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【課題】電気機械結合係数Kを高め、かつ電極指一本あたりの反射係数を効果的に高め得る弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】水晶基板2上にIDT電極3が形成されており、IDT電極3を覆うように水晶基板2上にc軸配向のZnO膜6が形成されており、IDT電極3のメタライゼーション比が0.25〜0.45の範囲にある、弾性表面波装置。 (もっと読む)


【課題】一つの素子に複数の弾性表面波共振子を配置して複数の減衰極を形成することを可能とした共振子型の構成をとる多重モード弾性表面波フィルターを提供する。
【解決手段】縦結合二重モードSAWフィルター1は、圧電基板5上に、複数対の正規型IDT電極50、および、その正規型IDT電極50と同じ対数の反射反転型IDT電極60が、弾性表面波の伝搬方向(縦方向)に隣接して並設されたいわゆる縦結合の多重モードSAWフィルターである。圧電基板5上の、隣接して並設された正規型IDT電極50および反射反転型IDT電極60の、さらに弾性表面波の伝搬方向の両側には、正規型IDT電極50の反射反転型IDT電極60とは反対側には、正規型IDT電極50と同じ電極構造の正規型反射器31Aが配置され、反射反転型IDT電極60の正規型IDT電極50とは反対側には、反射反転型反射器32Aが配置されている。 (もっと読む)


本発明の一部の実施例は、第1のフィルタがそれぞれ、少なくとも1つの第1のフィルタを製造するために使用される第1の材料の関数である第1のフィルタ・パラメータの組を有するバンド阻止型フィルタである少なくとも1つの第1のフィルタと、少なくとも1つの第2のフィルタを製造するために使用される第2の材料の関数である第2のフィルタ・パラメータの組を第2のフィルタがそれぞれ有する少なくとも1つの第2のフィルタであって、第2のフィルタがそれぞれ、バンド阻止型フィルタ及びバンド・パス型フィルタの一方である少なくとも1つの第2のフィルタとを有するフィルタが提供される。フィルタを形成するために、少なくとも1つの第1のフィルタ及び少なくとも1つの第2のフィルタのうちの少なくとも1つは併せて縦続接続される。第1の材料及び第2の材料は異なる材料である。縦続接続フィルタは、第1の材料及び第2の材料の関数である新たな第3のフィルタ・パラメータの組を有する。本発明の他の実施例は、フィルタを製造する方法、及び前述の縦続接続フィルタを使用したフィルタリングの方法を含む。
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【課題】少ない工程で簡単に弾性波デバイスの周波数特性を調整する。
【解決手段】圧電基板2上に、くし型電極3を形成する電極形成工程と、くし型電極3を覆おうようにバリア膜4を形成する工程と、バリア膜4の上に媒質5を形成する工程と、くし型電極3により励起される弾性波の周波数特性を測定する測定工程と、バリア層4をパターニングするかまたは、調整膜をさらに設けることで、励起領域において厚みが他の部分とは異なる調整領域を形成する調整工程とを含み、調整工程では、調整領域の面積Tが、測定された周波数特性に応じて調整される。 (もっと読む)


【課題】周波数温度特性を改善することができ、かつ高次モードスプリアスを充分に抑圧することが可能とされている、弾性波装置を得る。
【解決手段】LiNbOからなる圧電体2と、圧電体2上に積層されたSiO層6と、圧電体2とSiO層6との界面に設けられたIDT電極3とを備え、LiNbOのオイラー角(φ,θ,ψ)のφ及びθが、それぞれφ=0°及び80°≦θ≦130でありSH波を主成分とする弾性波を用いる弾性波装置において、ψが、5°≦ψ≦30°の範囲内にされている弾性波装置1。 (もっと読む)


【課題】低損失のバランスフィルタを実現する。
【解決手段】フィルタまたはデュープレクサに含まれる集中定数型バラン12に、キャパシタとして機能する共振器(IDTキャパシタ)を備え、さらにIDTキャパシタの共振周波数をフィルタの通過帯域周波数よりも高くしたことにより、キャパシタQ値が向上し、低損失のバランスフィルタを実現することができる。 (もっと読む)


【課題】同一圧電基板上に周波数特性が異なる第1,第2の弾性境界波素子が形成されており、第1,第2の弾性波素子の双方において、スプリアスを抑圧することができる弾性波装置を得る。
【解決手段】圧電基板2の上面2aが、傾斜面部2bと、傾斜面部2b以外の平坦部2cとを有し、平坦部2c上に第1の電極3が、傾斜面部2c上に第2の電極4が形成されており、第1,第2の電極3,4をそれぞれ有する第1,第2の弾性波素子5,6が構成されている、弾性波装置1。 (もっと読む)


