量化を図る。
【解決手段】インジェクタ付き減圧弁５は、バルブ室１２を有するボディ１１と、高圧流体をバルブ室１２に導入する導入口１７と、減圧された流体をバルブ室１２から第２水素供給流路３ｂに送り出す送出口１５と、バルブ室１２内に収容されるシャトル弁体１３と、送出口１５の一端に設けられシャトル弁体１３が離接可能な弁座１８と、シャトル弁体１３の背面２２とバルブ室１２の壁面１２ａにより囲繞されシャトル弁体１３とバルブ室１２の壁面１２ａとの隙間２０を介して導入口１７に連通する背圧室２５と、背圧室２５に連通し背圧室２５の流体を排出する背圧流路２６と、シャトル弁体１３を弁座１８に接近する方向に付勢するスプリング１４と、背圧流路２６を介して排出された背圧室２５の流体を断続時間間隔を調整して第２水素供給流路３ｂに送出するインジェクタ３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】精密かつ高速に圧力制御を行なうことができる圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】実施形態の圧力制御装置は、バルブと、前記バルブに接続されている軸部と、ソレノイド部と、マイクロメータ部と、制御部と、を備えている。前記ソレノイド部は、前記軸部をソレノイド駆動によって軸方向に移動させることにより、前記軸部を介して前記バルブのゲート開度を調整し、前記マイクロメータ部は、前記軸部に着脱自在に取り付けられるとともに、前記軸部に取り付けられた場合には前記軸部をねじ機構によって軸方向に移動させることにより、前記軸部を介して前記バルブのゲート開度を調整する。前記制御部は、前記マイクロメータ部を用いて前記ガス圧力を制御する際には、前記マイクロメータ部を前記軸部に取り付け、前記ガス圧力を制御する際には、前記マイクロメータ部を前記軸部から取り外す。 （もっと読む）

【課題】 小形で、出力ロッドを押し出す出力圧力を応答性良く制御できる小形押圧レギュレータを提供すること。
【解決手段】 内部空間１７を有するシリンダブロック１４と、前記内部空間１７に配置されて圧力制御室１７ａを形成するダイアフラム１８と、前記シリンダブロック１４に往復直線運動可能に保持され、前記ダイアフラム１８に連結される出力ロッド１５と、を有するエアシリンダ部１０と、前記エアシリンダ部１０に連結されるものであって、前記圧力制御室１７ａの圧力を制御する圧力制御部３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ヒータを使用せずに真空容器内の圧力のアンダーシュートを防止する真空圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】真空容器と真空ポンプとを接続する配管上であって開度を変化させることにより真空容器内の真空圧力を変化させ、弁座と当接又は離間するＯリングを備える弁体とエア式シリンダを備えるパイロット式の真空比例開閉弁１８と、真空容器内の真空圧力を計測する圧力センサ１７と、圧力センサ１７の圧力に基づいてＯリングの弾性変形量を変化させ、Ｏリングからの漏れ量を変化させることにより真空容器内の圧力を制御するコントローラと５６、を有する真空圧力制御装置８において、圧力センサ１７により計測された真空容器内の圧力が一定以上の圧力下降率となったときに、エア式シリンダの内圧を排気する。 （もっと読む）

【課題】流体圧アクチュエータの圧力制御のために設けられた電磁式可変リリーフ弁のリリーフ設定圧力に対するリリーフ圧精度の向上を図る。
【解決手段】アタッチメントシリンダ15に供給する作動油の圧力を電気的に指令可能な設定圧力に制御するために設けられている電磁式可変リリーフ弁33をコントローラ31により制御する。コントローラ31には、電磁式可変リリーフ弁33のリリーフ設定圧力およびリリーフ弁通過流量に関する入力信号に基づき上記電磁式可変リリーフ弁33のオーバーライド圧力特性を補正したリリーフ設定圧力に関する指令信号を上記電磁式可変リリーフ弁33に出力することを可能とする制御ロジックを盛り込み、このコントローラ31により制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】精度の高い安定した不作動流水制御と調圧制御を可能し、且つ流水検知信号を確実に出力可能とする。
【解決手段】流水検知装置１０は、配管途中に設けられ、２次側圧力の低下により本弁２４を開放して加圧水を給水し、圧力スイッチ４０により本弁２４の開放により流水検知信号を出力する。本弁駆動部は、シリンダ室３０に対し１次側圧力水を供給制し、ピストン２８をストロークして本弁２４を開放し、シリンダ室３０から１次側圧力水を排出して本弁２４を閉鎖する。本弁２４の１次側と２次側とバイパスするバイパス配管３６には制御弁５０が配置され、２次側圧力が締切設定圧力より低下すると制御弁５０の不作動流水機構５２が開いて２次側圧力を回復させ、更に２次側圧力が下がると制御弁５０の調圧パイロット機構５４が動作して本弁２４を開放する。圧力スイッチ４０はシリンダ室３０に１次加圧水を供給する配管に設けられ、流水検知信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】配水バルブ制御装置に故障等の不具合が生じた際にも、需要家に対して良好な配水制御が可能となる配水バルブ制御装置を提供する。
【解決手段】配水バルブ制御装置１００は、制御部１と、制御部１から目標開度Ｓ２及び正常信号Ｓ１が入力される信号入出力部２と、信号入出力部２に接続されたバルブ調節部３とを備える構成とする。そして、配水バルブ制御装置１００に不具合が生じた場合には、信号入出力部２は、バルブ調節部３への正常信号Ｓ１の出力を停止して配水バルブ２０２の開度を該不具合発生時の開度に維持する。 （もっと読む）

