国際特許分類[C23C16/30]の内容
化学;冶金 (1,075,549) | 金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般 (47,648) | 金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般 (43,865) | ガス状化合物の分解による化学的被覆であって,表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの,すなわち化学蒸着 (14,497) | 金属質材料以外の無機質材料の析出に特徴のあるもの (4,650) | 化合物,混合物または固溶体の析出,例.ほう化物,炭化物,窒化物 (3,477)
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超電導線の製造方法
【課題】原料コストを抑制しつつ、磁場中の臨界電流特性をさらに向上する。
【解決手段】1層あたりの熱容量が0.4J/h以上2.0J/h以下となるように、長尺状の基材11を加熱する加熱工程と、CVD法を用いて加熱状態の基材11上に酸化物超電導体を成膜する成膜工程と、基材11を冷却する冷却工程とを順に繰り返して、多層膜の超電導層13を形成する。
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表面被覆部材および切削工具
【課題】耐密着性に優れ、耐欠損性に優れた表面被覆部材を提供する。
【解決手段】基体2の表面に、TiCN層4と、Ti、Al、炭素および酸素を含み、平均膜厚が5〜30nmで途切れることなく存在する中間層5と、α型Al2O3層9とが順に被着形成された積層体を有する被覆層3を備え、TiCNの(200)面に帰属される回折ピークが現れる2θの値θtとJCPDSカードのθt0との差△θt(=θt−θt0)と、Al2O3のα型結晶構造の回折ピークが現れる各結晶面の2θの値θa(hkl)とJCPDSカードのθa0(hkl)との差△θa(hkl)(=θa(hkl)−θa0(hkl))と、の差△θz(hkl)(=△θt−△θa(hkl))がいずれも−0.2°〜0.2°の表面被覆部材1である。
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二元及び三元金属カルコゲニド材料ならびにその製造方法及び使用方法
【課題】本発明は化学蒸着(CVD)プロセス、原子層堆積(ALD)プロセス又は湿式溶液プロセスを用いた金属カルコゲニドの合成を開示する。
【解決手段】オルガノシリルテルル又はオルガノシリルセレンの、求核性置換基を有する一連の金属化合物とのリガンド交換反応により、金属カルコゲニドが生成される。この化学的性質を用いて、相変化メモリデバイス及び光電池デバイスのためのゲルマニウム−アンチモン−テルル(GeSbTe)膜及びゲルマニウム−アンチモン−セレン(GeSbSe)膜又はその他のテルル及びセレンをベースとする化合物を堆積させる。
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透明導電性フィルム
【課題】 本発明は、高温高湿条件下に長時間曝露した後でも、オリゴマーの析出による白濁を生じず、且つ、良好な導電性及び可撓性を保持する透明導電性フィルムを提供することを目的とする。
【解決手段】 透明基材フィルムの両面にオリゴマー析出ブロック層を積層し、次いで、そのいずれか一方の面に導電性薄膜層を積層してなる透明導電性フィルムであって、該オリゴマー析出ブロック層は、プラズマCVD法によって蒸着された炭素含有酸化珪素蒸着膜からなる層であることを特徴とする透明導電性フィルムを提供する。
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硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
【課題】硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下部層と中間層と上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、(a)下部層はTi化合物層からなり、(b)中間層は、κ型結晶構造のAl2O3層にZrを0.004〜0.12%(ただし、全体組成に対するZrの割合を原子%で示す)含むZr含有κ型Al2O3層(下部中間層)と、該下部中間層の表面に部分的に形成されたZrO2薄層(上部中間層)からなり、(c)上部層は、その垂直断面を観察した場合、κ型Al2O3相と上記ZrO2薄層上に形成されたα型Al2O3相のα−κ混合組織を有し、さらに、その表面研磨面を観察した場合、α型Al2O3相の周囲をκ型Al2O3相が囲繞するα−κ網目状混合組織を有するAl2O3層からなる。
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半導体基板及び半導体基板の製造方法
【課題】Siオフ基板上にGaAsを低欠陥密度でヘテロエピタキシャル成長させることのできる半導体基板及び半導体基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の半導体基板の製造方法は、主表面を{1 0 0}面から<0 1 1>方向へ傾斜させたSiオフ基板1に、(CH3)3Inガスを供給しながらGaAs層の成長温度よりも高い温度で熱処理するステップと、(CH3)3Inガスの供給を停止して熱処理されたSiオフ基板1の温度をGaAs層の成長温度まで低下させるステップと、Siオフ基板1上にGaAs層を成長させるステップとを含むことを特徴とする。
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被覆切削工具インサート
【課題】改良された靭性特性を有するCVD被覆インサートを提供する。
【解決手段】本発明は、50〜390Mpaの低引張応力レベルを有するTiCXNY層と、原子間力顕微鏡(AFM)技術によって測定される平均Raが0.12μm以下の高い表面平滑度を有するAl2O3と備えるCVD被覆切削工具インサートに関する。本発明は、被膜に非常に激しい湿潤吹き付け処理を施すことによって達成される。
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硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性、耐剥離性を発揮する表面被覆切削工具
【課題】高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性、耐剥離性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、少なくとも、下部層(Ti化合物層)と上部層(α型Al2O3層)を蒸着形成した表面被覆切削工具において、例えば、下部層−上部層界面に(Ti,W)CNO粒子を島状に分散分布させることによって、層厚Tの上部層の層厚方向に対する直交面に、極小引張残留応力値、極大引張残留応力値を示す複数の極小位置と極大位置が存在する直交面残留応力分布を形成し、極小引張残留応力値の平均値をσmin、極大引張残留応力値の平均値をσmax、隣接する極小位置と極大位置における引張残留応力差(絶対値)の平均値をδとした時、深さD1の位置の直交面におけるσ1min、σ1max、δ1と、深さD2の位置の直交面におけるσ2min、σ2max、δ2は、T>D2>D1>0で、かつ、σ1min>σ2min、σ1max>σ2max、δ2>δ1を満たす。
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高速断続切削加工ですぐれた耐欠損性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
【課題】 高速断続切削加工ですぐれた耐欠損性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 工具基体の表面に、下部層と上部層とからなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層は、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、かつ、0.5〜15μmの全体平均層厚を有するTi化合物層、上部層は、1〜10μmの平均層厚を有する酸化アルミニウム−酸化ジルコニウムの混合組織層であって、該酸化ジルコニウムは、平均粒径が0.5μm以下の粒子として酸化アルミニウム相素地に分散分布し、さらに、該酸化ジルコニウムの含有割合は、1〜10面積%の範囲内で、上部層の層厚方向に沿って表面に向かうほど酸化ジルコニウムの含有割合が低くなる傾斜組成構造を備える。
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切削工具
【課題】密着性に優れるとともに初期摩耗に優れた切削工具を提供する。
【解決手段】基体2の表面に、基体2側から、平均結晶幅が0.1〜1μmの柱状結晶にて構成される下層TiCN層4と、Al2O3層5と、平均結晶幅が下層TiCN層4の平均結晶幅よりも大きい柱状結晶にて構成される上層TiCN層6とを積層した切削工具1であり、密着性に優れるとともに初期摩耗に優れる。
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