【課題】弾性波デバイスの通過帯域の高域側、及び、低域側の減衰量を共に大きく確保する。
【解決手段】
本発明の弾性波デバイス30は、第1端子11と第2端子Txとの間に接続される第1フィルタ回路12と、第1端子11と第2端子Txとの間に第1フィルタ回路12と並列に接続される第1インダクタL1と、第1端子11と第2端子Txとの間に第1インダクタL1と直列に接続される第2インダクタL2と、第1インダクタL1と第2インダクタL2との間のノードNとグランドGNDとの間に接続される第3インダクタL3と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】コンタクト部における接触抵抗を低めることができるだけでなく、例えばフォトリソグラフィー法より製造するに際し、エッチング液による電極の腐食が生じ難い、弾性波装置及びその製造方法の提供。
【解決手段】圧電基板2上に、IDT電極3の電極指部分を含むように第1の積層金属膜11が形成されており、第1の積層金属膜11に重なり合う部分においてコンタクト部が形成されており、圧電基板2上に第2の積層金属膜が形成されており、第1の積層金属膜の最上部の金属膜がTi膜であり、第2の積層金属膜12の最下層の金属膜がTi膜であり、コンタクト部CにおいてTi膜同士が接触されている、弾性波装置1。 (もっと読む)


デュプレクサは、アンテナ端子(ANT)と、送信アンプ端子(PA)と、受信アンプ端子(LNA)とを備える。送信アンプ端子(PA)は、送信フィルタ(TX)を介してアンテナ端子(ANT)に結合される。受信アンプ端子(LNA)は、受信フィルタ(RX)に結合され、受信フィルタ(RX)は、帯域阻止フィルタ(BS)を介してアンテナ端子(ANT)に結合される。
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【課題】TV電波の帯域外における互いに接近した減衰域では急峻で大きな減衰量を得ること、インダクタの使用個数を抑えてデバイスの小型化に寄与できるフィルタを提供すること。
【解決手段】複数の減衰域を夫々形成するための複数の並列腕の弾性波共振子をインダクタを介さずに信号路の同電位点に接続する。あるいは直列共振を起こす複数の素子部の直列回路を信号路に並列腕として接続する。このため複数の減衰域の夫々に大きな減衰量が得られるが、隣り合う極間にはいわば零(ゼロ)点に相当する領域が存在する。しかし零点が存在してもその両側にて急峻に減衰する特性が得られる。そして同電位点に接続した弾性波共振子の組(共振子の組)あるいは前記直列回路からなる並列腕を信号路に複数段接続し、各段間には位相を反転させるためのインダクタを介在させている。 (もっと読む)


【課題】小型化が可能で、かつ信号用パッド間のアイソレーション特性を改善することが可能な分波器の提供。
【解決手段】絶縁層14と、絶縁層14の上面に設けられた上部配線層12と、下面に設けられた下部配線層30と、内部に設けられた内部配線層22と、からなる基板2と、基板2の上面に実装された少なくとも一つの弾性波フィルタチップと、上部配線層12に設けられ、弾性波フィルタチップの信号用電極と接続された複数の信号用パッドと、複数の信号用パッドの間に位置するように上部配線層12に設けられ、弾性波フィルタチップのグランド電極と接続された上部グランドパッドと、を具備し、信号用パッドと上部グランドパッドとの最短距離をD1、信号用パッドと内部配線層22の内部グランドパッド20との最短距離をD2、上部配線層12と内部配線層22との間の絶縁層14の厚さをT1としたとき、D1>D2かつD1>T1である分波器。 (もっと読む)


【課題】部品点数を少なくして製造コストを低減した高感度かつ高分解能のSAWセンサを提供する。
【解決手段】SAWセンサ素子1は長さ方向に薄板部3aと厚板部3bとを有する圧電基板2と、薄板部上に形成された検出用SAW共振子5及び第1SAWフィルタ6と、厚板部上に形成された基準用SAW共振子7と第2SAWフィルタ8とを備える。検出用SAW共振子と第1SAWフィルタ間に第1発振回路22を接続して検出用の発振周波数を発振させ、基準用SAW共振子と第2SAWフィルタ間に第2発振回路23を接続して基準用の発振周波数を発振させ、それらを第1及び第2SAWフィルタを通過させて不要な信号成分を除去した後、周波数混合器24に入力してそれらの差分又は和分を検出する。 (もっと読む)


