本発明は、電子ビーム発生器によって目標領域内の目標物に向かう進路に沿って発生させられる電子ビームの強度を検知するためのセンサ１０に関し、この電子ビームは発生器から出口窓２４を通り出る。このセンサ１０は、この進路内に配置され、かつ電流検出器に接続される少なくとも１つの導電層２８の少なくとも１つの領域２６を備え、且つこの少なくとも１つの導電層２８の前記領域２６の各々は、互いから、周囲環境から且つ出口窓２４から遮蔽体３２によって実質的に遮蔽し離されており、前記遮蔽体３２が出口窓２４上に形成されることを特徴とする。本発明は、前記センサを備えるシステムにも関する。
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【課題】本発明は、自動調整用のガンアライナー機構とその制御回路を省略して安価に製造すること。加えて手動による電子ビーム調整が容易にできるようにすること。
【解決手段】本発明は、フィラメントの加速電圧と加熱電流を規定値より下げ、アノードに向かう電子ビームの照射領域を拡大してアノード穴を通過する電子ビームを確保し、アノード穴を通過した電子ビームが明るくなるように電子ビーム軸方向の向き変え調節を行い、電子ビームの明るいところがアノード穴に来たらフィラメントの加速電圧と加熱電流を規定値に近づけるように上げて前記電子ビームの照射領域を狭め、フィラメントの加速電圧と加熱電流の下げ上げ加減と、電子ビーム軸方向の向き変え調節を繰り返して電子ビームの軸方向の軸ずれを調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】ファラデーカップまでビームを到達させる手間を省き、より短時間にアライメントコイルによるビームの光軸調整を行なう方法を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のアライメントコイルによるビーム軸調整方法は、アライメントコイルを用いて荷電粒子ビームを走査して、アライメントコイルから見て荷電粒子ビーム進行方向の後段に位置するアパーチャの画像を取得する画像取得工程と、取得された画像の輝度に基づいて、輝度の重心位置を演算する重心位置演算工程と、かかる重心位置に荷電粒子ビームが照射されるように上述したアライメントコイルへ流す励磁電流を調整するアライメント工程と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、より短時間でビーム軸を調整することができる。 （もっと読む）

【課題】三相遮断素子が故障しているか否かの判別が困難であったという点である。
【解決手段】電子ビームを発生する電子銃と、前記電子銃の加速電圧を検出する加速電圧検出回路と、前記電子銃のエミッション電流を検出するエミッション電流検出回路と、加速電圧検出信号とエミッション電流検出信号に基づいて前記電子銃の放電を判定する判定回路と、を備えたことを特徴とした電子ビーム発生装置。また、加速電圧検出信号が所定の加速電圧設定値より低く、エミッション電流検出信号が所定のエミッション電流設定値より高い場合に、前記電子銃の放電と判定し、遮断回路により前記電子銃に供給される電流を遮断することを特徴とする電子ビーム発生装置。 （もっと読む）

本発明の一形態は、帯状のイオンビームのイオンフラックスを調整するための調整方法に関する。この方法は、帯状イオンビームを形成するために、或るイオンビームが或る走査速度にて走査され、複数のダイナミックビームプロファイルがイオンビームが走査されるにつれて測定される。修正された走査速度は、走査されたイオンビームの測定された複数のダイナミックビームプロファイルに基づいて算出される。イオンビームは、修正された走査速度にて走査され、修正された帯状イオンビームを得ることができる。また、他の方法及びシステムについても説明している。
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【課題】 複雑な演算処理を要することなく、多孔電極を有するイオン源のイオン引出し孔から出射される際のイオンビームが持つ特性を測定することができる装置および方法を提供する。
【解決手段】 このイオンビーム測定装置４０ａは、イオン源２の多孔電極６から引き出されたイオンビーム１０の一部を通過させる開口１４を有する遮蔽板１２と、開口１４を通過したイオンビーム１０のビーム電流を検出する検出器１８と、それをｘ方向に移動させる検出器駆動装置２４とを備えている。かつ、多孔電極６と検出器１８間の距離をＬ、遮蔽板１２と検出器１８間の距離をｄ、ｘ方向に関して、多孔電極６の各イオン引出し孔８の寸法をａ、その間隔をｐ、開口１４の寸法をｂ、検出器１８の寸法をｗとすると、次式の関係を満たしている。
｛ｗ（Ｌ−ｄ）＋ｂＬ｝／ｄ＜（ｐ−ａ） （もっと読む）

【課題】本発明はイオンビーム発生装置のイオンビーム位置検出板に関し、蛍光材を用いることなく、且つ真空度を低下させることのない、イオンのビーム照射位置を特定することができるイオンビーム発生装置のイオンビーム検出板を提供することを目的としている。
【解決手段】イオンビーム１を発生させて試料２を加工する装置において、イオンビーム１を照射してイオンビーム１の照射点を検出するための板であって、イオンビーム１の照射点と周囲の部位との区別がつくような材料であって、且つイオンビーム照射によりガス放出がない材料を用いて構成される。 （もっと読む）

【課題】イオンの質量分離に際し、高い質量分離分解能を維持しつつ電流ロスを低減できるイオン注入装置を提供する。イオンビームの電流密度分布のムラを低減し均一化を図ることができるイオン注入装置を提供する。
【解決手段】質量分離電磁石１７からのイオンビーム１を受けて所望のイオンを選別して通過させる分離スリット２０を備えたイオン注入装置１０において、分離スリット２０は、イオンビーム１を通過させる隙間形状が可変に構成されている。また、引出し電極系１５と質量分離電磁石１７との間に配置され、イオンビーム１が通過する隙間を形成するものであって、イオン源１２から引き出されたイオンビーム１の一部を遮蔽するように隙間形状が可変に構成された可変スリット３０を備える。 （もっと読む）

【課題】スポットビーム型電子ビーム露光装置及び電子ビーム位置変動抑制方法に関し、各種の外乱に起因する電子ビームの位置変動をリアルタイムに抑制する。
【解決手段】電子源１から放出された広い断面積の電子ビームを一つの描画用電子ビーム３とそれを取り囲む四つの検出用電子ビーム４とに分ける五つの孔を配置したビーム制限絞り２と、四つの検出用電子ビーム４を四極子のレンズと双極子の偏向との重畳電場内に通過させる電場発生機構５と、描画用と検出用の双方電子ビームに作用するコンデンサレンズ６と、描画用電子ビーム３を照射面に集束させる対物レンズ８の主面付近の上下に検出エッジ及び検出器の組み合わせからなる電子ビーム検出機構９をｘ，ｙ方向に計四つ配置し、一方の方向から二つの検出信号を処理する検出信号処理回路１１を各々の方向に備え、各検出信号処理回路１１からの出力により描画用電子ビーム３を偏向させる偏向器７を備える。 （もっと読む）

【課題】倍率、走査方向や測定装置を変更しても、測定結果の変動が生じない線幅測定調整方法及び走査型電子顕微鏡を提供すること。
【解決手段】線幅測定調整方法は、第１の倍率において走査される電子ビームの第１の電子ビーム強度分布と、第２の倍率において走査される電子ビームの第２の電子ビーム強度分布とが同等になるように前記第２の電子ビーム強度分布を調整することを含む。前記第２の電子ビーム強度分布の調整は、電子ビーム強度分布を作成するときに、前記第２の照射距離を増減して行うようにしてもよい。 （もっと読む）