【課題】精度の高い安定した不作動流水制御と調圧制御を可能とする。
【解決手段】流水検知装置１０は、配管途中に設けられ、２次側圧力の低下により本弁２４を開放して加圧水を給水し、圧力スイッチ４０により本弁２４の開放により流水検知信号を出力する。本弁駆動部は、本弁２４に連結されたピストン２８をシリンダ室３０に収納自在に設け、シリンダ室３０に対し１次側圧力水を供給制して本弁２４を開放し、シリンダ室３０から１次側圧力水を排出して本弁２４を閉鎖する。本弁２４の１次側と２次側とバイパスするバイパス配管３６には、不作動流水機構５２と調圧パイロット機構５４を配置した制御弁５０が配置され、２次側圧力が締切設定圧力より低下すると不作動流水機構５２が開いて２次側圧力を回復させ、更に２次側圧力が下がると調圧パイロット機構５４が動作して本弁２４を開放する。 （もっと読む）

【課題】下流側に流量変動が発生した場合においても、高応答かつ高精度に圧力制御を行うことができる圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】圧力レギュレータ４１は、サーボ弁１１によって、気体供給源１０から供給される気体の等温化圧力容器１３への流入流量を規制し、等温化圧力容器１３内の圧力を一定に保持する。ここで、サーボ弁１１を操作する圧力制御手段（コンピュータ４６）は、圧力計１４で計測した等温化圧力容器１３内の圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流入流量を制御する流入流量制御系を構成すると共に、圧力微分計１５で計測した等温化圧力容器１３内の圧力微分値に基づいて等温化圧力容器１３における流入流量と流出流量との差である流入出流量差を推定するオブザーバを構成し、推定した流入出流量差を流入流量制御系にフィードバックするモデル追従制御系を構成する。 （もっと読む）

【課題】既存の圧力レギュレータに付随する「降圧」および「昇圧」の問題と、保守性の問題を解決した自己調整圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】あらかじめ定められた圧力にプロセスにおける流量を維持するためのインテリジェント圧力レギュレータ１０であって、レギュレータの性能を向上させ、自己診断および通信能力を与える電子制御器を含む。電子制御器は、制御されている流体の圧力を示す信号を与える圧力センサと、絞り要素の位置を調整する調整圧力と、制御されている流体の圧力を示す信号を受信し、この信号に応答にしてアクチュエータに調整圧力を与えるＰＩＤ制御器３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】組み立てが容易で、かつ螺子３６，３７による弁ロッド３１と弁体３２及びダイアフラム３３の結合力を安定させることによって弁装置の品質を向上させる。
【解決手段】ボディ１のシリンダ部１Ｅ及び弁孔１Ｄを貫通して軸方向往復動可能に配置された弁ロッド３１と、弁孔１Ｄに一次側通路と反対側から対向すると共に弁ロッド３１の一端に螺子３６により結合される弁体３２と、弁ロッド３１における弁体３２と反対側の端部に螺子３７により結合されるダイアフラム３３を備え、弁ロッド３１とボディ１が、係合手段５を介して互いに回り止め可能となっている。このため、弁ロッド３１の端部に螺子３６，３７により弁体３２及びダイアフラム３３を結合する際に、弁ロッド３１の共回りを防止することができ、組み立てが容易になる。 （もっと読む）

【課題】密閉チャンバ（パスボックス４）内の圧力変動を緩和する。
【解決手段】密閉チャンバ４には、無菌フィルタ１４を介して外部から給気する給気通路１２と、無菌フィルタ２２を介して排気する排気通路２０が接続され、給気通路１２および排気通路２０をそれぞれ連通遮断する給気バルブ１８および排気バルブ２６が設けられている。また、これら両バルブ１８、２６の開閉を制御して密閉チャンバ４内の圧力を所定の陽圧に制御する制御手段４６が設けられている。さらに、排気通路２０の無菌フィルタ２２と排気バルブ２６との間に、密閉チャンバ４内の圧力の変動に応じて膨張、または収縮して、圧力変動を緩和するシリコン膜４８を取り付けている。 （もっと読む）