【課題】圧電基板上に設けたIDT電極の電極指の交差幅を重み付けした弾性波共振子において、高次横モードに基づくスプリアスを抑圧することのできる弾性波共振子及びこの弾性波共振子を用いた弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】弾性波共振子は、圧電基板上に設けたIDT電極の電極指の交差幅を重み付けされ、バスバーに接続された電極指群の先端を結んで形成される包絡線にはバスバーからの距離が極大となる少なくとも3つの極大部と、この距離が極小となる少なくとも2つの極小部とが交互に配列され、隣り合う極大部と極小部とを通る包絡線を構成する電極指群には、予め定めたn次横モード(nは予め定めた3以上の奇数)が発生しない上限の交差幅を有する電極指が含まれ、前記上限の交差幅を有する電極指の先端部を通る包絡線は、弾性波の伝播方向に対して10°以上、65°以下の範囲内の傾斜角度を有する直線等である。 (もっと読む)


【課題】使用帯域においてIDT電極に過大な応力をかけるスプリアスの発生しない弾性波共振子を提供する。
【解決手段】弾性波共振子1は、圧電基板上にIDT電極2と、弾性波の伝播方向の両側に配置されたグレーティング反射器3a、3bと、を備え、各グレーティング反射器3a、3bのストップバンドの範囲内で使用され、当該弾性波共振子1が使用される帯域の上端周波数fが下記数式1の条件を満たす。
【数1】


但し、vは圧電基板を伝播する弾性波の平均速度、λはIDT電極の電極指の周期長、NはIDT電極の電極指の本数、L、LはIDT電極と夫々の反射器との電極間距離、fは弾性波共振子が使用される帯域の上端周波数、nは予め決めた2以上の自然数である。 (もっと読む)


【課題】入力電極及び出力電極としてテーパー型IDTが形成された弾性波フィルタにおいて、表面波が入力電極から出力電極に向けて伝搬する際に、屈折や回折により、伝搬する周波数の波長に対応した配列パターンとなるように電極指が形成された領域から外れた領域に到達して、減衰特性が劣化すること。
【解決手段】入力電極と出力電極の間に、複数の電極指を備えたショートグレーティング電極を形成して、このショートグレーティング電極の電極指の配列パターンを、入力電極及び出力電極の少なくとも一方のパターンから連続する周期構造として、屈折や回折を抑える。 (もっと読む)


【課題】スプリアス特性を抑制すること。
【解決手段】圧電基板と、圧電基板の表面上に形成され複数の電極指を有するIDTと、を具備し、圧電基板は、圧電基板表面の電極指の長手方向をy軸、圧電基板表面のy軸に垂直な方向をx軸、圧電基板の法線方向をz軸としたとき、x軸およびz軸方向の変位を成分とする第1表面波モードとy軸方向の変位を成分とする第2表面波モードとを有し、電極指の膜厚は、第1表面波モードの反共振点(SAWモードの反共振点1)の伝搬速度と第2表面波モードの反共振点(SH−SAWモードの反共振点1)の伝搬速度とが一致する膜厚hc/λである弾性表面波デバイスおよび弾性波フィルタである。 (もっと読む)


【課題】温度変化による伸縮が十分に抑えられて歩留まり良く圧電基板を得ることができる圧電基板の製造方法を提供する。
【解決手段】タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶、四ホウ酸リチウム、酸化亜鉛などの圧電基板11の一方の主面11a上に保護基材12を設け、基板11の他方の主面11bに溝加工を施して周縁部にリブ11cを形成し、溝加工により形成された溝部15に、基板11の線膨張係数よりも小さい材料16を溶射により埋め込み、保護基材12を除去する。 (もっと読む)


【課題】横モードによるスプリアスを低減し、良好な振幅特性が保たれる弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電基板上に互いに対向する各一対のバスバーと、各バスバーから各々交叉するように櫛歯状に伸び出した多数の励振用の電極指と、を備えた共振器型一方向性電極である入力側電極及び出力側電極を備え、前記入力側電極及び出力側電極の励振用の電極指により、各バスバーの伸長方向に沿った入力側電極の中央部と出力側電極の中央部との間で弾性波を繰り返し反射させ、増幅させて入力側電極から出力側電極に伝搬させる弾性波デバイスにおいて、弾性波の進行方向における入力側電極の中央部と弾性波の進行方向における出力側電極の中央部との間の領域における入力側バスバー、出力側バスバーの少なくともいずれか一方に吸音材を設け、バスバーに漏れ出したエネルギーを吸収する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、主として無線通信機器にて使用される弾性波フィルタ装置に関して、平衡度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】本発明は、圧電基板1と、この圧電基板1上に設けられた縦モード結合型フィルタ6とを備え、前記縦モード結合型フィルタ6は前記圧電基板1の伝播方向に配置された一対の反射器3と、この反射器間に併設された複数の櫛形電極からなり、前記複数の櫛形電極のうち所定の櫛形電極2bが配置された前記圧電基板1の領域7の分極特性を他の領域の分極特性と反転させた。 (もっと読む)


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