【課題】子調整器の診断を行うことが可能な調整器診断システム、調整器診断装置及び調整器診断方法を提供する。
【解決手段】調整器診断システム１００は、ガスボンベ１１０から複数の住宅２側に燃料ガスを供給するメイン流路１２１と、メイン流路１２１をバイパスするバイパス流路１２２と、メイン流路１２１に設けられた親調整器１４０と、バイパス流路１２２に設けられ、親調整器１４０の調整圧力よりも調整圧力が高く設定された子調整器１５０と、子調整器１５０を診断する調整器診断装置１６０と、を備えている。調整器診断装置１６０は、バイパス流路１２２における燃料ガスの圧力又は流量に応じた計測信号を出力する計測センサと、計測センサにより出力された計測信号の所定以上の変化時からの微小時間中に得られる振動波形に基づいて、子調整器１５０の異常を診断する異常診断部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】子調整器の診断を行うことが可能な調整器診断システム、調整器診断装置及び調整器診断方法を提供する。
【解決手段】調整器診断システム１００は、ガスボンベ１１０から複数の住宅２側に燃料ガスを供給するメイン流路１２１と、メイン流路１２１をバイパスするバイパス流路１２２と、メイン流路１２１に設けられた親調整器１４０と、バイパス流路１２２に設けられ、親調整器１４０の調整圧力よりも調整圧力が高く設定された子調整器１５０と、子調整器１５０を診断する調整器診断装置１６０と、を備えている。調整器診断装置１６０は、子調整器１５０のみを介して流れる燃料ガスの最大流量値以下の流量範囲において計測された圧力値と、所定値との差に基づいて子調整器１５０の異常を診断する異常診断部を備えている。 （もっと読む）

【課題】自身の現在の動作型式を簡単に知ることができるようにする。
【解決手段】演算部１にポジショナ動作型式判別機能１Ｂを設ける。単動パイロットリレー３からの増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの圧力値を圧力センサ５によって検出し、演算部１へ送る。演算部１は、ポジショナ動作型式判別機能１Ｂによって、制御出力Ｋの変化に対応する増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化を監視し、制御出力Ｋの変化方向と増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化方向とが同方向の場合、ポジショナ１００の動作型式を正動作型と判別する。制御出力Ｋの変化方向と増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化方向とが異なる方向の場合、ポジショナ１００の動作型式を逆動作型と判別する。この判別結果は表示部７の画面上に表示される。 （もっと読む）

【課題】発生させる負圧を安定化することができる真空圧制御装置及び真空圧制御方法を提供する。
【解決手段】気体供給源８から供給される気体流量を制御することにより気体が供給される負圧発生装置に発生させる負圧を安定化する真空圧制御装置及び制御方法であって、負圧発生装置で発生された負圧の圧力を圧力センサ１０により検出し、検出された圧力値Ｐと、予め記憶されている目標負圧Ｐ_０とが異なる場合に、予め定められた負圧と気体流量との関係式とに基づき、目標気体流量Ｆ_０を第１の制御装置１３で求め、第２の制御装置１４が、目標気体流量Ｆ_０に基づいて流量コントローラ９による流量を目標気体流量Ｆ_０とし、かつ負圧発生装置２に現に供給されている気体流量を流量センサ１１で検出し、第２の制御装置１４において、検出された気体流量Ｆと目標気体流量Ｆ_０とを比較し、気体流量Ｆが気体流量Ｆ_０となるように流量コントローラ９の流量を設定する、真空圧制御装置及び真空圧制御方法。 （もっと読む）

圧力調節弁が、コア組立体、摺動部材、及び偏倚部材を具備する。コア組立体は取水部、分流加減器部、及び出力部を備えている。摺動部材はつばを有し、内表面にて第１の開口部及び第２の開口部で終端する少なくとも１つの内部流路を有している。摺動部材が第１の位置にある状態では流体は弁を通過できる。摺動部材が第２の位置にある状態では流体は弁を通過できない。
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【課題】チャンバ室の圧力を目標圧力降下勾配に近づけるように電動真空弁の弁開度を切り換える設定点を簡単かつ安価に設定できる電動真空弁による排気速度制御方法を提供すること。
【解決手段】電動真空弁２１の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、真空ポンプ１３により粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサ１５によりチャンバ室の真空圧力を測定して圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を実測した後、圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を目標圧力降下勾配Ｘに近似させるように時間的にずらし、圧力降下カーブ同士の交点を電動真空弁２１の弁開度を切り換える設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に決定し、その後、設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に基づいて電動真空弁２１の弁開度を切り換え、粘性流領域における排気速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】真空容器の真空引きの過程において発生するパーティクルの巻き上がりを抑制する技術を簡易に実装する技術を提供する。
【解決手段】真空制御バルブ１００は、真空容器に接続される上流側流路１４１と、真空ポンプに接続される下流側流路１４２と、を含む流路１４０と、弁開度を操作することによって、上流側流路１４１と下流側流路１４２との間のコンダクタンスを変化させる開閉弁１１０と、上流側流路１４１の内部の圧力を計測する圧力センサ１２０と、上流側流路１４１の目標圧力値を予め設定された時間関数として変化させ、計測された圧力と目標圧力値との間の偏差に応じて開度を操作する制御部１５０と、を備え、制御部１５０は、真空制御バルブ１００の外部からの開始入力に応じて、コンダクタンスを操作することによって偏差を小さくする制御を開始する。コンダクタンスは、ゼロから予め設定された範囲までの連続した範囲で操作することができる。 （もっと読む）